JPH04103609U - 磁気浮上ステージ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ステータ側に有する電磁石及び磁気センサの取
付位置関係、ならびにステージの溝部により、電磁石と
磁気センサとがステージ内で磁気結合するのを防止す
る。 【構成】ステータ２には、電磁石３と磁気センサ４との
組を４組５ａ〜５ｄ設ける。組５ａと組５ｂならびに組
５ｃと組５ｄは、ステージ１の移動方向Ｘに対してそれ
ぞれ直列に配置する。各組５ａ〜５ｄの電磁石３及び磁
気センサ４はステージ１の移動方向Ｘに対してそれぞれ
並列に設置する。一方、ステージ１には溝部７，７を設
ける。溝部７，７は上記電磁石３と磁気センサ４との間
隙８が対向するステージ表面１ａ側に穿設し、かつステ
ージ１の移動方向Ｘに沿って磁気シールド効果を持つよ
うに設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、真空チャンバー内等に配設される磁気浮上ステージ装置に関し、 特にステージ内での磁気結合を防止したものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の磁気浮上ステージ装置は、例えば図３（ａ）（ｂ）に示すよう にステージ１に対向してステータ２が配設されており、そのステータ２には、ス テージ１を磁気浮上させる電磁石３とステージ１の浮上位置を検出する磁気セン サ４との組が４組５ａ〜５ｄ設けられているが、このような各組５ａ〜５ｄの電 磁石３と磁気センサ４とは、ステージ１の移動方向Ｘに対して直列にそれぞれ配 設されている。

【０００３】 なお、ステージ１の移動は、図示しないボイスコイルモータあるいはリニアパ ルスモータ等により行なっている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような従来の磁気浮上ステージ装置にあっては、上記の如 く電磁石３と磁気センサ４との両者を互いに至近距離に設けた場合、両者の磁気 結合がステータ２内及びステージ１内で生じることは避けられなかった。

【０００５】 しかして、電磁石３と磁気センサ４との間には、図４に示す如く磁気シールド ６等を構造上容易に配設できるので、これにより上記のようなステータ２内での 磁気結合を簡単に防止できるものの、ステージ１内での磁気結合を防止すること が難しく、その結果、磁気センサ４等が誤動作し、かつステージ１の位置決め精 度が低下する等の問題点があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】 この考案の目的とするところは、特にステージ内での磁気結合を防止した磁気 浮上ステージ装置を提供することにあり、上記目的を達成するためにこの考案は 、ステージと、このステージに対向して配設されるとともにステージを一定位置 に磁気浮上させる電磁石及びステージの浮上位置を検出する磁気センサが設けら れたステータと、上記ステージを一定方向へ移動させる移動手段とを具備する磁 気浮上ステージ装置において、 上記電磁石と磁気センサとをステージの移動方向に対して重ならないように並 列に配設し、かつその電磁石と磁気センサに対向するステージ表面側であって、 上記移動方向に沿った磁気シールド効果を持つライン部を設けたことを特徴とす る。

【０００７】

【作用】

この考案によれば、ステージの移動方向に対して並列に配設された電磁石と磁 気センサ間のステージ内での磁気結合が磁気シールド効果を持つライン部により 減少する。

【０００８】

【実施例】

以下、この考案に係る磁気浮上ステージ装置の一実施例について図１及び図２ を用いて詳細に説明する。

【０００９】 なお、従来と同一部材には同一符号を付す。

【００１０】 この磁気浮上ステージ装置は図１（ａ）（ｂ）に示す如く、ステージ１に対向 してステータ２が配設され、そのステータ２には、ステージ１を磁気浮上させる 電磁石３とステージ１の浮上位置を検出する磁気センサ４との組が４組５ａ〜５ ｄ設けられており、その組５ａと組５ｂ並びに組５ｃと組５ｄは、ステージ１の 移動方向Ｘに対してそれぞれ直列に設置されている一方、その各組５ａ〜５ｄ内 の電磁石３及び磁気センサ４は、ステージ１の移動方向Ｘに対してそれぞれ並列 に配設されている。

【００１１】 なお、ステージ１の移動は、従来と同様に図示しないボイスコイルモータある いはリニアパルスモータ等により行なうよう構成されている。

【００１２】 また、ステージ１にはライン部として溝部７，７が設けられており、これらの 溝部７，７は上記電磁石３と磁気センサ４との間隙８が対向するステージ表面１ ａ側に穿設され、かつステージ１の移動方向Ｘに沿って磁気シールド効果を持つ ようにそれぞれ設けられている。

【００１３】 更に、上記各組５ａ〜５ｄ内における電磁石３と磁気センサ４との間には、ス テータ２内においてその両者３，４の磁気結合を防止するシールド６が設けられ ている。

【００１４】 次に、上記の如く構成された磁気浮上ステージ装置の動作について図１及び図 ２を用いて説明する。

【００１５】 この装置によれば、磁気センサ４により検出されたステージ１の浮上位置を基 に、電磁石３が励磁され、ステージ１が磁気浮上する。この際、ステージ１内で は電磁石３と磁気センサ４との磁気結合が溝部７により防止される。一方、ステ ータ２内ではシールド８が電磁石３及び磁気センサ４の磁気結合を完全に防止す る。

【００１６】 したがって、上記実施例によれば各組内の電磁石と磁気センサとをステージの 移動方向に対して並列に配設し、かつ溝部７を設けることにより、電磁石と磁気 センサとが互い至近距離に配設された場合でも、ステージ内における電磁石と磁 気センサとの磁気結合が可及的に減少するので、磁気結合に起因する磁気センサ 等の誤動作がなくなり、かつステージの位置決め精度が向上する。

【００１７】

【考案の効果】 この考案に係る磁気浮上ステージ装置は、上記の如く電磁石と磁気センサとを ステージの移動方向に対して並列に配設し、かつその電磁石と磁気センサに対向 するテーブル表面側であって上記移動方向に沿って磁気シールド効果を持つライ ン部を設けたことにより、電磁石と磁気センサが互いに至近距離に配設された場 合でも、ステージ内における電磁石と磁気センサとの磁気結合が可及的に減少す るので、磁気結合に起因する磁気センサ等の誤動作がなくなり、かつステージの 位置決め精度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案に係る磁気浮上ステージ装置の正面図
及び側面図。

【図２】本装置における磁力線を説明する説明図。

【図３】従来の磁気浮上ステージ装置の正面図及び側面
図。

【図４】図３に示すＡ矢視拡大図。

【符号の説明】

１ ステージ ２ ステータ ３ 電磁石 ４ 磁気センサ ７ 溝部 ８ 間隙 Ｘ 移動方向

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ステージと、このステージに対向して配設
   されるとともにステージを一定位置に磁気浮上させる電
   磁石及びステージの浮上位置を検出する磁気センサが設
   けられたステータと、上記ステージを一定方向へ移動さ
   せる移動手段とを具備する磁気浮上ステージ装置におい
   て、上記電磁石と磁気センサとをステージの移動方向に
   対して重ならないように並列に配設し、かつその電磁石
   と磁気センサに対向するステージ表面側であって、上記
   移動方向に沿って磁気シールド効果を持つライン部を設
   けたことを特徴とする磁気浮上ステージ装置。