JPH04108698A - Fe―Si―Al系合金単結晶の育成装置 - Google Patents
Fe―Si―Al系合金単結晶の育成装置Info
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- JPH04108698A JPH04108698A JP2226394A JP22639490A JPH04108698A JP H04108698 A JPH04108698 A JP H04108698A JP 2226394 A JP2226394 A JP 2226394A JP 22639490 A JP22639490 A JP 22639490A JP H04108698 A JPH04108698 A JP H04108698A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はFe−5t −Al系合金単結晶の育成装置に
係り、特に合金組成の偏析を防止しうるFe−Si −
Al系合金単結晶の育成装置に関する。
係り、特に合金組成の偏析を防止しうるFe−Si −
Al系合金単結晶の育成装置に関する。
Fe−Si−Al系合金単結晶(以下、センダストとい
う。尚、センダストは登録開襟)は、極めて優れた高透
磁率、高硬度の合金であり、オーディオ用の磁気ヘッド
、ビデオテープレコーダ(VTR)又は回転式デジタル
オーディオチーブレコーダ(R−DAT)用の磁気ヘッ
ドの材料として使用されている。
う。尚、センダストは登録開襟)は、極めて優れた高透
磁率、高硬度の合金であり、オーディオ用の磁気ヘッド
、ビデオテープレコーダ(VTR)又は回転式デジタル
オーディオチーブレコーダ(R−DAT)用の磁気ヘッ
ドの材料として使用されている。
しかしながら多結晶のセンダストは、これを磁気ヘッド
材として使用した場合には、磁気ヘッドのギャップ形成
時に存在する結晶粒の面方位により磁気テープへの磁力
のバラツキが生じたり、或いは結晶粒界の存在により、
互いの結合力が弱まって機械的強度が弱く研削、切削加
工時のカケ、チッピング、クラック等の問題点があるこ
とが知られている。
材として使用した場合には、磁気ヘッドのギャップ形成
時に存在する結晶粒の面方位により磁気テープへの磁力
のバラツキが生じたり、或いは結晶粒界の存在により、
互いの結合力が弱まって機械的強度が弱く研削、切削加
工時のカケ、チッピング、クラック等の問題点があるこ
とが知られている。
一方、センダストの単結晶は、結晶粒界が存在しないた
め機械的強度が強いこと、また特定な面方位を選定する
ことにより磁気テープへの磁力のバラツキが小さくなり
、耐磨耗性が向上する事か知られている。
め機械的強度が強いこと、また特定な面方位を選定する
ことにより磁気テープへの磁力のバラツキが小さくなり
、耐磨耗性が向上する事か知られている。
しかるに、特性の良好なセンダストの単結晶を育成する
のは困難であり、従来の育成装置では、その単結晶の育
成を充分に行うことができず合金組成に偏析が大きく発
生してしまうという課題があった。。
のは困難であり、従来の育成装置では、その単結晶の育
成を充分に行うことができず合金組成に偏析が大きく発
生してしまうという課題があった。。
即ち、一般に行われるでいるブリッジマン法によるセン
ダストの育成では非酸化性の雰囲気中でルツボ内の試料
を一度全体溶融しその後除々に冷却する方法であるため
センダスト多結晶の溶融範囲か広く、よってセンダスト
を構成する原料の密度差に起因して溶融された溶湯内で
重い原料程下部に多く析出し、逆に軽い原料程上部に多
く析出してしまう。よって、従来の育成装置では合金組
成に偏析が大きく発生してしまう。この偏析が発生した
場合、センダストの磁気特性は大きく劣化してしまい、
磁気ヘッド材料として用いることかできなくなってしま
う。
ダストの育成では非酸化性の雰囲気中でルツボ内の試料
を一度全体溶融しその後除々に冷却する方法であるため
センダスト多結晶の溶融範囲か広く、よってセンダスト
を構成する原料の密度差に起因して溶融された溶湯内で
重い原料程下部に多く析出し、逆に軽い原料程上部に多
く析出してしまう。よって、従来の育成装置では合金組
成に偏析が大きく発生してしまう。この偏析が発生した
場合、センダストの磁気特性は大きく劣化してしまい、
磁気ヘッド材料として用いることかできなくなってしま
う。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、偏析の
発生を有効に防止しうるFe−Si −Al系合金単結
晶の育成装置を提供することを目的とする。
発生を有効に防止しうるFe−Si −Al系合金単結
晶の育成装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明では、Fe−Si
−Al系合金の多結晶試料を収納したルツボを、加熱手
段により加熱して多結晶試料を溶融すると共に、上記加
熱手段と多結晶試料をこの多結晶試料の長手方向に相対
的に移動させることによりFe−Si −Al系合金の
単結晶を育成させるFe−Si −Al系合金単結晶の
育成装置において、 上記加熱手段により発生される熱を、上記ルツボの多結
晶試料が溶融する溶融部分に局所的に印加すると共に外
部への熱の放出を防止する熱印加機構を設けてなること
を特徴とするものである。
−Al系合金の多結晶試料を収納したルツボを、加熱手
段により加熱して多結晶試料を溶融すると共に、上記加
熱手段と多結晶試料をこの多結晶試料の長手方向に相対
的に移動させることによりFe−Si −Al系合金の
単結晶を育成させるFe−Si −Al系合金単結晶の
育成装置において、 上記加熱手段により発生される熱を、上記ルツボの多結
晶試料が溶融する溶融部分に局所的に印加すると共に外
部への熱の放出を防止する熱印加機構を設けてなること
を特徴とするものである。
上記構成とされたFe−Si −Al系合金単結晶の育
成装置によれば、熱印加機構により加熱手段の熱はルツ
ボに局所的に印加される。また、印加された熱はこの局
所的な加熱部分以外に放出されることを防止される。
成装置によれば、熱印加機構により加熱手段の熱はルツ
ボに局所的に印加される。また、印加された熱はこの局
所的な加熱部分以外に放出されることを防止される。
よって、Fe−Si −Al系合金の多結晶試料が溶融
される範囲は狭くなり、原料の密度差に起因した偏析は
防止され、全体にわたり均一な組成を有するFe−Si
−Al系合金単結晶を育成することができる。
される範囲は狭くなり、原料の密度差に起因した偏析は
防止され、全体にわたり均一な組成を有するFe−Si
−Al系合金単結晶を育成することができる。
次に本発明の実施例について図面と共に説明する。第1
図は本発明の一実施例であるFe−Si−Al系合金単
結晶の育成装置1(以下、単に装置という)の要部構成
図である。同図に示す装置lには、センダストの多結晶
である丸棒試料2及びセンダストの種結晶3が装着され
、後述する処理によりセンダストの単結晶が育成される
。
図は本発明の一実施例であるFe−Si−Al系合金単
結晶の育成装置1(以下、単に装置という)の要部構成
図である。同図に示す装置lには、センダストの多結晶
である丸棒試料2及びセンダストの種結晶3が装着され
、後述する処理によりセンダストの単結晶が育成される
。
装置lは、類4内にルツボ5、加熱機構6、上部チャッ
ク7、下部チャック8、及び本発明の特徴となる保温箱
(熱印加機構)9等が配設されると共に、外部には上部
試料回転上下駆動部10、下部試料回転上下駆動部11
、ガスボンベ12、ロータリポンプ13、圧力計14、
電源15、冷却管16等か配設されている。
ク7、下部チャック8、及び本発明の特徴となる保温箱
(熱印加機構)9等が配設されると共に、外部には上部
試料回転上下駆動部10、下部試料回転上下駆動部11
、ガスボンベ12、ロータリポンプ13、圧力計14、
電源15、冷却管16等か配設されている。
ルツボ5はセラミックよりなり、試料2か収納される円
笥状部5aの下部に種結晶3が装着される種結晶装着部
5bが形成されている。このルツボ5内で多結晶である
丸棒試料2は溶融されるとともに、種結晶3により単結
晶であるセンダストが育成される。
笥状部5aの下部に種結晶3が装着される種結晶装着部
5bが形成されている。このルツボ5内で多結晶である
丸棒試料2は溶融されるとともに、種結晶3により単結
晶であるセンダストが育成される。
加熱機構6は、第2図に拡大して示すように、保温箱1
7、カーボンサセプタz8、高周波加熱コイル19等に
より構成されている。保温箱17はセラミック(アルミ
ナ)よりなる円筒状の部材であり、その内部にカーボン
サセプタI8及び絶縁管2日が配設されている。このカ
ーボンサセプタ18は高周波加熱コイルI9により直接
試料が加熱されないよう設けられている。また、この加
熱機構6には本発明の要部となる保温箱9が一体的に配
設されている。上記構成の加熱機構6はその下部か炉4
と当接し保持されている。尚、保温箱9については後に
詳述する。
7、カーボンサセプタz8、高周波加熱コイル19等に
より構成されている。保温箱17はセラミック(アルミ
ナ)よりなる円筒状の部材であり、その内部にカーボン
サセプタI8及び絶縁管2日が配設されている。このカ
ーボンサセプタ18は高周波加熱コイルI9により直接
試料が加熱されないよう設けられている。また、この加
熱機構6には本発明の要部となる保温箱9が一体的に配
設されている。上記構成の加熱機構6はその下部か炉4
と当接し保持されている。尚、保温箱9については後に
詳述する。
高周波加熱コイル19は、保温筒17の外周の保温箱9
の近傍位置に配設されており、電源15に接続されてい
る。この高周波加熱コイル19は電源15から供給され
る高周波電流により、保温wi9に内設されているカー
ボンサセプタ20を加熱する。
の近傍位置に配設されており、電源15に接続されてい
る。この高周波加熱コイル19は電源15から供給され
る高周波電流により、保温wi9に内設されているカー
ボンサセプタ20を加熱する。
ルツボ5は、上部チャック7にモリブデンワイヤ21を
用いて取り付けられる。また、上部チャック7は、炉4
の上部に配設された上部試料回転上下駆動部lOに接続
されている。この上部試料回転上下駆動部lOは、上部
チャック7を駆動することによりルツボ5を図中矢印B
で示す方向(下方向)に移動させると共に、ルツボ5を
回転動作させる。
用いて取り付けられる。また、上部チャック7は、炉4
の上部に配設された上部試料回転上下駆動部lOに接続
されている。この上部試料回転上下駆動部lOは、上部
チャック7を駆動することによりルツボ5を図中矢印B
で示す方向(下方向)に移動させると共に、ルツボ5を
回転動作させる。
尚、ガスボンベ12は類4内にAr等の不活性ガス又は
還元性ガスを供給するものであり、ロータリポンプ13
は類4内を真空にするものであり、圧力計14は類4内
の圧力を測定するものであり、冷却管16は炉4の外周
に配設され炉4の外部を水流により冷却するものである
。
還元性ガスを供給するものであり、ロータリポンプ13
は類4内を真空にするものであり、圧力計14は類4内
の圧力を測定するものであり、冷却管16は炉4の外周
に配設され炉4の外部を水流により冷却するものである
。
次に、本発明の要部となる保温wi9について主に第2
図を用いて説明する。
図を用いて説明する。
保温箱9は上記のように加熱機構6に配設されている。
この保温箱9は、セラミック製の上蓋22と下M23と
を設けることにより、保温11#17に一つの部屋を形
成している。また、この上蓋22及び下蓋23には夫々
ルツボ5がその内部を挿通ずることかできるよう挿通孔
22a、23aが中央部に形成されている。また、保温
箱9の内壁部にはカーボンフェルト24(梨地で示す)
が配設されている。このカーボンフェルト24は、保温
材としての機能を奏する。
を設けることにより、保温11#17に一つの部屋を形
成している。また、この上蓋22及び下蓋23には夫々
ルツボ5がその内部を挿通ずることかできるよう挿通孔
22a、23aが中央部に形成されている。また、保温
箱9の内壁部にはカーボンフェルト24(梨地で示す)
が配設されている。このカーボンフェルト24は、保温
材としての機能を奏する。
また、カーボンフェルト24の内側でルツボ5と対向す
る位置にはカーボンサセプタ25が配設されている。前
記したように、保温箱9の近傍外周位置には高周波加熱
コイル19が配設されており、この高周波加熱コイル1
9に高周波電流が供給されることにより、このカーボン
サセプタ25は加熱される構成となっている。カーボン
サセプタ25で発生される熱はルツボ5に印加され、よ
ってこの熱によりルツボ5内に配設されている試料2は
溶融する。
る位置にはカーボンサセプタ25が配設されている。前
記したように、保温箱9の近傍外周位置には高周波加熱
コイル19が配設されており、この高周波加熱コイル1
9に高周波電流が供給されることにより、このカーボン
サセプタ25は加熱される構成となっている。カーボン
サセプタ25で発生される熱はルツボ5に印加され、よ
ってこの熱によりルツボ5内に配設されている試料2は
溶融する。
このように、発熱は保温箱9の内部で行われ、また保温
箱9は上下を上蓋22及び下蓋23により覆われた構造
となっているため、カーボンサセプタ25で発生された
熱は、ルツボ5の保温箱9に囲繞された範囲に局所的に
印加される構造となる。これにより、後述するように、
センダストの溶融範囲を狭めることができ、組成の均一
化したセンダストの単結晶を育成することができる。ま
た保温箱9内で発生した熱は、上蓋22及び下蓋23に
より外部に対して熱遮断されるため、保温箱9の外部に
漏れ出す熱量を少なくすることができる。よって、これ
によってもセンダストの溶融範囲を狭めることができる
。
箱9は上下を上蓋22及び下蓋23により覆われた構造
となっているため、カーボンサセプタ25で発生された
熱は、ルツボ5の保温箱9に囲繞された範囲に局所的に
印加される構造となる。これにより、後述するように、
センダストの溶融範囲を狭めることができ、組成の均一
化したセンダストの単結晶を育成することができる。ま
た保温箱9内で発生した熱は、上蓋22及び下蓋23に
より外部に対して熱遮断されるため、保温箱9の外部に
漏れ出す熱量を少なくすることができる。よって、これ
によってもセンダストの溶融範囲を狭めることができる
。
続いて、上記構成を有する装置lの動作、及び装置1を
用いてセンダストの単結晶を育成する工程について以下
説明、する。
用いてセンダストの単結晶を育成する工程について以下
説明、する。
装置lを用いてセンダストの単結晶を育成するには、先
ずセンダスト単結晶よりなる種結晶3、及び予め真空溶
解鋳造装置(特願昭63−176767号参照)で製造
されたセンダストの多結晶よりなる丸棒試料2をルツボ
5に収納する。次に、類4内をロータリポンプ13によ
り適度の真空雰囲気にし、その後ガスボンベ12から類
4内にAr等の不活性又は還元性ガスを供給し、類4内
を例えば1気圧、5気圧、10気圧に加圧する。このよ
うに類4内を加圧することにより、センダストの原料と
なるFe、Si、Alの蒸発を防止することができる。
ずセンダスト単結晶よりなる種結晶3、及び予め真空溶
解鋳造装置(特願昭63−176767号参照)で製造
されたセンダストの多結晶よりなる丸棒試料2をルツボ
5に収納する。次に、類4内をロータリポンプ13によ
り適度の真空雰囲気にし、その後ガスボンベ12から類
4内にAr等の不活性又は還元性ガスを供給し、類4内
を例えば1気圧、5気圧、10気圧に加圧する。このよ
うに類4内を加圧することにより、センダストの原料と
なるFe、Si、Alの蒸発を防止することができる。
次に、高周波加熱コイル19に高周波電流を流し、保温
箱9に内設されたカーボンサセプタ25を加熱させる。
箱9に内設されたカーボンサセプタ25を加熱させる。
この熱はルツボ5を介して試料2に伝わり、試料2の一
部を溶融し溶融部26を形成する。溶融部26は初めは
試料2と種結晶3との接合付近に形成される。このとき
、上部試料回転上下駆動部10を駆動させてルツボ5を
回転させ、これにより試料2も回転しルツボ5内の温度
分布を均一化するよう図っている。
部を溶融し溶融部26を形成する。溶融部26は初めは
試料2と種結晶3との接合付近に形成される。このとき
、上部試料回転上下駆動部10を駆動させてルツボ5を
回転させ、これにより試料2も回転しルツボ5内の温度
分布を均一化するよう図っている。
ルツボ5は上部試料回転駆動機構10により、除々に下
方(矢印B方向)に移動される。この移動に伴い溶融部
26は相対的に上方へ移動してゆき、保温箱9の配設位
置より下方位置となった部分は冷却され種結晶3と同じ
面方位をもった単結晶か形成される。
方(矢印B方向)に移動される。この移動に伴い溶融部
26は相対的に上方へ移動してゆき、保温箱9の配設位
置より下方位置となった部分は冷却され種結晶3と同じ
面方位をもった単結晶か形成される。
上記の単結晶育成のため実施する加熱の際、保温箱9を
設けることにより、ルツボ5に対する加熱範囲は保温箱
9を配設した部分となり、加熱を局所的に行うことがで
きる。また、ルツボ5の保温箱9が配設された以外の部
分においては、熱が保温箱9内に閉じ込められるため、
加熱されることはない。このため、溶融部26の範囲を
狭くすることができる。
設けることにより、ルツボ5に対する加熱範囲は保温箱
9を配設した部分となり、加熱を局所的に行うことがで
きる。また、ルツボ5の保温箱9が配設された以外の部
分においては、熱が保温箱9内に閉じ込められるため、
加熱されることはない。このため、溶融部26の範囲を
狭くすることができる。
前記したように、センダストの磁気特性は組成により影
響を受け、センダストを構成する原料(Fe、Si、A
lりが偏析した場合には、所望の特性を得ることができ
ない。この偏析は、センダストを構成する原料の密度差
により発生し、密度の大きい原料(Fe)は下部に析出
し、これより小さい原料(S i、Al)は上部に析出
する。
響を受け、センダストを構成する原料(Fe、Si、A
lりが偏析した場合には、所望の特性を得ることができ
ない。この偏析は、センダストを構成する原料の密度差
により発生し、密度の大きい原料(Fe)は下部に析出
し、これより小さい原料(S i、Al)は上部に析出
する。
また、この偏析の発生は溶融部26の範囲が広い程大き
く発生する。よって、この溶融部26の範囲を狭くする
ことにより偏析の発生の度合いを少なくすることができ
る。
く発生する。よって、この溶融部26の範囲を狭くする
ことにより偏析の発生の度合いを少なくすることができ
る。
従って、保温箱9を設は溶融部26の範囲を狭くしたこ
とにより、偏析の発生を防止することができ、育成され
るセンダストの組成の均一化を図ることができる。これ
により、育成される単結晶センダストの磁気特性は向上
し、これを磁気ヘッド等に適用した場合、優れた記録再
生特性及び機械的特性を実現できる。
とにより、偏析の発生を防止することができ、育成され
るセンダストの組成の均一化を図ることができる。これ
により、育成される単結晶センダストの磁気特性は向上
し、これを磁気ヘッド等に適用した場合、優れた記録再
生特性及び機械的特性を実現できる。
上部試料回転上下駆動部lOによりるっぽ5は矢印B方
向へ移動を続け、これに伴い単結晶のセンダストは逐次
育成されてゆき、保温箱9が試料2の最上部まで達した
ら、高周波加熱コイル19への電源15を切り、炉4内
のArガスを抜いて常圧にする。そして、炉4から単結
晶化されたセンダストの丸棒を取り出し、単結晶の育成
を終了する。
向へ移動を続け、これに伴い単結晶のセンダストは逐次
育成されてゆき、保温箱9が試料2の最上部まで達した
ら、高周波加熱コイル19への電源15を切り、炉4内
のArガスを抜いて常圧にする。そして、炉4から単結
晶化されたセンダストの丸棒を取り出し、単結晶の育成
を終了する。
続いて、本実施例の変形例について第3図乃至第5図を
用いて説明する。尚、各図において第1図及び第2図で
示した構成と同一構成については同一符号を付してその
説明を省略する。
用いて説明する。尚、各図において第1図及び第2図で
示した構成と同一構成については同一符号を付してその
説明を省略する。
第3図に示される装置30は、保温箱31に内設される
カーボンサセプタ32の内側部分を同図に示されるよう
な球面形状としたことを特徴とするものである。このよ
うに、カーボンサセプタ32の内側部分を球面形状とす
ることにより、加熱範囲を集中させることができ、より
溶融部の範囲を狭めることができる。これにより、更に
偏析の発生を防止することができ、良好な特性を有する
センダスト単結晶を育成することができる。
カーボンサセプタ32の内側部分を同図に示されるよう
な球面形状としたことを特徴とするものである。このよ
うに、カーボンサセプタ32の内側部分を球面形状とす
ることにより、加熱範囲を集中させることができ、より
溶融部の範囲を狭めることができる。これにより、更に
偏析の発生を防止することができ、良好な特性を有する
センダスト単結晶を育成することができる。
第4図に示される装置40は、保温箱4!に内設される
カーボンサセプタ42の内側部分を同図に示されるよう
上部を幅狭に、下部を幅広にしたことを特徴とするもの
である。カーボンサセプタ42の形状を上記形状とする
ことにより、高周波加熱コイルエ9により保温箱4!内
に発生する熱による温度ピークは下部に位置することに
なり、これによっても溶融部の範囲を狭めることかでき
る。
カーボンサセプタ42の内側部分を同図に示されるよう
上部を幅狭に、下部を幅広にしたことを特徴とするもの
である。カーボンサセプタ42の形状を上記形状とする
ことにより、高周波加熱コイルエ9により保温箱4!内
に発生する熱による温度ピークは下部に位置することに
なり、これによっても溶融部の範囲を狭めることかでき
る。
第5図に示される装置50は、上部試料回転上下駆動部
10に接続された上部チャック7に試料2を固定すると
共に、下部試料回転上下駆動部11に接続された下部チ
ャック8にルツボ5を固定し、かつ下部チャック8の下
降速度V、を一定とすると共に上部チャック7の移動速
度vIを可変できるように構成したことを特徴とするも
のである。
10に接続された上部チャック7に試料2を固定すると
共に、下部試料回転上下駆動部11に接続された下部チ
ャック8にルツボ5を固定し、かつ下部チャック8の下
降速度V、を一定とすると共に上部チャック7の移動速
度vIを可変できるように構成したことを特徴とするも
のである。
上記構成とすることにより、溶融部の範囲を制御するこ
とが可能となり、例えば溶融部の範囲が広くなった場合
には上部チャック7の下降方向への移動速度V、を遅く
し、逆に溶融部の範囲が狭くなった場合には、上部チャ
ック7の下降方向への移動速度v1を早めるよう制御す
ればよい。これにより、溶融部の範囲を常に適性範囲と
することができ、良質なセンダスト単結晶を育成するこ
とができる。
とが可能となり、例えば溶融部の範囲が広くなった場合
には上部チャック7の下降方向への移動速度V、を遅く
し、逆に溶融部の範囲が狭くなった場合には、上部チャ
ック7の下降方向への移動速度v1を早めるよう制御す
ればよい。これにより、溶融部の範囲を常に適性範囲と
することができ、良質なセンダスト単結晶を育成するこ
とができる。
尚、上記してきた各実施例では、保温箱を保温筒に配設
し、ルツボの移動に伴いルツボか保温箱に対して相対的
に移動する構成としたか、これに限るものではなく、保
温筒を用いることなく保温箱のみを配設し、ルツボが保
温箱に対して移動しつる構成としてもよい。
し、ルツボの移動に伴いルツボか保温箱に対して相対的
に移動する構成としたか、これに限るものではなく、保
温筒を用いることなく保温箱のみを配設し、ルツボが保
温箱に対して移動しつる構成としてもよい。
上述のように、本発明によれば、溶融部の範囲を狭める
ことができるため、育成される単結晶の組成を均一化す
ることができ、磁気特性及び機械的特性に優れたセンダ
スト単結晶を育成することができる等の特長を有する。
ことができるため、育成される単結晶の組成を均一化す
ることができ、磁気特性及び機械的特性に優れたセンダ
スト単結晶を育成することができる等の特長を有する。
第1図は本発明の一実施例であるFe−Si−Aj’系
合金単結晶の育成装置の要部構成図、第2図は第1図に
おける保温箱近傍を拡大して示す図、第3図乃至第5図
は第1図及び第2図に示したFe−Si −Al系合金
単結晶の育成装置の変形例を説明するための図である。 1.30,40.50・・・装置、2・・・試料、3・
・・種結晶、4・・・炉、5・・・ルツボ、6・・・加
熱機構、9゜31.41・・保温箱、17・・・保温筒
、19・・高周波加熱コイル、25,32.42・・・
カーホンサセプタ、26・・・溶融部、28・・・絶縁
管。
合金単結晶の育成装置の要部構成図、第2図は第1図に
おける保温箱近傍を拡大して示す図、第3図乃至第5図
は第1図及び第2図に示したFe−Si −Al系合金
単結晶の育成装置の変形例を説明するための図である。 1.30,40.50・・・装置、2・・・試料、3・
・・種結晶、4・・・炉、5・・・ルツボ、6・・・加
熱機構、9゜31.41・・保温箱、17・・・保温筒
、19・・高周波加熱コイル、25,32.42・・・
カーホンサセプタ、26・・・溶融部、28・・・絶縁
管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Fe−Si−Al系合金の多結晶試料を収納したルツボ
を、加熱手段により加熱して該多結晶試料を溶融すると
共に、該加熱手段と該多結晶試料を該多結晶試料の長手
方向に相対的に移動させることによりFe−Si−Al
系合金の単結晶を育成させるFe−Si−Al系合金単
結晶の育成装置において、 該加熱手段により発生される熱を、該ルツボの該多結晶
試料が溶融する溶融部分に局所的に印加すると共に外部
への熱の放出を防止する熱印加機構を設けてなることを
特徴とするFe−Si−Al系合金単結晶の育成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2226394A JPH04108698A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | Fe―Si―Al系合金単結晶の育成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2226394A JPH04108698A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | Fe―Si―Al系合金単結晶の育成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04108698A true JPH04108698A (ja) | 1992-04-09 |
Family
ID=16844436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2226394A Pending JPH04108698A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | Fe―Si―Al系合金単結晶の育成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04108698A (ja) |
-
1990
- 1990-08-28 JP JP2226394A patent/JPH04108698A/ja active Pending
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