JPH0399458A - リードフレームクランプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 リードフレームをクランプするリードフレームクランプ
装置に関し、 リードフレームを位置精度良く且つ変形を十分に矯正し
てクランプすることを目的とし、クランプすべきリード
フレームより長く、上記リードフレームの両側に沿って
配されたクランプ板と、上記クランプ板の一端側を動作
させる第１のクランプ駆動機構と、上記クランプ板の他
端側を動作させる第２のクランプ駆ｅａ構と、最初に上
記第１のクランプ駆動機構を作動させ、その後上記第２
のクランプ駆動機構を作動させるように上記第１．第２
のクランプ駆動機構の作動を制御する制御手段とより構
成する。

（産業上の利用分野） 本発明はリードフレームをクランプするリードフレーム
クランプ装置に関する。

半導体装置の製造においては、リードフレームが搬送さ
れて、ダイボンディング、ワイヤボンディング、樹脂封
止、捺印が行われ、最後に、個々に分離される。

第１０図（Ａ）乃至（Ｃ）は、リードフレーム１上に並
んでいる各パッケージ２に捺印を行う工程を示す。

３は捺印装置であり、Ａが捺印が行われる部位である。

４は移動台であり、移動機構５により移動される。

移動機構５にはリードフレーム１をクランプするり−ド
フレームクランプ装置６が設けである。

７はリードフレームを移動台４にロードする機構である
。

まず、同図（Ａ）、（Ｂ）に示すように、樹脂封止工程
後のリードフレーム１（複数のパッケージ２が並んでい
る）が移動台４上にロードされ、リードフレームクラン
プ装置６によりクランプされる。

リードフレーム１はクランプされた状態で移動台４と共
に移動機構５により、同図（Ｃ）に示すように、所定距
離ずつ間歇的に移動され、捺印装Ｈ３の部位Ａで、パッ
ケージ２に順次捺印される。

第１０図（Ｃ）は先頭のパッケージ２に捺印するときの
状態を示す。

移動台４は上記のように予め設定された距離ずつ移動さ
れるものであるため、リードフレーム１に位置ずれがあ
ると、パッケージ２上の捺印位置がずれてしまう。

また、いくつかの工程を経てきたリードフレームにはそ
り、波打ち等の変形があることが多い。

近年使用され始めた銅製のリードフレームでは変形が生
じ易い。リードフレームを変形したまま捺印装置に送る
と、捺印にずれが生じ、捺印不良となることがある。

従って、上記の移動台４上では、リードフレーム１は、
■所定の位置に位置精度良くクランプされること及び■
変形が矯正された状態でクランプされることが必要とさ
れる。

〔従来の技術〕

第１１図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は従来のリードフレー
ムのリードクランプ装置の１例を示す。

１０はガイドレールであり、側面にガイド溝１１を有す
る。

１２．１３はクランパである。

リードフレーム１は、その一方の側縁をガイド満１１内
に嵌入された状態で、他の側縁のうち、リードフレーム
１の一端１ａ近傍をクランプされる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のクランプ装置では、リードフレーム１のうち一部
をクランプするだけであるため、リードフレーム１の変
形を十分に矯正することは出来ない。

またリードフレームの長さに相当するクランプ板をリー
ドフレームの両側に設け、これによってクランプするこ
とが考えられる。このクランプ方法によれば、リードフ
レームの変形は矯正されるが、リードフレームの変形の
具合によって、リードフレームの端の位置がばらついて
しまい、リードフレームの移動台上における位置精度が
良くない。

本発明は、リードフレームを位置精度良く且つ変形を１
分に矯正してクランプすることのできるリードフレーム
クランプ装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

第１図（Ａ）中、１５は上側クランプ板、１６は下側ク
ランプ板であり、共にクランプすべきリードフレーム１
の長さより若干長い寸法を有する。

１７は第１のクランプ駆ｖＪ機構、１Ｂは第２のクラン
プ駆動機構であり、クランプ板１５．１６の両端側に設
けである。

１９は、最初に第１のクランプ駆動機構１７を作動させ
、その後筒２のクランプ駆動機構１８を作動させるよう
に第１．第２のクランプ駆ｌ］機構１７．１８の作動を
制御する制御手段である。

（作用〕 第１図（Ａ）に示すように、変形しているり一ドフレー
ム１が上下のクランプ板１５．１６の間に送り込まれる
と、まず第１のクランプ駆動機構１７が作動する。

これにより、第１図（Ｂ）に示すように、リードフレー
ム１はその一端１ａ側をクランプ板１５゜１６によりク
ランプされ、リードフレーム１の変形の程度の如何に関
係なく、一端１ａの位置が８に定まる。

この後、第２のクランプ駆動機構１８が作動し、第１図
（Ｃ）に示す如くになり、クランプ板１５゜１６がリー
ドフレーム１の全長をクランプする。

このとき、リードフレーム１は自由端側である１ｂ側が
矢印Ｃ方向に変位して伸ばされる。リードフレーム１は
、一端１ａの位置を規制されて、且つ変形を矯正された
状態でクランプされる。

（実施例） 第２図、第３図、第４図は本発明の一実施例になるリー
ドフレームクランプ装Ｂ２０であり、第１０図中の移動
台４に組み付けである。

２１は移動台本体であり、レール２２．２３上に移動可
能に載っている。

２４．２５はクランプ板であり、移動台本体２１の長さ
しと同じ長さを有する平面図上細長の部材であり、移動
台本体２１の両側に沿って配設しである。

移動台本体２１の長さ方向上両端近傍には、幅方向上両
側に一つずつ、連結軸２６，２７．２８゜２９が直動輪
受３０により支持されて上下方向に移動可能に支持され
ている。

連結軸２６．２７の上端は−のクランプ板２４の両端近
傍に連結しである。

連結軸２８．２９の上端は別のクランプ板２５の両端近
傍に連結しである。

連結軸２６．２８の下端は、第４図に示すように、移動
台本体２１の幅方向に延在して配されたクランプ駆動板
３１に連結しである。

別の連結軸２７．２９の下端は、第７図に示すように、
別のクランプ駆動板３２に連結しである。

３３はリードフレーム受は台であり、移動台本体２１上
に設けてあり、上面にリードフレームを受けるための浅
い満３４が形成しである。

上記クランプ板２４．２５は夫々の縁であるクランプ部
２４８．２５ａが、上記溝３４により位置規制されたリ
ードフレームの両側の部分に対向するように配設しであ
る。

３５は第１の７クチユエータであり、第４図に示すよう
に、ピストン部３５ａの先端を移動台本体２１に固定し
、シリンダ部３５ｂをクランプ駆動板３１に固定して設
けである。

３６は第２の７クチユエータであり、第７図に示すよう
に、ピストン部３６ａの先端を移動台本体２１に固定し
、シリンダ部３６ｂをクランプ駆動板３２に固定して設
けである。

３７．３８は夫々ノーマルクローズの電磁弁であり、各
７クチユエータ３５．３７への配管途中に設けである。

３９はアクチュエータ３５．３６を駆動する圧縮空気源
である。

４０．４１は夫々クランプ動作検知機構であり、移動台
本体２１の両端近傍に設けである。この機構４０．４１
は夫々移動台本体２１に取り付けたフォトセンサ４０ａ
、４１ａと、クランプ板２４に取り付けた遮蔽板４０ｂ
、４１ｂとよりなる。

４２は制御回路であり、端子４３よりの動作開始信号、
クランプ動作検知機構４０．４１からの信号を供給され
て、電磁弁３７．３８を順次動作させる。

第１の７クチユエータ３５及び圧縮空気源３９が第１の
クランプ駆動機構を構成し、第２のアクチュエータ３６
及び圧縮空気源３９が第２のクランプ駆動機構を構成す
る。

制御回路４２、クランプ動作検知機構４０゜４１及び電
磁弁３７．３８が制御手段を構成する。

次に、上記構成になるリードフレームクランプ装置２０
の動作について説明する。

パッケージ２付きのリードフレーム１は、前記のロード
機構７により、第３因及び第４図に示すように、リード
フレーム受は台３３の浅い溝３４上に送り込まれる。

リードフレーム１が送り込まれると、ロード機構７より
端子４３を介して動作開始信号が制御回路４２に加えら
れる。

これにより、制御回路４２がライン４４に信号を出力し
、これによって電磁弁３７が動作し、第５図及び第６図
に示すように開弁する。

これにより、第１の７クチユエータ３５が圧縮空気源３
９よりの圧縮空気により駆動され、シリンダ部３６ｂが
第６図中矢印りで示すように下方に変位し、クランプ駆
動板３１．連結軸２６゜２８を介して、クランプ板２４
．２５のうち第５図中左側の部位が下方に変位する。第
２のアクチエ１−夕３６は動作ゼずクランプ板２４．２
５のうち第５図中右側の部位は上動した位置に留まる。

これにより、クランプ板２４．２５は、第５図中左側の
部位が引き下げられて左下がりの傾斜状態となり、リー
ド１は、第６図に示すように、−端１ａ側の両側をクラ
ンプされ、他端１ｂｌｌは第７図に示すように、未だク
ランプされない状態となる。

これにより、リード１の一端１ａ側の移動台本体２１上
における位置が定まる。

また、クランプ板２４．２５の上記の動きにより、フォ
トセンサ４０ａが遮蔽板４０ｂを検知する。すると、制
御回路４２がライン４５にも信号を出力し、これによっ
て電磁弁３８が動作し、第８図、第９図に示すように開
弁する。

これにより、第２のアクチュエータ３６も駆動され、シ
リンダ部３６ｂが第６図中矢印Ｅで示すように下方に変
位し、クランプ駆動板３２．連結軸２７．２９を介して
、クランプ板２４．２５のうち第８図中右側の部位も下
方に変位する。

これにより、リードフレーム受は台３３の溝３４上のリ
ードフレーム１は、その長手方向に沿う両側を全長に亘
ってクランプ板２４．２５のクランプ部２４ａ、２５ａ
によりクランプされ、変形を矯正された状態とされる。

第２の７クチユエータ３６によるクランプは検出機構４
１により検出され、この後リードフレーム１は、移動台
本体２１と共に、前記の捺印装置３内に移送される。

リードフレーム１は、上記のように、移動台本体２１上
において、精度良く位置決めされ且つ変形を確実に矯正
されているため、各パッケージ２への捺印は良好になさ
れる。

（発明の効果） 以上説明した様に、本発明によれば、リードフレームは
その一端を位置決めした状態でクランプされるため、リ
ードフレームを位置粘度良くクランプすることが出来る
。また、リードフレームはその幅方向上両側を全長に亘
ってクランプされるため、リードフレームの変形を十分
に矯正することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理図、 第２図は本発明の一実施例のリードフレームクランプ装
置の正面図、 第３図はその平面図、 第４図は第２図中ｒＶ−ＩＶ線に沿う断面図、第５図は
第１図（Ｂ）に対応する状態を示す図、第６図は第５図
中■−■線に沿う断面図、第７図は第５図中■−■線に
沿う断面図、第８図は第１図（Ｃ）に対応する状態を示
す図、第９図は第８図中ＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図、第
１０図は本発明装置を適用しうる半導体製造装置を示す
図、 第１１図は従来のリードフレームクランプ装置を示す図
である。 図において、 １はリードフレーム、 ２はパッケージ、 ４は移動台、 １５は上側クランプ板、 １６は下側クランプ板、 １７は第１のクランプ駆動機構、 １８は第２のクランプ駆動機構、 １９は制御手段、 ２０はリードフレームクランプ装置、 ２１は移動台本体、 ２４．２５はクランプ板、 ２４ａ、２５ａはクランプ部、 ２６〜２９は連結軸、 ３１．３２はクランプ駆動板、 ３３はリードフレーム受は台、 ３４は浅い溝、 ３５は第１のアクチュエータ、 ３６は第２の７クチ１エータ、 ３７．３８は電磁弁、 ３９は圧縮空気源、 ４０．４１はクランプ動作検知機構、 ４２は制御回路 を示す。 ＃−２図中Ｎ（Ｖ＠＋＝沿う断層コ 第４図 加 ＃−１１δ（８）に企七吠ミする状責気１【１腎１１び
コ第５図 第１図 ］１ 田 第６図 第７ 図 聾メ１つ一孕Ｑ仲Ｖ−のリードブレームクランフ１拍連
しのΣ０面図第２図 ＃７ｆｆｉ（ｃ）＋：、Ｊセ等す曇状窓玄承す口筒８図 に ＢｓｔｎｖＩＸ−ＥＸ＠Ｌ：％）＋嘘ｔ−へ−で！【１
’５（Ａ） （Ｂ） （Ｃ） ｍのリード７レー４ｚラシ７５映：ｔｔ−ｉす図第１１
図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 クランプすべきリードフレーム（１）より長く、上記リ
   ードフレームの両側に沿って配されたクランプ板（１５
   、２４、２５）と、 上記クランプ板の一端側を動作させる第１のクランプ駆
   動機構（１７、３５、３９）と、 上記クランプ板の他端側を動作させる第２のクランプ駆
   動機構（１８、３６、３９）と、 最初に上記第１のクランプ駆動機構を作動させ、その後
   上記第２のクランプ駆動機構を作動させるように上記第
   １、第２のクランプ駆動機構の作動を制御する制御手段
   （１９、４１、４２、３７、３８）とよりなることを特
   徴とするリードフレームクランプ装置。