JPH04117827U - 基板のラツク収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ラックコンベアの停止精度等を向上させる必
要がなく、基板の収納ミスを無くし、基板を確実にラッ
クの受け溝に収納可能にする。 【構成】 ラックコンベア3の上方に基板のガイド手段1
0を付設配置する。ガイド手段10はガイド部材11と位置決
め部材14とを支持枠15で遊動可能に支持し、これらを接
離駆動手段18で基板収納ラック1に接離するように構成
する。位置決め部材14は上記遊動支持により、ラックコン
ベアの停止誤差等があってもこれを吸収し、目標受け溝2
aの後方に位置する受け溝2bと係合して、ガイド部材11を
受け溝2に対して正しく位置決めする。移送手段6で移送
されてきた基板Wは、その下端がガイド部材11の傾斜ガイ
ド面11aに沿って下降し、受け溝2に収納される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、プリント配線基板等の薄板状被処理基板(以下単に基板という)を 起立状態で一枚ずつ基板収納ラックに収納する基板のラック収納装置に関するも のである。

【０００２】

【従来の技術】

この種の表面処理装置としては、従来より例えば図８〜図９で示すもの（以下 従来例１という）、あるいは特公昭５３−２７５４７号公報に開示されたもの（ 以下従来例２という）が知られている。 従来例１は、複数の受け溝２を等ピッチで凹設した基板収納ラック１と、基板 収納ラック２を当該ピッチで間欠的に搬送するラックコンベア（図示せず）と、 基板Ｗをラックコンベア上に載置された基板収納ラック１の受け溝２に向けて移 送する移送手段１０６とから成り、移送手段１０６は基板Ｗの左右先端部を保持 する一対のチャック１０７・１０７と、各チャック１０７に付設されたチャック 用エアシリンダ１０７ａ（図９）と、一対のチャック１０７を上下方向へ回動す る水平駆動軸１０８と、一方のチャック１０７にその出力ロッドを伝動連結した 回動用エアシリンダ１０９とから成る。つまり、前段工程よりローラコンベア１ ００で搬送されてきた基板Ｗの左右先端部を、一対のチャック１０７・１０７で 保持して下方へ回動することにより基板Ｗを起立させ、基板収納ラック１の受け 溝２に順次遊嵌状態で収納するように構成されている。

【０００３】 また従来例２は、前段工程のローラコンベアに対向してラックコンベアを傾斜 させるとともに、ラックコンベアで基板収納ラックを間欠的に搬送し、その基板 収納ラックを待機させて、受け溝に基板を直接収納するように構成されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記従来例１は、基板Ｗの左右先端部を一対のチャック１０７で保持して基板 収納ラック１の受け溝２に起立遊嵌状態で収納する構成であるが、時として収納 ミスを生じることがある。その原因として、基板収納ラック１の受け溝２のピッ チ精度誤差、ラックコンベアの停止精度誤差、基板Ｗのソリや板厚誤差等が相互 に影響しているものと考えられる。かかる収納ミスを減少させるため、ラックコ ンベアの停止精度等をさらに向上させることも考えられるが、停止精度等の向上 には限度がある。このような事情は従来例２の場合も同様である。

【０００５】 一方、乾燥処理済み等の基板を収納する場合であれば、収納ミスによる基板の ダメージはそれほど大きくない。しかし、例えば基板の両面に塗布液を塗布した 直後の場合には、収納ミスのダメージは回復できない。 本考案はこのような事情を考慮してなされたもので、ラックコンベアの停止精 度等をさらに向上させる必要がなく、しかも上記収納ミスを無くし、基板を確実 にラックの受け溝に収納可能にすることを技術課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記課題を解決するものとして、以下のように構成される。 即ち、基板を起立遊嵌状態で収納する複数の受け溝を等ピッチで凹設した基板 収納ラックと、基板収納ラックを当該ピッチで間欠的に搬送するラックコンベア と、前段工程より搬送されてきた基板をラックコンベア上に載置された基板収納 ラックの受け溝に向けて移送する移送手段とから成る基板のラック収納装置にお いて、 ラックコンベアの上方に基板のガイド手段を付設配置し、 このガイド手段は、ラックの受け溝と平行をなすように配置され、傾斜ガイド 面を有するガイド部材と、ガイド部材に固定され、目標受け溝の搬送方向後方に 位置する受け溝と係合してガイド部材を位置決めする位置決め部材と、ガイド部 材及び位置決め部材を遊動可能に支持する支持枠と、支持枠と位置決め部材との 間に介装され、位置決め部材を目標受け溝に付勢する付勢手段と、支持枠を介し てガイド部材及び位置決め部材を基板収納ラック上に接離操作する接離駆動手段 とから成り、移送手段で移送されてきた基板の下端をガイド部材の傾斜ガイド面 に当接させて受け溝に案内するように構成したことを特徴とするものである。

【０００７】

【作 用】

本考案では、ラックコンベアによって所定ピッチで間欠的に搬送されてきた基 板収納ラック上に、支持枠を介してガイド部材及び位置決め部材を当接させる。 なお、ガイド部材及び位置決め部材は、支持枠に対して遊動可能に支持されてお り、このとき位置決め部材は、目標の受け溝の後方に位置する受け溝と係合して ガイド部材を位置決めする。これにより、ラックの受け溝と平行をなすように配 置されたガイド部材は、その傾斜面が目標の受け溝に向かう。 つまり、基板収納ラック１の受け溝２のピッチ精度誤差、基板Ｗのソリや板厚 誤差、ラックコンベアの停止精度誤差等があっても、上記遊動支持により、これ 等の誤差を吸収して位置決め部材がガイド部材を目標の受け溝に対して正しく位 置決めする。これにより移送手段で移送されてきた基板は、その下端がガイド部 材の傾斜ガイド面に当接して案内され、確実に受け溝に収納される。

【０００８】

【実施例】

以下本考案の実施例を図面に基づいて説明する。図１は本考案の実施例に係る ラック収納装置の斜視図、図２はガイド手段の縦断側面図、図３は図２の要部拡 大図、図４は図１において一部省略して示された移送手段のより詳細な側面図で ある。 この実施例装置は、基板収納ラック１と、基板収納ラック１を所定ピッチＰで 間欠的に搬送するラックコンベア３と、前段工程より搬送されてきた基板Ｗを基 板収納ラック１に向けて移送する移送手段６と、本考案の特徴をなすガイド手段 １０とを具備して成る。

【０００９】 基板収納ラック１は、その上面に複数の受け溝２が等ピッチＰで凹設され、複 数の基板Ｗを受け溝２内に起立遊嵌状態で収納するように構成されている。ちな みに、基板Ｗの板厚１.６mmに対して、受け溝２の幅は約３mm、受け溝２の深さ は約１０mmに凹設されている。 ラックコンベア３は、多数のローラ４・・を前後方向へ連設して、これらのロー ラ４に帯状無端ベルト５を巻き掛け、ローラ４を図示しない駆動モータで回転駆 動することにより、帯状無端ベルト５の上に載置した基板収納ラック１を受け溝 ２とほぼ等しいピッチＰで間欠的に搬送するように構成されている。なお図１中 の符号３Ａは受け溝２を検出するセンサーであり、ラックコンベア３を位置決め 制御するためのものである。

【００１０】 移送手段６は図１及び図４で示すように、ラックコンベア３の左右に配置され 、基板Ｗの左右下端部を保持する一対のチャック７・７と、チャック７を挟持操 作するエアシリンダ７ａと、チャック７を構成する一方のチャック本体７Ａを、 点Ｑを揺動支点として揺動自在に支持するチャック支持具８と、左右一対のチャ ック支持具８を一体として昇降可能に支持する昇降用エアシリンダ９とから成り 、基板Ｗの左右下端部を仮想線で示す上昇位置で挟持し、引き続き基板Ｗを基板 収容ラック１の受け溝２に向けて移送するように構成されている。 またチャック本体７Ａは、上昇時においてはバネ７ｂの付勢力でチャック支持 具８のストッパー８ａに拘束されているが、下降時においては後述するように点 Ｑを揺動支点として首振り揺動するように構成されている。なお図４中の符号２ ０は、前段工程より搬送されてきた基板Ｗを起立状態で支える基板支持具であり 、基板Ｗをチャック７で保持した後は矢印Ｂ方向へ回動して退避するように構成 されている。

【００１１】 ガイド手段１０は図１〜図３で示すように、傾斜ガイド面１１ａを有するガイ ド部材１１と、ガイド部材１１を一体に位置決めする位置決め部材１４と、ガイ ド部材１１及び位置決め部材１４を支持する支持枠１５と、支持枠１５とガイド 部材１１との間に介装され、位置決め部材１１を目標受け溝に付勢する圧縮バネ １３と、支持枠１５を介してガイド部材１１及び位置決め部材１４を基板収納ラ ック１上に接離操作する接離駆動用エアシリンダ１８とから成り、移送手段６で 移送されてきた基板Ｗの下端をガイド部材１１の傾斜ガイド面１１ａに当接させ て受け溝２に案内するように構成されている。

【００１２】 上記支持枠１５はラックコンベア３を跨ぐように配置され、その支持枠両端部 １５ｂ・１５ｂはそれぞれ左右の支軸１７・１７により揺動自在に支持され、か つエアシリンダ１８・１８により図２の実線で示す下降位置と仮想線で示す上昇 位置との間を回動するように構成されている。そして下降位置ではガイド部材１ １及び位置決め部材１４が基板収納ラック１上に当接し、上昇位置では基板収納 ラック１が所定ピッチ搬送されるまで待機する。

【００１３】 上記ガイド部材１１は、基板収容ラック１の受け溝２と平行をなすように支持 枠１５に支持され、ガイド部材１１と支持枠１５と間に圧縮バネ１３が介装され ている。従ってガイド部材１１及び位置決め部材１４は圧縮バネ１３で下方へ付 勢される。 上記位置決め部材１４は、基板収容ラック１の受け溝２と平行をなすようにガ イド部材１１に固定され、位置決め部材１４の両端部１４ｂは支持枠両端部１５ ｂに形成した凹入部１６に遊嵌している。また、位置決め部材１４の下面１４ａ は受け溝２と係合するように凸Ｖ字状に形成され、支持枠１５の上昇位置ではガ イド部材１４の両端部１４ｂの凸Ｖ字状下面１４ａは、圧縮バネ１３の付勢力に より当該凹入部１６のＶ字状凹面１６ａに常時圧接されている。

【００１４】 つまり、位置決め部材１４はガイド部材１１とともに上下及び前後に遊動可能 であることから、支軸１７を揺動支点として位置決め部材１４の動径Ｒが遊動可 能な範囲内で若干変化する。従って位置決め部材１４はラックコンベア３の搬送 ピッチ誤差等を吸収することができ、これによりガイド部材１４はその凸Ｖ字状 下面１４ａが目標の受け溝２ａの搬送方向後方に位置する受け溝２ｂと圧接係合 して、ガイド部材１１を目標の受け溝２ａに位置決めすることができる。なお圧 縮バネ１３を支軸１２によって遊動自在に支持するようにしてもよい。

【００１５】 以下、図５に基づいて本実施例装置の動作を説明する。 前段工程において、例えば両面塗布装置によって表裏両面に塗布液が塗布され た基板Ｗが搬送され、起立状態で待機している基板Ｗを挟持するため、一対のチ ャック７・７を上昇させる（同図Ａ）。 一対のチャック７・７で基板Ｗの両側下端部を挟持するとともに、下側の基板 支持具２０を回動して退避させる（同図Ｂ）。 ラックコンベア３によって所定ピッチＰで間欠的に搬送されてきた基板収納ラ ック１上に、ガイド部材１１及び位置決め部材１４を当接させ、次いでチャック ７により基板Ｗを下降させる（同図Ｃ）。

【００１６】 なお、ガイド部材１１及び位置決め部材１４は、前記のように支持枠１５に対 して圧縮バネ１３を介して遊動可能に支持されているので、ラックコンベア３の 間欠送り精度にムラがあったとしても、位置決め部材１４は基板収容ラック１の 受け溝２ｂと難無く係合し、ガイド部材１１を目標の受け溝２ａに対して正確に 位置決めする。ここでそのときの状態を図６に基づいて詳述する。なお図６中の 符号１６₀は支持枠１５の凹入部１６の中心が受け溝２ｂの中心と一致した状態 を示し、１６₁は当該凹入部１６の中心が受け溝２ｂの中心から搬送方向後方に 誤差Ｌ₁だけずれた状態を示し、１６₂は当該凹入部１６の中心が受け溝２ｂの中 心から搬送方前方に誤差Ｌ₂だけずれた状態を示す。

【００１７】 即ち、エアシリンダ１８によって下降されている支持枠１５の凹入部１６の中 心と受け溝２ｂの中心とが一致した場合（符号１６₀）、位置決め部材１４の両 端部１４ｂの凸Ｖ字状下面１４ａは、凹入部１６のＶ字状凹面１６ａ₀に整合圧 接したまま受け溝２ｂに係合し、ガイド部材１１を目標受け溝２ａに位置決めす る。さらに、位置決め部材１４の両端部１４ｂの上面１４ｃが凹入部１６の上方 の面１６ｂに当接するまで、支持枠１５はエアシリンダ１８により継続して下降 され、位置決め部材１４の下面１４ａを受け溝２ｂへ圧接することにより、ガイ ド部材１１の目標受け溝２ａに対する位置決めを確実ならしめる。

【００１８】 また、仮に支持枠１５の凹入部１６の中心位置が、ラックコンベア３の間欠送 り精度ムラ等により、受け溝２ｂの中心から搬送方向後方に誤差Ｌ₁だけずれた 場合（符号１６₁）、位置決め部材１４の両端部１４ｂは凹入部１６のＶ字状凹 面１６ａ₁に圧縮バネ１３によって遊動自在に圧接されているため、凸Ｖ字状下 面１４ａは受け溝２ｂとの係合に際して圧縮バネ１３の付勢力により受け溝２ｂ の中心に向かって搬送方向前方に距離Ｌ₁だけ移動し、ガイド部材１１を目標受 け溝２ａに正確に位置決めする。 さらにまた、凹入部１６の中心位置が受け溝２ｂの中心から搬送方向前方に誤 差Ｌ₂だけずれた場合（符号１６₂）には、同様に位置決め部材１４の凸Ｖ字状下 面１４ａは受け溝２ｂに係合する際に搬送方向後方に距離Ｌ₂だけ移動して、ガ イド部材１１を目標受け溝２ａに正確に位置決めする。

【００１９】 このようにガイド部材１１が正確に位置決めされているとき、図３で示すよう にガイド部材１１の傾斜ガイド面１１ａの下端は、当該受け溝２ａ内に少し迫り 出している。そして基板Ｗの下端はガイド部材１１の傾斜ガイド面１１ａに当接 して案内される。 一方チャック本体７Ａは、前記のように点Ｑ（図４）を揺動支点として首振り 揺動するように構成されているので、基板Ｗの下端はガイド部材１１の傾斜ガイ ド面１１ａに沿って下降し、確実に受け溝に収納される。 以下同様にして、順次基板Ｗを基板収納ラック１に起立収納する（同図Ｄ）。

【００２０】 なお、本考案は上記実施例に限るものではなく、以下のように多様な変形を加 えて実施することができる。 本考案は、前段工程より搬送されてくる基板Ｗが、必ずしも起立状態に限ら ず、従来例１（図８〜図９）のように水平状態で搬送されてくる場合でも適用 できる。 従って移送手段６は昇降するチャック７に代えて、従来例１の回動式のもの でも適用できる。また、基板Ｗを自重で下降させる場合には、基板Ｗの左右両 端辺を案内するガイド部材のみでも足りる。 ラックコンベア３はローラ４に帯状無端ベルト５を巻き掛けたものに代えて 、単にローラのみでコンベアを構成したものでも良く、また基板収納ラック１ を水平搬送するものに代えて、傾斜方向に搬送するものでも良い。 ガイド手段１０を接離駆動する手段は、エアシリンダ１８に代えてロータリ アクチュエータを用いるものでも良く、また回動方式に代えて単に上下方向に 昇降するものでも良い。 ガイド部材１１又は位置決め部材１４の長さは、基板収納ラックの幅と同一 であるのがより好ましいが、基板収納ラックの幅より長くても、短くてもさし つかえない。 また位置決め部材１４の両端部１４ｂと、この両端部１４ｂを圧縮バネ１３ によって遊動自在に圧接支持する支持枠１５の凹入部１６は、図１、図２及び 図６に示す形状に限るものではなく、例えば図７で示すように前者は符号１４ Ｂのようにその断面を円形に、後者は符号１６Ａのようにその凹面を湾曲状に 構成してもよい。なお図７では説明の便宜上ガイド部材１１を省略してある。

【００２１】

【考案の効果】

以上の説明で明らかなように、本考案ではラックコンベアの上方に基板のガイ ド手段を付設配置し、ラックコンベアによって所定ピッチで間欠的に搬送されて きた基板収納ラック上に、遊動可能に支持したガイド部材及び位置決め部材を当 接させ、位置決め部材が目標の受け溝の後方に位置する受け溝と係合してガイド 部材を位置決めし、基板収納ラック１の受け溝２のピッチ精度誤差、基板Ｗのソ リや板厚誤差、ラックコンベアの停止精度誤差等があっても、これ等の誤差を吸 収して位置決め部材がガイド部材を目標の受け溝に対して正しく位置決めするよ うに構成したので、従来例のような収納ミスを無くし、基板をガイド部材の傾斜 ガイド面で案内して確実にラックの受け溝に収納することができる。しかも、ラ ックコンベアの停止精度等をさらに向上させる必要もない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係るラック収納装置の斜視図
である。

【図２】本考案に係るガイド手段の縦断側面図である。

【図３】図２の要部拡大図である。

【図４】図１中の移送手段のより詳細な側面図である。

【図５】本考案に係るラック収納装置の動作説明図であ
る。

【図６】支持枠の凹入部に遊動支持されている位置決め
部材の両端部が、受け溝と係合する状態を示す動作説明
図である。

【図７】位置決め部材及び支持枠の凹入部の別の実施例
を示す拡大斜視図である。

【図８】従来例１のラック収納装置の側面図である。

【図９】従来例１のラック収納装置の側面図である。

【符号の説明】

１…基板収納ラック、 ２…受け溝、
２ａ…目標受け溝、２ｂ…目標受け溝の後方の受け溝、
３…ラックコンベア、６…移送手
段、 １０…ガイド手段、 １１…ガイ
ド部材、１１ａ…傾斜ガイド面、 １３…付勢手段
（圧縮バネ）、１４…位置決め部材、 １５…支持
枠、 １８…接離駆動手段、Ｗ…基板。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｈ 29/16 Ａ 9147−3Ｆ 29/52 9147−3Ｆ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を起立遊嵌状態で収納する複数の受
   け溝を等ピッチで凹設した基板収納ラックと、基板収納
   ラックを当該ピッチで間欠的に搬送するラックコンベア
   と、前段工程より搬送されてきた基板をラックコンベア
   上に載置された基板収納ラックの受け溝に向けて移送す
   る移送手段とから成る基板のラック収納装置において、
   ラックコンベアの上方に基板のガイド手段を付設配置
   し、このガイド手段は、ラックの受け溝と平行をなすよ
   うに配置され、傾斜ガイド面を有するガイド部材と、ガ
   イド部材に固定され、目標受け溝の搬送方向後方に位置
   する受け溝と係合してガイド部材を位置決めする位置決
   め部材と、ガイド部材及び位置決め部材を遊動可能に支
   持する支持枠と、支持枠と位置決め部材との間に介装さ
   れ、位置決め部材を目標受け溝に付勢する付勢手段と、
   支持枠を介してガイド部材及び位置決め部材を基板収納
   ラック上に接離操作する接離駆動手段とから成り、移送
   手段で移送されてきた基板の下端をガイド部材の傾斜ガ
   イド面に当接させて受け溝に案内するように構成したこ
   とを特徴とする基板のラック収納装置。