JPH04103458A - 磁気浮上走行装置の移行装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、被搬送体を走行するレールと無接触で水平
方向に搬送する磁気浮上走行装置の移行装置に関する。

〔従来の技術］ 半導体製造工場等高度な清浄環境が要求される工場では
、部品等を搬送する搬送装置からの発塵を極力抑制する
ため、地上側に設けた走行レールと磁力で浮上走行する
搬送車から成る磁気浮上走行装置が用いられている。

走行レールには２つの一次コイルが互いに一定の隙間を
置いて並列にかつ搬送方向に所定のピンチで設けられ、
又搬送車を浮上させるための浮上用レールと搬送車を水
平及び垂直方向に案内するガイドレールが設けられてい
る。

搬送車は、複数組設けられた磁気浮上用コイルが前記浮
上用レールに作用して浮上し、かつ前記隙間を通過する
リアクションプレートを設けてこのプレートとの間の電
磁力により推進力が与えられる。

か＼る磁気浮上走行装置は、その走行経路途中で上下方
向に接近して２段に重なるレール間で被搬送体を移行さ
せる必要が生じる場合があり、従来このような位置に上
下方向の移行装置が設けられている。

そして、この上下方向の移行装置は、走行レールを所定
長さに切断してこの走行レールを支持ア−ムで支持し、
支持アームを垂直な支柱に沿って駆動装置により上下動
させるように構成されている。

［発明が解決しようとする課Ｂ］ ところで、上述した従来の磁気浮上走行装置は被搬送物
を搬送車の下方に吊り下げる方式を採用しており、被搬
送物は装着の便のためばね弐の係止具で係止されている
。このため被搬送物は何らかの原因で強く振られたりす
ると、係止具が外れて落下することがある。

しかしながら、このような事故がたまたま生じるとして
も、被搬送物の中には数千万円もの高価なものがあり、
落下事故は絶対に発生しないようにするのが望ましい。

又、従来搬送車自体は走行レールから落下しないように
するため、走行レールにガイドレールが組込まれ、搬送
車に取り付けられたガイドローラを案内するように構成
されている。

しかし、このようなガイドレールは走行レールの構造を
複雑にするだけでなく、万一搬送車に事故が生したとき
に搬送車を走行レールから取り外すためにガイドレール
を特定の位置で取り外しできるようにするか又はガイド
ローラを着脱自在として修理点検できるような対策を講
しておく必要がある。従って、このようなガイドル−ル
を設ける必要のない構造の走行レールを採用するのが望
ましい。

そして、上述した種々の問題点は移行装置を形成する際
もそのま一当てはまる。

この発明は、上述した従来の磁気浮上走行装置の移行装
置の現状に鑑みてなされものであり、その目的は万一の
事故の際、被搬送体から落下せずかつ修理点検が容品な
形成の走行装置に適合し、安全確実に搬送車を他殺走行
レールに移行し得る移行装置を提供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するたの手段としてこの発明では、搬送
車に設けた水平なリアクションプレートに作用して推進
力を与える一次コイル及び搬送車に設けた磁気浮上用コ
イルが作用して浮上刃を与えるレールを備えた所定長さ
の走行レールと、これを支持レバーで吊り下げる支持部
と、この支持部を垂直方向に案内するガイド用支柱と、
前記支持部をガイド用支柱に沿って移動させる駆動装置
とから成る磁気浮上走行装置の移行装置の構成を採用し
たのである。

［作用］ 被搬送体を搬送するための搬送車は、通常の走行レール
に対して所定間隔で設けられた一次コイルに搬送車に設
けられているリアクションプレートが作用し、電磁力に
よる推進力を与えられて搬送される。垂直方向の支持は
搬送車に別途設けられた磁気−浮上用コイルが、通常の
走行レールに設けられている同周レールに作用して搬送
車が浮上した状態で支持され、走行中宮に前記磁気浮上
用コイルとレール間には所定間隙を保持するように制御
される。

通常の走行レールを走行して搬送車が上記構成の移行装
置の所定長さの走行レールに進入し、その所定位置にく
ると一次コイルへの駆動電流を逆転させ、慣性力と反対
方向の推力を与えてその位置に停止させる。

次に、駆動装置を作動させて搬送車と走行レールをガイ
ド用支柱に沿って下降させる。走行レールが下段の走行
レールと同じ高さにくると下降を停止させ、再び一次コ
イルを励磁して搬送車を送り出す。

［実施例〕 以下この発明の実施例について添付図を参照して説明す
る。

第１図に示すように、この実施例の移行装置は所定長さ
の走行レール１を備えている。走行レール１はＬ字状態
の支持レバー２′とその基部２″から成る支持部２によ
り支持されており、この支持部２はモータ３′とねじロ
ンド３″から成る駆動装置３によりガイド用支柱４に沿
って駆動される。

走行レール１は、第２図に示すように、その断面が下方
に開放状の桁フレームから成り、搬送車１０に取り付け
た二次導体であるリアクションブレート１１に作用して
推進力を与える一次コイル２１と、浮上用コイル１２の
作用で浮上刃（吸弓力）を与えるレール２２が設けられ
ている。断面は左右対称で、レール２２は左右側方に設
けられている。−次コイル２１には電源を供給する配線
がされている（図示省略）。

搬送車１０は、その上方に支持アーム１３を介して水平
に荷物台１４を支持し、その上に被搬送物りを載置して
走行する。従って、支持部２の支持レバー２′は被搬送
物りを通過させるに十分な長さを有する。

支持部２は、基部２″に対して支持レバー２′を水平に
取り付け、この基部２″に取付けた駆動部３により上下
方向に移動できるように構成されている。駆動部３は、
図示のように、上端が支持部２の基部２″に係合する長
尺のねじロッド３″をその下端に接続したモータ３′に
より駆動するように構成されている。

以上のように構成した移行装置の走行レール１に対して
、通常の走行レールＸＩから搬送車１０が搬送されてく
る。

この搬送車は、通常の走行レールＸ１に対して適宜間隔
でその長さ方向に沿って設けられている一次コイルに搬
送車のリアクションプレート１１が作用してその電磁力
により連続して送られてくる。

搬送車１０が第１図の走行レール１０手前まで走行して
くると、位置検出リミントスインチの作用により一次コ
イルで励磁極性を反転させて搬送車に逆推進力を与え走
行レール１の所定位置に停止させる。

次に、モータ３′を作動させて支持部２を下縫させ、走
行レール１が下段の走行レールχ２と同しレベルになる
まで移動させる。走行レール１が下段と同じレベルにな
ると、モータ３′を停止し、再び一次コイル２１を励磁
して搬送車を送り出す。

これによって搬送車の移行操作が終了する。

Ｃ効果〕 以上詳細に説明したように、この発明による移行装置は
被搬送物を搬送車の上方に懸垂して搬送する搬送装置の
形式に適合するように走行レールを形成し、この走行レ
ールを支持する支持レバーを駆動装置によりガイド用支
柱に沿って上下動させて搬送車を他殺の走行レールへ移
行させるようにしたから、安全確実に走行レールから走
行レールへと搬送車を移行させることができるという利
点が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による移行装置の実施例の外観斜視図
、第２図は走行レールを断面して見た走行装置の側面図
である。 １・・・・・・走行レール、　　２・・・・・・支持部
、２′・・・・・・支持レバー　　２″・・・・・・基
部、３・・・・・・駆動部、　　　　３′・・・・・・
モータ、３″・・・・・・ねじロッド、　４・・・・・
・ガイド用支柱、１０・・・・・・搬送車、 １１・・・・・・リアクションプレート、１２・・・・
・・浮上用コイル、２１・・・・・・−次コイル、２２
・・・・・・レール、　　　Ｘ、、Ｘ、・・・・・・走
行レール。 第２図 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）搬送車に設けた水平なリアクションプレートに作
   用して推進力を与える一次コイル及び搬送車に設けた磁
   気浮上用コイルが作用して浮上刃を与えるレールを備え
   た所定長さの走行レールと、これを支持レバーで吊り下
   げる支持部と、この支持部を垂直方向に案内するガイド
   用支柱と、前記支持部をガイド用支柱に沿って移動させ
   る駆動装置とから成る磁気浮上走行装置の移行装置。