JPH04108304U - 磁気浮上スライダ - Google Patents

磁気浮上スライダ

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Publication number
JPH04108304U
JPH04108304U JP1026791U JP1026791U JPH04108304U JP H04108304 U JPH04108304 U JP H04108304U JP 1026791 U JP1026791 U JP 1026791U JP 1026791 U JP1026791 U JP 1026791U JP H04108304 U JPH04108304 U JP H04108304U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slider
electromagnets
rails
magnetically levitated
frame
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Pending
Application number
JP1026791U
Other languages
English (en)
Inventor
忠男 米田
洋一 木下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
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Publication date
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  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この考案はスペースの有効活用を図り、全体
の形状を小型化できる磁気浮上スライダを提供すること
を主要な特徴とする。 【構成】 磁気浮上スライダの前後に２個ずつそれぞれ
がレールに対向するように電磁石が配置され、フレーム
に取付けられる。フレームの左右の電磁石の中間部には
凹部が形成され、そこにリニアモータが配置され、この
フレームの上であって２本のレールの間には制御回路を
配置することによって、スペースの有効活用を図り、全
体の形状を小型化できる。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この考案は磁気浮上スライダに関し、特に半導体製造工場などのクリーンルー ム内の搬送装置として用いられ、レール上を磁気浮上しながら走行する磁気浮上 スライダに関する。
【０００２】
【従来の技術および考案が解決しようとする課題】
図２は従来の磁気浮上スライダを示す図であって、特に、図２（ａ）は正面断 面図を示し、（ｂ）は側面断面図を示す。図２を参照して、磁気浮上スライダ１ は２本のレール２ａ，２ｂに沿って走行するものであり、レール２ａ，２ｂは断 面コの字状のリニアモータ取付け用フレーム３に取付けられている。２本のレー ル２ａ，２ｂに対向するように浮上用の電磁石４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（４ｄは 図示せず）がフレーム５上に取付けられている。電磁石４ａ，４ｂは走行方向の 前側に配置され、電磁石４ｃ，４ｄは後側に配置されている。レール２ａ，２ｂ とのギャップを検出するためのギャップセンサ６ａ，６ｂがレール２ａ，２ｂに 対向するように配置されている。フレーム３上にはリニアモータの固定子７が取 付けられ、電磁石４ａ，４ｂの間には制御回路９が設けられ、電磁石４ａと４ｄ ，４ｂと４ｃとの間にはバッテリー１０が搭載されている。なお、フレーム５に は荷物台８が設けられ、この上に半導体ウエハーなどが配置されて搬送される。
【０００３】 上述のごとく構成された従来の磁気浮上スライダにおいて、スライダの内部や フレーム内部のスペースに無駄が多く、全体が大型化してしまうという欠点があ った。
【０００４】 それゆえに、この考案の主たる目的はスペースの有効活用を図り、全体を小型 化し得る磁気浮上スライダを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 この考案は２本のレール上を浮上するための電磁石と、電磁石とレールとの間 の隙間を検出するためのギャップセンサと、走行するためのリニアモータと、ギ ャップセンサの出力をフィードバック信号として電磁石を制御する制御手段を備 えた磁気浮上スライダであって、電磁石は走行方向の前後に２個ずつ設けられ、 リニアモータの固定子は前後の電磁石の間に平行して設けられ、制御手段は固定 子の上側であって２本のレールの間に配置されるように構成される。
【０００６】
【作用】
この考案に係る磁気浮上スライダは、走行方向の前後に２個ずつ設けられた電 磁石の間にリニアモータの固定子を平行に設け、固定子の上側であって、２本の レールの間に制御手段を配置したことによって、スペースの有効活用を図ること ができ、全体を小型軽量化することができる。
【０００７】
【考案の実施例】
図１はこの考案の一実施例を示す図であり、特に、（ａ）は正面断面図を示し 、（ｂ）は側面断面図を示す。この図１に示した実施例は、以下の点を除いて前 述の図２と同じである。すなわち、電磁石４ａ〜４ｃを取付けるためのフレーム １２には、電磁石４ａと４ｂの間の中間部に凹部が形成されていて、そこにリニ アモータ７の固定子のためのスペースが形成されている。フレーム１２のリニア モータ７が配置された上であって、レール２ａと２ｂとの間には制御回路９が配 置される。このようにリニアモータ７と制御回路９を配置したことによって、ス ペースの有効活用を図ることができ、断面形状を小さくでき、スライダおよびス ライダ用のレールを軽量化することができる。
【０００８】
【考案の効果】
以上のように、この考案によれば、走行方向の前後に２個ずつ設けられた電磁 石の間にリニアモータの固定子を配置し、固定子の上側であって２本のレールの 間に制御手段を配置したことによって、断面形状を小型化でき、軽量化を図るこ とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この考案の一実施例を示す図である。
【図２】従来の磁気浮上スライダを示す図である。
【符号の説明】
２ａ，２ｂ レール ４ａ，４ｂ，４ｃ 電磁石 ６ａ，６ｂ ギャップセンサ ７ リニアモータ ８ 荷物台 ９ 制御回路 １０ バッテリー １１，１２ フレーム

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ２本のレール上を浮上するための電磁石
    と、前記電磁石と前記レールとの間の隙間を検出するた
    めのギャップセンサと、走行するためのリニアモータ
    と、前記ギャップセンサの出力をフィードバック信号と
    して前記電磁石を制御する制御手段と、電源であるバッ
    テリーとを備えた磁気浮上スライダにおいて、前記電磁
    石は走行方向の前後に２個ずつ設けられ、前記リニアモ
    ータの固定子は前記左右の電磁石の中間部の凹部に設け
    られ、前記バッテリーは前記前後の電磁石の間に平行し
    て設けられ、前記制御手段は前記固定子の上側であっ
    て、前記２本のレールの間に配置されることを特徴とす
    る、磁気浮上スライダ。
JP1026791U 1991-02-28 1991-02-28 磁気浮上スライダ Pending JPH04108304U (ja)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5137411A (ja) * 1974-09-25 1976-03-29 Japan National Railway Sharyonojikifujohoho
JPH02206306A (ja) * 1989-02-02 1990-08-16 Tsubakimoto Chain Co リニアモータ式搬送装置
JPH0327705A (ja) * 1989-06-22 1991-02-06 Fujitsu Ltd 磁気浮上式搬送装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19980421