JPH04101082A - 気体ポンプ用ピエゾプレート - Google Patents
気体ポンプ用ピエゾプレートInfo
- Publication number
- JPH04101082A JPH04101082A JP21469590A JP21469590A JPH04101082A JP H04101082 A JPH04101082 A JP H04101082A JP 21469590 A JP21469590 A JP 21469590A JP 21469590 A JP21469590 A JP 21469590A JP H04101082 A JPH04101082 A JP H04101082A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- gas pump
- piezo plate
- piezo
- vibrating
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は気体ポンプの駆動部として使用するピエゾプレ
ートに関するものである。
ートに関するものである。
従来のピエゾプレート９１の例を示すものが第７図であ
り、板厚の薄い金属板９２の表裏面から円板状の電極９
３ａ付き圧電素子９３．９３を貼着したものであり、該
ピエゾプレート９１には適宜な位置には貫通孔９４が設
けられているものである。 第８図は前記ピエゾプレート９１を使用した気体ポンプ
１１の例を示すものであり、ピエゾプレート９１はポン
プ本体１２に育成円筒状のホルダ１３で外周部９１ａを
リング状に挟着され取付けられるものとなり、この外周
部９１ａの内側が振動部９１ｂとなるものとされている
。 前記ポンプ本体１２には前記貫通孔９４と対峙するジェ
ット孔１２ａが設けられ、前記ピエゾプレート９１の振
動部９１ｂの振動によるホルダエ３とで形成されるポン
プ室１４の減圧加圧による吸排気により前記ジェット孔
１２ａより一定方向の流れを持つ気体が吐出されるもの
となる。
り、板厚の薄い金属板９２の表裏面から円板状の電極９
３ａ付き圧電素子９３．９３を貼着したものであり、該
ピエゾプレート９１には適宜な位置には貫通孔９４が設
けられているものである。 第８図は前記ピエゾプレート９１を使用した気体ポンプ
１１の例を示すものであり、ピエゾプレート９１はポン
プ本体１２に育成円筒状のホルダ１３で外周部９１ａを
リング状に挟着され取付けられるものとなり、この外周
部９１ａの内側が振動部９１ｂとなるものとされている
。 前記ポンプ本体１２には前記貫通孔９４と対峙するジェ
ット孔１２ａが設けられ、前記ピエゾプレート９１の振
動部９１ｂの振動によるホルダエ３とで形成されるポン
プ室１４の減圧加圧による吸排気により前記ジェット孔
１２ａより一定方向の流れを持つ気体が吐出されるもの
となる。
しかしながら、前記した従来の構成のピエゾプレート９
１においては、前記ホルダ１３で外周部９１ａを均一な
圧力で挟着することが甚だ困難であり、例えば一部に浮
きなどを生じ前記ピエゾプレート９１に複数の共振周波
数を生ずるなどして振動が不安定のものとなり、これに
より前記ジェット孔１２ａからの吐出量に変動を生じて
気体ポンプ１１の精度を低下させると云う問題点を生す
るものとなり、この点の解決が課題とされるものとなっ
ていた。
１においては、前記ホルダ１３で外周部９１ａを均一な
圧力で挟着することが甚だ困難であり、例えば一部に浮
きなどを生じ前記ピエゾプレート９１に複数の共振周波
数を生ずるなどして振動が不安定のものとなり、これに
より前記ジェット孔１２ａからの吐出量に変動を生じて
気体ポンプ１１の精度を低下させると云う問題点を生す
るものとなり、この点の解決が課題とされるものとなっ
ていた。
本発明は前記した課題を解決するための具体的な手段と
して、圧電素子が貼着された金属板の振動部の外周部を
支持して成る気体ポンプ用ピエゾプレートにおいて、前
記振動部と外周部との間には振動の節が設けられている
ことを特徴とする気体ポンプ用ピエゾプレートを提供す
ることで、該ピエゾプレートの振動を安定化を可能とし
、前記した従来の課題を解決するものである。
して、圧電素子が貼着された金属板の振動部の外周部を
支持して成る気体ポンプ用ピエゾプレートにおいて、前
記振動部と外周部との間には振動の節が設けられている
ことを特徴とする気体ポンプ用ピエゾプレートを提供す
ることで、該ピエゾプレートの振動を安定化を可能とし
、前記した従来の課題を解決するものである。
つぎに、本発明を図に示す一実施例に基づいて詳細に説
明する。 尚、理解を容易とするために従来例と同じ部分には同し
符号を付して説明し、重複する部分については一部その
説明を省略する。 第１図に符号１で示すものは本発明によるピエゾプレー
トであり、このピエゾプレート１は円板状の金属板２の
表裏面から圧電素子３．３が貼着されて形成され、貫通
孔４も設けられるものである点は従来例のものと同様で
あるが、前記金属板２は予めにホルダ１３で挟着される
外周部２ａの厚みを増すことで、振動部２ｂとの間に振
動の節が生ずるように形成されている。 上記のピエゾプレート１を使用して形成された気体ポン
プ１１を示すものが第２図であり、従来例と同様に前記
ピエゾプレート１はポンプ本体１２とホルダ１３とで挟
着されるが、このときに予めに形成された厚肉の外周部
２ａの部分で挟着されるものとなっている。 尚、図中に符号１５で示すものは例えばシリコンゴムで
形成されたパツキンであり、このパツキン１５は前記ポ
ンプ本体１２とホルダ１３とで形成されるポンプ室１４
の機密性を高めるものである。 上記の構成としたピエゾプレート１の作用効果を示すも
のが第３図であり、前記ピエゾプレート１により厚い外
周部２ａと、それより薄い振動部２ｂとを形成したこと
で、圧電素子３．３によりピエゾプレート１を振動させ
たときには図示のように外周部２ａと振動部２ｂとの接
続部が振動の節Ｎとなり外周部２ａの挟着の精度に多少
の浮きなどを生じていたとしても、それに左右されるこ
となく振動部２ｂのみが振動し、よって複数の共振周波
数などを生ずることもなくなり、非常に安定した振動が
得られ、その効果として前記ジェット孔１２ａからの吐
出量を安定化させ（第２図参照）これにより気体ポンプ
１１の精度を高めるものとなる。 第４図に示すものは本発明の第二実施例であり、前の実
施例が金属板２の外周部２ａと振動部２ｂとの板厚の変
更を前記金属板２の両面側から行っていたのに対し、こ
の実施例のように金属板２１の片面側から行ったもので
ある。 また、第５図に示すものは同しく本発明の第二実施例で
あり、前の何れの実施例も外周部２ａ１２１ａと振動部
２ｂ、２１ｂとに板厚の差を設けることで振動の節を形
成していたが、この実施例においては前記金属板２２の
板厚は単一のものとし、外周部２２ａと振動部２２ｂと
の間にリング状に表裏面から溝２２ ＯＮ ２２ ｃを
形成することで前記した振動の節を生成させるものであ
る。 また、第６図は同じく本発明の第四実施例であり、前の
実施例が金属板２２の表裏面から溝２２ＣＮ２２Ｃを形
成していたのに対し、−・方の面から溝２２ｃを形成し
たものである。 要は何れの実施例においても外周部２１ ａ％ ２２ａ
と振動部２１ｂ、２２ｂとの間に振動の節を形成するこ
とが要旨であり方法は問わないものであり、その作用効
果は前記した第一実施例と異なるものでないので、これ
ら個々の詳細な説明は省略する。 尚、本発明は上記実施例に限定されるものでなく、例え
ば第７図に示すようにベローズ型の装置や、第８図に示
すパンシェーブ型の装置にも実施可能である。
明する。 尚、理解を容易とするために従来例と同じ部分には同し
符号を付して説明し、重複する部分については一部その
説明を省略する。 第１図に符号１で示すものは本発明によるピエゾプレー
トであり、このピエゾプレート１は円板状の金属板２の
表裏面から圧電素子３．３が貼着されて形成され、貫通
孔４も設けられるものである点は従来例のものと同様で
あるが、前記金属板２は予めにホルダ１３で挟着される
外周部２ａの厚みを増すことで、振動部２ｂとの間に振
動の節が生ずるように形成されている。 上記のピエゾプレート１を使用して形成された気体ポン
プ１１を示すものが第２図であり、従来例と同様に前記
ピエゾプレート１はポンプ本体１２とホルダ１３とで挟
着されるが、このときに予めに形成された厚肉の外周部
２ａの部分で挟着されるものとなっている。 尚、図中に符号１５で示すものは例えばシリコンゴムで
形成されたパツキンであり、このパツキン１５は前記ポ
ンプ本体１２とホルダ１３とで形成されるポンプ室１４
の機密性を高めるものである。 上記の構成としたピエゾプレート１の作用効果を示すも
のが第３図であり、前記ピエゾプレート１により厚い外
周部２ａと、それより薄い振動部２ｂとを形成したこと
で、圧電素子３．３によりピエゾプレート１を振動させ
たときには図示のように外周部２ａと振動部２ｂとの接
続部が振動の節Ｎとなり外周部２ａの挟着の精度に多少
の浮きなどを生じていたとしても、それに左右されるこ
となく振動部２ｂのみが振動し、よって複数の共振周波
数などを生ずることもなくなり、非常に安定した振動が
得られ、その効果として前記ジェット孔１２ａからの吐
出量を安定化させ（第２図参照）これにより気体ポンプ
１１の精度を高めるものとなる。 第４図に示すものは本発明の第二実施例であり、前の実
施例が金属板２の外周部２ａと振動部２ｂとの板厚の変
更を前記金属板２の両面側から行っていたのに対し、こ
の実施例のように金属板２１の片面側から行ったもので
ある。 また、第５図に示すものは同しく本発明の第二実施例で
あり、前の何れの実施例も外周部２ａ１２１ａと振動部
２ｂ、２１ｂとに板厚の差を設けることで振動の節を形
成していたが、この実施例においては前記金属板２２の
板厚は単一のものとし、外周部２２ａと振動部２２ｂと
の間にリング状に表裏面から溝２２ ＯＮ ２２ ｃを
形成することで前記した振動の節を生成させるものであ
る。 また、第６図は同じく本発明の第四実施例であり、前の
実施例が金属板２２の表裏面から溝２２ＣＮ２２Ｃを形
成していたのに対し、−・方の面から溝２２ｃを形成し
たものである。 要は何れの実施例においても外周部２１ ａ％ ２２ａ
と振動部２１ｂ、２２ｂとの間に振動の節を形成するこ
とが要旨であり方法は問わないものであり、その作用効
果は前記した第一実施例と異なるものでないので、これ
ら個々の詳細な説明は省略する。 尚、本発明は上記実施例に限定されるものでなく、例え
ば第７図に示すようにベローズ型の装置や、第８図に示
すパンシェーブ型の装置にも実施可能である。
以上に説明したように本発明により、振動部と外周部と
の間に振動の節を設けたピエゾプレートとしたことで、
前記振動部はこの振動の節を境界として振動するものと
なり、外周部の状態、例えば挟着力の不均一、浮きなど
に影響されることの無いものとなり、気体ポンプの吐出
量を均一なものとし、例えば測定などの目的に使用され
るこの種の気体ポンプの精度を向上させると云う極めて
優れた効果を奏するものである。
の間に振動の節を設けたピエゾプレートとしたことで、
前記振動部はこの振動の節を境界として振動するものと
なり、外周部の状態、例えば挟着力の不均一、浮きなど
に影響されることの無いものとなり、気体ポンプの吐出
量を均一なものとし、例えば測定などの目的に使用され
るこの種の気体ポンプの精度を向上させると云う極めて
優れた効果を奏するものである。
第１図は本発明に係る気体ポンプ用ピエゾプレートの第
一実施例を示す断面図、第２図は同じ実施例のピエゾプ
レートの気体ポンプへの装着状態を示す断面図、第３図
は同じく作用を示す断面図、第４図は同しく本発明の第
二実施例を要部で示す断面図、第５図は同じく本発明の
第三実施例を示す断面図、第６図は同じく本発明の第四
実施例を示す断面図、第７図は同しく本発明をベローズ
型に実施した例を示す断面図、第７図は同しくパンシェ
ーブ型に実施した例を示す断面図、第９図は従来例の気
体ポンプ用ピエゾプレートを示す断面図、第１０図は従
来例のピエゾプレートの気体ポンプへの装着状態を示す
断面図である。 ｉ −−−−−−−−ピエゾプレート ２．２１．２２−−−−−−−一金属板２ ａ Ｎ ２
１ ａ １２−２ ａ−−−−−−−一外周部２ ｂ１
２１ ｂ、 ２２ ｂ−−−−−−−−振動部２２ ｃ
−−−−一−−−溝 ３−−−−−−−一圧電素子 ４−−−−−−−一貫通孔 １１−−−−−−−一気体ボンプ １２−−−−−−−−ポンプ本体 １２ ａ−−−−−−−−ジェッ ト孔１３−−−−−
−−−ホルダ １４−−−−−−−−ポンプ室 １５−−−−−−−−パツキン 第１図 第２図
一実施例を示す断面図、第２図は同じ実施例のピエゾプ
レートの気体ポンプへの装着状態を示す断面図、第３図
は同じく作用を示す断面図、第４図は同しく本発明の第
二実施例を要部で示す断面図、第５図は同じく本発明の
第三実施例を示す断面図、第６図は同じく本発明の第四
実施例を示す断面図、第７図は同しく本発明をベローズ
型に実施した例を示す断面図、第７図は同しくパンシェ
ーブ型に実施した例を示す断面図、第９図は従来例の気
体ポンプ用ピエゾプレートを示す断面図、第１０図は従
来例のピエゾプレートの気体ポンプへの装着状態を示す
断面図である。 ｉ −−−−−−−−ピエゾプレート ２．２１．２２−−−−−−−一金属板２ ａ Ｎ ２
１ ａ １２−２ ａ−−−−−−−一外周部２ ｂ１
２１ ｂ、 ２２ ｂ−−−−−−−−振動部２２ ｃ
−−−−一−−−溝 ３−−−−−−−一圧電素子 ４−−−−−−−一貫通孔 １１−−−−−−−一気体ボンプ １２−−−−−−−−ポンプ本体 １２ ａ−−−−−−−−ジェッ ト孔１３−−−−−
−−−ホルダ １４−−−−−−−−ポンプ室 １５−−−−−−−−パツキン 第１図 第２図
Claims (3)
- （１）圧電素子が貼着された金属板の振動部の外周部を
支持して成る気体ポンプ用ピエゾプレートにおいて、前
記振動部と外周部との間には振動の節が設けられている
ことを特徴とする気体ポンプ用ピエゾプレート。 - （２）前記振動の節は前記外周部の厚みを前記振動部の
厚みよりも増すことで形成されていることを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載の気体ポンプ用ピエゾプ
レート。 - （３）前記振動の節は前記外周部と前記振動部との間に
少なくとも一方の面から形成されたリング状の溝により
形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第（１
）項記載の気体ポンプ用ピエゾプレート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21469590A JPH04101082A (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | 気体ポンプ用ピエゾプレート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21469590A JPH04101082A (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | 気体ポンプ用ピエゾプレート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04101082A true JPH04101082A (ja) | 1992-04-02 |
Family
ID=16660073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21469590A Pending JPH04101082A (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | 気体ポンプ用ピエゾプレート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04101082A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007127136A (ja) * | 2007-02-23 | 2007-05-24 | Brother Ind Ltd | 液体移送装置 |
| CN104100543A (zh) * | 2014-07-20 | 2014-10-15 | 长春隆美科技发展有限公司 | 一种双振子压电驱动式风机 |
| JP2019194467A (ja) * | 2018-05-03 | 2019-11-07 | 復盛精密工業股▲ふん▼有限公司 | 沈下板を有する蓄気板構造 |
| JP2019203499A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | マイクロ輸送装置 |
| JP2019203498A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | マイクロ輸送装置 |
| WO2022025230A1 (ja) * | 2020-07-31 | 2022-02-03 | Tdk株式会社 | ポンプ及び流体制御装置 |
| WO2022123983A1 (ja) * | 2020-12-08 | 2022-06-16 | ソニーグループ株式会社 | 流体制御装置、及び電子機器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS639481B2 (ja) * | 1981-03-25 | 1988-02-29 | Hokko Chem Ind Co |
-
1990
- 1990-08-14 JP JP21469590A patent/JPH04101082A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS639481B2 (ja) * | 1981-03-25 | 1988-02-29 | Hokko Chem Ind Co |
Cited By (9)
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| CN104100543A (zh) * | 2014-07-20 | 2014-10-15 | 长春隆美科技发展有限公司 | 一种双振子压电驱动式风机 |
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| JP2019203499A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | マイクロ輸送装置 |
| JP2019203498A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | マイクロ輸送装置 |
| US11754200B2 (en) | 2018-05-21 | 2023-09-12 | Microjet Technology Co., Ltd. | Miniature transportation device |
| WO2022025230A1 (ja) * | 2020-07-31 | 2022-02-03 | Tdk株式会社 | ポンプ及び流体制御装置 |
| WO2022123983A1 (ja) * | 2020-12-08 | 2022-06-16 | ソニーグループ株式会社 | 流体制御装置、及び電子機器 |
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