JPH04102036A - 圧力センサの製造方法 - Google Patents
圧力センサの製造方法Info
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- JPH04102036A JPH04102036A JP22067690A JP22067690A JPH04102036A JP H04102036 A JPH04102036 A JP H04102036A JP 22067690 A JP22067690 A JP 22067690A JP 22067690 A JP22067690 A JP 22067690A JP H04102036 A JPH04102036 A JP H04102036A
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- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 48
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 48
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- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 10
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- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 5
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧力センサの製造方法、特にシールドケース内
に圧力センサユニットを収納し、該シールドケース外周
を樹脂モールドケースで覆い、該樹脂モールドケースに
圧力センサユニットの圧力導入パイプに連通ずる圧力導
入穴を形成した構造の圧力センサの製造方法に関するも
のである。
に圧力センサユニットを収納し、該シールドケース外周
を樹脂モールドケースで覆い、該樹脂モールドケースに
圧力センサユニットの圧力導入パイプに連通ずる圧力導
入穴を形成した構造の圧力センサの製造方法に関するも
のである。
従来この種の技術としては特開昭６２−２６６４２９号
公報に開示されたものがあった。第４図は従来の圧力セ
ンサの構造を示す断面図である。
公報に開示されたものがあった。第４図は従来の圧力セ
ンサの構造を示す断面図である。
図示するように、メタルケース３４内に圧力センサユニ
ット３１が収容され、該メタルケース３４の外周を樹脂
ケース３５で覆った構造である。樹脂ケース３５には圧
力センサユニット３１の圧力導入パイプ３１ａに連通す
る圧力導入穴３５ａが形成されている。圧力センサユニ
ット３１の圧力導入パイプ３１ａと樹脂モールド３５の
間からの圧力漏れを防ぐためにＯリング３６を設けてい
る。このＯリング３６はジルコンゲル３９を樹脂モール
ド３５内に注入する際、圧力導入穴３５ａにジルコンゲ
ル３９が流れ込むのを防止する役目も果たしている。な
お、第４図において、３２はハイブリットＩＣ，３３は
フレキシブルプリント板、３５ｂはコネクタ部、３７は
０リング押さえ部材、３８は貫通コンデンサ、４０はタ
ーミナルビンである。
ット３１が収容され、該メタルケース３４の外周を樹脂
ケース３５で覆った構造である。樹脂ケース３５には圧
力センサユニット３１の圧力導入パイプ３１ａに連通す
る圧力導入穴３５ａが形成されている。圧力センサユニ
ット３１の圧力導入パイプ３１ａと樹脂モールド３５の
間からの圧力漏れを防ぐためにＯリング３６を設けてい
る。このＯリング３６はジルコンゲル３９を樹脂モール
ド３５内に注入する際、圧力導入穴３５ａにジルコンゲ
ル３９が流れ込むのを防止する役目も果たしている。な
お、第４図において、３２はハイブリットＩＣ，３３は
フレキシブルプリント板、３５ｂはコネクタ部、３７は
０リング押さえ部材、３８は貫通コンデンサ、４０はタ
ーミナルビンである。
しかしながら上記構成の圧力センサにおいては、Ｏリン
グ３６等の部品を必要とし部品点数及び組立工数が多く
なり製造コストが高くなるという問題があった。また、
０リング３６等の柔らかい部品を狭いところに挿入しな
ければならないことから、自動化が困難でどうしても人
手に頼らざるをえないという問題もあった。
グ３６等の部品を必要とし部品点数及び組立工数が多く
なり製造コストが高くなるという問題があった。また、
０リング３６等の柔らかい部品を狭いところに挿入しな
ければならないことから、自動化が困難でどうしても人
手に頼らざるをえないという問題もあった。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、上記問題点
を除去し、部品点数及び組立工数が少なく人手に頼るこ
とがなく自動化が容易な圧力センサの製造方法を提供す
ることにある。
を除去し、部品点数及び組立工数が少なく人手に頼るこ
とがなく自動化が容易な圧力センサの製造方法を提供す
ることにある。
上記課題を解決するため本発明は、第１図及び第２図に
示すような、シールドケース（６）内に圧力センサユニ
ット（１）を収納し、該シールドケース（６）の外周を
樹脂ケース（３）で覆うと共に、該樹脂ケース（３）に
圧力センサユニット（１）の圧力導入パイプ（１ａ）に
連通する圧力導入穴（３ａ）を形成した構造の圧力セン
サの製造方法において、シールドケース（６）内に収容
された圧力センサユニット（１）の圧力導入パイプ（１
ａ）の先端部に該先端部内周に形成した雌ネジ溝に螺合
する雄ネジが形成されたネジ棒（２）の先端部を螺合き
せ、しかる後シールドケース（６）の外周に樹脂モール
ドケース（３）を形成し、該樹脂モールドケース（３）
が固まった後、ネジ棒（２）を前記圧力導入パイプ（１
ａ）の先端部及び該樹脂モールドケース（３）から抜き
取って、該樹脂モールドケースに圧力導入パイプに連通
ずる圧力導入穴（５ａ）を形成することを特徴とする。
示すような、シールドケース（６）内に圧力センサユニ
ット（１）を収納し、該シールドケース（６）の外周を
樹脂ケース（３）で覆うと共に、該樹脂ケース（３）に
圧力センサユニット（１）の圧力導入パイプ（１ａ）に
連通する圧力導入穴（３ａ）を形成した構造の圧力セン
サの製造方法において、シールドケース（６）内に収容
された圧力センサユニット（１）の圧力導入パイプ（１
ａ）の先端部に該先端部内周に形成した雌ネジ溝に螺合
する雄ネジが形成されたネジ棒（２）の先端部を螺合き
せ、しかる後シールドケース（６）の外周に樹脂モール
ドケース（３）を形成し、該樹脂モールドケース（３）
が固まった後、ネジ棒（２）を前記圧力導入パイプ（１
ａ）の先端部及び該樹脂モールドケース（３）から抜き
取って、該樹脂モールドケースに圧力導入パイプに連通
ずる圧力導入穴（５ａ）を形成することを特徴とする。
上記の如く本発明の圧力センサの製造方法は、圧力セン
サユニット（１）の圧力導入パイプ（１ａ）の先端部に
ネジ棒（２）の先端部を螺合させ、しかる後シールドケ
ース（６）の外周に樹脂モールドケース（５）を形成し
、該樹脂モールドケース（５）が固まった後、ネジ棒（
２）を抜き取って、該樹脂モールドケースに圧力導入パ
イプに連通ずる圧力導入穴を形成するので、樹脂モール
ドケース（５）を形成するときの液状樹脂材の射出圧力
により、圧力センサユニット（１）の圧力導入パイプ（
１ａ）内へこの樹脂が侵入するのを防ぐことができ、従
来のようにＯリングを用いることなく、防水構造及び圧
力導入部からの圧力漏れのない圧力センサの製造が可能
となる。
サユニット（１）の圧力導入パイプ（１ａ）の先端部に
ネジ棒（２）の先端部を螺合させ、しかる後シールドケ
ース（６）の外周に樹脂モールドケース（５）を形成し
、該樹脂モールドケース（５）が固まった後、ネジ棒（
２）を抜き取って、該樹脂モールドケースに圧力導入パ
イプに連通ずる圧力導入穴を形成するので、樹脂モール
ドケース（５）を形成するときの液状樹脂材の射出圧力
により、圧力センサユニット（１）の圧力導入パイプ（
１ａ）内へこの樹脂が侵入するのを防ぐことができ、従
来のようにＯリングを用いることなく、防水構造及び圧
力導入部からの圧力漏れのない圧力センサの製造が可能
となる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の製造方法で製造された圧力センサの構
造を示す断面図である。図示するように、圧力センサは
シールドケース６内に圧力センサユニット１を収納し、
該シールドケース６の外周を樹脂ケース３で覆うと共に
、該樹脂ケース３に圧力センサユニット１の圧力導入パ
イプ１ａに連通ずる圧力導入穴３ａを形成した構造の圧
力センサである。また、シールドケース６内には緩衝と
防水を兼ねたシリコンゲル８が充填きれている。なお、
第１図において、７はプリント基板、４はターミナルビ
ン、５は貫通コンデンサ、３ｂはコネクタ部である。
造を示す断面図である。図示するように、圧力センサは
シールドケース６内に圧力センサユニット１を収納し、
該シールドケース６の外周を樹脂ケース３で覆うと共に
、該樹脂ケース３に圧力センサユニット１の圧力導入パ
イプ１ａに連通ずる圧力導入穴３ａを形成した構造の圧
力センサである。また、シールドケース６内には緩衝と
防水を兼ねたシリコンゲル８が充填きれている。なお、
第１図において、７はプリント基板、４はターミナルビ
ン、５は貫通コンデンサ、３ｂはコネクタ部である。
上記構造の圧力センサを製造するには、先ずプリント基
板７に実装された圧力センサユニット１をシールドケー
ス６内に収容配置すると共に、シールドケース６の空隙
部分にシリコンゲル８を充填する。次に、圧力センサユ
ニット１の圧力導入パイプ１ａの先端部にネジ棒２の先
端を螺合させ、続いてシールドケース６の外周に所定の
間隙１０を設けて型枠１１を配置する。この間隙１゜は
そこに液状の樹脂材を注入し、樹脂ケース３、コネクタ
部３ｂ及び圧力導入部３ｃを形成するためのものである
から、これらの形状寸法に合致した間隙である。
板７に実装された圧力センサユニット１をシールドケー
ス６内に収容配置すると共に、シールドケース６の空隙
部分にシリコンゲル８を充填する。次に、圧力センサユ
ニット１の圧力導入パイプ１ａの先端部にネジ棒２の先
端を螺合させ、続いてシールドケース６の外周に所定の
間隙１０を設けて型枠１１を配置する。この間隙１゜は
そこに液状の樹脂材を注入し、樹脂ケース３、コネクタ
部３ｂ及び圧力導入部３ｃを形成するためのものである
から、これらの形状寸法に合致した間隙である。
第３図は第２図のＡ部分の拡大図である。図示するよう
に圧力導入パイプ１ａの先端部内周面にはテーパー状に
雌ネジ１ｂが形成されている。また、ネジ棒２の先端部
には該雌ネジ１ｂに螺合するようにテーパー状の雄ネジ
２ａが形成されている。また、ネジ棒２の外周部にはネ
ジ溝２ｂが形成されている。従って、圧力導入パイプ１
ａの先端部の雌ネジ１ｂにネジ棒２の先端の雄ネジ２ａ
を螺合させることにより、ネジ棒２の先端は圧力導入パ
イプ１ａの先端部に挿入される。この場合圧力導入パイ
プ１ａの先端の雌ネジ１ｂとネジ棒２の先端の雄ネジ２
ａは互いにテーパー状であるから、ネジ棒２を所定のト
ルクで締め付けることにより、このトルクに応じてネジ
出値に均等の力が加わる。
に圧力導入パイプ１ａの先端部内周面にはテーパー状に
雌ネジ１ｂが形成されている。また、ネジ棒２の先端部
には該雌ネジ１ｂに螺合するようにテーパー状の雄ネジ
２ａが形成されている。また、ネジ棒２の外周部にはネ
ジ溝２ｂが形成されている。従って、圧力導入パイプ１
ａの先端部の雌ネジ１ｂにネジ棒２の先端の雄ネジ２ａ
を螺合させることにより、ネジ棒２の先端は圧力導入パ
イプ１ａの先端部に挿入される。この場合圧力導入パイ
プ１ａの先端の雌ネジ１ｂとネジ棒２の先端の雄ネジ２
ａは互いにテーパー状であるから、ネジ棒２を所定のト
ルクで締め付けることにより、このトルクに応じてネジ
出値に均等の力が加わる。
この状態で間隙１０に液状の樹脂材を充填し、該樹脂材
が固まった状態で、型枠１１を外し、更にネジ棒２を締
め付は方向とは反対方向に回転することにより、ネジ棒
２を樹脂ケース３から抜き出す。これにより、ネジ棒２
のあった部分が内周にネジ溝が形成された圧力導入穴３
ａとなる。
が固まった状態で、型枠１１を外し、更にネジ棒２を締
め付は方向とは反対方向に回転することにより、ネジ棒
２を樹脂ケース３から抜き出す。これにより、ネジ棒２
のあった部分が内周にネジ溝が形成された圧力導入穴３
ａとなる。
上記ネジ棒２を圧力導入パイプ１ａの先端に挿入するた
めの締め付はトルクは樹脂材を間隙１０に注入する際、
該樹脂材が圧力導入パイプ１ａの内部に侵入しない程度
のトルクで締め付ける。
めの締め付はトルクは樹脂材を間隙１０に注入する際、
該樹脂材が圧力導入パイプ１ａの内部に侵入しない程度
のトルクで締め付ける。
なお、上記実施例における製造順序は一例であり、本発
明はこれに限定されるものではない０例えば、上記実施
例では、シリコンゲル８をシールドケース６内に充填し
た後、圧力導入パイプ１ａの先端にネジ棒２の先端を螺
合させているが、圧力導入パイプ１ａの先端にネジ棒２
の先端を螺合させてから、シールドケース６内にシリコ
ンゲル８を充填させてもよいことは当然である。要はシ
ールドケース６内に収容された圧力センサユニット１の
圧力導入パイプ１ａの先端部にネジ棒２の先端を螺合さ
せ、しかる後シールドケース６の外周に樹脂ケース３を
形成し、該樹脂ケース３が固まった後、ネジ棒２を圧力
導入パイプ１ａの先端部及び樹脂ケース３から抜き取っ
て、樹脂ケース３に圧力導入パイプ１ａに連通ずる圧力
導入穴３ａを形成するのであれば、その他の製造工程の
順序はどのようなものであってもよい。
明はこれに限定されるものではない０例えば、上記実施
例では、シリコンゲル８をシールドケース６内に充填し
た後、圧力導入パイプ１ａの先端にネジ棒２の先端を螺
合させているが、圧力導入パイプ１ａの先端にネジ棒２
の先端を螺合させてから、シールドケース６内にシリコ
ンゲル８を充填させてもよいことは当然である。要はシ
ールドケース６内に収容された圧力センサユニット１の
圧力導入パイプ１ａの先端部にネジ棒２の先端を螺合さ
せ、しかる後シールドケース６の外周に樹脂ケース３を
形成し、該樹脂ケース３が固まった後、ネジ棒２を圧力
導入パイプ１ａの先端部及び樹脂ケース３から抜き取っ
て、樹脂ケース３に圧力導入パイプ１ａに連通ずる圧力
導入穴３ａを形成するのであれば、その他の製造工程の
順序はどのようなものであってもよい。
以上説明したように、本発明の圧力センサの製造方法に
よれは、下記のような優れた効果が得られる。
よれは、下記のような優れた効果が得られる。
（１〉圧力センサユニットの圧力導入パイプにネジ棒の
先端を締め付けることにより、樹脂材を注入して樹脂ケ
ースを作る際、圧力導入パイプ内への樹脂の侵入を防ぎ
樹脂ケースをつくるので、従来のようにＯリング等の部
品を用いずに防水構造及び圧力漏れの無い圧力導入部を
形成でき、部品数及び組立工数を減少させることができ
る。
先端を締め付けることにより、樹脂材を注入して樹脂ケ
ースを作る際、圧力導入パイプ内への樹脂の侵入を防ぎ
樹脂ケースをつくるので、従来のようにＯリング等の部
品を用いずに防水構造及び圧力漏れの無い圧力導入部を
形成でき、部品数及び組立工数を減少させることができ
る。
（２）また、従来のようにＯリングを挿入したり、予め
作っている樹脂ケースにシールドケースを挿入したりす
る手間が省略できる。
作っている樹脂ケースにシールドケースを挿入したりす
る手間が省略できる。
第１図は本発明の製造方法で製造された圧力センサの構
造を示す断面図、第２図は本発明の詳細な説明するため
の断面図、第３図は第２図のＡ部分の拡大図、第４図は
従来の圧力センサの構造を示す断面図である。 図中、１・・・・圧力センサユニット、２・・・ネジ棒
、３・・・・樹脂ケース、４・・・ターミナルピン、５
・・・貫通コンデンサ、６・・・ シールドケース、７
・・・・プリント基板、８・・・・シリコンゲル、１゜
・・・・間隙、１１・・・・型枠。 特許出願人 沖電気工業株式会社
造を示す断面図、第２図は本発明の詳細な説明するため
の断面図、第３図は第２図のＡ部分の拡大図、第４図は
従来の圧力センサの構造を示す断面図である。 図中、１・・・・圧力センサユニット、２・・・ネジ棒
、３・・・・樹脂ケース、４・・・ターミナルピン、５
・・・貫通コンデンサ、６・・・ シールドケース、７
・・・・プリント基板、８・・・・シリコンゲル、１゜
・・・・間隙、１１・・・・型枠。 特許出願人 沖電気工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 シールドケース内に圧力センサユニットを収納し、該
シールドケース外周を樹脂ケースで覆うと共に、該樹脂
ケースに前記圧力センサユニットの圧力導入パイプに連
通する圧力導入穴を形成した構造の圧力センサの製造方
法において、 前記シールドケース内に収容された圧力センサユニット
の圧力導入パイプの先端部に該先端部内周に形成した雌
ネジ溝に螺合する雄ネジが形成されたネジ棒の先端部を
螺合させ、しかる後前記シールドケースの外周に樹脂モ
ールドケースを形成し、該樹脂モールドケースが固まっ
た後、ネジ棒を前記圧力導入パイプの先端部及び該樹脂
モールドケースから抜き取って、該樹脂モールドケース
に前記圧力導入パイプに連通する圧力導入穴を形成する
ことを特徴とする圧力センサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22067690A JP2779978B2 (ja) | 1990-08-22 | 1990-08-22 | 圧力センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22067690A JP2779978B2 (ja) | 1990-08-22 | 1990-08-22 | 圧力センサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04102036A true JPH04102036A (ja) | 1992-04-03 |
| JP2779978B2 JP2779978B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=16754721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22067690A Expired - Lifetime JP2779978B2 (ja) | 1990-08-22 | 1990-08-22 | 圧力センサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2779978B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2707002A1 (en) * | 1993-06-21 | 1994-12-30 | Jaeger | Improved screened electrical sensor |
| US5616521A (en) * | 1995-04-07 | 1997-04-01 | Sensym, Incorporated | Side port package for micromachined fluid sensor |
| US5877424A (en) * | 1995-12-22 | 1999-03-02 | Hegner; Frank | Capacitive pressure measuring arrangement having protection against interference signals |
| JP2007263677A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Yamaha Corp | 半導体装置 |
| KR100777758B1 (ko) * | 2001-03-29 | 2007-11-19 | 혼다 기켄 고교 가부시키가이샤 | 압력센서를 내장한 제어장치 |
| JP2012242351A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Yokogawa Electric Corp | 差圧・圧力測定装置 |
| CN119260803A (zh) * | 2024-09-25 | 2025-01-07 | 苏州辰瓴信息技术有限公司 | 力矩传感器及应用该力扭矩传感器的机械臂 |
-
1990
- 1990-08-22 JP JP22067690A patent/JP2779978B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2707002A1 (en) * | 1993-06-21 | 1994-12-30 | Jaeger | Improved screened electrical sensor |
| US5616521A (en) * | 1995-04-07 | 1997-04-01 | Sensym, Incorporated | Side port package for micromachined fluid sensor |
| US5691480A (en) * | 1995-04-07 | 1997-11-25 | Sensym, Incorporated | Sensor package with exterior compensation circuit |
| US5877424A (en) * | 1995-12-22 | 1999-03-02 | Hegner; Frank | Capacitive pressure measuring arrangement having protection against interference signals |
| KR100777758B1 (ko) * | 2001-03-29 | 2007-11-19 | 혼다 기켄 고교 가부시키가이샤 | 압력센서를 내장한 제어장치 |
| JP2007263677A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Yamaha Corp | 半導体装置 |
| JP2012242351A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Yokogawa Electric Corp | 差圧・圧力測定装置 |
| CN119260803A (zh) * | 2024-09-25 | 2025-01-07 | 苏州辰瓴信息技术有限公司 | 力矩传感器及应用该力扭矩传感器的机械臂 |
| CN119260803B (zh) * | 2024-09-25 | 2025-04-22 | 苏州辰瓴信息技术有限公司 | 应用力矩传感器的机械臂 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2779978B2 (ja) | 1998-07-23 |
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