JPH0411310A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH0411310A JPH0411310A JP11293490A JP11293490A JPH0411310A JP H0411310 A JPH0411310 A JP H0411310A JP 11293490 A JP11293490 A JP 11293490A JP 11293490 A JP11293490 A JP 11293490A JP H0411310 A JPH0411310 A JP H0411310A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- magnetic recording
- thin
- gap depth
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 4
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はデジタル記録装置等に使用する薄膜磁気ヘット
に関する。
に関する。
（従来の技術）
従来、薄膜磁気ヘッドとして第３図に示すように、基板
１０１上に平面状の下コア１０２を成膜し、この下コア
１０２上に層間絶縁膜１０３で内包して薄膜コイル１０
４を形成し、更に層間絶縁膜１０３上にギャップ層１０
５を介して上コア１０６を成膜し、上コア１０６の前方
部つまり磁気記録媒体Ｗ側部は作動ギャップ１０７を介
して下コア１０２と対向させ、上コア１０６の後端部は
下コア１０２に接続して磁気的に結合し、更に上コア１
０６表面を無機絶縁膜１０８で保護したものがある。
１０１上に平面状の下コア１０２を成膜し、この下コア
１０２上に層間絶縁膜１０３で内包して薄膜コイル１０
４を形成し、更に層間絶縁膜１０３上にギャップ層１０
５を介して上コア１０６を成膜し、上コア１０６の前方
部つまり磁気記録媒体Ｗ側部は作動ギャップ１０７を介
して下コア１０２と対向させ、上コア１０６の後端部は
下コア１０２に接続して磁気的に結合し、更に上コア１
０６表面を無機絶縁膜１０８で保護したものがある。
この薄膜磁気ヘッドにおいては、ギャップデプス規制端
は上コアの下面であって磁気記録媒体側段差部の立上が
り部Ｃに一致していた。
は上コアの下面であって磁気記録媒体側段差部の立上が
り部Ｃに一致していた。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、デジタル記録を行う場合、薄膜磁気ヘッドの
磁極の長さしは記録再生特性の分解能及びピークシフト
に影響を及ぼすが、上記の薄膜磁気ヘッドにおいては、
ギャップデプス規制端は上コアの下面であって磁気記録
媒体側段差部の立上りが部Ｃに一致していたため、第４
図に示すように薄膜磁気ヘッドが摩耗したときに磁極長
しが変化してしまい、記録再生特性の分解能及びピーク
シフトが変化する。
磁極の長さしは記録再生特性の分解能及びピークシフト
に影響を及ぼすが、上記の薄膜磁気ヘッドにおいては、
ギャップデプス規制端は上コアの下面であって磁気記録
媒体側段差部の立上りが部Ｃに一致していたため、第４
図に示すように薄膜磁気ヘッドが摩耗したときに磁極長
しが変化してしまい、記録再生特性の分解能及びピーク
シフトが変化する。
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決するため本゛発明は、下コアに形成した
凹部の磁気記録媒体側端部をギャップデプス規制端とな
し、このギャップデプス規制端は上コアの上面であって
磁気記録媒体側段差部の立上がり部と一致又は立上がり
部より前方側（磁気記録媒体側）に位置させた。
凹部の磁気記録媒体側端部をギャップデプス規制端とな
し、このギャップデプス規制端は上コアの上面であって
磁気記録媒体側段差部の立上がり部と一致又は立上がり
部より前方側（磁気記録媒体側）に位置させた。
（作用）
ギャップデプス規制端を上コアの上面であって磁気記録
媒体側段差部の立上がり部と一致又は立上がり部より前
方側に位置させたので、ヘッドが摩耗しても完全にギャ
ップデプスがなくなるまで磁極長の長さを一定に維持で
きる。
媒体側段差部の立上がり部と一致又は立上がり部より前
方側に位置させたので、ヘッドが摩耗しても完全にギャ
ップデプスがなくなるまで磁極長の長さを一定に維持で
きる。
（実施例）
以下に本発明の実施例を添付図面を参照して説明する。
第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの要部断面図、第
２図は同薄膜磁気ヘッドの摩耗と磁極長の関係を示す線
図である。
２図は同薄膜磁気ヘッドの摩耗と磁極長の関係を示す線
図である。
薄膜磁気ヘッド１は、基板２上に下コア３を成膜形成し
、この下コア３表面には作動ギャップ部４及び後部接続
部５を除いて所望の深さだけエツチングにて除去して凹
部６を形成して、この凹部６の磁気記録媒体側端部をギ
ャップデプス規制端Ａとなす。
、この下コア３表面には作動ギャップ部４及び後部接続
部５を除いて所望の深さだけエツチングにて除去して凹
部６を形成して、この凹部６の磁気記録媒体側端部をギ
ャップデプス規制端Ａとなす。
そして、下コア３上に凹部６に対応した位置に層間絶縁
膜７によって内包した態様で薄膜コイル８を成膜形成し
た後、層間絶縁膜７の一部を除去して、作動ギャップ部
４に対応した磁気記録媒体Ｗ側の段差部８ａ及び後部接
続部５に対応した後部段差部８ｂを形成した後、ギャッ
プ層９を介して上コア１０を形成する。
膜７によって内包した態様で薄膜コイル８を成膜形成し
た後、層間絶縁膜７の一部を除去して、作動ギャップ部
４に対応した磁気記録媒体Ｗ側の段差部８ａ及び後部接
続部５に対応した後部段差部８ｂを形成した後、ギャッ
プ層９を介して上コア１０を形成する。
このとき、層間絶縁膜７の磁気記録媒体Ｗ側の段差部８
ａはギャップデプス規制端Ａより後方に位置するように
形成して、ギャップデプス規制端Ａが上コア１０の上面
であって磁気記録媒体Ｗ側の段部の立ち上り部Ｂと一致
又はそれより前方つまり磁気記録媒体Ｗ側に位置するよ
うにする。
ａはギャップデプス規制端Ａより後方に位置するように
形成して、ギャップデプス規制端Ａが上コア１０の上面
であって磁気記録媒体Ｗ側の段部の立ち上り部Ｂと一致
又はそれより前方つまり磁気記録媒体Ｗ側に位置するよ
うにする。
このように構成したので、薄膜磁気ヘッド１が摩耗した
とき、第２図に示すようにライフエンドまで磁極長しは
変化しないで一定になり、記録再生特性の分解能及びピ
ークシフトが変化することがなくなる。
とき、第２図に示すようにライフエンドまで磁極長しは
変化しないで一定になり、記録再生特性の分解能及びピ
ークシフトが変化することがなくなる。
（発明の効果）
以上説明したように本発明によれば、下コアに形成した
凹部の磁気記録媒体側端部をギヤ・ツブデプス規制端と
なし、このギャップデプス規制端は上コアの上面であっ
て磁気記録媒体側段差部の立上がり部と一致又は立上が
り部より前方側に位置させたので、薄膜磁気ヘッドが摩
耗しても磁極の長さを一定に維持でき、記録再生特性の
分解能及びピークシフトが変化することがなく、安定し
た記録再生特性が得られる。
凹部の磁気記録媒体側端部をギヤ・ツブデプス規制端と
なし、このギャップデプス規制端は上コアの上面であっ
て磁気記録媒体側段差部の立上がり部と一致又は立上が
り部より前方側に位置させたので、薄膜磁気ヘッドが摩
耗しても磁極の長さを一定に維持でき、記録再生特性の
分解能及びピークシフトが変化することがなく、安定し
た記録再生特性が得られる。
第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの要部断面図、第
２図は同薄膜磁気ヘッドの摩耗と磁極長の関係を示す線
図、第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの要部断面図、第４
図は同薄膜磁気ヘッドの摩耗と磁極長の関係を示す線図
である。 １・・・薄膜磁気ヘッド、２・・・基板、３・・下コア
、６・・・凹部、７・・・層間絶縁膜、８・・・薄膜コ
イル、９・・・ギャップ層、１０・・・上コア、Ａ・・
・ギヤ・ツブデプス規制端、Ｌ・・・磁極長。
２図は同薄膜磁気ヘッドの摩耗と磁極長の関係を示す線
図、第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの要部断面図、第４
図は同薄膜磁気ヘッドの摩耗と磁極長の関係を示す線図
である。 １・・・薄膜磁気ヘッド、２・・・基板、３・・下コア
、６・・・凹部、７・・・層間絶縁膜、８・・・薄膜コ
イル、９・・・ギャップ層、１０・・・上コア、Ａ・・
・ギヤ・ツブデプス規制端、Ｌ・・・磁極長。
Claims (1)
- 上・下コア間に層間絶縁膜を介して薄膜コイルを介在し
てなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下コアには前記薄
膜コイルの下側に凹部を形成して、この凹部の磁気記録
媒体側端部をギャップデプス規制端となし、更にこのギ
ャップデプス規制端は前記上コアの上面であって磁気記
録媒体側段差部の立上がり部と一致又は立上がり部より
磁気記録媒体側に位置させたことを特徴とする薄膜磁気
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11293490A JPH0411310A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11293490A JPH0411310A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0411310A true JPH0411310A (ja) | 1992-01-16 |
Family
ID=14599153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11293490A Pending JPH0411310A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0411310A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0589430A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-04-09 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| US9612656B2 (en) | 2012-11-27 | 2017-04-04 | Facebook, Inc. | Systems and methods of eye tracking control on mobile device |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP11293490A patent/JPH0411310A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0589430A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-04-09 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| US9612656B2 (en) | 2012-11-27 | 2017-04-04 | Facebook, Inc. | Systems and methods of eye tracking control on mobile device |
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