JPH04105665A

JPH04105665A - ボンベストッカー等の防災設備

Info

Publication number: JPH04105665A
Application number: JP22263590A
Authority: JP
Inventors: Masao Kaneko; 金子　政夫; Yoji Matsuzaki; 松崎　洋二
Original assignee: Nohmi Bosai Ltd
Current assignee: Nohmi Bosai Ltd
Priority date: 1990-08-27
Filing date: 1990-08-27
Publication date: 1992-04-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、ボンベストッカー等の防災設備に関し、詳
しくはシランガスや水素ガスの如く爆発等の危険性の大
きいガスが充填されたボンベを貯蔵しているボンベスト
ッカーや、かかるガスを処理し或いは使用する装置を設
置している建物（以下これらをボンベストッカー等と総
称する）の防災設備に関するものである。

（従来の技術）半導体製造工場や化学工場等においては、シランガスや
水素ガスの如く可燃性で爆発しやすい危険性を有するガ
スを種種、大量に使用し或いは処理しており、これらの
ガスは通常はボンベによって貯蔵されて他の一般設備か
ら区画され、また、ガスを処理し、使用する各種装置も
専用の建物に内蔵されて一般設備から区画されている。

これらのボンベストッカー等の防災設備としては従来、
例えばボンベストッカーの場合、ボンベからの漏洩ガス
を検知するためのガスセンサや、漏洩ガスをボンベスト
ッカー外、例えば工場外へ安全に廃棄するための排気管
と爆発対策としての圧力逃がし窓が設けられているだけ
である。

ところか漏洩ガスはボンベストッカー内で拡散せず：こ
例えばボンベの間などの成る個所に滞留する傾向があり
、空気よりも比重が重いガスでは特にこの傾向か著しい
。

この結果、かかる滞留個所でガス濃度が高まって爆発し
やすくなるとともに、ガスセンサの設置位置への漏洩ガ
スの到達が遅れてガス検知感度が低下し、ガス漏れへの
対応が遅れて事故が大きくなってしまうこともある。

（発明が解決しようとする課題）上記のように従来の防災設備では、漏洩ガスがボンベス
トッカー等の内部の成る個所に滞留してガス濃度が局部
的に高まって、全体としては微量のガス漏れにもかかわ
らず爆発してしまうことがあり、さらに、滞留によりガ
スセンサへの到着が遅れてガス漏れ検知とこれへの対応
も遅れて事故が大きくなるという問題点がある。

また、排気管内も同様で一時的に高い濃度のガスが混入
することにより排気管内で火災が発生したり、安全のた
め処理装置を設けている場合には一時的に過度のガスが
流入し処理しきれなかったりオーバーワークになるとい
う問題点もある。

この発明は、ボンベストッカー等に設けられた従来の防
災設備にみられるかかる問題点に着目して提案されたも
のであり、漏洩ガスの滞留によるガス濃度の局部的な高
まりを作らせずに爆発の危険を低下させると共に漏洩ガ
スの検知遅れも防止されるようにした防災設備を提供す
ることを目的としている。

（課題を解決するための手段）前記課題を解決するためこの発明は、筐体１の内部で危険性のガスを、ボンベに貯蔵しまたは
装置で処理し或いは装置に使用しているボンベストッカ
ー等において、筺体１の内部に乱気流を発生させる拡散手段Ｍを備えた
ものに構成している。

この拡散手段Ｍは、ファン１７を用いることができる。

また、拡散手段Ｍは、筐体１の内面に開口された気体の
吹き出し口２５にて構成しても良い。

そして上記気体は不活性ガスを使用することができる。

（作用）拡散手段Ｍは筐体１の内部の空気を撹拌して乱気流を発
生させている。

従って漏洩ガスはこの乱気流によって拡散されて均一と
なり、成る個所に滞留するようなことはなく、滞留によ
りガス濃度が局部的に上昇して全体としての漏洩量はわ
ずかであるにもかかわらず爆発に到るという危険はなく
なり、そして拡散された漏洩ガスは速やかにガスセンサ
に到達して検知遅れはわずかとなった。

拡散手段Ｍをファン１７によって構成すれば、筐体１の
内部全体を十分ムラなく撹拌することができる。

また、拡散手段Ｍを、筐体１の内面に開口された気体の
吹き出し口２５とすることによって極めて簡易に構成で
きる。

そしてこの吹き出し口２５から吹き出す気体として不活
性ガスを使用することにより、漏洩ガスが着火し爆発す
る可能性を促進することをなくす二とができる。

（実施例）次にこの発明の実施例における構成をボンベストッカー
の場合につき例示して説明する。

第１図はボンベストッカーの斜視図、第２図はその前面
図、第３図は内部を示す断面図、第５図は制御ブロック
図である。

筐体１は全面を左右に２分して開放する開閉扉２を有し
、内部には図示しないボンベが収納され、筐体１の天井
には排気管３が設けられている。

ヒンジ４を支点として把手５．５を用いて開閉できるこ
の開閉扉２は、上部に設けているドアクローザ６．６に
よって常時は閉じ状態に保持される。

このドアクローザ６は、衝撃吸収用ダンパを兼ねていて
、開閉扉２を閉じられた状態に保持するが、筐体１内に
漏洩したガスが爆発して高い圧力が開閉扉２を介してド
アクローザ６に加わるなど保持力以上の開放力を受ける
と、上記保持はなくなるようにドアクローザ６は構成さ
れている。

このドアクローザ６として、開閉扉２、筐体１の何れか
一方又は両方に固定した永久磁石や、粘着性テープを用
いることができ、或いは開閉扉２と筐体ｌにベルベット
ファスナをもうけることでもよく、そのほか、一定の力
で開閉扉２を筐体１に係止させるヒユーズリンクを用い
てもよく、ドアクローザ６の保持力を越える開放力が働
いたとき、瞬時にこの保持が無くなる構成のものが望ま
しい。

筐体１の内部上位にはボンベに向かって散水できる冷却
用の散水ヘッド７を設け、筐体１の床部は集水用パン８
に形成されて、散水ヘッド７から散水された水は、集水
用パン８の上板９の多数の孔１ｏ内を流下して底板１１
から排水管１２を介してこのボンベストッカーが設置さ
れる工場外等へ排水される構成となっている。

さらに筐体１の内部上位には筐体１内に漏洩するガスを
検知するガスセンサ１３を設け、ガスセンサ１３の検知
動作を制御部１４によって筐体１の外に設けた警報ブザ
−１５、警報ランプ１６に出力するよう構成している。

筐体１内には気流の滞留する個所ができ易く、ボンベか
ら漏れたガスはこの個所に滞留してガス濃度がここで異
常に高くなり爆発し易くなる。

そして上記滞留する個所は、ボンベの配置などにより変
わるので思わぬところに現われる。

従ってボンベの配置などにかかわりなく漏洩ガスの滞留
を少なくし、また、ガスセンサ１３には速やかに気流が
来るようにするため、筐体１の内部に乱気流を発生させ
る拡散手段Ｍを設けている。

第１図、第３図、第４図に示す拡散手段Ｍは、防爆型の
ファン１７を筐体１の内部側面に取り付けたものであり
、このファン１７によって筐体１の内部の空気は第３図
の矢線で例示するように撹拌されて気流Ａのように流れ
ている。

ファン１７は単に筐体１の内部の空気を撹拌すればよく
、外気を筐体１内に送りこむ必要はない。

拡散手段Ｍは、第４図に示すように筐体１の内面に開口
された気体の吹き出し口２５によって構にしても良く、
空気をこの吹き出し口２５から筐体１内に吹き込んでこ
れにより筐体１の内部の空気は撹拌されて漏洩ガスの滞
留が防止され、極めて簡易な構造となる。

そしてこの吹き出し口２５から吹き出される気体として
、例えば窒素ガスのような不活性ガスを使用すれば、漏
洩ガスが着火し爆発を起こす可能性を殆どなくすことが
できる。

筐体１は例えば半導体製造工場内の一隅部に配置されて
いて開閉扉２が開かれているときは例えば接点を閉成す
る開閉確認用スイッチ１８を設け、筺体１の外に設けた
開閉表示ランプ１９を、開閉扉２が開いているときは点
灯するように構成している。

図示例では筐体１に透明な覗き窓２０と通気孔２１．２
２を設けており、散水ヘッド７はバルブ２３を介して給
水本管２４に接続されて筐体ｌの内部が所定温度となっ
たとき開放動作する閉鎖型のスプリンクラヘッドを用い
ている。

そして散水ヘッド７が開放したことを検知する装置、例
えば流水検知弁２６を設けておくことにより、制御部１
４へ信号を送って警報を出すようになっている。

なお、図示は省略したが、ガスボスベの温度を検知して
これが所定温度となったとき、散水ヘッドが自動放水す
るように構成することが望ましい。

次に以上の実施例における作用を説明する。

常態では閉じられた開閉扉２はドアクローザ６によって
この閉じ常態に保持され、開閉確認用スイッチ１８は開
閉表示ランプ１９を消灯して開閉扉２の閉鎖を表示する
。

ファン１７の回転動作により筐体１の内部は常に撹拌さ
れて第３図の矢線で例示する如き気流Ａが発生してボン
ベの周囲の均一となった空気はガスセンサ１３に速やか
に到達している。

従ってでボンベからガスが漏れるとこの漏洩ガスは気流
Ａによって速やかにガスセンサ１３に到達し、ガスセン
サ１３は検知動作して制御部１４の指令により警報ブザ
−１５、警報ランプ１６が警報動作を行う。

一方、この気流Ａにより漏洩ガスは筐体１の内部のほぼ
全体に拡散されるので、漏洩ガスが例えばボンベの間な
ど成る個所に滞留してしまってこの個所でのガス濃度が
著しく高くなり、ガス漏れ量は僅かなのに直ぐに爆発し
てしまうという従来の問題もこの拡散作用により解消で
きる。

また、ファン１７によって筐体１内の空気は均一化され
るので、排気管３に吸い込まれる空気には一時的高濃度
のガスが入ることはなく、排気管３内での火災の発生を
防止し、ガスを改質して排出するための処理装置がある
場合には、過度のガスが流入することによる未処理ガス
の排出、またはオーバーワークを防止することができる
。

比重が重く、爆発性の高い例えばシランガスなどでは、
上記拡散作用により滞留がなくなって爆発限界濃度を越
えさせないことによる効果が特に顕著である。

筐体１の内部の温度が所定の高温となると散水ヘッド７
は開放動作してボンベに向けて散水を行い、散水された
水は集水用パン８の上板９の孔１０から底板１１に流下
し、配水管１２を経て工場外等へ排水される。

このように集水用パン８は筐体１内に散水を溜めずに速
やかに筺体１の外へ正常に排水するので、このボンベス
トッカーが設置されている工場等に散水による被害が及
ぶことはなく、また、筐体１の床部の全面に設けられた
上板９はボンベの搬出入作業を安全かつ容易なものとし
ている。

そして万一、爆発が発生したときは、高い圧力がドアク
ローザ６の保持力に打ち勝って開閉扉２は瞬時に開かれ
、筺体１のほぼ全面が開放されるので爆発圧力は一瞬に
に開放されて筐体１自体やその内部の器具などの破損は
免れることができ、筐体１等の破損、飛散により周囲の
設備等に被害を与える恐れも、開閉扉２の上記瞬時開放
により解消された。

上記実施例の構成は、図示は省略したが危険性のあるガ
スを処理し或いは使用している各種装置を設置した建物
内の防災設備にも支障なく準用できるものであり、この
場合も上記実施例と同等の前記作用効果を得ることがで
きる。

（発明の効果）以上のようにこの発明では、拡散手段Ｍによって筐体ｌ
の内部の空気は撹拌されて乱気流が発生しているので、
漏洩ガスはこの乱気流により拡散されて均一となり成る
個所に滞留するようなことはなく、滞留によりガス濃度
が局部的に上昇して全体としての漏洩量はわずかである
にもかかわらず爆発に到るという危険はなくなり、そし
て拡散された漏洩ガスは速やかにガスセンサに到達して
検知遅れはわずかとなりガス漏れに対する優れた防災設
備に構成できた。

そしてこの吹き出し口２５から吹き出す気体として不活
性ガスを使用するているので、漏洩ガスが着火し爆発す
る可能性を殆どなくすことかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を適用したボンベストッカ
ーの斜視図、第２図は第１図の前面図、第３図は第１図
の内部を示す断面図、第４図はこの発明の他の実施例を
適用した要部断面図、第５図は第１図の実施例における
制御ブロック図である。ｌ　・　・３　・　・５・　・７　・　・９　・　・１１　・１３・１５・１７・１８　・１９・・筐体　　　　２・・・排気管　　　４・・・把手　　　　６・・・散水ヘッド　８・・・上板　　　　１ｏ・・底板　　　　１２・・ガスセンサ　１４・・警報ブザ−１６・・ファン・開閉確認用スイッチ・開閉表示ランプ・開閉扉・ヒンジ・ドアクローザ・集水用パン・孔・排水管・制御部・警報ランプ・覗き窓２３・・バルブ２５・・吹き出し口Ｎ１・・・拡散手段２０　・２１．２２・・通気孔２４・・給水本管２６・・流水検知弁Ａ・・・気流特許出願人　　　能美防災株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

（１）筺体の内部で危険性のガスを、ボンベに貯蔵しま
たは装置で処理し或いは装置に使用しているボンベスト
ッカー等において、筐体の内部に乱気流を発生させる拡散手段を備えている
ことを特徴とするボンベストッカー等の防災設備。
（２）拡散手段は、ファンであることを特徴とする請求
項１記載のボンベストッカー等の防災設備。
（３）拡散手段は、筐体の内面に開口された気体の吹き
出し口であることを特徴とする請求項１記載のボンベス
トッカー等の防災設備。
（４）気体は、不活性ガスであることを特徴とする請求
項３記載のボンベストッカー等の防災設備。