JPH04111761U

JPH04111761U - 受光素子

Info

Publication number: JPH04111761U
Application number: JP2260491U
Authority: JP
Inventors: 栄目黒
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1991-03-14
Filing date: 1991-03-14
Publication date: 1992-09-29

Abstract

(57)【要約】【目的】この考案は、レーザ光が入射する窓部材の透
過率の温度依存性がほとんどない受光素子を提供する。【構成】この考案は、レーザ光１２が入射する窓部材
３の表面１３と裏面１４とは共に、レーザ光１２がその
通過領域内で入射角０°以外の角度で入射する面に形成
され、且つ、前記光電変換素子の受光面に対して１８０
°以外の角度で配向されるように構成したもので、これ
により多重反射干渉を防止し、透過率の温度依存性の少
ない受光素子を提供する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、レーザ分光計、レーザ光量の精密測定装置等の精密測光用受光素子、又はレーザ干渉計の撮像素子の分野に用いられる受光素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の受光素子として図１３に示す構成の受光素子がある。この従来の受光素子１００は、例えばＳｉフォトダイオードからなる光電変換素子１０１と、電気信号を出力するための電極１０６ａ、１０６ｂと、光電変換素子１０１から電極１０６ａ、１０６ｂに電気信号を導くためのリード線１０５ａ、１０５ｂと、これらを保持する保持部材１０４と、光電変換素子１０１を密封するための光学的に透明な窓１０２を有するフタ部材１０３から構成されている。

【０００３】例えばコバール（合金）からなる保持部材１０４にニッケル−スズ合金等の低融点合金１０８で、Ｓｉフォダイオード１０１が融着固定されている。電極１０６ａ、１０６ｂは、電気的絶縁と気密のためコバールガラス等の低融点ガラス１０７で保持部材１０４に固定されている。光学的に透明な窓１０２は、例えばホウケイ酸ガラスの平行平板からなり、コバールガラス等の低融点ガラス１０９でフタ部材１０３に固定されている。窓１０２に取り付けられたフタ部材１０３は、圧入、ロウ付け等により保持部材に取り付けられている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来の受光素子１００では、窓１０２に平行平面のガラス板が使用されているため、レーザ光のような干渉性の高い光が入射した場合、図１４に示すように窓の第１面１１１と第２面１１２で繰り返し反射が生じ、その結果第２面を透過した光１１４、１１５、１１６・・・が干渉し、いわゆる多重反射干渉を起こし、透過率に影響を与える。

【０００５】例えば、平行平板にレーザ光が垂直入射した場合の透過率は、次のように表される。

【数１】ただし、

【数２】であり、Ｌは２平面間の光路長、αは線膨張係数、

【数３】は屈折率の温度係数、ｄは２平面間の距離、ｎは屈折率、ｔは温度、λは入射光の波長、Ｒは表面の反射率である。例えば、厚さ１ｍｍの光学ガラスＢＳＣ７（通称ＢＫ７）の窓に波長λ＝６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザ光を入射した場合を考えると、ＢＳＣ７はα＝７．５×１０^-6、

【数４】、ｎ＝１．５２、無コートの場合の反射率Ｒ≒０．０４であるため、約１２℃の温度変化で透過率が最大１５％変化することになるという問題があった。

【０００６】また、この影響を防ぐために、窓１０２の両面に誘電体多層膜からなる反射防止膜、例えば反射率０．２％の通称Ｖコート（縦軸に反射率を、横軸に波長を取った特性曲線が、設計波長において最低の反射率を示すようなＶ字型を有しているコーティング）を成膜した場合であっても、約１２℃の温度変化で、最大０．６％の透過率変化が生じるという問題があった。

【０００７】さらに、レーザ分光計において、２つの光電変換素子の光量比を求める場合に、図１５に示すように、２つの入射光１１７と１１８に対する窓１０２の光路長が、λ／４だけ異なると温度変化に対して、無反射防止膜がない場合には最大± １５％、反射率０．２％の誘電体多層膜からなる反射防止膜がある場合でも最大 ±０．５％の誤差を生じるという問題があった。このように従来の平行平面を用いた受光素子では干渉性の高い光の測光を行う場合に、温度変化による誤差が大きいという問題点があった。

【０００８】また、入射するレーザ光の窓１０２の両面に対する斜入射の場合に、入射角が大きくなるとＰ偏光とＳ偏光との反射率の違いが増大し、窓１０２に誘電体多層膜を成膜して透過率の偏光依存性を防止する必要がある。また、このように誘電体多層膜を成膜したとしても、入射角が大きくなるとＰ偏光とＳ偏光との反射率の相違を小さくすることが困難となり、従って透過率の偏光依存性を小さくすることが困難であるという問題がある。

【０００９】本考案は上記問題点を解決するためになされたものであり、第１の目的は反射防止膜を用いることなく、窓の透過率の温度依存性がほとんどない受光素子を提供することであり、さらに第２の目的は、反射防止膜を用いることなく、透過率の温度依存性と偏光依存性がほとんどない受光素子を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、以下の構成とすることにより上述の課題を解決している。

【００１１】（１）レーザ光を入射して光電変換する光電変換素子と、この光電変換素子の受光面に対向する窓部材と、この窓部材を介して前記光電変換素子を外部から密封して保持する保持部材とを有する受光素子において、前記窓部材の表面と裏面とは共に、前記レーザ光がその通過領域内で入射角０ °以外の角度で入射する面に形成され、且つ、前記光電変換素子の受光面に対して前記レーザ光の通過領域内で１８０°以外の角度で配向していることを特徴とする構成。

【００１２】（２）レーザ光を入射して光電変換する光電変換素子と、この光電変換素子の受光面に対向する窓部材と、この窓部材を介して前記光電変換素子を外部から密封する保持部材とを有する受光素子において、前記窓部材は、その表面及び裏面が互いに平行ではなく、且つ、表面と受光面とのそれぞれの入射角が異なるとともに、第２面の屈折角と受光面の入射角が異なるように配向する平面でそれぞれ構成されることを特徴とする構成。

【００１３】（３）請求項２記載の受光素子において、前記窓部材は、この窓部材の表面に対する入射面と裏面に対する入射面とが直交する如く構成され、且つ、表面及び裏面のうち、一方の面の入射角と他方の面の屈折角が等しくなるように形成されることを特徴とする構成。

【００１４】（４）請求項１乃至３の何れかに記載の受光素子において、前記光電変換素子が複数からなることを特徴とする構成。

【００１５】（５）請求項１乃至４の何れかに記載の受光素子において、前記光電変換素子が半導体光検出器であることを特徴とする構成。

【００１６】（６）請求項１乃至４の何れかに記載の受光素子において、前記光電変換素子が固体撮像素子であることを特徴とする構成。

【００１７】

【作用】

上述の構成１、２及び４乃至６によれば、窓部材を多重反射干渉の起こらない形状としたため、反射防止膜を用いることなく窓部材の透過率の温度依存性をほとんどなくすことを出来る。また、上述の構成３乃至６によれば、入射光に対し、窓部材の表面及び裏面の入射平面を互いに直交させ、それぞれの入射角を等しく設定するため、誘電体多層膜を用いることなく窓部材の偏光依存性をほとんどなくすことが出来る。

【００１８】

【実施例】

以下に本考案の実施例について添付図面を用いて説明する。尚、添付図面中、後述する窓部材の断面を示すハッチングは省略している。図１は本考案の第１実施例の構成を示す縦断面図である。本実施例の受光素子０は、光電変換素子１と、これを保持する保持部材２と、光学的透明体からなる窓部材３と、この窓部材３を保持するとともに光電変換素子１の周囲雰囲気を気密にして保持部材２の一部を構成するフタ部材４と、外部に電気信号を伝達するための電極５，６と、光電変換素子１の出力を電極５，６に導くためのリード線７，８を備えて構成される。電極５，６は、例えば低融点ガラス等からなる封止剤１１を用いて気密封止と電気絶縁した状態で保持部材２に固定されている。また、窓部材３は、低融点ガラスやエポキシ接着剤等の封止剤１１によってキャップ４に取り付けられる。また、窓部材３の付いたフタ部材４は、圧入、ロウ付け、溶接、接着等により保持部材２と気密接合して光電変換素子１に水分等が付着するのを防止している。そして、内部にはＮ₂等の不活性ガスを封入して光電変換素子１の劣化を防止している。

【００１９】本実施例において、光電変換素子１は、例えば可視光から近赤外線光に感度を有する半導体光検出器であるＳｉフォトダイオードであり、基盤２及びキャップ４はコバールからなる。窓部材３は、例えば可視から近赤外域において透明な光学ガラスであるＢＳＣ７（ＨＯＹＡ（株）商品名、通称ＢＫ７）からなり、表面である第１面１３と裏面である第２面１４が、例えばθ＝１度の角度を有するクサビ形になっている。波測定光、例えば波長６３３ｎｍ、ビーム径φ１ｍｍのＨｅ−Ｎｅレーザ光１２は、窓部材３の第１面１３に例えば角度θ₁＝０．７５度で入射する。ここで、レーザ光１２は反射光１５と透過光１６に分離する。窓部材３を構成するＢＳＣ７の屈折率は約１．５であるため透過光１６は屈折の法則に従い、

【数５】約屈折角θ₂で屈折する。屈折したレーザ光１６は、窓部材３の第２面１４に入射し、反射光１７と透過光１８に分離される。この時の入射角θ₃は、第１面１３と第２面１４のなす角θが１度であるため、 θ₃＝θ−θ₁＝１−０．５＝０．５度＝θ₁ となる。従って、反射光１７は、第２面１４の法線に対してθ₃なる角度で反射され、透過光１８は屈折の法則に従い、

【数６】なる屈折角θ₄で屈折される。第２面１４の透過光１８は、フォトダイオード１に入射する。例えば、フォトダイオード１の受光面２７を窓部材３の第１面１３と第２面１４とそれぞれ等しいθ′（例えば０．５度）をなすように窓部材３とフォトダイオード１を設定しておくと、受光面２７に入射するレーザ光１８の入射角θ₅は、 θ₅＝θ₄−θ′＝０．７５−０．５＝０．２５度となる。フォトダイオード１に入射したレーザ光１８は受光面２７に吸収され光電変換される光と、反射光２２に分離される。受光面２７に吸収された光は電気信号に変換されリード７，８を通して電極５，６に導かれ出力される。

【００２０】反射光２２は、窓部材３の第２面１４に再び入射し、反射光２３と透過光２４ ′に分離される。この時の入射角θ₉は、 θ₉＝θ′−θ₅＝０．５−０．２５＝０．２５度である。反射光２３は再びフォトダイオード１に入射するが、レーザ光１８と反射光２３のなす角がθ₄−θ₉＝０．７５−０．２５＝０．５度であるため、ビーム径を１ｍｍとした場合に、レーザ光１８とレーザ光２３が干渉することによる干渉縞は、約１４本となる。従って、周囲温度変化に対する受光面と第２面間の光路長変化によって引き起こされる干渉縞の移動による平均光量の変化は無視できる。同様に第２面１４の反射光１７について考えると、第１面１３に入射し、反射光２０と透過光１９に分離され、反射光２０は再び第２面１４に入射し、屈折角 θ₈で屈折される。この時の屈折角θ₈は、 θ₆＝θ₃＋θ＝０．５＋１＝１．５ θ₇＝θ₆＋θ＝１．５＋１＝２．５

【数７】であり、前述のレーザ光１８，２３となす角がそれぞれ３度および３．５度となり、この反射光が干渉することによる光量変動は無視できる。従って、周囲温度変化に対する窓の影響のほとんどない受光素子が実現できる。

【００２１】本実施例において、窓部材３の第１面１３と第２面１４のなす角θを１度としたが、これに限定されるものではなく、使用するビーム径に応じて可変して良い。例えば、レーザ光１８と２３が干渉した場合の干渉縞の本数を１０本以上とするには、ビーム径φ５ｍｍの場合、θ≧０．０２度、ビーム径φ１ｍｍの時には、θ≧０．０８度であれば良い。また、第１面１３と第２面１４と、受光面の位置関係に制限されず、次の条件を満足すれば良い。すなわち、光電変換素子の受光面２７に入射光が垂直入射する場合（θ₅＝０）に、第１面１３での屈折角θ ₂ と、第２面１４での屈折角θ₄がθ₂≠０且つθ₄≠０を満足すれば良い。これを実現する方法としては、第１面１３の反射光１５と、第２面１４を反射し、第１面１３を透過した光１９と、受光面２７で反射し、第２面１４および第１面１３を透過した光２６が、それぞれ平行にならないように、窓部材３と受光素子１の位置関係を調節すれば良い。このように第１の実施例によれば、反射防止膜を取り付けることになく、干渉による誤差の小さい受光素子を実現できる。以上の実施例において、レーザ光１２が通過する領域は、表面１３及び裏面１４に対して、レーザ光１２の少なくとも一部が入射する範囲をいう。具体的には、表面１３及び裏面１４に対してレーザ光１２、１６、１８、２０、２２、２４、２６の全部又は一部が入射する表面１３及び裏面１４内での範囲をいう。尚、以下の実施例においても通過領域とは、窓部材（後述する）に入射するレーザ光が、窓部材の表面及び裏面に対して少なくとも一部が入射する表面及び裏面中の範囲をいう。

【００２２】図２は、第２の実施例を示した縦断面図である。第２の実施例では、窓の両面を球面とし、２つの光電変換素子を用いている。２つの光電変換素子１ａ、１ｂは、温度特性を合わせるため、同一の基板２８上に形成されている。窓部材２０３は第１の面および第２の面を球面としたため、両凸レンズとなっている。入射光１２ａおよび１２ｂは、両凸レンズ状の窓部材２０３を通過し、レンズの作用により集束され、光電変換素子１ａ、１ｂに入射する。入射光１２ａ、１２ｂに対し、窓部材２０３の第１面２１３、第２面２１４、光電変換素子１ａ、１ｂの受光面２２７は何れも垂直入射とならないため干渉による誤差が生じない。また、レンズによる集束効果により、入射光１ａ、１ｂ間の距離よりも光電変換素子間の距離を小さくでき、また、ビーム径も小さくなるため、小さな光電変換素子が使えるという効果がある。

【００２３】図３は、本考案の第３の実施例を示す縦断面図である。本実施例では、第２の実施例の両凸レンズ形の窓部材２０３を両凹レンズ形の窓部材３０３としたものである。両凹レンズ形の窓部材３０３は入射光１２ａ、１２ｂを光軸に対し、広がる方向に屈折させるため、例えば入射光１２ａ、１２ｂが近接している場合であっても、容易に２つの入射光を分離、検出することができるという効果がある。尚、第２図及び第３図において、Ｂは使用しない領域、即ち入射光の通過領域から除かれる部分を覆う不透明体である。

【００２４】第１の実施例を微小な光電変換素子を多数並べた多素子受光素子（例えば２次元多素子フォトダイオード）等に適用した場合、１つの光電変換素子の受光面２７で反射し、第２面１４で反射した光２３や、第２面、第１面で反射し、第２面を透過した光２１が、他の光電変換素子に入射して、誤差を生じるため、クサビの角度を大きくしたり、窓自体を大きく傾ける必要がある。このようにした場合、第１面および第２面の入射角が大きくなり、第１面および第２面の反射率の偏光依存性が大きくなるという問題を生じる。これを軽減するために無反射膜を使用する方法があるが、偏光依存性のない無反射膜を作ることは困難である。以下に示す本考案の第４の実施例は、このように窓の第１面および第２面の入射角を大きくした場合でも反射防止膜を使用することなく偏光依存性のない受光素子を実現するものである。

【００２５】以下図４乃至図６を用いて第４の実施例について詳細に説明する。図４は第４の実施例を説明するための斜視図、図５は図４のＸ軸とＺ軸を含む平面に平行な断面図、図６はＹ軸とＺ軸を含む平面に平行な断面図である。図４において、平面２９は窓部材４０３の第１面４１３における入射平面（第１面の法線と第１面への入射光を含む平面）であり、平面３０は第２面４１４における入射平面である。図５及び図６において、図示した光線のうち実線は、入射平面２９および３０内に存在し、破線は面外にあることを示している。窓部材４０３は、入射光１２に対し、第１面４１３の入射平面２９と第２面４１４の入射平面３０が直交し、且つ、第１面の屈折角θ₂と第２面の入射角θ₃が等しくなるように設定する。ここで入射光１２のうち、第１面の入射平面２９に平行な電界を有する成分をＸ偏光、垂直な電界を有する成分をＹ偏光とする。一般に、光が屈折率の異なる物質の境界面に入射した場合、入射面に平行な電界を有する成分をＰ偏光、垂直な電界を有する成分をＳ偏光と呼び、境界面での反射率は、Ｐ偏光とＳ偏光で異なった値を有する。

【００２６】図７において、境界面５１の透過率は、入射角をθ、屈折角をθ′とすると、

【数８】で表される。従って、図５及び図６に示す如く、第１面４１３では、Ｘ偏光がＰ偏光、Ｙ偏光がＳ偏光となるため、それぞれの透過率Ｔ_X1、Ｔ_Y1は、

【数９】である。同様に、第２面４１４では、Ｘ偏光がＳ偏光、Ｙ偏光がＰ偏光となるため、それぞれの透過率Ｔ_X2、Ｔ_Y2は、

【数１０】である。

【００２７】従って、Ｘ偏光およびＹ偏光に対する窓の透過率Ｔ_X、Ｔ_Yはそれぞれ、

【数１１】となる。ここで、θ₂＝θ₃、θ₁＝θ₄となるように窓を設定しているため、

【数１２】である。従って、Ｔ_X＝Ｔ_Yとなり、反射防止膜を取り付けることなく透過率の偏光依存性のない窓部材が得られる。第４の実施例において、第１面４１３と第２面４１４の入射面を直交させ、第１面４１３の屈折角θ₂と第２面４１４の入射角θ₃を等しく調整するには、受光素子４００の前面に入射光１２が通るようにピンホールを置き、ピンホール面において、入射光と第１面の反射光を結んだ直線と、入射光と第２面の反射光を結んだ直線が直交するように受光素子を調整すれば良い。

【００２８】図１１は、本考案の第４の実施例の受光素子を偏光解析装置に応用した場合の実施例である。図中で、４０は例えばグラントムソンプリズムなどの偏光子、４１は考案の受光素子、４４は抵抗器である。入射レーザ光４２は、偏光子４０に入射し、偏光子４０の偏光方向の成分のみ透過し、透過光４３となる。この透過光４３は受光素子４１に入射し、光電変換され電流信号Ｉが得られ、抵抗器４４を流れることにより入射したレーザ光４３の光量に比例した電圧信号Ｖが得られる。図１２は電流信号Ｉと回転角αとの関係を示す図である。図中ａは直線偏光、ｂは楕円偏光、ｃは円偏光の場合を示す。偏光子４０を光軸を中心に回転させ、回転角αと出力電圧Ｖの関係を図１２のように調べることにより、レーザ光４２の偏光状態を知ることができる。ここで、受光素子４１に入射するレーザ光４２の偏光面は、偏光子４０の回転にともなって回転するため、受光素子４１に偏光依存性があった場合には誤差を生じるが、本考案の第４の実施例の偏光依存性がない受光素子４００を用いることで誤差の生じない偏光解析装置が得られる。

【００２９】図８及び図９は、第５の実施例を示す縦断面図であり、第３の実施例の光電変換素子をＣＣＤ固体撮像素子５３１（他にＭＯＳ固体撮像素子でも良い）に置き換えたものである。例えば、ＢＳＣ７からなる窓部材５０３の第１面５１３と第２面５１４のなす角を２０度とすると、第１面の屈折角θ₂および第２面の入射角θ₃は何れも１０度となる。撮像素子５３１の受光面５２７の大きさｄ×ｄ＝１０ｍｍ×１０ｍｍとすると、窓部材５０３の第２面１４と受光面の最短距離ｌを

【数１３】とすれば、何れの反射光も受光面５２７に入射しなくなる。従って、反射防止膜を取り付けることなく、反射による誤差および偏光依存性のない撮像素子が得られる。上記実施例において、窓部材５０３に光学ガラスＢＳＣ７を用いて説明したが、使用波長において透明な物質であれば、他のガラスや結晶、有機物、無機物何でも良い。また、受光素子にはＳｉフォトダイオード、ＣＣＤ固体撮像素子を用いたが、光−電気変換機能を有する素子であれば何でも良い。また、上記実施例では、反射防止膜を使用しないとしたが、反射による損失を軽減するために反射防止膜を使用しても本発明の原理に何ら影響を与えるものではない。

【００３０】図１０は、本考案を２モード方式の周波数安定化レーザに応用した説明図である。図中３２はレーザチューブ、３３は偏光ビームスプリッタ、３４は本考案に係わる受光素子（２素子）、３５ａ、３５ｂは電流電圧変換増幅器、３６は差動増幅器、３７はＰＩＤ調節器、３８はトランジスタ、３９はヒータである。受光素子３４は、第１の実施例の窓と、第２の実施例の２素子の光電変換素子を組み合わせたものである。本発明の受光素子を用いることにより、受光素子の温度変化による誤差を軽減できるため、温度変化に対する周波数変動を小さくすることができる。尚、半導体検出器として、第１実施例ではＳｉフォトダイオードの場合について説明したが、ＳｉフォトダイオードのかわりにＧｅ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ等のフォトダイオードであっても良い。

【００３１】

【考案の効果】

以上のように、本考案の受光素子は、窓部材の表裏面および光電変換素子の受光面を、多重反射干渉の影響が出ない構成としたため、特別に反射防止膜を用いることなく、干渉による誤差を大幅に減少することが出来る。

【００３２】また、入射光に対し、窓部材の表面と裏面を偏光依存性が生じない構成としたため、偏光依存性のない反射防止膜を窓部材に成膜する必要がなく、更に大きな入射角に対しても透過率の偏光依存性を防止することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１実施例を示す縦断面図である。

【図２】本考案の第２実施例を示す縦断面図である。

【図３】本考案の第３実施例を示す縦断面図である。

【図４】本考案の第４実施例を示す斜視図である。

【図５】第４図中、Ｘ軸とＺ軸を含む平面に平行な断面
図である。

【図６】第４図中、Ｙ軸とＺ軸を含む平面に平行な断面
図である。

【図７】境界面の透過率を説明する図である。

【図８】本考案の第５実施例を示す断面図である。

【図９】本考案の第５実施例を示す断面図である。

【図１０】本考案の応用例を示す説明図である。

【図１１】本考案の第４実施例の受光素子を偏光解析装
置に応用した説明図である。

【図１２】電流信号と回転角の関係を示す図である。

【図１３】従来の受光素子を示す縦断面図である。

【図１４】多重反射干渉の説明図である。

【図１５】従来の受光素子を示す縦断面図である。

【符号の説明】

０受光素子１光電変換素子１ａ光電変換素子１ｂ光電変換素子３窓部材１２レーザ光１２ａレーザ光１２ｂレーザ光１３表面１４裏面２７受光面２９入射面３０入射面３４受光素子２００受光素子２０３窓部材２１３表面２１４裏面３００受光素子３０３窓部材３１３表面３１４裏面４００受光素子４０３窓部材４１３表面４１４裏面５００受光素子５０３窓部材５１３表面５１４裏面５２７受光面

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】レーザ光を入射して光電変換する光電変
換素子と、この光電変換素子の受光面に対向する窓部材
と、この窓部材を介して前記光電変換素子を外部から密
封して保持する保持部材とを有する受光素子において、
前記窓部材の表面と裏面とは共に、前記レーザ光がその
通過領域内で入射角０°以外の角度で入射する面に形成
され、且つ、前記光電変換素子の受光面に対して１８０
°以外の角度で配向していることを特徴とする受光素
子。
【請求項２】レーザ光を入射して光電変換する光電変
換素子と、この光電変換素子の受光面に対向する窓部材
と、この窓部材を介して前記光電変換素子を外部から密
封する保持部材とを有する受光素子において、前記窓部
材は、その表面及び裏面が互いに平行ではなく、且つ、
表面と受光面とのそれぞれの入射角が異なるとともに、
第２面の屈折角と受光面の入射角が異なるように配向す
る平面でそれぞれ構成されることを特徴とする受光素
子。
【請求項３】請求項２記載の受光素子において、前記
窓部材は、この窓部材の表面に対する入射面と裏面に対
する入射面とが直交する如く構成され、且つ、表面及び
裏面のうち、一方の面の入射角と他方の面の屈折角が等
しくなるように形成されることを特徴とする受光素子。
【請求項４】請求項１乃至３の何れかに記載の受光素
子において、前記光電変換素子が複数からなることを特
徴とする受光素子。
【請求項５】請求項１乃至４の何れかに記載の受光素
子において、前記光電変換素子が半導体光検出器である
ことを特徴とする受光素子。
【請求項６】請求項１乃至４の何れかに記載の受光素
子において、前記光電変換素子が固体撮像素子であるこ
とを特徴とする受光素子。