JPH0411809B2 - - Google Patents
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- JPH0411809B2 JPH0411809B2 JP14907386A JP14907386A JPH0411809B2 JP H0411809 B2 JPH0411809 B2 JP H0411809B2 JP 14907386 A JP14907386 A JP 14907386A JP 14907386 A JP14907386 A JP 14907386A JP H0411809 B2 JPH0411809 B2 JP H0411809B2
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- Japan
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- scale
- light
- light emitting
- optical grating
- emitting diode
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Description
相対変位する光学格子の重なり合いの繰返しに
よつて生じる光の明暗の数を光電素子によつて検
出し、該相対変位の距離を測定できるようにした
光電型エンコーダの改良に関する。
よつて生じる光の明暗の数を光電素子によつて検
出し、該相対変位の距離を測定できるようにした
光電型エンコーダの改良に関する。
上記のような光電型エンコーダは、例えば工作
機械、測定機等に取付けられて使用されるもので
あり、当然その小型化及び軽量化が要求されてい
る。 このような小型化及び軽量化の要請に対して、
本出願人は、特公昭60−14287に開示されるよう
に、照明器を一体とした小型エンコーダを提案し
ている。 この小型エンコーダは、第４図に示されるよう
に、発光ダイオード１から発光される光を凹面鏡
状の反射膜２によつて反射して、第１スケール３
及び第２スケール４にそれぞれ設けられた光学格
子５，６を照明し、受光素子７に到達するように
している。 ところで、上記のような反射膜２を用いた光電
型エンコーダにおいては、発光ダイオード１から
射出された光が、光学格子５，６の幅方向、即
ち、目盛方向に拡散してしまい、このため、光学
格子５，６の重なり合いの繰返しによる明暗によ
つて受光素子７から得られる信号の立ち上がり及
び立ち下がりが不明確となるという問題点があ
る。 このように、照明光の拡散角が大きいと、第１
スケール３及び第２スケール４における光学格子
５と光学格子６の隙間即ち格子間隔Ｓを大きくす
ることができない。 例えば、ピツチが20μｍの光学格子の場合にあ
つては、格子間隔Ｓは10μｍ程度以下としなけれ
ばならず、第１スケール３と第２スケール４の相
対移動のためのガイド機構の精度を相当程度高く
しなければならず、これが製造コストを上昇させ
るという問題点がある。 ここで、球面状の反射膜２における該球面の近
軸での焦点距離をｆ、発光ダイオード１の発光部
の幅をｄとすると、拡散角はｄ／ｆに比例する。 ここで、ｆは半径に比例し、拡散角の大きさは
ｆによる影響が小さい。 即ち、照明光の拡散の主たる原因は発光ダイオ
ード１における発光部の幅ｄによるものである。
機械、測定機等に取付けられて使用されるもので
あり、当然その小型化及び軽量化が要求されてい
る。 このような小型化及び軽量化の要請に対して、
本出願人は、特公昭60−14287に開示されるよう
に、照明器を一体とした小型エンコーダを提案し
ている。 この小型エンコーダは、第４図に示されるよう
に、発光ダイオード１から発光される光を凹面鏡
状の反射膜２によつて反射して、第１スケール３
及び第２スケール４にそれぞれ設けられた光学格
子５，６を照明し、受光素子７に到達するように
している。 ところで、上記のような反射膜２を用いた光電
型エンコーダにおいては、発光ダイオード１から
射出された光が、光学格子５，６の幅方向、即
ち、目盛方向に拡散してしまい、このため、光学
格子５，６の重なり合いの繰返しによる明暗によ
つて受光素子７から得られる信号の立ち上がり及
び立ち下がりが不明確となるという問題点があ
る。 このように、照明光の拡散角が大きいと、第１
スケール３及び第２スケール４における光学格子
５と光学格子６の隙間即ち格子間隔Ｓを大きくす
ることができない。 例えば、ピツチが20μｍの光学格子の場合にあ
つては、格子間隔Ｓは10μｍ程度以下としなけれ
ばならず、第１スケール３と第２スケール４の相
対移動のためのガイド機構の精度を相当程度高く
しなければならず、これが製造コストを上昇させ
るという問題点がある。 ここで、球面状の反射膜２における該球面の近
軸での焦点距離をｆ、発光ダイオード１の発光部
の幅をｄとすると、拡散角はｄ／ｆに比例する。 ここで、ｆは半径に比例し、拡散角の大きさは
ｆによる影響が小さい。 即ち、照明光の拡散の主たる原因は発光ダイオ
ード１における発光部の幅ｄによるものである。
これに対して、ｆを大きくするべく、反射膜２
における球の半径を大きくすることも考えられる
が、これは、光電型エンコーダを大型化してしま
うという問題点があるる。 又、ｄを小さくするべく、発光ダイオード１の
発光部を小さくすることも考えられるが、このよ
うにすると、発光ダイオードの発光量が少なくな
るという問題点がある。
における球の半径を大きくすることも考えられる
が、これは、光電型エンコーダを大型化してしま
うという問題点があるる。 又、ｄを小さくするべく、発光ダイオード１の
発光部を小さくすることも考えられるが、このよ
うにすると、発光ダイオードの発光量が少なくな
るという問題点がある。
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされた
ものであつて、装置を大型化することなく、且
つ、発光ダイオードの十分な発光量を維持して、
照明光の拡散による影響を小さくした光電型エン
コーダを提供することを目的とする。
ものであつて、装置を大型化することなく、且
つ、発光ダイオードの十分な発光量を維持して、
照明光の拡散による影響を小さくした光電型エン
コーダを提供することを目的とする。
【問題点を解決するための手段】
この発明は、一定ピツチの光学格子からなる目
盛が長手方向に並列して形成された第１スケール
に対し、第１スケール対して、前記長手方向に相
対移動可能に配置され、且つ、前記第１スケール
における光学格子と同一ピツチの光学格子からな
る目盛が形成され、該目盛が前記第１スケールの
目盛と対向するように配置された第２スケール
と、発光ダイオードを備え、前記対向して配置さ
れた第１及び第２スケールの光学格子を一方から
照明する照明器と、前記第１及び第２スケールの
光学格子を間に、前記照明器に対向して配置さ
れ、これら第１及び第２スケールの光学格子を通
過する、前記照明器からの光を受光する受光素子
とを有してなる光電型エンコーダにおいて、前記
発光ダイオードを、スリツト状の発光部を備える
と共に該スリツトが前記光学格子と平行になるよ
うに配置して上記目的を達成するものである。 又、前記発光ダイオードを、発光面にスリツト
状の開口部を備えた金属膜を蒸着することにより
前記スリツト状の発光部を形成して上記目的を達
成するものである。 又、前記発光部のスリツトの幅を100μｍ以下
とすることにより上記目的を達成するものであ
る。 更に又、前記照明器を、第２スケールの光学格
子形成面とは反対側の外側面に取付けられ、且
つ、発光部を該外側面とは反対向きに配置された
前記発光ダイオードと、この発光ダイオードを囲
んで配置された球面状反射膜とを有して構成し、
発光部からの光が前記球面状反射膜で反射されて
から、前記第２スケールの光学格子及び第１スケ
ールの光学格子を照明するようにして上記目的を
達成するものである。
盛が長手方向に並列して形成された第１スケール
に対し、第１スケール対して、前記長手方向に相
対移動可能に配置され、且つ、前記第１スケール
における光学格子と同一ピツチの光学格子からな
る目盛が形成され、該目盛が前記第１スケールの
目盛と対向するように配置された第２スケール
と、発光ダイオードを備え、前記対向して配置さ
れた第１及び第２スケールの光学格子を一方から
照明する照明器と、前記第１及び第２スケールの
光学格子を間に、前記照明器に対向して配置さ
れ、これら第１及び第２スケールの光学格子を通
過する、前記照明器からの光を受光する受光素子
とを有してなる光電型エンコーダにおいて、前記
発光ダイオードを、スリツト状の発光部を備える
と共に該スリツトが前記光学格子と平行になるよ
うに配置して上記目的を達成するものである。 又、前記発光ダイオードを、発光面にスリツト
状の開口部を備えた金属膜を蒸着することにより
前記スリツト状の発光部を形成して上記目的を達
成するものである。 又、前記発光部のスリツトの幅を100μｍ以下
とすることにより上記目的を達成するものであ
る。 更に又、前記照明器を、第２スケールの光学格
子形成面とは反対側の外側面に取付けられ、且
つ、発光部を該外側面とは反対向きに配置された
前記発光ダイオードと、この発光ダイオードを囲
んで配置された球面状反射膜とを有して構成し、
発光部からの光が前記球面状反射膜で反射されて
から、前記第２スケールの光学格子及び第１スケ
ールの光学格子を照明するようにして上記目的を
達成するものである。
この発明において、発光ダイオードの発光部が
スリツト状とされ、該スリツトが光学格子と平行
になるように配置されているので、発光部から発
光された光は、該スリツトの幅方向即ち光学格子
の並設方向の拡散が少なく、光学格子の高さ即ち
目盛の幅方向にのみ拡散されるので、受光素子に
よつて受光される光の明暗の立ち上がり及び立ち
下がりが明瞭となり、測定精度の低下がない。 従つて、第１及び第２スケールにおける光学格
子の間の格子間隔を大きくしても、測定精度が低
下されることがない。 又、発光ダイオードを小型化する必要がないの
で、十分な照明光量を得ることができる。 更には、発光ダイオードを球面状の反射膜で囲
む場合、該反射膜の半径を大きくする必要がな
い。
スリツト状とされ、該スリツトが光学格子と平行
になるように配置されているので、発光部から発
光された光は、該スリツトの幅方向即ち光学格子
の並設方向の拡散が少なく、光学格子の高さ即ち
目盛の幅方向にのみ拡散されるので、受光素子に
よつて受光される光の明暗の立ち上がり及び立ち
下がりが明瞭となり、測定精度の低下がない。 従つて、第１及び第２スケールにおける光学格
子の間の格子間隔を大きくしても、測定精度が低
下されることがない。 又、発光ダイオードを小型化する必要がないの
で、十分な照明光量を得ることができる。 更には、発光ダイオードを球面状の反射膜で囲
む場合、該反射膜の半径を大きくする必要がな
い。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。 この実施例は、第１図ないし第３図に示される
ように、一定ピツチの光学格子１０からなる目盛
が長手方向に並列して形成された第１スケール１
２と、この第１スケール１２に対して、前記長手
方向に相対移動可能に配置され、且つ、前記第１
スケール１２における光学格子１０と同一ピツチ
の光学格子１４からなる目盛が形成され、該目盛
が前記第１スケール１２の目盛と対向するように
配置された第２スケール１６と、発光ダイオード
１８を備え、前記対向して配置された第１及び第
２スケール１２，１６の光学格子１０，１４を一
方から照明する照明器２０と、前記第１及び第２
スケール１２，１６の光学格子１０，１４の間
に、前記照明器２０に対向して配置され、これら
第１及び第２スケールの光学格子１０，１４を通
過する、前記照明器２０からの光を受光する受光
素子２２と、を有してなる光電型エンコーダにお
いて、前記発光ダイオード１８をスリツト状の発
光部２４を備え、且つ該スリツトが前記光学格子
１０，１４と平行となるように配置したものであ
る。 前記発光ダイオード１８は、第３図に示される
ように、発光面２６にスリツト状の開口部を備え
た金属膜２８を蒸着することにより前記スリツト
状の発光部２４を形成したものである。 この発光ダイオード１８は、Ｐ型GaAs１８Ａ
とＮ型GaAs１８Ｂを接合して形成したものであ
り、これらは、一辺が400μｍの正方形であつて、
前記スリツト状の発光部２４の形状は、幅Ｗ＝
50μｍ、長さＬ＝350μｍであつて、GaAs基板１
８Ａ，１８Ｂの対角線上に配置されている。 図の符号１８Ｃ，１８Ｄはリード線であつて、
一方のリード線１８Ｃは電極を兼ねる金属膜２８
に接続され、他方のリード線１８Ｄは、金属膜２
８と反対側の面に接続されている。 前記第１スケール１２は、第２図に示されるよ
うに、光電型エンコーダにおけるいわゆるメイン
スケールとされている。 これに対して、第２スケール１６は、短く形成
されていわゆるインデツクススケールとされ、そ
の光学格子１４は、位相が90度ずつずれている４
個の光学格子１４Ａ〜１４Ｄから形成されてい
る。 これら４個の光学格子１４Ａ〜１４Ｄは、第１
スケール１２における光学格子１０と重なり合う
ことができる位置でブロツク状、即ち田型に配置
されている。 これに対して、前記発光ダイオード１８は、そ
のスリツト状の発光部２４が４個の光学格子１４
Ａ〜１４Ｄの中央位置で、これら光学格子１４Ａ
〜１４Ｄと平行となるように配置されている。 第２図の符号３０Ａ，３０Ｂは発光ダイオード
１８に電力を供給するために、第２スケール表面
に形成された透明導電膜を示し、これら透明導電
膜３０Ａ，３０Ｂは、リード線３２Ａ，３２Ｂを
介して電源３４に接続されている。 前記照明器２０は、前記第２スケール１６の光
学格子１４形成面とは反対側の外側面１６Ａに取
付けられ、且つ、前記発光部２４を該外側面１６
Ａとは反対向きに配置された、前記発光ダイオー
ド１８と、この発光ダイオード１８を囲んで配置
された球面状反射膜３６と、を有してなり、発光
部２４からの光が前記球面状反射膜３６で反射さ
れてから、前記第２スケール１６の光学格子１４
及び第１スケール１２の光学格子１０を照明する
ようにされている。 前記球面状反射膜３６は、エポキシ系接着剤を
半球状の型を用いて半球面を有するレンズ３６Ａ
に形成し、このレンズ３６Ａの半球面にアルミ蒸
着をすることによつて半球状反射膜３６を形成し
ている。 又、前記受光素子２２は、前記４個の光学格子
１４Ａ〜１４Ｄに対応して、４個の受光素子２２
Ａ〜２２Ｄから構成されている。 第１図の符号３８Ａ，３８Ｂは、４個の受光素
子２２Ａ〜２２Ｄにより得られた電気信号の差を
演算して、差動信号を得るための差演算器を示
す。 上記実施例においては、光学格子１０及び１４
のピツチを20μｍとした場合、これら光学格子の
間隔即ち格子間隔Ｓを40μｍ程度とすることがで
きた。 即ち、従来、光学格子のピツチが20μｍの場
合、格子間隔Ｓは最大10μｍであつたが、上記実
施例の場合は、従来と比較して格子間隔Ｓを４倍
とすることができた。 更に球面状反射膜３６の半径を従来と同一とし
た状態であつても、受光素子２２による受光光量
も従来と比較して何ら減少されることなく、得ら
れた信号のSN比は従来とほぼ同一であつた。 なお上記実施例において、発光ダイオード１８
を形成するＰ型GaAs１８Ａ及びＮ型GaAs１８
Ｂは共に正方形であるが、これは長方形であつて
もよい。 ただし、これらのＰ型及びＮ型基板を正方形に
して、その対角線上にスリツト状の発光部２４を
形成する場合は、注入電流に対して発光効率が高
いという利点がある。 又、前記発光ダイオード１８はガリウム砒素の
半導体基板を利用するものであるが、これは、
GaP、GaAlAs等の他の半導体基板であつてもよ
い。 更には、Ｐ型とＮ型の基板は、実施例と上下逆
であつてもよく、又、これら基板の側面には黒色
塗料を塗るようにしてもよい。 又、上記実施例は、第２スケール１６の光学格
子１４が90度ずつ位相をずらした４個の光学格子
１４Ａ〜１４Ｄから構成されているが、本発明は
これに限定されるものでなく、例えばモアレ縞方
式の場合には、第２スケール１６の光学格子１４
のピツチが第１スケール１２の光学格子１０のピ
ツチと略等しければ足り、更には、第２スケール
の光学格子を１個として、その位置により、位相
を90度ずつ変えた信号を得ることができる。 更に又、上記実施例は、第１スケール１２及び
第２スケール１６がそれぞれ直線型のエンコーダ
であるが、本発明はこれに限定されるものでな
く、ロータリーエンコーダにも当然適用され得る
ものである。 又、上記実施例は発光ダイオード１８からの発
光を球面状反射膜３６によつて反射した後、光学
格子１０及び１４を照明するようにしたものであ
るが、本発明は、球面状反射膜３６を設けること
なく、発光ダイオード１８からの発光によつて、
直接光学格子１０及び１４を照明するようにした
ものにも適用されるものである。
る。 この実施例は、第１図ないし第３図に示される
ように、一定ピツチの光学格子１０からなる目盛
が長手方向に並列して形成された第１スケール１
２と、この第１スケール１２に対して、前記長手
方向に相対移動可能に配置され、且つ、前記第１
スケール１２における光学格子１０と同一ピツチ
の光学格子１４からなる目盛が形成され、該目盛
が前記第１スケール１２の目盛と対向するように
配置された第２スケール１６と、発光ダイオード
１８を備え、前記対向して配置された第１及び第
２スケール１２，１６の光学格子１０，１４を一
方から照明する照明器２０と、前記第１及び第２
スケール１２，１６の光学格子１０，１４の間
に、前記照明器２０に対向して配置され、これら
第１及び第２スケールの光学格子１０，１４を通
過する、前記照明器２０からの光を受光する受光
素子２２と、を有してなる光電型エンコーダにお
いて、前記発光ダイオード１８をスリツト状の発
光部２４を備え、且つ該スリツトが前記光学格子
１０，１４と平行となるように配置したものであ
る。 前記発光ダイオード１８は、第３図に示される
ように、発光面２６にスリツト状の開口部を備え
た金属膜２８を蒸着することにより前記スリツト
状の発光部２４を形成したものである。 この発光ダイオード１８は、Ｐ型GaAs１８Ａ
とＮ型GaAs１８Ｂを接合して形成したものであ
り、これらは、一辺が400μｍの正方形であつて、
前記スリツト状の発光部２４の形状は、幅Ｗ＝
50μｍ、長さＬ＝350μｍであつて、GaAs基板１
８Ａ，１８Ｂの対角線上に配置されている。 図の符号１８Ｃ，１８Ｄはリード線であつて、
一方のリード線１８Ｃは電極を兼ねる金属膜２８
に接続され、他方のリード線１８Ｄは、金属膜２
８と反対側の面に接続されている。 前記第１スケール１２は、第２図に示されるよ
うに、光電型エンコーダにおけるいわゆるメイン
スケールとされている。 これに対して、第２スケール１６は、短く形成
されていわゆるインデツクススケールとされ、そ
の光学格子１４は、位相が90度ずつずれている４
個の光学格子１４Ａ〜１４Ｄから形成されてい
る。 これら４個の光学格子１４Ａ〜１４Ｄは、第１
スケール１２における光学格子１０と重なり合う
ことができる位置でブロツク状、即ち田型に配置
されている。 これに対して、前記発光ダイオード１８は、そ
のスリツト状の発光部２４が４個の光学格子１４
Ａ〜１４Ｄの中央位置で、これら光学格子１４Ａ
〜１４Ｄと平行となるように配置されている。 第２図の符号３０Ａ，３０Ｂは発光ダイオード
１８に電力を供給するために、第２スケール表面
に形成された透明導電膜を示し、これら透明導電
膜３０Ａ，３０Ｂは、リード線３２Ａ，３２Ｂを
介して電源３４に接続されている。 前記照明器２０は、前記第２スケール１６の光
学格子１４形成面とは反対側の外側面１６Ａに取
付けられ、且つ、前記発光部２４を該外側面１６
Ａとは反対向きに配置された、前記発光ダイオー
ド１８と、この発光ダイオード１８を囲んで配置
された球面状反射膜３６と、を有してなり、発光
部２４からの光が前記球面状反射膜３６で反射さ
れてから、前記第２スケール１６の光学格子１４
及び第１スケール１２の光学格子１０を照明する
ようにされている。 前記球面状反射膜３６は、エポキシ系接着剤を
半球状の型を用いて半球面を有するレンズ３６Ａ
に形成し、このレンズ３６Ａの半球面にアルミ蒸
着をすることによつて半球状反射膜３６を形成し
ている。 又、前記受光素子２２は、前記４個の光学格子
１４Ａ〜１４Ｄに対応して、４個の受光素子２２
Ａ〜２２Ｄから構成されている。 第１図の符号３８Ａ，３８Ｂは、４個の受光素
子２２Ａ〜２２Ｄにより得られた電気信号の差を
演算して、差動信号を得るための差演算器を示
す。 上記実施例においては、光学格子１０及び１４
のピツチを20μｍとした場合、これら光学格子の
間隔即ち格子間隔Ｓを40μｍ程度とすることがで
きた。 即ち、従来、光学格子のピツチが20μｍの場
合、格子間隔Ｓは最大10μｍであつたが、上記実
施例の場合は、従来と比較して格子間隔Ｓを４倍
とすることができた。 更に球面状反射膜３６の半径を従来と同一とし
た状態であつても、受光素子２２による受光光量
も従来と比較して何ら減少されることなく、得ら
れた信号のSN比は従来とほぼ同一であつた。 なお上記実施例において、発光ダイオード１８
を形成するＰ型GaAs１８Ａ及びＮ型GaAs１８
Ｂは共に正方形であるが、これは長方形であつて
もよい。 ただし、これらのＰ型及びＮ型基板を正方形に
して、その対角線上にスリツト状の発光部２４を
形成する場合は、注入電流に対して発光効率が高
いという利点がある。 又、前記発光ダイオード１８はガリウム砒素の
半導体基板を利用するものであるが、これは、
GaP、GaAlAs等の他の半導体基板であつてもよ
い。 更には、Ｐ型とＮ型の基板は、実施例と上下逆
であつてもよく、又、これら基板の側面には黒色
塗料を塗るようにしてもよい。 又、上記実施例は、第２スケール１６の光学格
子１４が90度ずつ位相をずらした４個の光学格子
１４Ａ〜１４Ｄから構成されているが、本発明は
これに限定されるものでなく、例えばモアレ縞方
式の場合には、第２スケール１６の光学格子１４
のピツチが第１スケール１２の光学格子１０のピ
ツチと略等しければ足り、更には、第２スケール
の光学格子を１個として、その位置により、位相
を90度ずつ変えた信号を得ることができる。 更に又、上記実施例は、第１スケール１２及び
第２スケール１６がそれぞれ直線型のエンコーダ
であるが、本発明はこれに限定されるものでな
く、ロータリーエンコーダにも当然適用され得る
ものである。 又、上記実施例は発光ダイオード１８からの発
光を球面状反射膜３６によつて反射した後、光学
格子１０及び１４を照明するようにしたものであ
るが、本発明は、球面状反射膜３６を設けること
なく、発光ダイオード１８からの発光によつて、
直接光学格子１０及び１４を照明するようにした
ものにも適用されるものである。
本発明は上記のように構成したので、発光ダイ
オードの発光部を小型化することなく、第１及び
第２スケールの光学格子を照明する光の、光学格
子の幅方向、即ち目盛方向の拡散を抑制すること
ができるという優れた効果を有する。
オードの発光部を小型化することなく、第１及び
第２スケールの光学格子を照明する光の、光学格
子の幅方向、即ち目盛方向の拡散を抑制すること
ができるという優れた効果を有する。
第１図は本発明に係る光電型エンコーダの実施
例を示す一部ブロツク図を含む断面図、第２図は
第１図の−線に沿う断面図、第３図は同実施
例における発光ダイオードを拡大して示す斜視
図、第４図は従来の光電型エンコーダを示す断面
図である。 １０……光学格子、１２……第１スケール、１
４……光学格子、１６……第２スケール、１６Ａ
……外側面、１８……発光ダイオード、２０……
照明器、２２……受光素子、２４……発光部、２
６……発光面、２８……金属膜、３６……球面状
反射膜。
例を示す一部ブロツク図を含む断面図、第２図は
第１図の−線に沿う断面図、第３図は同実施
例における発光ダイオードを拡大して示す斜視
図、第４図は従来の光電型エンコーダを示す断面
図である。 １０……光学格子、１２……第１スケール、１
４……光学格子、１６……第２スケール、１６Ａ
……外側面、１８……発光ダイオード、２０……
照明器、２２……受光素子、２４……発光部、２
６……発光面、２８……金属膜、３６……球面状
反射膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一定ピツチの光学格子からなる目盛が長手方
向に並列して形成された第１スケールと、この第
１スケールに対して、前記長手方向に相対移動可
能に配置され、且つ、前記第１スケールにおける
光学格子と同一ピツチの光学格子からなる目盛が
形成され、該目盛が前記第１スケールの目盛と対
向するように配置された第２スケールと、 発光ダイオードを備え、前記対向して配置され
た第１及び第２スケールの光学格子を一方から照
明する照明器と、 前記第１及び第２スケールの光学格子を間に、
前記照明器に対向して配置され、これら第１及び
第２スケールの光学格子を通過する、前記照明器
からの光を受光する受光素子と、 を有してなる光電型エンコーダにおいて、 前記発光ダイオードはスリツト状の発光部を備
えると共に、該スリツトが前記光学格子と平行に
なるように配置されてなる光電型エンコーダ。 ２ 前記発光ダイオードは、発光面にスリツト状
の開口部を備えた金属膜を蒸着することにより前
記スリツト状の発光部が形成されてなる特許請求
の範囲第１項記載の光電型エンコーダ。 ３ 前記発光部のスリツトの幅を100μｍ以下と
してなる特許請求の範囲第１項又は第２項記載の
光電型エンコーダ。 ４ 前記照明器は、前記第２スケールの光学格子
形成面とは反対側の外側面に取付けられ、且つ、
前記発光部を該外側面とは反対向きに配置された
前記発光ダイオードと、この発光ダイオードを囲
んで配置された球面状反射膜と、を有してなり、
発光部からの光が前記球面状反射膜で反射されて
から、前記第２スケールの光学格子及び第１スケ
ールの光学格子を照明するようにされた特許請求
の範囲第１項又は第２項記載の光電型エンコー
ダ。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14907386A JPS6324126A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 光電型エンコ−ダ |
| PCT/JP1987/000154 WO1987005693A1 (fr) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Detecteur photoelectrique de deplacement |
| DE19873790038 DE3790038T1 (ja) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | |
| US07/086,627 US4840488A (en) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
| GB8719127A GB2194635B (en) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
| GB9005627A GB2229812B (en) | 1986-03-14 | 1990-03-13 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
| GB9005628A GB2229813B (en) | 1986-03-14 | 1990-03-13 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14907386A JPS6324126A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 光電型エンコ−ダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324126A JPS6324126A (ja) | 1988-02-01 |
| JPH0411809B2 true JPH0411809B2 (ja) | 1992-03-02 |
Family
ID=15467098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14907386A Granted JPS6324126A (ja) | 1986-03-14 | 1986-06-25 | 光電型エンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6324126A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0656304B2 (ja) * | 1989-09-05 | 1994-07-27 | 株式会社ミツトヨ | 光電型エンコーダ |
| JP4700825B2 (ja) * | 2000-06-21 | 2011-06-15 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
-
1986
- 1986-06-25 JP JP14907386A patent/JPS6324126A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6324126A (ja) | 1988-02-01 |
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