JPH0411450U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第
２図は第１図の構造における内外冷熱面積比と測
定精度との関係を示す線図である。第３図は公知
の圧力センサーを示す縦断面図、第４図は第３図
の−断面図である。 １……センサー本体、２……起歪筒、３……小
型ダイアフラム基板、４……大径ダイアフラム基
板、５……環状ダイアフラム、６……ガスシール
面、７……上端面、０３……筒柱部、０５……冷
却水入口、０６……冷却水出口、０７，０８……
軸方向流路、０９……ダイアフラム水室。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 筒状センサー本体の中心孔に筒状起歪筒を内嵌
   し、上記両部材の先端部に形成された環状ダイア
   フラム水室の環状開口をダイアフラムにて封塞し
   、同ダイアフラム水室を貫流する冷却水により冷
   却し、同ダイアフラムを介して外部圧力を受ける
   起歪筒の軸方向歪に基づいて当該外部圧力を測定
   するダイアフラム型高温圧力センサーにおいて、
   同ダイアフラムとして中心部が上記起歪筒の小径
   先端に固着される肉厚小径ダイアフラム基板と、
   上記小径ダイアフラム基板を同軸的に囲繞し比較
   的大径の内外径を有する環板状肉厚大径ダイアフ
   ラム基板と、上記両ダイアフラム基板間の環状開
   口を気密に封塞する環状ダイアフラムよりなるダ
   イアフラムを具えるとともに、上記小径ダイアフ
   ラム基板の外形をｄ_１、上記小径ダイアフラム基
   板に固着される上記起歪筒の先端部の直径をｄ_０
   、上記大径ダイアフラム基板の内径をＤ_２、その
   外面外周に沿つて形成された環状ガスシール面の
   内径をＤ_１、上記環状ダイアフラム水室の外径を
   Ｄ_０とするとき、 ０．５≦ＨｏＨｃ≦１．８ Ｈｏ＝Ｄ_１ ^２−Ｄ_２ ^２Ｄ_０ ^２−Ｄ_２ ^２ Ｈｃ＝ｄ_１ ^２ｄ_１ ^２−ｄ_０ ^２ の関係を満足する寸法を具えたことを特徴とす
   るダイアフラム型高温圧力センサー構造。