JPH0411349B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0411349B2 JPH0411349B2 JP60202396A JP20239685A JPH0411349B2 JP H0411349 B2 JPH0411349 B2 JP H0411349B2 JP 60202396 A JP60202396 A JP 60202396A JP 20239685 A JP20239685 A JP 20239685A JP H0411349 B2 JPH0411349 B2 JP H0411349B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- control system
- rotation angle
- encoder
- gears
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Numerical Control (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、各種の搬送装置によりワークを搬送
する際にワークの有無を検出する方法に関する。
する際にワークの有無を検出する方法に関する。
従来、搬送装置の一対のアームによりワークを
挟持して搬送する際、アームの挟持部分にリミツ
トスイツチ、フオトセンサ又は感圧スイツチ等を
設けてワークの検出を行なつている。
挟持して搬送する際、アームの挟持部分にリミツ
トスイツチ、フオトセンサ又は感圧スイツチ等を
設けてワークの検出を行なつている。
しかしながら、リミツトスイツチはワークを検
出する毎に動作するため、耐久性が低く、一方フ
オトセンサ、感圧スイツチは電気配線等がアーム
近辺に必要となるため、搬送等の障害となる。特
に、ゴミ発生を非常に嫌う半導体製造装置では発
塵を最少限に抑える必要があるため、ワークを挟
持するアーム近辺は可能な限り単純な構造にする
ことが要求されている。
出する毎に動作するため、耐久性が低く、一方フ
オトセンサ、感圧スイツチは電気配線等がアーム
近辺に必要となるため、搬送等の障害となる。特
に、ゴミ発生を非常に嫌う半導体製造装置では発
塵を最少限に抑える必要があるため、ワークを挟
持するアーム近辺は可能な限り単純な構造にする
ことが要求されている。
本発明は、ワークを挟持するアームにセンサ等
を設けてワークの存在を直接検出することなく、
確実かつ再現性よくワークの有無を検出し得る方
法を提供しようとするものである。
を設けてワークの存在を直接検出することなく、
確実かつ再現性よくワークの有無を検出し得る方
法を提供しようとするものである。
本発明は、互いに歯合した一対の歯車と、これ
ら歯車に軸着され、ワークを挟持する一対のアー
ムと、前記歯車の一方を回転、駆動するモータ
と、このモータの回転数より前記歯車の回転角度
を検出するエンコーダと、このエンコーダに接続
された制御系とを具備した搬送装置によりワーク
検出を行なうに際し、予めワークを挟持した時の
アームの回転角度を臨界角度として前記制御系に
入力し、前記アームの回転角度を前記エンコーダ
を介して制御系にフイードバツクし、該制御系で
前記臨界角度と比較することによりワークの有無
を検出することを特徴とするものである。かかる
本発明によれば、既述の如くワークを挟持するア
ームにセンサ等を設けてワークの存在の直接検出
することなく、確実かつ再現性よくワークの有無
を検出できる。
ら歯車に軸着され、ワークを挟持する一対のアー
ムと、前記歯車の一方を回転、駆動するモータ
と、このモータの回転数より前記歯車の回転角度
を検出するエンコーダと、このエンコーダに接続
された制御系とを具備した搬送装置によりワーク
検出を行なうに際し、予めワークを挟持した時の
アームの回転角度を臨界角度として前記制御系に
入力し、前記アームの回転角度を前記エンコーダ
を介して制御系にフイードバツクし、該制御系で
前記臨界角度と比較することによりワークの有無
を検出することを特徴とするものである。かかる
本発明によれば、既述の如くワークを挟持するア
ームにセンサ等を設けてワークの存在の直接検出
することなく、確実かつ再現性よくワークの有無
を検出できる。
以下、本発明の実施例を第１図及び第２図を参
照して説明する。
照して説明する。
図中の１ａ，１ｂは、互いに歯合する一対の歯
車である。これら歯車１ａ，１ｂには、ワークを
挟持するための二段階に屈曲した形状の一対のア
ーム２ａ，２ｂが軸着されている。前記一方の歯
車１ａの前記アーム２ａと反対側には、駆動軸３
を介して減速機４が連結され、かつ該減速機４に
はモータ５及び該モータ５の回転数より前記歯車
１ａの回転角度を検出するエンコーダ６が順次連
結されている。このエンコーダ６は、制御系７に
接続されている。
車である。これら歯車１ａ，１ｂには、ワークを
挟持するための二段階に屈曲した形状の一対のア
ーム２ａ，２ｂが軸着されている。前記一方の歯
車１ａの前記アーム２ａと反対側には、駆動軸３
を介して減速機４が連結され、かつ該減速機４に
はモータ５及び該モータ５の回転数より前記歯車
１ａの回転角度を検出するエンコーダ６が順次連
結されている。このエンコーダ６は、制御系７に
接続されている。
次に、前述した第１図及び第２図の搬送装置に
よるワークの検出方法を説明する。
よるワークの検出方法を説明する。
まず、ワーク８がアーム２ａ，２ｂ間に存在す
る場合には、モータ５を駆動し、減速機４を介し
て駆動軸３により一方の歯車１ａを反時計回り方
向に回転することによつて、この歯車１ａと歯合
した歯車１ｂが時計回り方向に回転し、これら歯
車１ａ，１ｂに軸着したアーム２ａ，２ｂが互い
に近接ように回動してワーク８を挟持し、しかる
後アーム２ａ，２ｂ等を移動させてワーク８を所
定の位置に搬送する。この際、ワーク８を挟持し
た時の一方のアーム１ａの回転角度（歯車１ａの
回転角度）をエンコーダ６によりモータ５の回転
数から検出し、その角度を臨界角度として制御系
７に入力する。
る場合には、モータ５を駆動し、減速機４を介し
て駆動軸３により一方の歯車１ａを反時計回り方
向に回転することによつて、この歯車１ａと歯合
した歯車１ｂが時計回り方向に回転し、これら歯
車１ａ，１ｂに軸着したアーム２ａ，２ｂが互い
に近接ように回動してワーク８を挟持し、しかる
後アーム２ａ，２ｂ等を移動させてワーク８を所
定の位置に搬送する。この際、ワーク８を挟持し
た時の一方のアーム１ａの回転角度（歯車１ａの
回転角度）をエンコーダ６によりモータ５の回転
数から検出し、その角度を臨界角度として制御系
７に入力する。
次いで、前記ワークと同寸法のワークに対して
同様な操作を実行する。この際、一方のアーム２
ａの回転角度（歯車１ａの回転角度）をエンコー
ダ６によりモータ５の回転数から検出して、その
検出信号を制御系７にフイードバツクし、該制御
系７で前記臨界角度と比較する。この時、エンコ
ーダ６で検出した回転角度が臨界角度と等しい場
合には、アーム２ａ，２ｂ間にワークが存在して
いると判定され、制御系７からの信号によりアー
ム２ａ，２ｂを移動させてワークを所定に位置に
搬送する。これに対し、エンコーダ６により検出
した回転角度が臨界角度より大きい値の場合に
は、アーム２ａ，２ｂ間にワークが存在しないと
して判定され、制御系７によるアーム２ａ，２ｂ
等を移動する信号は発せられない。
同様な操作を実行する。この際、一方のアーム２
ａの回転角度（歯車１ａの回転角度）をエンコー
ダ６によりモータ５の回転数から検出して、その
検出信号を制御系７にフイードバツクし、該制御
系７で前記臨界角度と比較する。この時、エンコ
ーダ６で検出した回転角度が臨界角度と等しい場
合には、アーム２ａ，２ｂ間にワークが存在して
いると判定され、制御系７からの信号によりアー
ム２ａ，２ｂを移動させてワークを所定に位置に
搬送する。これに対し、エンコーダ６により検出
した回転角度が臨界角度より大きい値の場合に
は、アーム２ａ，２ｂ間にワークが存在しないと
して判定され、制御系７によるアーム２ａ，２ｂ
等を移動する信号は発せられない。
従つて、極めて簡単な操作で、かつ既存の装置
を利用してワークの有無を検出でき、半導体製造
装置等に有効に適用できる。
を利用してワークの有無を検出でき、半導体製造
装置等に有効に適用できる。
以上詳述した如く、本発明のワーク検出方法に
よればワークを挟持するアームにセンサ等を設け
てワークの存在を直接検出することなく、確実か
つ再現性よくワークの有無を検出でき、ひいては
ゴミの発生を非常に嫌う半導体製造装置に組込ま
れる搬送装置や、低温、高温、腐蝕性の雰囲気、
水中に置かれる搬送装置に有効に利用できる等顕
著な効果を有する。
よればワークを挟持するアームにセンサ等を設け
てワークの存在を直接検出することなく、確実か
つ再現性よくワークの有無を検出でき、ひいては
ゴミの発生を非常に嫌う半導体製造装置に組込ま
れる搬送装置や、低温、高温、腐蝕性の雰囲気、
水中に置かれる搬送装置に有効に利用できる等顕
著な効果を有する。
第１図は本発明のワーク検出方法に用いられる
搬送装置の概略正面図、第２図は第１図の装置の
概略底面図である。 １ａ，１ｂ……歯車、２ａ，２ｂ……アーム、
５……モータ、６……エンコーダ、７……制御
系、８……ワーク。
搬送装置の概略正面図、第２図は第１図の装置の
概略底面図である。 １ａ，１ｂ……歯車、２ａ，２ｂ……アーム、
５……モータ、６……エンコーダ、７……制御
系、８……ワーク。
Claims (1)
- １ 互いに歯合した一対の歯車と、これら歯車に
軸着され、ワークを挟持する一対のアームと、前
記歯車の一方を回転、駆動するモータと、このモ
ータの回転数より前記歯車の回転角度を検出する
エンコーダと、このエンコーダに接続された制御
系とを具備した搬送装置によりワーク検出を行な
うに際し、予めワークを挟持した時のアームの回
転角度を臨界角度として前記制御系に入力し、前
記アームの回転角度を前記エンコーダを介して制
御系にフイードバツクし、該制御系で前記臨界角
度と比較することによりワークの有無を検出する
ことを特徴とするワーク検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20239685A JPS6263093A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | ワ−ク検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20239685A JPS6263093A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | ワ−ク検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263093A JPS6263093A (ja) | 1987-03-19 |
| JPH0411349B2 true JPH0411349B2 (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=16456800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20239685A Granted JPS6263093A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | ワ−ク検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263093A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011110615A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Gunma Prefecture | ロータリーダイカッターシステム |
| KR101964253B1 (ko) * | 2014-10-22 | 2019-04-01 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 로봇 핸드 및 로봇 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5997870A (ja) * | 1982-11-25 | 1984-06-05 | 松下電器産業株式会社 | 自動追従制御装置 |
-
1985
- 1985-09-12 JP JP20239685A patent/JPS6263093A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6263093A (ja) | 1987-03-19 |
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