JPH04102001A - 静電検出装置 - Google Patents

静電検出装置

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JPH04102001A
JPH04102001A JP22047590A JP22047590A JPH04102001A JP H04102001 A JPH04102001 A JP H04102001A JP 22047590 A JP22047590 A JP 22047590A JP 22047590 A JP22047590 A JP 22047590A JP H04102001 A JPH04102001 A JP H04102001A
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昇 増田
Tetsuo Osawa
大澤 哲夫
Mamoru Ishibe
石部 護
Shuichi Honda
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、紙幣、コピー用紙等の紙葉状体の厚みを検出
する静電検出装置に関するものである。
〔従来の技術〕
布、紙等の紙葉状体の厚み検出装置として、ボテンショ
メータを用いた装置が広く利用されている。この種の装
置は、第14図に示すように、紙葉状体1の通過経路の
ステージ2上にポテンシヨメータ3を配置することによ
り構成されている。このポテンショメータ3は回転軸4
にアーム5を取り付け、そのアームの先端部にローラ6
を回転自在に取り付け、ばね7を用いてローラ6を常時
ステージ2側に付勢したものである。この第14図の状
態で、紙葉状体1が矢印方向に移動して来たときに、ロ
ーラ6は紙葉状体1の上に乗り上げ、アーム5を時計方
向に回転させる。そしてこのアーム5の回転が回転軸4
に伝わり、アーム5の回転量、つまり、紙葉状体重の厚
みに比例した出力電圧が第15図に示すように紙葉状体
1の厚み検出信号として出力されるのである。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、ポテンショメータ3で紙葉状体1の厚み
を検出する方式は、紙葉状体1の厚みに対応するアーム
5の回転量が非常に小さく、このため、ポテンショメー
タ3からの出力電圧レベルも非常に小さく、薄紙等の紙
葉状体1の厚みを精度良く検出することができないとい
う不便があった。
また、紙葉状体lが高速で搬送されて来るような場合に
は、ローラ6が紙葉状体1に乗り上げるとき、反動によ
り余分な動きが生じ、第15図に示すように、出力電圧
波形にオーバーシューPが現れるという不都合がある。
このようなオーバーシューPを生じないようにするには
、ばね7の付勢力を非常に強くする必要があり、そうす
ると、ローラ6がステージ2に強く接するので、これが
紙葉状体1の搬送系の負荷となり、搬送系の消費電力が
大きくなるという不都合が生じる。
さらに、この種のポテンショメータ3を用いた厚み検出
を正確に行うためには、ローラ6の取り付けをステージ
2に対して紙葉状体1の走行方向であるX方向とそれに
平面上で直交するY方向と、上下のZ方向に対してわず
かの傾きも生じないように高精度に組み立てなければな
らないという組み付は上の困難性があった。
さらに、例えば紙幣を1枚ずつ搬送するような場合、2
枚重なりの状態を紙厚によって検出するような場合には
、紙葉状体1の幅方向に複数のローラ6を密に配置して
紙葉状体1の厚みを全幅に渡って検出する必要があるが
、周知のように、ポテンシヨメータ3は幅方向の寸法が
大きいので、高密度でローラ6を紙葉状体1の幅方向に
配置できないという不便がある。
本発明は上記従来の課題を解決するためになされたもの
であり、その目的は、紙葉状体の厚み検出を非接触状態
で行うことができ、前記従来のポテンシヨメータによる
各種の問題点を効果的に解消することができる静電検出
装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は上記目的を達成するために、次のように構成さ
れている。すなわち、本発明は、発振回路と、この発振
回路とは別個独立の共振器を含み外部静電容量の変化に
対応して同調点を変化させ、その同調点の変化に対応す
る検出信号を出力する同調回路とを有する静電センサ回
路が当該静電センサ回路のグランド電位に接続されたシ
ールドケースによって覆われており、前記同調回路の共
振器には検出電極が接続されるとともに、この検出電極
の検出先端部は前記シールドケースの外に向けて突出さ
れており、前記検出電極が形成する電界中を被検出体が
通過する如く構成されていることを特徴としており、ま
た、前記静電センサ回路を覆っているシールドケースは
匡体内に収容されており、検出電極は第1の電極と第2
の電極に分割され、第1の電極は静電センサ回路の回路
基板に固定され、第2の電極は匡体側に固定されるとと
もに、前記第1の電極と第2の電極の一方はばね体によ
って構成され、このばね体の弾性復元力によって第1の
電極と第2の電極が圧接接続されていることも本発明の
特徴的な構成とされており、さらに、前記第1の電極と
第2の電極は微小間隙を介して静電的に対向接続されて
いることも本発明の特徴的な構成とされており、さらに
、検出電極先端部と対向してステージが設けられ該ステ
ージはグランド電位面に形成されてなることもまた本発
明の特徴的な構成とされている。
〔作用〕
上記構成において、紙葉状体が通過経路に沿って搬送さ
れて検出電極部分を通過しようとするときに、被検出体
は検出電極が形成する電界を横切る。このように、被検
出体が電界の領域に入ると、電界領域の誘電率が変化す
る。換言すれば、空間誘電率に被検出体の誘電率が加算
された状態となる。被検出体が複数枚重なると、その枚
数に応じて誘電率の変化が大きくなる。このように、電
界を横切る被検出体の厚みに応じて電界形成空間の誘電
率が変化し、この誘電率の変化に対応して静電容量が変
化する。そしてこの静電容量の変化によって同調回路の
同調点が変化し、この同調点の変化に対応する電圧信号
が紙葉状体の厚み検出信号として静電センサ回路から出
力されるのである。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1
図〜第3図には本発明に係る静電検出装置の第1の実施
例が示されている。これらの図において、紙幣、コピー
用紙、プラスチックフィルム、布等の紙葉状体1が通る
搬送系の通過経路のステージ2上にはセンサ本体部8が
配置されている。そして、センサ本体部8とステージ2
の間には紙葉状体lが非接触状態で通過する間隙9が形
成されている。前記センサ本体部8は国体lOの収容凹
部11内に静電センサ回路が形成された回路基板12を
収容してなる。前記国体10は合成樹脂や絶縁材によっ
て被覆された金属板等の絶縁部材により形成されている
。そして、前記回路基板12は導体のシールドケース1
3により覆われており、国体10内には回路基板12が
シールドケース13で覆われた状態で収容されている。
第3図には回路基板12に形成される静電センサ回路の
一例が示されている。この静電センサ回路は、発振回路
14と、同調回路として機能するセラミック共振器15
と、検波回路16と、増幅回路17と、A F C(A
utomatic Frequency Contro
l)回路18とによって構成されており、この回路のグ
ランド面はシールドケース13に接続されている。ここ
でグランド電位とは、高周波的に大地アースとイマジナ
リ−ショートの状態にある電位をいう。発振回路14は
セラミック共振器19を内蔵し、0.5GHz〜10G
Hz、本実施例ではIGHzの超高周波数の発振周波数
信号を出力するように決定したが、適用装置の関係から
0.5〜10GHzの間の周波数が選定される。
同調回路として機能するセラミック共振器15の出力端
子側には検出電極20が接続されている。この検出電極
20はハンダ付は等により回路基vi12に固定され、
その検出先端面は国体から外に突出されている。セラミ
ック共振器15は検出電極20が検出する静電容量の変
化を受けて発振回路14との同調点を変化させ、その同
調点の変化に対応する電圧信号を前記発振回路の発振周
波数を搬送波とする振幅変調信号として出力する。検波
回路16は前記セラミック共振器15から出力される振
幅変調信号を検波して紙葉状体1の厚み検出信号帯域の
信号に変換し、これを増幅回路17に加える。増幅回路
17は前記検波出力を増幅して所望の信号処理回路へ供
給する。AFC回路18は環境変化等によるセラミック
共振器15の同調点の変化を補正し、セラミック共振器
15の同調点の安定化作用を行う。
本実施例では、国体10の底面が基準面10aとなって
おり、この基準面10aに検出電極20の先端面を一敗
させて検出電極20の先端側が国体10の電極挿入孔2
1に収容されている0国体lOの適宜の位置には取り付
は穴22が設けられており、この取り付は穴22の一方
を利用してセンサ本体部8は第1図に示すようにステー
ジ2の上側に回転位置の調整が可能に固定される。ステ
ージ2は金属板、プラスチック板等の適宜の材料により
構成されるもので、本実施例ではこのステージ2がグラ
ンド電位面23を構成している。一般に、IGHz程度
の超高周波数の信号で回路を駆動させると、シールドケ
ース13とグランド電位面23との間には一種のコンデ
ンサの機能が強く働き、このコンデンサは前記超高周波
数の信号駆動に際してはシールドケース13に対してイ
マジナリ−ショート状態となり、シールドケース13と
グランド電位面23は同電位面となる。
一般に、検出電極20とそれに近いグランド電位部分と
の間に電界が発生し、この電界を紙葉状体1が横切ると
検出電極20とグランド電位部分との間の誘電率が変化
し、これが静電容量の変化として検出電極20により検
出される。この原理をさらに発展させ、シールドケース
13に対してイマジナリ−ショートとなるグランド電位
面23を設けると、検出電極20からグランド電位面2
3に向けて電界が発生し、この電界を紙葉状体1が横切
ると検出電極20からシールドケース13に向かう電界
が紙葉状体1により横切られた状態と等価な状態となり
、検出電極20とグランド電位面23との誘電率の変化
が静電容量の変化として検出電極20から直接検出され
ることになる。このように、グランド電位面23を設け
ることで、グランド電位面23と検出電極20との間を
紙葉状体1の通過経路とすることが極めて容易となり、
紙葉状体1の厚み検出装置を容易に作り出すことが可能
となる。第4図は検出電極20の各種形状を示したもの
で、使用目的に応じてそれに適した形状のものが使用さ
れる6例えば、紙葉状体1の全幅に渡り厚み検出を行う
場合には、第4図(d)〜(6)に示すような広幅の検
出電極を用い、紙葉状体1の局部的な微小幅の厚みを検
出するときには電極幅の小さい第4図(i)に示すよう
な電極が使用されることになる。
第5図には本実施例の装置による紙厚の検出例が示され
ており、第6図にはその紙厚の検出結果が示されている
。まず、1枚の紙からなる紙葉状体1がグランド電位面
23として機能するステージ2と検出電極20との間を
通過すると、1枚の紙厚に対応する電圧レベル変化が現
れる。次に、2枚重なり状態の紙葉状体1が検出電極2
0とステージ2との間を通過すると、紙葉状体1枚あた
りの厚み分だけ電界が形成された空間部分の誘電率がそ
の分大きくなる結果、その2枚の厚みに対応する出力信
号が静電センサ回路から出力される。したがってこの静
電センサ回路の出力変化を分析することにより被検出体
としての紙葉状体1の厚みを非接触状態で正確に求める
ことが可能となる。
第7図〜第1O図にはセンサ本体部8部分の第2の実施
例が示されている。この第2の実施例は、国体10を本
体側と蓋側とに半割り状に形成し、収容凹部11に係止
段部24を形成し、収容凹部11の上端側には押え爪2
5を内側に向けて突設するとともに、検出電極20を第
1の電極20aと第2の電極20bとに分割して構成し
、第9図に示すように、第1の電極20aはばね形状に
形成してその基端側を回路基板12側に固定し、第2の
電極20bは柱状に形成して第2の電極20bの先端面
を国体10の基準面10aに一致させて電極挿入孔21
に固定したものである。
この第2の実施例では、シールドケース13を前記押え
爪25を上側に押し広げて収容凹部11に収容すると、
シールドケース13は押え爪25の弾性復元力により下
方に押され、その下端面が係止段部24に係止されて位
置決めされる。このとき、第1の電極20aはばねの弾
性復元力でもって第2の電極20bに圧接し、第1の電
極20aと第2の電極20bとの導通接続が達成される
のである。
検出電極20を前記第1の実施例のように一体で構成し
たときには、検出電極20を回路基板12に固定すると
きの位置合わせが非常に難しく、検出電極20が例えば
上下方向にずれて検出電極20の先端面からセラミック
共振器15に至る導体部分の長さしが設定値からずれて
しまうという問題が生じる震れがある。この導体部分の
長さしは、セラミック共振器15の共振周波数の波長を
λとしたとき、その長さしはnλ/4(nは1以上の整
数)よりも小さくすることが望ましい、Lがnλ/4に
なると、セラミック共振器15の共振周波数の安定性が
悪くなるからである。回路の駆動周波数が超高周波数に
なると、検出電極20の上下方向の取り付は位置が少し
ずれると、その導体部分の長さしがnλ/4の長さ領域
に入る震れがあり、この場合には紙葉状体1の厚み検出
の信転性が失われるという問題が生じる。この点、この
第2の実施例のように検出電極を第1の電極20aと第
2の電極20bとにより分割し、画電極20a、20b
をばねの復元力を利用して導通接続させる構成とすれば
、検出電極200回路基板12に対する取り付は位置の
ずれの問題を解消することができるとともに、シールド
ケース13の国体10への収容作業を容易化することが
できる。この第2の実施例では、本体側の収容凹部11
にシールドケース13を収容した後、国体の蓋側か被せ
られ、本体側と蓋側とがねじ止め等により一体に結合さ
れることになる。
なお、国体10は半割り状に構成するほかに、様々な形
態に構成できるものであり、例えば、第8図に示すよう
に、国体10を本体側と蓋側とに分割せずに一体的に形
成し、その内部の収容凹部11に上側から矢印方向にシ
ールドケース13を挿入し、シールドケース13の上端
面が係止突起26を乗り越えて挿入されたときにシール
ドケース13の下端面が係止段部24に係止し、国体1
0側の第2の電極20bと回路基板12側の第1の電極
20aとがばねの復元力により導通接続されるように構
成することもできる。また、このとき、係止突起26を
省略し、例えば国体10の上端側からねじをシールドケ
ース13の上端側に当接し、このねじを螺合進出させて
シールドケース13を係止段部24に押し当て、シール
ドケース13を国体10に位置決めするようにしてもよ
く、あるいは、第1の電極20aと第2の電極20bと
を圧接接続した状態でシールドケース13を金型内に収
容し、この状態で金型に合成樹脂を注入してシールドケ
ース13を国体10と一体成形により形成することがで
きる。
また、前記第9図では、第1の電極20a側をばね体に
より構成したが、例えば、第10図に示すように、第2
の電極20bをばね体(図では板ばね状)に形成し、こ
の第2の電極20bの弾性復元力により第1の電極20
aと第2の電極20bとを圧接状態で導通接続するよう
にしてもよい、また、場合によっては、スプリング部分
がコイルとして働き浮遊容量を除去する。
第11図には検出電極20を第1の実施例のように分割
しないで構成した場合と、第2の実施例のように第1の
電極20aと第2の電極20bとに分割構成した場合の
それぞれの等価回路が示されている。
検出電極20を分割しないで構成した場合には、第11
図(a)に示すように、その等価回路は、検出電極20
の抵抗REと、被検出体、つまり、この実施例では紙葉
状体1の厚みに依存する容量c6と、検出電極20の回
路基板12に対する上下方向の取り付は精度に起因する
容量CL、との直列回路となる。
これに対し、検出電極20を分割したときには、第11
図(b)に示すように、第1の電極20aの抵抗R□と
、第1の電極20aと第2の電極20bとの接触部分に
おける接触抵抗Reおよびその接触部分における容量C
3との並列回路と、第2の電極20bの抵抗R1と、被
検出体の容量C4との直列回路となる。
このとき、Rc < < Rt + + Rt t 、
  Ca > > Ceであるので、近似的に第11図
(a)と同図Cb)の等価回路はほぼ等しくなり、被検
出体、つまり紙葉状体1の容量変化に対し、検出電極2
0を分割した場合も分割しない場合と同等の信号レベル
を得ることができる。したがって、検出電極20を分割
形成することにより、その分、検出電極の回路基板への
取り付けの困難性を回避することができ、シールドケー
スI3の国体10への組み込みも容易となり、センサ本
体部8の組み立て作業の効率化を図ることができる。
第12図には本発明に係る静電検出装置のセンサ本体部
における第3の実施例が示されている。この第3の実施
例は、前記第2の実施例と同様に検出電極20を第1の
電極20aと第2の電極20bにより分割形成し、第1
の電極20aの基端側は回路基板12側に接続固定し、
第2の電極20bは国体10の電極挿入孔21内に固定
し、第1の電極20aと第2の電極20bとの突き合わ
せ端面を鍔状に張り出して平面積を大きくし、この第1
の電極20aと第2の電極20bとの大径平面を一定の
間隙27を介して対向させ、第1の電極20aと第2の
電極20bとを静電的に接続したものである。
一般に、検出電極20を分割しないで構成した場合には
、この検出電極20を回路基板12に接続固定する場合
に、治具等を用いて組み込みを行っても、軸方向(図の
上下方向)の精度は5/1100=115程度しか期待
できず、この組み付は誤差により前述した如く、電極の
検出先端面からセラミック共振器15に至る導体部分の
長さしが変化して(nλ/4の領域に入って)共振周波
数の信転性が得られなくなるという虞れが生じる。これ
に対し、この第3の実施例では、前記間隙27の空間幅
L1をLh≧eA+e、+e、+e、のように大きく形
成している。ここに、eAは第1の電極20aの軸方向
の組み立て誤差、e、は第2の電極20bの軸方向の組
み立て誤差、e、は第1の電極20aの製造時の寸法公
差、C2は第2の電極の製造時の寸法公差である。
このように、間隙27を各種の組み立て誤差の和以上の
大きさに形成することにより、電極20a。
20bの組み込みが非常に容易になる。しかも、このと
きの電極部分の等価回路は第13図のように表される。
この等価回路でRtI、Rt□、c、は前記第11図に
示す等価回路の場合と同様であり、cL□は間隙27部
分の容量である。この等価回路を前記第11図(a)の
等価回路(検出電極を分割しないときの等価回路)と比
べると、C4≧CLIとなるが、C4≧CLIであり、
CL!!=iCLlと見なせるので、この第3の実施例
の等価回路はほぼ電極を分割しない第11図(a)の等
価回路と等しくなり、検出電極を第1の電極20aと第
2の電極20bとに分割しても検出電極20を分割しな
い場合と同等の検出能力を得ることができ、検出電極を
分割した分だけ検出電極の組み込み作業の容易化を達成
できるという効果が得られる。
なお、本発明は上記各実施例に限定されることはなく、
様々な実施の態様を採り得る0例えば、上記各実施例で
はステージ2をグランド電位面23として構成している
が、このグランド電位面23は検出電極20から発せら
れる電気力線が紙葉状体1の通過経路を横切るような位
置に設ければよく、必ずしもステージ2をグランド電位
面として構成しなければならないということはない。
〔発明の効果〕
本発明は、静電センサ回路を覆っているシールドケース
から突出させて検出電極を設けているから、例えば、通
過経路に沿って紙葉状体が搬送されて来たとき、その紙
葉状体が検出電極が形成する電界を横切ることにより、
その紙葉状体の厚みによる誘電率の変化を静電容量の変
化として検出電極により検出することができる0本発明
ではこの静電容量の変化を同調回路の同調点の変化を利
用して検出しているので、I Xl0−’PF程度の超
高感度のもとで紙葉状体の厚み検出を行うことが可能と
なる。
また、本発明は前記の如く、検出電極とグランド電位面
間に電界を発生させ、被検出体がその電界を横切ること
により紙葉状体の厚み検出を行う構成であるから、その
厚み検出を従来のようにポテンショメータを使用する場
合のローラの組み付けの困難性や、ローラの紙葉状体に
乗り上げる際の反動によるオーバーシュー出力の発生と
いう不都合も生じることがない、また、紙葉状体の厚み
検出を紙葉状体と非接触状態で検出できるので、その厚
み検出に際し、紙葉状体の搬送系に大きな負荷の負担を
かけるということもない、その上、グランド電位面は静
電センサ回路に接続されることがなく、静電センサ回路
に接続されるのは検出電極のみであるので、装置製造が
容易となるばかりでなく、その取り扱いも非常に容易で
ある。
さらに、本発明の装置は、従来のポテンショメータに比
べ装置が薄型に形成できるので、検出電極を紙葉状体の
幅方向に高密度で実装することが可能となり、紙葉状体
の幅方向の厚み変動をきめ細かく検出することができる
さらに、本発明の装置を構成する検出電極を二分割によ
り構成し、その一方の電極を静電センサ回路の回路基板
側に取り付け、他方側の電極を匡体側に取り、/付け、
その第1の電極と第2の電極とをばね圧により加圧接続
したり、あるいは一定の間隙を介して静電的に接続する
構成にあっては、装置の組み込み作業が非常に容易化さ
れ、装置製造の効率化と装置コストの低減化を図ること
が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る静電検出装置の一実施例を示す斜
視図、第2図(a)は同装置のセンサ本体部の縦断正面
図、第2図(b)は同センサ本体部の縦断側面図、第2
図(C)は同センサ本体部の底面図、第3図は同実施例
における静電センサ回路の一例を示す回路図、第4図は
同実施例を構成する検出電極の各種形態例を示す説明図
、第5図は同実施例の装置による紙葉状体の厚み検出例
を示す説明図、第6図は紙葉状体の厚み検出結果を静電
センサ回路の出力波形で示す説明図、第7図は本発明に
係る静電検出装置の第2の実施例の要部を国体の断面状
態で示す正面図、第8図はシールドケースと国体との他
の組み込み例を示す説明図、第9図は前記第2の実施例
における検出電極の各種分割接続例の説明図、第10図
は検出電極の他の分割接続例を示す説明図、第11図は
第2の実施例の検出電極の等価回路を検出電極を分割し
ない状態の等価回路との比較で示す回路図、第12図は
本発明に係る静電検出装置の第3の実施例の要部を国体
の断面状態で示す正面図、第13図は第3の実施例にお
ける検出電極の等価回路を示す回路図、第14図はポテ
ンショメータを用いた従来の厚み検出装置を示す斜視図
、第15図は従来装置による紙葉状体の厚み検出波形の
説明図である。 1・・・紙葉状体、2・・・ステージ、3・・・ポテン
ショメータ、4・・・回転軸、5・・・アーム、6・・
・ローラ、7・・・ばね、8・・・センサ本体部、9・
・・間隙、10・・・国体、10a・・・底面(基準面
)、11・・・収容凹部、12・・・回路基板、13・
・・シールドケース、14・・・発振回路、15・・・
セラミック共振器、16・・・検波回路、17・・・増
幅回路、18・・・AFC回路、19・・・セラミック
共振器、20・・・検出電極、20a・・・第1の電極
、20b・・・第2の電極、21・・・電極挿入孔、2
2・・・取り付は穴、23・・・グランド電位面、24
・・・係止段部、25・・・押え爪、26・・・係止突
起、27・・・間隙。 出願人  株式会社 打出製作所 代理人  弁理士  五十嵐 清 第 1 図 第4図 (a) (C) (a) (+)) (d) (e) (チ) (h) (j) 箒 閉 羊 図 第 図 系 図 第 図 (連) (I)) ヶ哄 第 ゾ 図 (cL) (C) 第 図 第 又 一一一一一て

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)発振回路と、この発振回路とは別個独立の共振器
    を含み外部静電容量の変化に対応して同調点を変化させ
    、その同調点の変化に対応する検出信号を出力する同調
    回路とを有する静電センサ回路が当該静電センサ回路の
    グランド電位に接続されたシールドケースによって覆わ
    れており、前記同調回路の共振器には検出電極が接続さ
    れるとともに、この検出電極の検出先端部は前記シール
    ドケースの外に向けて突出されており、前記検出電極が
    形成する電界中を被検出体が通過する如く構成されてい
    る静電検出装置。
  2. (2)静電センサ回路を覆っているシールドケースは匡
    体内に収容されており、検出電極は第1の電極と第2の
    電極に分割され、第1の電極は静電センサ回路の回路基
    板に固定され、第2の電極は匡体側に固定されるととも
    に、前記第1の電極と第2の電極の一方はばね体によっ
    て構成され、このばね体の弾性復元力によって第1の電
    極と第2の電極が圧接接続されている特許請求の範囲第
    1項の静電検出装置。
  3. (3)静電センサ回路を覆っているシールドケースは匡
    体内に収容されており、検出電極は第1の電極と第2の
    電極に分割され、第1の電極は静電センサ回路の回路基
    板に固定され、第2の電極は匡体側に固定されるととも
    に、前記第1の電極と第2の電極は微小間隙を介して静
    電的に対向接続されている特許請求の範囲第1項の静電
    検出装置。(4)検出電極先端部と対向してステージが
    設けられ該ステージはグランド電位面に形成されてなる
    特許請求の範囲第1項の静電検出装置。
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