JPS6324126A - 光電型エンコ−ダ - Google Patents
光電型エンコ−ダInfo
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- JPS6324126A JPS6324126A JP14907386A JP14907386A JPS6324126A JP S6324126 A JPS6324126 A JP S6324126A JP 14907386 A JP14907386 A JP 14907386A JP 14907386 A JP14907386 A JP 14907386A JP S6324126 A JPS6324126 A JP S6324126A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
相対変位する光学格子の重なり合いの繰返しによって生
じる光の明暗の故を光電索子によって検出し、該相対変
位の距離を測定できるようにした光電型エンコーダの改
良に関する。
じる光の明暗の故を光電索子によって検出し、該相対変
位の距離を測定できるようにした光電型エンコーダの改
良に関する。
上記のような光電型エンコーダは、例えば工作機械、測
定機等に取付けられて使用されるものであり、当然その
小型化及び（！！ ｆｆｉ化が要求されている。 このような小型化及び軽量化の要請に対して、本出願人
は、特公昭６０−１４２８７に開示されるように、照明
器を一体とした小型エンコーダを提案している。 この小をエンコーダは、第４図に示されるように、発光
ダイオード１から発光される光を凹面鏡状の反射膜２に
よって反則して、第１スケール３及び第２スケール４に
それぞれ設けられた光学格子５．６を照明し、受光素子
７に到達するようにしている。 ところで、上記のような反射膜２を用いた光電型エンコ
ーダにおいては、発光ダイオード１から射出された光が
、光学格子５．６の幅方向、即ち、目盛方向に拡散して
しまい、このため、光学格子５．６の重なり合いの繰返
しによる明暗によって受光素子７から１ｑられる信号の
立ち上がり及び立ち下がりが不明確となるという問題点
がある。 このように、照明光の拡散角が大きいと、第１スケール
３及び第２スケール４における光学格子５と光学格子６
の隙間即ち格子間隔Ｓを大きくυることができない。 例えば、ピッチが２０μｍの光学格子の場合にあっては
、格子間隔Ｓは１０μｍ程度以下としなければならず、
第１スケール３と第２スケール４の相対移動のためのガ
イド芸構の精度を相当程度高くしなければならず、これ
が製造コストを上昇させるという問題点がある。 ここで、球面状の反射膜２における該球面の近軸での焦
点距離を１１発光ダイオード１の発光部の幅をｄとする
と、拡散角は ｄ／ｆに比例する。 ここで、ｒは半径に比例し、拡散角の大きさはｒによる
影響が小さい。 即ち、照明光の拡散の主たる原因は発光ダイオード１に
おける発光部の幅ｄによるものである。 【発明が解決しようとする問題点］ これに対して、ｆを大きくするべく、反射膜２における
球の半径を大きくすることも考えられるが、これは、光
電型エンコーダを大型化してしまうという問題点がある
る。 又、ｄを小さくするべく、発光ダイオード１の発光部を
小さくすることも考えられるが、このようにづ−ると、
発光ダイオードの発光ｍが少なくなるという問題点があ
る。 （発明の目的１ この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、装置を大型化することなく、且つ、発光ダイオー
ドの十分な発光ｍを維持して、照明光の拡散による影響
を小さくした光電型エンコーダを提供することを目的と
する。 【問題点を解決するための手段１ この発明は、一定ピッチの光学格子からなる目盛が長手
方向に並列して形成された第１スケールに対し、第１ス
ケールに対して、前記長手方向に相対移動可能に配置さ
れ、且つ、面記第１スケールにおける光学格子と同一ピ
ッチの光学格子からなる目盛が形成され、該目盛が前記
第１スケールの目盛と対向するように配置された第２ス
ケールと、発光ダイオードを備え、前記対向して配置さ
れた第１及び第２スケールの光学格子を一方から照明す
る照明器と、１１１Ｊ記第１及び第２スケールの光学格
子を間に、前記照明器に対向して配置され、これら第１
及び第２スケールの光学格子を通過する、前記照明器か
らの光を受光する受光素子とを有してなる光電型エンコ
ーダにおいて、前記発光ダイオードを、スリット状の発
光部を備えると共に該スリットが前記光学格子と平行に
なるように配置して上記目的を）平成するものである。 又、ｉ’＋ｉＪ記発光ダイオードを、発光面にスリット
状の間口部を備えた金属膜を蒸着Ｊることにより前記ス
リット状の発光部を形成して上記目的を達成するもので
ある。 又、首記発光部のスリットの幅を１００μｍ以下とげる
ことにより上記目的を達成するものである。 更に又、前記照明器を、第２スケールの光学格子形成面
とは反対側の外側面に取付けられ、且つ、発光δ１１を
該外側面とは反対向きに配置された前記発光ダイオード
と、この発光ダイオードを囲んで配置された球面状反射
膜とを有して構成し、発光部からの光が前記球面状反射
膜で反射されてから、前記第２スケールの光学格子及び
第１スケールの光学格子を照明するようにして上記目的
を達成するものである。 【作用】 この発明において、発光ダイオードの発光部がスリット
状とされ、該スリットが光学格子と平行になるように配
置されているので、発光部から発光された光は、該スリ
ットの幅方向即ち光学格子の並設方向の拡散が少なく、
光学格子の高さ即ち目盛の幅方向にのみ拡散されるので
、受光素子によって受光される光の明暗の立ち上がり及
び立ち下がりが明瞭となり、測定粘度の低下がない。
。 従って、第１及び第２スケールにおける光学格子の間の
格子間隔を大きくしても、測定精度が低下されることが
ない。 又、発光ダイオードを小型化する必要がないので、十分
な照明光量を得ることができる。 更には、発光ダイオードを球面状の反ひ］膜で囲む場合
、該反射膜の半径を大ぎくする必要がない。 （実施例］ 以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。 この実施例は、第１図ないし第３図に示されるように、
一定ピッチの光学格子１０からなる目盛が長手方向に並
ｙ１シて形成された第１スケール１２と、この第１スケ
ール１２に対して、前記長手方向に相対移動可能に配置
され、且つ、前記第１スケール１２における光学格子１
０と同一ピッチの光学格子１４からなる目盛が形成され
、該目盛が前記第１スケール１２の目盛と対向するよう
に配置された第２スケール１６と、発光ダイオード１８
を備え、前記対向して配置された第１及び第２スケール
１２．１６の光学格子１０，１４を一方から照明する照
明器２０と、前記第１及び第２スケール１２．１６の光
学格子１０．１４を間に、前記照明器２０に対向して配
置され、これら第１及び第２スケールの光学格子１０，
１４を通過する、前記照明器２０からの光を受光する受
光索子２２と、を有ｌノでなる光電型エンコーダにおい
て、前記発光ダイオード１８をスリット状の発光部２４
を備え、且つ該スリットが前記光学格子１０．１４と平
行となるように配置したものである。 １１η記発光ダイオード１８は、第３図に示されるよう
に、発光部２６にスリット状の開口部を備えた金属膜２
８を蒸着することにより前記スリット状の発光部２４を
形成したものである。 この発光ダイオード１８は、Ｐ型ＧａＡｓ１８ＡとＮ型
ＧａＡｓ１８８を接合して形成したものであり、これら
は、−辺が４００μ田の正方形であって、前記スリット
状の発光部２４の形状は、幅Ｗ＝５Ｑμ、ｕ、長ざＬ＝
３５Ｃ１ｍであつで、Ｇａ Ａｓ填根板１８△１８Ｂの
対角線上に配置されている。 図の符号１８Ｃ１１８Ｄはリード線であって、一方のリ
ード線１８Ｃは電極を兼ねる金属膜２８に接続され、他
方のリード線１８Ｄは、金属膜２８と反対側の面に接続
されている。 前記第１スケール１２は、第２図に示されるように、光
電型エンコーダにおけるいわゆるメインスケールとされ
ている。 これに対して、第２スケール１６は、短く形成されてい
わゆるインデックススケールとされ、その光学格子１４
は、位相が９０度ずつずれている４個の光学格子１４Ａ
〜１４Ｄから形成されている。 これら４個の光学格子１４Ａ〜１４Ｄは、第１スケール
１２にａ−３ける光学格子１０と重なり合うことができ
る位置でブロック状、即ち円型に配置されている。 これに対して、＋ｉＧ記発光発光ダイオード１８そのス
リット状の発光部２４が４藺の光学格子１４Ａへ１４Ｄ
の中央位置で、これら光学格子１４Ａ〜１４Ｄと平行と
なるように配置ざｆｌている。 第２図の符号３０Ａ、３０Ｂは発光ダイオード１８に電
力を供給するために、第２スケール表面に形成された透
明尋電膜を示し、これら透明導電膜３０Ａ、３０Ｂは、
リード線３２Ａ、３２Ｂを介して電源３４に接続されて
いる。 前記照明器２０は、前記第２スケール１６の光学格子１
４形成而とは反対側の外側面１６Ａに取イ・」けられ、
且つ、１）ｊ記発光部２４を該外側面１６Δとは反対向
きに配置された、前記発光ダイオード１８と、この発光
ダイオード１８を囲んで配置された球面状反射膜３６と
、を有してなり、発光部２４からの光が前記球面状反射
膜３６で反射されてから、前記第２スケール１６の光学
格子１４及び第１スケール１２の光学格子１０を照明す
るようにされている。 前記球面状反！ｌ１ｌ−ｊ膜３６は、エポキシ系接着剤
を半球状の型を用いて半球面を有するレンズ３６Ａに形
成し、このレンズ３６Ａの半球面にアルミ蒸着をするこ
とによって半球状及銅膜３６を形成している。 又、前記受光索子２２は、前記４個の光学格子１４Ａ〜
１４．Ｄに対応して、４個の受光索子２２Δ〜２２Ｄか
ら構成されている。 ・ 第１図の符号３８Ａ、３８Ｂは、４個の受光素子２
２Ａ〜２２Ｄにより得られた電気信号の差を演算して、
差動信号を得るための差演算器を示す。 上記実施例においては、光学格子１０及び１４のピッチ
を２０μ田とした場合、これら光学格子の間隔即ち格子
間隔Ｓを４０μ田程度とすることができた。 即ち、従来、光学格子のビツヂが２ｏμｍｌＵ合、格子
間隔Ｓは最大ｌＣ１ｍであったが、上記実施例の場合は
、従来と比較して格子間隔Ｓを４侶とすることができた
。 更に球面状反射膜３６の半径を従来と同一とした状態で
あっても、受光素子２２による受光光ｆｆ１３も従来と
比較して何ら減少されることなく、（ｑられた信号のＳ
Ｎ比は従来とほぼ同一であった。 なお上記実施例において、発光ダイオード１８を形成す
るＰ型Ｇａ Ａｓ １８Ａ及びＮ型ＱａΔ５１８Ｂは共
に正方形であるが、これは長方形であってもよい。 ただし、これらのＰ型及びＮ型基板を正方形にして、そ
の対角線上にスリット状の発光部２４を形成する場合は
、注入電流に対して発光動帯が高いという利点がある。 又、前記発光ダイオード１８はガリウム砒素の半導体基
板を利用するものであるが、これは、Ｇａ Ｐ、 Ｇａ
ＡλＡＳＷの他の半導体基板であってもよい。 更には、Ｐ型とＮ型の基板は、実施例と上下逆であって
もよく、又、これら基板の側面には黒色塗料を塗るよう
にしてもよい。 又、上記実施例は、第２スケール１６の光学格子１４が
９０度ずつ位相をずらした４個の光学格子１４Ａ〜１４
Ｄから構成されているが、本発明はこれに限定されるも
のでなく、例えばモアレ縞万式の場合には、第２スケー
ル１６の光学格子１４のピッチが第１スケール１２の光
学格子１０のピッチと略等しければ足り、更には、第２
スケールの光学格子を１個として、その位置により、位
相を９０度ずつ変えた信号を４［Ｊることがでさる。 更に又、上記実施例は、第１スケール１２及び第２スケ
ール１６がそれぞれ直線型のエンコーダであるが、本発
明はこれに限定されるものでなく、〇−タリーエンコー
ダにも当然適用され得るものである。 又、上記実施例は発光ダイオード１８からの５芒光を球
面状反射膜３６によって反射した後、光学格子１０及び
１４を照明するようにしたものであるが、本発明は、球
面状反射膜３６を設けることなく、発光ダイオード１８
からの発光によって、直接光学格子１０及び１４を照明
するようにしたものにも適用されるものである。 【発明の効果］ 本発明は上記のように構成したので、発光ダイオードの
発光部を小型化することなく、第１及び第２スケールの
光学格子を照明する光の、光学格子の幅方向、即ち目盛
方向の拡散を抑制することができるという優れた効果を
有する。
定機等に取付けられて使用されるものであり、当然その
小型化及び（！！ ｆｆｉ化が要求されている。 このような小型化及び軽量化の要請に対して、本出願人
は、特公昭６０−１４２８７に開示されるように、照明
器を一体とした小型エンコーダを提案している。 この小をエンコーダは、第４図に示されるように、発光
ダイオード１から発光される光を凹面鏡状の反射膜２に
よって反則して、第１スケール３及び第２スケール４に
それぞれ設けられた光学格子５．６を照明し、受光素子
７に到達するようにしている。 ところで、上記のような反射膜２を用いた光電型エンコ
ーダにおいては、発光ダイオード１から射出された光が
、光学格子５．６の幅方向、即ち、目盛方向に拡散して
しまい、このため、光学格子５．６の重なり合いの繰返
しによる明暗によって受光素子７から１ｑられる信号の
立ち上がり及び立ち下がりが不明確となるという問題点
がある。 このように、照明光の拡散角が大きいと、第１スケール
３及び第２スケール４における光学格子５と光学格子６
の隙間即ち格子間隔Ｓを大きくυることができない。 例えば、ピッチが２０μｍの光学格子の場合にあっては
、格子間隔Ｓは１０μｍ程度以下としなければならず、
第１スケール３と第２スケール４の相対移動のためのガ
イド芸構の精度を相当程度高くしなければならず、これ
が製造コストを上昇させるという問題点がある。 ここで、球面状の反射膜２における該球面の近軸での焦
点距離を１１発光ダイオード１の発光部の幅をｄとする
と、拡散角は ｄ／ｆに比例する。 ここで、ｒは半径に比例し、拡散角の大きさはｒによる
影響が小さい。 即ち、照明光の拡散の主たる原因は発光ダイオード１に
おける発光部の幅ｄによるものである。 【発明が解決しようとする問題点］ これに対して、ｆを大きくするべく、反射膜２における
球の半径を大きくすることも考えられるが、これは、光
電型エンコーダを大型化してしまうという問題点がある
る。 又、ｄを小さくするべく、発光ダイオード１の発光部を
小さくすることも考えられるが、このようにづ−ると、
発光ダイオードの発光ｍが少なくなるという問題点があ
る。 （発明の目的１ この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、装置を大型化することなく、且つ、発光ダイオー
ドの十分な発光ｍを維持して、照明光の拡散による影響
を小さくした光電型エンコーダを提供することを目的と
する。 【問題点を解決するための手段１ この発明は、一定ピッチの光学格子からなる目盛が長手
方向に並列して形成された第１スケールに対し、第１ス
ケールに対して、前記長手方向に相対移動可能に配置さ
れ、且つ、面記第１スケールにおける光学格子と同一ピ
ッチの光学格子からなる目盛が形成され、該目盛が前記
第１スケールの目盛と対向するように配置された第２ス
ケールと、発光ダイオードを備え、前記対向して配置さ
れた第１及び第２スケールの光学格子を一方から照明す
る照明器と、１１１Ｊ記第１及び第２スケールの光学格
子を間に、前記照明器に対向して配置され、これら第１
及び第２スケールの光学格子を通過する、前記照明器か
らの光を受光する受光素子とを有してなる光電型エンコ
ーダにおいて、前記発光ダイオードを、スリット状の発
光部を備えると共に該スリットが前記光学格子と平行に
なるように配置して上記目的を）平成するものである。 又、ｉ’＋ｉＪ記発光ダイオードを、発光面にスリット
状の間口部を備えた金属膜を蒸着Ｊることにより前記ス
リット状の発光部を形成して上記目的を達成するもので
ある。 又、首記発光部のスリットの幅を１００μｍ以下とげる
ことにより上記目的を達成するものである。 更に又、前記照明器を、第２スケールの光学格子形成面
とは反対側の外側面に取付けられ、且つ、発光δ１１を
該外側面とは反対向きに配置された前記発光ダイオード
と、この発光ダイオードを囲んで配置された球面状反射
膜とを有して構成し、発光部からの光が前記球面状反射
膜で反射されてから、前記第２スケールの光学格子及び
第１スケールの光学格子を照明するようにして上記目的
を達成するものである。 【作用】 この発明において、発光ダイオードの発光部がスリット
状とされ、該スリットが光学格子と平行になるように配
置されているので、発光部から発光された光は、該スリ
ットの幅方向即ち光学格子の並設方向の拡散が少なく、
光学格子の高さ即ち目盛の幅方向にのみ拡散されるので
、受光素子によって受光される光の明暗の立ち上がり及
び立ち下がりが明瞭となり、測定粘度の低下がない。
。 従って、第１及び第２スケールにおける光学格子の間の
格子間隔を大きくしても、測定精度が低下されることが
ない。 又、発光ダイオードを小型化する必要がないので、十分
な照明光量を得ることができる。 更には、発光ダイオードを球面状の反ひ］膜で囲む場合
、該反射膜の半径を大ぎくする必要がない。 （実施例］ 以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。 この実施例は、第１図ないし第３図に示されるように、
一定ピッチの光学格子１０からなる目盛が長手方向に並
ｙ１シて形成された第１スケール１２と、この第１スケ
ール１２に対して、前記長手方向に相対移動可能に配置
され、且つ、前記第１スケール１２における光学格子１
０と同一ピッチの光学格子１４からなる目盛が形成され
、該目盛が前記第１スケール１２の目盛と対向するよう
に配置された第２スケール１６と、発光ダイオード１８
を備え、前記対向して配置された第１及び第２スケール
１２．１６の光学格子１０，１４を一方から照明する照
明器２０と、前記第１及び第２スケール１２．１６の光
学格子１０．１４を間に、前記照明器２０に対向して配
置され、これら第１及び第２スケールの光学格子１０，
１４を通過する、前記照明器２０からの光を受光する受
光索子２２と、を有ｌノでなる光電型エンコーダにおい
て、前記発光ダイオード１８をスリット状の発光部２４
を備え、且つ該スリットが前記光学格子１０．１４と平
行となるように配置したものである。 １１η記発光ダイオード１８は、第３図に示されるよう
に、発光部２６にスリット状の開口部を備えた金属膜２
８を蒸着することにより前記スリット状の発光部２４を
形成したものである。 この発光ダイオード１８は、Ｐ型ＧａＡｓ１８ＡとＮ型
ＧａＡｓ１８８を接合して形成したものであり、これら
は、−辺が４００μ田の正方形であって、前記スリット
状の発光部２４の形状は、幅Ｗ＝５Ｑμ、ｕ、長ざＬ＝
３５Ｃ１ｍであつで、Ｇａ Ａｓ填根板１８△１８Ｂの
対角線上に配置されている。 図の符号１８Ｃ１１８Ｄはリード線であって、一方のリ
ード線１８Ｃは電極を兼ねる金属膜２８に接続され、他
方のリード線１８Ｄは、金属膜２８と反対側の面に接続
されている。 前記第１スケール１２は、第２図に示されるように、光
電型エンコーダにおけるいわゆるメインスケールとされ
ている。 これに対して、第２スケール１６は、短く形成されてい
わゆるインデックススケールとされ、その光学格子１４
は、位相が９０度ずつずれている４個の光学格子１４Ａ
〜１４Ｄから形成されている。 これら４個の光学格子１４Ａ〜１４Ｄは、第１スケール
１２にａ−３ける光学格子１０と重なり合うことができ
る位置でブロック状、即ち円型に配置されている。 これに対して、＋ｉＧ記発光発光ダイオード１８そのス
リット状の発光部２４が４藺の光学格子１４Ａへ１４Ｄ
の中央位置で、これら光学格子１４Ａ〜１４Ｄと平行と
なるように配置ざｆｌている。 第２図の符号３０Ａ、３０Ｂは発光ダイオード１８に電
力を供給するために、第２スケール表面に形成された透
明尋電膜を示し、これら透明導電膜３０Ａ、３０Ｂは、
リード線３２Ａ、３２Ｂを介して電源３４に接続されて
いる。 前記照明器２０は、前記第２スケール１６の光学格子１
４形成而とは反対側の外側面１６Ａに取イ・」けられ、
且つ、１）ｊ記発光部２４を該外側面１６Δとは反対向
きに配置された、前記発光ダイオード１８と、この発光
ダイオード１８を囲んで配置された球面状反射膜３６と
、を有してなり、発光部２４からの光が前記球面状反射
膜３６で反射されてから、前記第２スケール１６の光学
格子１４及び第１スケール１２の光学格子１０を照明す
るようにされている。 前記球面状反！ｌ１ｌ−ｊ膜３６は、エポキシ系接着剤
を半球状の型を用いて半球面を有するレンズ３６Ａに形
成し、このレンズ３６Ａの半球面にアルミ蒸着をするこ
とによって半球状及銅膜３６を形成している。 又、前記受光索子２２は、前記４個の光学格子１４Ａ〜
１４．Ｄに対応して、４個の受光索子２２Δ〜２２Ｄか
ら構成されている。 ・ 第１図の符号３８Ａ、３８Ｂは、４個の受光素子２
２Ａ〜２２Ｄにより得られた電気信号の差を演算して、
差動信号を得るための差演算器を示す。 上記実施例においては、光学格子１０及び１４のピッチ
を２０μ田とした場合、これら光学格子の間隔即ち格子
間隔Ｓを４０μ田程度とすることができた。 即ち、従来、光学格子のビツヂが２ｏμｍｌＵ合、格子
間隔Ｓは最大ｌＣ１ｍであったが、上記実施例の場合は
、従来と比較して格子間隔Ｓを４侶とすることができた
。 更に球面状反射膜３６の半径を従来と同一とした状態で
あっても、受光素子２２による受光光ｆｆ１３も従来と
比較して何ら減少されることなく、（ｑられた信号のＳ
Ｎ比は従来とほぼ同一であった。 なお上記実施例において、発光ダイオード１８を形成す
るＰ型Ｇａ Ａｓ １８Ａ及びＮ型ＱａΔ５１８Ｂは共
に正方形であるが、これは長方形であってもよい。 ただし、これらのＰ型及びＮ型基板を正方形にして、そ
の対角線上にスリット状の発光部２４を形成する場合は
、注入電流に対して発光動帯が高いという利点がある。 又、前記発光ダイオード１８はガリウム砒素の半導体基
板を利用するものであるが、これは、Ｇａ Ｐ、 Ｇａ
ＡλＡＳＷの他の半導体基板であってもよい。 更には、Ｐ型とＮ型の基板は、実施例と上下逆であって
もよく、又、これら基板の側面には黒色塗料を塗るよう
にしてもよい。 又、上記実施例は、第２スケール１６の光学格子１４が
９０度ずつ位相をずらした４個の光学格子１４Ａ〜１４
Ｄから構成されているが、本発明はこれに限定されるも
のでなく、例えばモアレ縞万式の場合には、第２スケー
ル１６の光学格子１４のピッチが第１スケール１２の光
学格子１０のピッチと略等しければ足り、更には、第２
スケールの光学格子を１個として、その位置により、位
相を９０度ずつ変えた信号を４［Ｊることがでさる。 更に又、上記実施例は、第１スケール１２及び第２スケ
ール１６がそれぞれ直線型のエンコーダであるが、本発
明はこれに限定されるものでなく、〇−タリーエンコー
ダにも当然適用され得るものである。 又、上記実施例は発光ダイオード１８からの５芒光を球
面状反射膜３６によって反射した後、光学格子１０及び
１４を照明するようにしたものであるが、本発明は、球
面状反射膜３６を設けることなく、発光ダイオード１８
からの発光によって、直接光学格子１０及び１４を照明
するようにしたものにも適用されるものである。 【発明の効果］ 本発明は上記のように構成したので、発光ダイオードの
発光部を小型化することなく、第１及び第２スケールの
光学格子を照明する光の、光学格子の幅方向、即ち目盛
方向の拡散を抑制することができるという優れた効果を
有する。
第１図は本発明に係る光電型エンコーダの実施例を示ず
一部ブロック図を含む断面図、第２図は第１図のＩＩ−
ＩＩ線に沿う断面図、第３図は同実施例における発光ダ
イオードを拡大して示す斜視図、第４図は従来の光電型
エンコーダを示す断面図である。 １０・・・光学格子、 １２・・・第１スケール、
１４・・・光学格子、 １６・・・第２スケール、
１６Ａ・・・外側面、 １８・・・発光ダイオード
、２０・・・照明器、 ２２・・・受光索子、２
４・・・発光部、 ２６・・・発光面、２８・・
・金属膜、 ３６・・・球面状反射膜。
一部ブロック図を含む断面図、第２図は第１図のＩＩ−
ＩＩ線に沿う断面図、第３図は同実施例における発光ダ
イオードを拡大して示す斜視図、第４図は従来の光電型
エンコーダを示す断面図である。 １０・・・光学格子、 １２・・・第１スケール、
１４・・・光学格子、 １６・・・第２スケール、
１６Ａ・・・外側面、 １８・・・発光ダイオード
、２０・・・照明器、 ２２・・・受光索子、２
４・・・発光部、 ２６・・・発光面、２８・・
・金属膜、 ３６・・・球面状反射膜。
Claims (4)
- （１）一定ピッチの光学格子からなる目盛が長手方向に
並列して形成された第１スケールと、この第１スケール
に対して、前記長手方向に相対移動可能に配置され、且
つ、前記第１スケールにおける光学格子と同一ピッチの
光学格子からなる目盛が形成され、該目盛が前記第１ス
ケールの目盛と対向するように配置された第２スケール
と、発光ダイオードを備え、前記対向して配置された第
１及び第２スケールの光学格子を一方から照明する照明
器と、 前記第１及び第２スケールの光学格子を間に、前記照明
器に対向して配置され、これら第１及び第２スケールの
光学格子を通過する、前記照明器からの光を受光する受
光素子と、 を有してなる光電型エンコーダにおいて、 前記発光ダイオードはスリット状の発光部を備えると共
に、該スリットが前記光学格子と平行になるように配置
されてなる光電型エンコーダ。 - （２）前記発光ダイオードは、発光面にスリット状の開
口部を備えた金属膜を蒸着することにより前記スリット
状の発光部が形成されてなる特許請求の範囲第１項記載
の光電型エンコーダ。 - （３）前記発光部のスリットの幅を１００μｍ以下とし
てなる特許請求の範囲第１項又は第２項記載の光電型エ
ンコーダ。 - （４）前記照明器は、前記第２スケールの光学格子形成
面とは反対側の外側面に取付けられ、且つ、前記発光部
を該外側面とは反対向きに配置された前記発光ダイオー
ドと、この発光ダイオードを囲んで配置された球面状反
射膜と、を有してなり、発光部からの光が前記球面状反
射膜で反射されてから、前記第２スケールの光学格子及
び第１スケールの光学格子を照明するようにされた特許
請求の範囲第１項又は第２項記載の光電型エンコーダ。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14907386A JPS6324126A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 光電型エンコ−ダ |
| DE19873790038 DE3790038T1 (ja) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | |
| GB8719127A GB2194635B (en) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
| US07/086,627 US4840488A (en) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
| PCT/JP1987/000154 WO1987005693A1 (fr) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Detecteur photoelectrique de deplacement |
| GB9005627A GB2229812B (en) | 1986-03-14 | 1990-03-13 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
| GB9005628A GB2229813B (en) | 1986-03-14 | 1990-03-13 | Photoelectric type displacement detecting instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14907386A JPS6324126A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 光電型エンコ−ダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324126A true JPS6324126A (ja) | 1988-02-01 |
| JPH0411809B2 JPH0411809B2 (ja) | 1992-03-02 |
Family
ID=15467098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14907386A Granted JPS6324126A (ja) | 1986-03-14 | 1986-06-25 | 光電型エンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6324126A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991003711A1 (fr) * | 1989-09-05 | 1991-03-21 | Mitutoyo Corporation | Codeur photoelectrique |
| JP2002081964A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-03-22 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
-
1986
- 1986-06-25 JP JP14907386A patent/JPS6324126A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991003711A1 (fr) * | 1989-09-05 | 1991-03-21 | Mitutoyo Corporation | Codeur photoelectrique |
| JPH0392716A (ja) * | 1989-09-05 | 1991-04-17 | Mitsutoyo Corp | 光電型エンコーダ |
| GB2243684A (en) * | 1989-09-05 | 1991-11-06 | Mitutoyo Corp | Photoelectric encoder |
| JP2002081964A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-03-22 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0411809B2 (ja) | 1992-03-02 |
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