JPH04110727A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダInfo
- Publication number
- JPH04110727A JPH04110727A JP23145890A JP23145890A JPH04110727A JP H04110727 A JPH04110727 A JP H04110727A JP 23145890 A JP23145890 A JP 23145890A JP 23145890 A JP23145890 A JP 23145890A JP H04110727 A JPH04110727 A JP H04110727A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- absolute position
- disc
- converting
- notch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、位置を検出するエンコーダ、特にアブソリュ
ート・エンコーダに関する。
ート・エンコーダに関する。
（従来の技術）
第５図は従来のエンコーダの一例を示す概略構成図であ
り、回転軸には透磁材よりなるギア形状をしたいわゆる
Ａ−Ｂ相同板２及び外周上に一箇所のみ切欠きを有する
いわゆるＺ相同板１０１が取付けられている。永久磁石
と感磁素子とで成るＡ−Ｂ相検出用磁気センサ部４及び
Ｚ相検出用磁気センサ部１０３がそれぞれＡ−Ｂ相同板
２及びＺ相同板１０１の円周近傍に配置され、各センサ
部４及び１０３からの２相交流信号ＳＡ、Ｓ、及びＺ相
信号Ｓ２がそれぞれ上位桁検出部１１３を構成するコン
パレータＩＩＩＡ、ＩＩＩＢ及び１１０に送出される。
り、回転軸には透磁材よりなるギア形状をしたいわゆる
Ａ−Ｂ相同板２及び外周上に一箇所のみ切欠きを有する
いわゆるＺ相同板１０１が取付けられている。永久磁石
と感磁素子とで成るＡ−Ｂ相検出用磁気センサ部４及び
Ｚ相検出用磁気センサ部１０３がそれぞれＡ−Ｂ相同板
２及びＺ相同板１０１の円周近傍に配置され、各センサ
部４及び１０３からの２相交流信号ＳＡ、Ｓ、及びＺ相
信号Ｓ２がそれぞれ上位桁検出部１１３を構成するコン
パレータＩＩＩＡ、ＩＩＩＢ及び１１０に送出される。
コンパレータ１１０にてＺ相信号Ｓ２がパルス化されて
回転軸の１回転内の基準位置であるＺ相パルス信号ＳＡ
Ｐが上位桁検出部１１３を構成するパルスカウンタ１１
２ に送出され、また、コンパレータ１１１八１１１Ｂ
にて２相交流信号ＳＡ、ＳＢもパルス化されて２相パル
ス信号５ＡＰｌｓＢＰもパルスカウンタ１１２に送出さ
れる。そして、パルスカウンタ１１２にて２相パルス信
号ＳＡＰに基づいて２相パルス信”ｆ ＳＡＰ。
回転軸の１回転内の基準位置であるＺ相パルス信号ＳＡ
Ｐが上位桁検出部１１３を構成するパルスカウンタ１１
２ に送出され、また、コンパレータ１１１八１１１Ｂ
にて２相交流信号ＳＡ、ＳＢもパルス化されて２相パル
ス信号５ＡＰｌｓＢＰもパルスカウンタ１１２に送出さ
れる。そして、パルスカウンタ１１２にて２相パルス信
号ＳＡＰに基づいて２相パルス信”ｆ ＳＡＰ。
ＳＢＰのパルスがカウントされ、基準位置である切欠き
部からの相対位置（上位桁信号）ＳＵが検圧されて回転
軸の１回転内絶対位置として出力されるようになってい
る。
部からの相対位置（上位桁信号）ＳＵが検圧されて回転
軸の１回転内絶対位置として出力されるようになってい
る。
第６図は従来のエンコーダの別の一例を第５図に対応さ
せて示す概略構成図であり、同一構成箇所は同符号を付
す。このエンコーダは高精度型エンコーダであり、上位
桁検出部１１３と、瞬時値検出部及び逆三角関数変換部
で成る内挿信号変換部９と、加算器で成る内挿信号合成
部１０とを備えている。Ａ−Ｂ相検出用磁気センサ部４
からの２相交流信号ＳＡ、Ｓｌｌの瞬時値Ｓ１．Ｓ２が
瞬時値検出部を構成するサンプル／ホールド回路５八、
５Ｂで検出されＡ／Ｄ変換回路６Ａ、６Ｂにてディジタ
ル信号化される。ディジタル信号化された２相交流侶号
ＳＡ、ＳＢの瞬時値５１．Ｓ２はマイクロプロセッサ等
から成る逆三角形関数変換部を構成する除算器７に送出
されて次式（１）の演算が行なわれ、その商５１／Ｓ２
が逆三角関数変換部を構成する逆正接演算部８に送出さ
れて次式（２）の演算か行なわれ、２相交流信号Ｓ、、
ＳＢの一周期内の位相θ、即ちＡ−Ｂ相同板２の一歯内
の絶対位置である内挿信号Ｓか内挿信号合成部１０に送
出される。
せて示す概略構成図であり、同一構成箇所は同符号を付
す。このエンコーダは高精度型エンコーダであり、上位
桁検出部１１３と、瞬時値検出部及び逆三角関数変換部
で成る内挿信号変換部９と、加算器で成る内挿信号合成
部１０とを備えている。Ａ−Ｂ相検出用磁気センサ部４
からの２相交流信号ＳＡ、Ｓｌｌの瞬時値Ｓ１．Ｓ２が
瞬時値検出部を構成するサンプル／ホールド回路５八、
５Ｂで検出されＡ／Ｄ変換回路６Ａ、６Ｂにてディジタ
ル信号化される。ディジタル信号化された２相交流侶号
ＳＡ、ＳＢの瞬時値５１．Ｓ２はマイクロプロセッサ等
から成る逆三角形関数変換部を構成する除算器７に送出
されて次式（１）の演算が行なわれ、その商５１／Ｓ２
が逆三角関数変換部を構成する逆正接演算部８に送出さ
れて次式（２）の演算か行なわれ、２相交流信号Ｓ、、
ＳＢの一周期内の位相θ、即ちＡ−Ｂ相同板２の一歯内
の絶対位置である内挿信号Ｓか内挿信号合成部１０に送
出される。
そして、内挿信号合成部１０にてこの内挿信号Ｓと、上
位桁検出部１１３からの上位桁信号ＳＵとが加算されて
高精度位置信号として出力されるようになっている。
位桁検出部１１３からの上位桁信号ＳＵとが加算されて
高精度位置信号として出力されるようになっている。
（発明が解決しようとする課題）
上述した従来のエンコーダにおいては、基準位置である
Ｚ相同板の切欠き部からの相対位置を検出することによ
り回転軸の１回転内絶対位置を求めている。ところが、
電源投入直後には絶対位置が確定しておらず、この絶対
位置を確定するにはＺ相同板の切欠き部を一度通過する
必要があるため、余分な動作や時間が必要になるという
欠点がありた。また、パルス化を行うコンパレータの人
力部分に外来ノイズが混入すると、検出位置に誤差が生
じるという問題があった。
Ｚ相同板の切欠き部からの相対位置を検出することによ
り回転軸の１回転内絶対位置を求めている。ところが、
電源投入直後には絶対位置が確定しておらず、この絶対
位置を確定するにはＺ相同板の切欠き部を一度通過する
必要があるため、余分な動作や時間が必要になるという
欠点がありた。また、パルス化を行うコンパレータの人
力部分に外来ノイズが混入すると、検出位置に誤差が生
じるという問題があった。
本発明は上述した事情から成されたものであり、本発明
の目的は、余分な動作や時間を必要とせず、高精度な位
置検出を常に行なうことができるエンコーダを提供する
ことにある。
の目的は、余分な動作や時間を必要とせず、高精度な位
置検出を常に行なうことができるエンコーダを提供する
ことにある。
（課題を解決するための手段）
本発明は、位置を検出するエンコーダ、特にアブソリュ
ート・エンコーダに関するものであり、本発明の上記目
的は、外周部に切欠きを有し、前記切欠きの有無のパタ
ーンが２進循環乱数数列の配列パターンに従っている透
磁材より成る篤１の円板と、前記切欠きの有無のパター
ンの所定ビット分を検出する第１の磁気センサ手段と、
前記第１の磁気センサ手段の圧力信号である前記第１の
円板の所定ビット分の切欠きの有無のパターンを前記第
１の円板の絶対位置である絶対位置信号に変換する第１
の変換手段とを具備することによって達成される。
ート・エンコーダに関するものであり、本発明の上記目
的は、外周部に切欠きを有し、前記切欠きの有無のパタ
ーンが２進循環乱数数列の配列パターンに従っている透
磁材より成る篤１の円板と、前記切欠きの有無のパター
ンの所定ビット分を検出する第１の磁気センサ手段と、
前記第１の磁気センサ手段の圧力信号である前記第１の
円板の所定ビット分の切欠きの有無のパターンを前記第
１の円板の絶対位置である絶対位置信号に変換する第１
の変換手段とを具備することによって達成される。
（作用）
本発明にあっては、第１の磁気センサ手段から出力され
る信号のパターンは２進循環乱数数列の配列に従った所
定ビット分のパターンであり、回転軸１回転内に同一パ
ターンは存在しないので、このパターンと回転軸の絶対
位置との関係を予め記憶している第１の変換手段に第１
の磁気センサ手段の出力信号を人力することで、出力信
号に対応した回転軸の絶対位置を検出することができる
。
る信号のパターンは２進循環乱数数列の配列に従った所
定ビット分のパターンであり、回転軸１回転内に同一パ
ターンは存在しないので、このパターンと回転軸の絶対
位置との関係を予め記憶している第１の変換手段に第１
の磁気センサ手段の出力信号を人力することで、出力信
号に対応した回転軸の絶対位置を検出することができる
。
（実施例）
第１図は本発明のエンコーダの一例を第６図に対応させ
て示す概略構成図であり、同一構成箇所は同符号を付す
。このエンコーダは従来の上位桁検出部１１３の代わり
に符号変換器１１を、また従来のＺ相同板１０１の代わ
りに第２図に示すような２進循環乱数数列の一種である
”００００１０１１００１１１１０１°”のパターンに
従った切欠き（図では°″０゛を切欠き部としている）
を有する絶対位置検出用Ｚ相同板１を、さらに従来のＡ
・Ｂ相検出用磁気センサ部１０３の代わりに絶対位置検
出用Ｚ相同板１の切欠き部の４ビツト分を検出できるよ
うに配置されたＡ−Ｂ相検出用磁気センサ部３を備えて
いる。このＡ−Ｂ相検出用磁気センサ部３からの４つの
信号はマイクロプロセッサ等を用いた符号変換器１１に
送出されてディジタル信号化される。この符号変換器１
１には第３図に示す２進循環乱数数列のビットパターン
と絶対位置との関係が予め記憶されており、Ａ−Ｂ相検
出用磁気センサ部３からの信号の４ビツトのパルス符号
により回転軸の１回転内の絶対位置である絶対位置信号
Ｓａｂか求められて内挿信号合成部１０に送出される。
て示す概略構成図であり、同一構成箇所は同符号を付す
。このエンコーダは従来の上位桁検出部１１３の代わり
に符号変換器１１を、また従来のＺ相同板１０１の代わ
りに第２図に示すような２進循環乱数数列の一種である
”００００１０１１００１１１１０１°”のパターンに
従った切欠き（図では°″０゛を切欠き部としている）
を有する絶対位置検出用Ｚ相同板１を、さらに従来のＡ
・Ｂ相検出用磁気センサ部１０３の代わりに絶対位置検
出用Ｚ相同板１の切欠き部の４ビツト分を検出できるよ
うに配置されたＡ−Ｂ相検出用磁気センサ部３を備えて
いる。このＡ−Ｂ相検出用磁気センサ部３からの４つの
信号はマイクロプロセッサ等を用いた符号変換器１１に
送出されてディジタル信号化される。この符号変換器１
１には第３図に示す２進循環乱数数列のビットパターン
と絶対位置との関係が予め記憶されており、Ａ−Ｂ相検
出用磁気センサ部３からの信号の４ビツトのパルス符号
により回転軸の１回転内の絶対位置である絶対位置信号
Ｓａｂか求められて内挿信号合成部１０に送出される。
そして、内挿信号合成部１０にてこの絶対位置信号Ｓａ
ｂと内挿信号変換部９からの内挿信号Ｓとが加算されて
高精度絶対位置信号として出力されるようになっている
。
ｂと内挿信号変換部９からの内挿信号Ｓとが加算されて
高精度絶対位置信号として出力されるようになっている
。
ここで、２進循環乱数数列について説明する。
２進数Ｎヒツトを用いれば最大２Ｎ個の数か表現できる
ので、０又は】を２Ｎ個以下の個数で適当に並へること
によりこの数列の中のどの連続するＮヒツトを読出して
も全て異なる数を表現するような２進循環乱数数列とし
、読出した２進数パターンと絶対位置との関係を予め定
めておけは第３図に示したように絶対位置を検出できる
。
ので、０又は】を２Ｎ個以下の個数で適当に並へること
によりこの数列の中のどの連続するＮヒツトを読出して
も全て異なる数を表現するような２進循環乱数数列とし
、読出した２進数パターンと絶対位置との関係を予め定
めておけは第３図に示したように絶対位置を検出できる
。
なお、従来このような２進循環乱数数列として、特にＭ
系列のものが有名であるが、本発明はＭ系列以外のもの
でも２Ｎ個以下の任意の個数の２進循環乱数ならば適用
で診る。例えば第４図（ａ）（ｂ）にそれぞれ１００分
割、２００分割時の配列パターンを示すが、同図（ａ）
では７ビツト分、同図（ｂ）では８ビツト分の切欠きの
有無を検出すれば、１゜回転内の絶対位置を検出するこ
とができる。
系列のものが有名であるが、本発明はＭ系列以外のもの
でも２Ｎ個以下の任意の個数の２進循環乱数ならば適用
で診る。例えば第４図（ａ）（ｂ）にそれぞれ１００分
割、２００分割時の配列パターンを示すが、同図（ａ）
では７ビツト分、同図（ｂ）では８ビツト分の切欠きの
有無を検出すれば、１゜回転内の絶対位置を検出するこ
とができる。
また、上述した実施例では２相交流信号を逆−角関数変
換して得られる内挿信号を利用することにより高精度な
絶対位置検出を行っているが、このような高精度を必要
としない場合は内挿信号を検出する部分、即ちＡ−Ｂ相
同板２．Ａ−Ｂ相検出用磁気センサ部４．内挿信号変換
部９及び内挿信号加算部１０を除いた構成としてもよい
。
換して得られる内挿信号を利用することにより高精度な
絶対位置検出を行っているが、このような高精度を必要
としない場合は内挿信号を検出する部分、即ちＡ−Ｂ相
同板２．Ａ−Ｂ相検出用磁気センサ部４．内挿信号変換
部９及び内挿信号加算部１０を除いた構成としてもよい
。
さらには、絶対位置検出用Ｚ相同板１の切欠き１ビツト
分の長さＬをＡ−Ｂ相同板２のキア形状の１周期の長さ
λのｎ分の１（ｎは整数）とすることにより、絶対位置
の検出精度をさらに高めることができる。
分の長さＬをＡ−Ｂ相同板２のキア形状の１周期の長さ
λのｎ分の１（ｎは整数）とすることにより、絶対位置
の検出精度をさらに高めることができる。
（発明の効果）
以上のように本発明のエンコーダによれは、電源投入直
後においても絶対位置が確定しているので、余分な動作
や時間等を必要とせず、迅速な位置検出を行なうことが
できる。また、常に絶対値化されたパターンコートを検
出するので、外来ノイズに対し強く、検出位置の信頼性
を向上させることかできる。
後においても絶対位置が確定しているので、余分な動作
や時間等を必要とせず、迅速な位置検出を行なうことが
できる。また、常に絶対値化されたパターンコートを検
出するので、外来ノイズに対し強く、検出位置の信頼性
を向上させることかできる。
第１図は本発明のエンコーダの一例を示す概略構成図、
第２図は本発明のエンコーダの主要部を示す平面図、第
３図は本発明のエンコータに使用するデータ例を示す図
、第４図は本発明のエンコータに用いる２進循環乱数数
列の他のパターンの一例を示す図、第５図は従来のエン
コーダの一例を示す概略構成図、第６図は従来のエンコ
ーダの別の一例を示す概略構成図である。 １・・・絶対位置検出用Ｚ相同板、２・・・Ａ−Ｂ相同
板、３，１０３・・・Ｚ相検出用磁気センサ部、４・・
・Ａ・Ｂ相検出用磁気センサ部、５Ａ、５Ｂ・・・サン
プル／ホールト回路、δ＾、８Ｂ・・・＾／Ｄ変換回路
、７・・・除算器、８・・・逆正接演算部、９・・・内
挿信号変換部、１０・・・内挿信号合成部、１１・・・
符号変換部、１０１・・・Ｚ相同板、１１０，１１１Ａ
、ＩＩＩＢ・・・コンパレータ、１１２・・・パルスカ
ウンタ、１１３・・・上位桁検出部。
第２図は本発明のエンコーダの主要部を示す平面図、第
３図は本発明のエンコータに使用するデータ例を示す図
、第４図は本発明のエンコータに用いる２進循環乱数数
列の他のパターンの一例を示す図、第５図は従来のエン
コーダの一例を示す概略構成図、第６図は従来のエンコ
ーダの別の一例を示す概略構成図である。 １・・・絶対位置検出用Ｚ相同板、２・・・Ａ−Ｂ相同
板、３，１０３・・・Ｚ相検出用磁気センサ部、４・・
・Ａ・Ｂ相検出用磁気センサ部、５Ａ、５Ｂ・・・サン
プル／ホールト回路、δ＾、８Ｂ・・・＾／Ｄ変換回路
、７・・・除算器、８・・・逆正接演算部、９・・・内
挿信号変換部、１０・・・内挿信号合成部、１１・・・
符号変換部、１０１・・・Ｚ相同板、１１０，１１１Ａ
、ＩＩＩＢ・・・コンパレータ、１１２・・・パルスカ
ウンタ、１１３・・・上位桁検出部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、外周部に切欠きを有し、前記切欠きの有無のパター
ンが２進循環乱数数列の配列パターンに従っている透磁
材より成る第１の円板と、前記切欠きの有無のパターン
の所定ビット分を検出する第１の磁気センサ手段と、前
記第１の磁気センサ手段の出力信号である前記第１の円
板の所定ビット分の切欠きの有無のパターンを前記第１
の円板の絶対位置である絶対位置信号に変換する第１の
変換手段とを備えたことを特徴とするエンコーダ。 ２、前記第１の円板と同軸上に配置され、外周部がギア
形状を成し、前記ギア形状の１周期が前記第１の円板の
１ビット分の切欠きの円周方向の長さの整数倍である第
２の円板と、前記第２の円板の移動距離に応じた周期的
な波形を有し、相互に所定の位相差を有する２相交流信
号を発生する第２の磁気センサ手段と、前記２相交流信
号の各瞬時値を検出して逆三角関数変換し、前記第２の
円板の一歯内の絶対位置である内挿信号に変換する第２
の変換手段と、前記第１の変換手段からの絶対位置信号
と前記第２の変換手段からの内挿信号とを加算して前記
第１及び第２の円板の絶対位置とする合成手段とを備え
た請求項１に記載のエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23145890A JPH04110727A (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23145890A JPH04110727A (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04110727A true JPH04110727A (ja) | 1992-04-13 |
Family
ID=16923828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23145890A Pending JPH04110727A (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04110727A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004008075A3 (en) * | 2002-07-17 | 2004-07-01 | Timken Co | Apparatus and method for absolute angular position sensing |
| JP2007132685A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Toyo Denso Co Ltd | 舵角センサ |
| JP2008209393A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-09-11 | Murata Mach Ltd | 直線型変位センサ |
| JP2021165706A (ja) * | 2020-04-08 | 2021-10-14 | オークマ株式会社 | 回転位置検出器、並びに、回転位置検出器における信号位相を測定する方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6228116B2 (ja) * | 1982-09-24 | 1987-06-18 | Sumitomo Ringyo Kk | |
| JPS63177019A (ja) * | 1986-10-09 | 1988-07-21 | Alpine Electron Inc | 位置センサ |
| JPH0235314A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 絶対値エンコーダ |
-
1990
- 1990-08-31 JP JP23145890A patent/JPH04110727A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6228116B2 (ja) * | 1982-09-24 | 1987-06-18 | Sumitomo Ringyo Kk | |
| JPS63177019A (ja) * | 1986-10-09 | 1988-07-21 | Alpine Electron Inc | 位置センサ |
| JPH0235314A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 絶対値エンコーダ |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004008075A3 (en) * | 2002-07-17 | 2004-07-01 | Timken Co | Apparatus and method for absolute angular position sensing |
| JP2007132685A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Toyo Denso Co Ltd | 舵角センサ |
| JP2008209393A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-09-11 | Murata Mach Ltd | 直線型変位センサ |
| JP2021165706A (ja) * | 2020-04-08 | 2021-10-14 | オークマ株式会社 | 回転位置検出器、並びに、回転位置検出器における信号位相を測定する方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6914543B2 (en) | Method for initializing position with an encoder | |
| US4429267A (en) | Digital positioning systems having high accuracy | |
| JP3883035B2 (ja) | 多回転エンコーダ | |
| CN112117079B (zh) | 编码器磁体结构、编码器、电机、电气设备及车辆 | |
| EP2028450A2 (en) | Position sensor | |
| JP2018132360A (ja) | ロータリエンコーダ及びその絶対角度位置検出方法 | |
| JP2746178B2 (ja) | 測定装置の内挿回路 | |
| EP0213904A2 (en) | Interpolation method and encoder | |
| US10876864B2 (en) | High resolution absolute encoder | |
| KR101192505B1 (ko) | 위상 검출 장치 및 위치 검출 장치 | |
| WO1990004754A1 (fr) | Systeme de traitement de signaux de position | |
| JPH04110727A (ja) | エンコーダ | |
| TW202006323A (zh) | 角度檢測器 | |
| JP4224154B2 (ja) | 自己校正型角度検出装置及び検出精度校正方法 | |
| JPH03103716A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH0610813U (ja) | エンコーダ装置 | |
| US20220107208A1 (en) | Position-measuring device for measuring an absolute position | |
| JPH04136715A (ja) | エンコーダ | |
| JPH0125287Y2 (ja) | ||
| JP4748557B2 (ja) | アブソリュートエンコーダ | |
| JP2632534B2 (ja) | ロータリエンコーダ | |
| KR100487839B1 (ko) | 디지털 아날로그 혼합형 위치검출기법 | |
| JP3564831B2 (ja) | 測定装置における信号処理回路 | |
| JPS6123914A (ja) | 計測装置、及び該計測装置を用いたサーボ制御装置 | |
| JP4005241B2 (ja) | 位置検出装置 |