JPH04119526A - ディスク移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気ディスク、光ディスク等のように、円環
状板体からなるディスクをディスク保持手段に１枚ずつ
装架するためのディスク移載装置に関するものである。

［従来の技術１ 例えば、磁気ディスクの製造ラインにおいて、ディスク
の表面に磁気記録膜を形成する工程がある。このディス
クの磁気記録膜の形成をスパッタリング手段によって行
うようにしたものがある。

このスパッタリング成膜装置における作業を効率的に行
うには、可及的に多くのディスクを装置内に送り込んで
、これら多数のディスクを同時に成膜処理しなければな
らない。

このために、アルミニウム板等の金属板からなり、その
板面にディスクを装着するための透孔を有するディスク
装着部を設けたディスクホルダを用い、このディスクホ
ルダに複数のディスクを装架して成膜処理を行うように
している。また、成膜終了後のディスクはディスクホル
ダに装架したままの状態で成膜装置から取り出すように
している。

このために、ディスクをディスクホルダに装架するため
のロード機構及び成膜後のディスクをディスクホルダか
ら回収するためのアンロード機構が設けられる。

一般に、ディスクは、マガジンに立設状態にして等間隔
に並べて収納させて、工程間を移動させるようになって
いる。このために、ローダ部においては、マガジンから
ディスクを取り出して、ディスクホルダの各ディスク装
着部に１枚ずつ装架し、またアンローダ部では、ディス
クをディスクホルダから１枚ずつ回収して、マガジンに
収納させるようにしている。従って、マガジンとディス
クホルダとの間でディスクの授受を自動的に行うために
、ディスク移載装置が設けられる。このディスク移載装
置としては、通常、多軸ロボットのアームに作業機構と
してのディスクチャック手段を取り付けることにより構
成される。

前述した成膜装置等を効率よく作動させるには、ロード
及びアンロード作業を迅速に行わなければならない。処
理・加工の対象となるディスクが大径のものであれば、
ディスクホルダには限られた数のディスクしか装架する
ことができないことから、ディスクを１枚ずつ逐次移載
したとしても、ロード、アンロードの各作業にあまり長
い時間を必要とすることはない。然るに、小径で小型の
ディスクの成膜を行うときには、１つのディスクホルダ
に多数のディスクを装着することが可能である。このよ
うに多数のディスクを装架する場合において、ディスク
を１枚受け渡す毎にディスクチャック手段をディスクホ
ルダとマガジンとの間を往復させていたのでは、効率的
な作業を行い得ない。

そこで、複数のディスクをチャックしてそのロード、ア
ンロードを行うことによって、ディスクチャック手段を
ディスクホルダとマガジンとの間を往復させる頻度を減
らすことによって作業効率の向上を図るようにしたもの
は従来がら知られている。即ち、第８図に示したように
、丸棒状の部材を軸線方向に２つ割りした状態からなる
一対のチャック部片１ａ、　ｌａに、それらの軸方向に
複数の円弧状のグループ１ｂを形成したチャック部材ｌ
が用いられる。このチャック部材１は、図示しない駆動
手段によって、相互に近接・離間する方向に変位可能と
なっている。そして、チャック部片ｌａ、　ｌａを相互
に近接させた状態にすると、その外径が縮径されて、デ
ィスクＤの内周部に挿脱可能なチャック解除状態となり
、またそれらを離間させる方向に変位させると、それが
拡径せしぬられて、グループｌｂがディスク２の内周に
係合し、該ディスクＤを所定の位置にチャックされるチ
ャック状態となる。

従って、このグループ１ｂをマガジンに収納されている
ディスクＤの間隔と一致するピッチ間隔で複数箇所設け
ることにより、このグループの数に応じた数のディスク
Ｄをディスクチャック手段に同時に保持させて、ディス
クＤの受け渡したり、受け取ったりする作業を行うこと
ができる。この結果、チャック部材１のディスクホルダ
とマガジンとの間を往復させる回数を減らすことができ
、その分だけディスクの移載作業の高速化を図ることが
できる。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、マガジン等のディスク取納用の治具において
は、ディスクは所定ピッチ間隔で並べられているから、
チャック部材を、チャック解除状態にして、ディスクに
挿通させてチャック状態に変位させると、同時に複数の
ディスクをチャックさせることができる。しかしながら
、ディスクホルダにおいては、ディスクはそれぞれディ
スク装着部につき１枚ずつ装着される関係から、それぞ
れのディスク装着部にディスクを個別的に装架させたり
、回収したりしなければならない。このために、例えば
、ディスクをディスクホルダに装架する場合においては
、チャック部材にチャックされている複数のディスクＤ
のうち、最も先端に位置するディスクを−のディスク装
着部に装架し、次いで２番目に位置するディスクＤを次
ぎのディスク装着部に装架するようになし、順次段階的
にディスクの装架を行わなければならない。即ち、最先
端に位置するディスクを装架したのちにおいて、次のデ
ィスクを装架する場合には、チャック部材を前回より前
進させなければならないことになる。また、その次のデ
ィスクを装架する場合には、チャック部材をさらに奥ま
で押し込まなければならない。

従って、各グループに保持されているディスクをディス
クホルダに受け渡すに際しては、チャック部材とディス
クホルダとの間の位置合わせは複数あるグループそれぞ
れの位置について行わなければならず、ロボットに対す
るティーチング作業が極めて複雑かつ面倒になると共に
、位置決め誤差の累積等から、各位置における位置合わ
せを高精度に保つのが困難であるという問題点がある。

とりわけ、スパッタリングを行うような場合には、ディ
スクホルダはプリヒートされた状態に保持されるが、こ
のために該ディスクホルダは熱変形することがあるので
、この熱変形分を見込んだ上で位置合わせを厳格に行う
のは殆ど不可能に近い。このために、チャック部材から
ディスクホルダへのディスクの受渡不良という事態を生
じるおそれもある。

しかも、このようにチャック部材からディスクが受け渡
されずに、このチャック部材上に残されたままとなって
いると、当該ディスクが干渉して、次のディスク受渡動
作を行うことが不可能となってしまう。従って、この受
渡が行われなかったディスクを直ちに取り除かなければ
、装置の作動の継続が不可能となり、その分だけ装置の
稼動率が低下するという問題点もある。

また、チャック部材に複数のディスクを保持している状
態において、それをチャック状態からチャック解除状態
に変位させると、全てのディスクのチャックが解除され
てしまうことになる。しかも、チャック部材がディスク
ホルダにおけるディスク装着部に入り込んだ状態でチャ
ック解除したときに、その位置からチャック部材がディ
スク装着部から完全に抜は出すまでの間はこのチャック
解除状態を継続しなければならない。このために、チャ
ック部材の移動の間にディスクが動いて位置ずれを生じ
るおそれがある。また、この位置ずれを抑制するには、
チャック解除状態でチャック部材を変位させる際に、こ
のチャック部材を低速で動かさなければならいことにな
り、このことはディスクのロード、アンロード作業の高
速化に対する後退的な要因になる。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、チャック部材によるディスクの受
け渡しや、受け取り等の作業を極めて正確かつ高速で行
うことができるようにしたディスク移載装置を提供する
ことにある。

［課題を解決するための手段］ 前述した目的を達成するために、本発明は、複数枚のデ
ィスクを同時にチャックするディスクチャック手段を有
し、該ディスクチャック手段を、前記各ディスクの位置
決め部を所定のピッチ間隔で形設した上下、左右各一対
のチャック部片と、これら多対のチャック部片のうち、
一方の対のチャック部片をチャック状態とチャック解除
状態との間に変位させる第１のチャック駆動部材と、他
方の対のチャック部片をチャック状態とチャック解除状
態との間に変位させる第２のチャック駆動部材と、この
他方の対のチャック部材を、それに設けた位置決め部の
１ピッチ間隔分だけ前後動させるためのシフト駆動部材
とから構成したことをその特徴とするものである。

［作用１ このような構成を採用することによって、前後動可能な
対のチャック部片によってディスクをピッチ送りするこ
とができる。即ち、前後方向には固定されている固定側
チャック部片をチャック解除状態となし、前後方向に可
動な可動側チャック部片をチャック状態にして、この可
動側チャ・ンク部片を前進させると、ディスクを１ピッ
チ間隔分だけ前方に送り出すことができる。この結果、
移載すべきディスクを常にチャック部片の最先端の位置
決め部にシフトさせて、当該位置からディスク保持手段
に受け渡すことができる。また、ディスク保持手段から
ディスクを回収するに当っても、ディスクを順送りに後
方に向けてピッチ送りさせることができるので、常にチ
ャック部片の最先端の位置決め部でディスクの取り込み
を行うことができる。

ディスクチャック手段にチャックされている複数のディ
スクのうち、最先端のディスクはいずれか一方の対のチ
ャック部片のみによって保持される状態と、両方の対の
チャック部片似より保持される状態との２つの態様があ
る。これに対して、最先端以外のディスクは常に両方の
対のチャック部片により保持可能となっている。このこ
とから、可動側のチャック部片を固定側の対のチャック
部片からずらせた状態となし、前方に位置するチャック
部片をチャック解除状態となし、後方側のチャック部片
をチャック状態に保持すれば、最先端に位置するディス
クだけはチャック解除状態となり、これ以外のディスク
はチャック状態に保持される。ここで、既に説明したよ
うに、ディスクの受け渡し、受け取りは最も先端に位置
するものについて行われることになっているから、他の
ディスクを固定的に保持した状態で、ディスク保持部材
との間のディスクの移載を行うことができる。この結果
、ディスクチャック手段を高速で動かすことができるよ
うになる。

さらに、ディスク保持手段へのディスクの装架不良が生
じても、可動側チャック部片が移動するときに、当該の
装架不良を起こしたディスクはチャック部片の端面によ
って押し出されることになって、ディスクチャック手段
から排除されることになるから、ディスクの装架作業を
そのまま継続することに支障を来すことはない。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

まず、第１図にディスクのスパッタリング成膜装置にお
けるロード、アンロード機構部の全体構成を示す。

ここで、スパッタリング成膜装置においては、ディスク
Ｄを所定間隔で並べた状態に設置されているマガジンＭ
から一度に複数枚のディスクＤを取り出して、ディスク
ホルダＨに設けた多数のディスク装着部にそれぞれ１枚
ずつ装着して、成膜装置に送り込み、この成膜装置でこ
れら各ディスクＤの表面に磁気記録膜を形成した上で、
マガジンＭに再収納させて、次工程に送り出すようにし
ている。

このために、コンベアｌＯが設けられており、該コンベ
アｌＯに成膜すべきディスクＤを収納したマガジンＭを
搬送させて、まずロード部１）においてディスクロード
装置１２によってこのマガジンＭから複数枚（本実施例
においては、５枚）毎にディスクＤを取り出して、順次
ディスクホルダＨの各ディスク装着部に装架し、全ての
ディスク装着部に対するディスクＤの装架が完了すると
、このディスクホルダＨをスパッタリング成膜装置（図
示せず）内に搬入して、これら各ディスクＤに成膜処理
を施すようにしている。また、ディスクＤが取り出され
たマガジンＭは、コンベア１０によってアンロード部１
３に移行せしめられる。

成膜装置内においてディスクＤの成膜処理が完了すると
、ディスクホルダＨは、アンロード部１３に移行せしめ
られて、当該位置に設けたディスクアンロード装置１４
によって処理完了後のディスクＤが１枚ずつ回収されて
、マガジンＭに再収納される。そして、ディスクホルダ
Ｈから全てのディスクＤの回収が完了すると、ディスク
ホルダＨはローダ部１）に移行して、再びディスクＤの
装架か行われ、また処理完了後のディスクＤを収納した
マガジンＭはコンベア１０によって搬出される。

以上の動作を繰り返すことによって、ディスクＤに磁気
記録膜の形成作業が行われる。

而して、ディスクホルダＨは、第２図及び第３図からも
明らかなように、アルミニウム等の平板状の板体からな
り、この板体には、ディスクＤを装着するディスクＷ　
を部として、該ディスクＤの直径より大径の透孔１５が
複数箇所開設されており、この透孔１５における下方部
分にはステンレススチール等からなるディスク受部１６
がビス等で固着されている。このディスク受部１６は、
断面がＶ字状となった溝１６ａを有し、この溝１６ａに
ディスクＤのチャンファＤＣの部分を当接させるように
して装着されるようになっている。そして、ディスクホ
ルダＨには、自走手段としてローラ１８を有し、このロ
ーラ１８はガイドレール１９に係合しており、該ガイド
レール１９はローダ部１）からアンローダ部１３を経て
成膜装置との間を往復移動せしめられるようになってい
る。

次に、ディスクロード装置１２及びディスクアンロード
装置１４の構成について説明する。ここで、ディスクロ
ード装置１２．ディスクアンロード装置１４はそれぞれ
多軸ロボットのロボット本体１２ａ。

１４ａを有し、このロボット本体１２ａ、１４ａのアー
ム１２ｂ　　１４ｂには、それぞれディスクＤを複数枚
（本実施例においては５枚）同時にチャックすることが
できるディスクチャック手段１２ｃ　、　１４ｃを有す
る。而して、これらディスクチャック手段１２ｃ　、　
１４ｃは実質的に同じものとして構成され、その作動手
順が異なるだけであるから、以下の説明においては、こ
れらを共通の構成のものとして説明する。なお、本発明
においては、ロボット本体とそのアームについては、公
知のものから適宜目的に適ったものを用いればよいもの
であり、その具体的な構成については説明を省略する。

然るに、ディスクチャック手段としては、第４図乃至第
６図に示す構成のものが用いられる。

第４図及び第５図から明らかなように、このディスクチ
ャック手段は本体ブロック２０を有し、該本体ブロック
２０にはロボット本体のアームへの連結部２０ａが設け
られている。そして、この本体ブロック２０には、上下
チャック機構２１と左右チャック機構２２とが装着され
ている。

これら上下及び左右のチャック機構２１．２２は、第６
図に示したように、それぞれ各一対からなるチャック部
片２３ａ、２３ｂ及び２４’ａ、　２４ｂを有し、これ
ら４つのチャック部片は丸棒状の部材を軸線方向に等分
に分割した形状となっており、それぞれの外周面には円
弧状のグループ２５が等しいピッチ間隔を持って５箇所
形設されている。これら各グループ２５はディスクＤの
内周縁部とほぼ同じ曲率を有するものであり、またこれ
ら各チャック部片２３ａ、　２３ｂ、　２４ａ、　２４
ｂを相互に近接させた状態にすると、ディスクロ内に挿
通させることができるようになっている。これらチャッ
ク部片２３ａ、　２３ｂ及び２４ａ、　２４ｂによって
ディスクチャック部材２６が構成される。

ここで、上下チャック機構２１を構成する一対のチャッ
ク部片２３ａ、２３ｂと、左右チャック機構２２を構成
する一対のチャック部片２４ａ、　２４ｂとはそれぞれ
独立に作動せしめられて、それらのグループ２５がディ
スクＤの内周縁部に当接するチャック状態と、このディ
スクＤの内部に挿通可能なチャック解除状態との間に変
位可能となる。

上下チャック機構２１を構成するチャック部片２３ａ、
２３ｂを第６図に矢印Ｒ１で示したように、相互に近接
・離間する方向に変位させて、チャック状態とチャック
解除状態との間に変位させるために、これらチャック部
片２３ａ、２３ｂはシリンダ等からなる第１のチャック
駆動部材２７に装着されている。そして、この第１のチ
ャック駆動部材２７は本体ブロック２０に固定されてい
る。従って、このチャック部材２３ａ、２３ｂは前後方
向に固定されたチャック部片を構成する。

一方、左右チャック機構２２を構成する左右一対のチャ
ック部片２４ａ、　２４ｂは、チャック状態とチャック
解除状態との間に変位可能であると共に、グループ２５
の１間隔分だけ前後動せしめられるようになった、可動
側のチャック部片を構成している。このために、これら
チャック部片２４ａ、　２４ｂはそれぞれ開閉アーム２
８ａ、２８ｂに連結されており、該各開閉アーム２８ａ
、２８ｂはそれぞれスライドブロック２９に形成したガ
イド３０に係合せしめられている。従って、この開閉ア
ーム２８ａ、　２８ｂをこのガイド３０に沿って近接・
離間する方向に変位させることによって、チャック部片
２４ａ、２４ｂは第６図に矢印Ｒ２で示したように、チ
ャック状態とチャック解除状態との間に変位せしめられ
る。そして、このチャック部片２４ａ、２４ｂを駆動す
るために、これらチャック部片２４ａ、２４ｂが連結さ
れている開閉アーム２８ａ、２８ｂにはそれぞれカムフ
ォロワローラ３１ａ、　３１ｂが装着されており、該各
カムフォロワローラ３１ａ、３１ｂはカム部材３２と係
合している。そして、このカム部材３２はシリンダ等か
らなる駆動手段３３によって駆動されて、カムフォロワ
ローラ３１ａ、　３１ｂを近接・離間する方向に変位さ
せることができるようになっている。また、両カムフォ
ロワローラ３１ａ、　３１ｂをカム部材３２に当接する
方向に付勢するために、開閉アーム２８ａ、２８ｂ間に
ばばね３４が張設されている。これら各部材によって第
２のチャック駆動部材が構成される。

また、スライドブロック２９は、本体ブロック２０に装
着したスライドガイド３５に挿通されており、しかも該
本体ブロック２０に取り付けたシリンダ等からなる前後
動駆動部材３６に連結されて、該前後動駆動部材３６を
作動させることによって、チャック部片２４ａ、２４ｂ
は、第６図に矢印Ｒ３で示したように、それらに設けた
グループ２５がチャック部片２３ａ、　２３ｂのグルー
プ２５に対して１ピツチずつ後方にずれた後退位置と、
チャック部片２３ａ、　２３ｂのグループ２５と一致す
る前進位置との間に往復変位させることができるように
なっている。これによって、シフト部材が構成される。

さらに、本体ブロック２０にはセンサ３７．３７が設け
られている。この一対からなるセンサ３７は、ディスク
ホルダＨにおけるディスク受部１６の位置検出を行うた
めのものであって、例えばディスクホルダＨが熱で変形
していたりすると、ディスクＤを搭載する位置が変化す
る。このディスク受部１６の位置の変化量は極めて僅か
なものであったとしても、ディスクチャック部材２６か
らのディスクＤの移載を安定した状態で行うことはでき
ない。このために、実際にディスクＤをディスク装着部
に装着する際に、ディスクが装着されるディスク受部１
６を検出して、その位置に応じてロボット本体側で位置
補正することができるようになっている。また、ディス
クチャック手段がマガジンＭからディスクＤを取り出し
たり、収納させたりする際に、このセンサ３７がマガジ
ンＭと干渉しないように保持するために、該センサ３７
はシリンダ等の昇降手段３８によって下方に位置するセ
ンサ作動位置と、上方に変位させて、マガジンＭの壁部
と当接しないようにするための退避位置との間に昇降変
位させることができるようになっている。

本実施例は前述のように構成されるものであって、次に
ロード及びアンロードを行うための作動について説明す
る。

まず、第７図を参照してディスクＤのロードを行う場合
について説明する。なお、同図において、チャック部片
２４ａ、２４ｂが前進位置にあるときには、白抜きで示
し、後退位置にあるときには、斜線を施して示すことに
よって、その位置の変化を表わす。

ディスクＤをマガジンＭから取り出して、ディスクホル
ダＨに装架する、ロード動作を行うには、まずディスク
チャック部材２６を構成する上下及び左右のチャック機
構２１．２２における多対のチャック部片２３ａ、２３
ｂ及び２４ａ、　２４ｂをチャ’ｙり解除状態となし、
また前後方向に可動となっている側のチャック部片２４
ａ、２４ｂを後退位置に配置する。そこで、第７図（ａ
）に示したように、チャック部材２６をディスクＤの内
周部に挿通させる。このチャック部材２６は５枚のディ
スクＤを保持することができるようになっているから、
マガジンＭ内に収納されている５枚のディスクＤが前後
方向に固定されている側のチャック部片２３ａ。

２３ｂにおけるそれぞれのグループ２５と対面する位置
までチャック部材２６を送り込む。

この状態で、第７図（ｂ）に示したように、上下の対の
チャック部片２３ａ、　２３ｂをチャック状態に変位さ
せる。これによって、５枚のディスクＤがこのチャック
部片２３ａ、２３ｂの各グループ２５によって位置決め
された状態でチャックされる。

次に、ロボットを作動させて、ディスクチャック手段を
ディスクホルダＨにおけるディスク装着部を形成する透
孔１５内に挿入して、該ディスクチャック手段により保
持されているディスクＤのうち、最先端のディスクＤ、
をディスク受部１６の溝１６ａに対面させる。

なお、ここで、スパッタリング成膜を行うには、ディス
クホルダＨな例えば３００℃以上にプリヒートされる関
係から、アルミニウムの大きな板材からなるディスクホ
ルダＨに反りが生じる。

方、ディスクＤが装着されるディスク受部１６はステン
レススチールで形成され、しかもディスクホルダＨ全体
と比較すれば極めて小型の三ケ月状の部材で形成されて
いることから、該ディスク受部１６には殆ど変形が生じ
ることはない。そこで、対からなるセンサ３８を作動位
置となして、該センサ３８によってこのディスク受部１
６の実際の位置を検出して、ディスクチャック手段の位
置を微調整する。これによって、ディスクＤを極めて正
確にディスク受部１６の溝１６ａに対面させることがで
きる。

そして、第７図（Ｃ）に示したように、チャック部片２
４ａ、　２４ｂをチャック状態に変位させる（なお、こ
のチャック部材２４ａ、２４ｂのチャック状態への変位
は、チャック部片２３ａ、２３ｂをチャック状態に変位
させると同時に行ってもよい）。

これによって、最先端に位置するディスクＤ、はディス
クチャック部材２６のチャック部片２３ａ、　２３ｂの
みによってチャックされ、これ以外のディスクはチャッ
ク部片２３ａ、　２３ｂ及び２４ａ、　２４ｂによりチ
ャックされた状態となる。

そこで、ディスクチャック部材２６を僅かに下降させて
、最先端のディスクＤ１がディスク受部１６の溝１６ａ
に係合させる。そして、第７図（ｄ）に示したように、
チャック部片２３ａ、２３ｂをチャック解除状態に変位
させる。これによって、最先端のディスクＤ１はディス
クチャック部材２６によるチャック状態が解除されて、
ディスクＤ、がディスクホルダＨに装架される。ただし
、これ以外の４枚のディスクＤは可動側のチャック部片
２４ａ、　２４ｂによってチャックされた状態に保持さ
れる。そして、ディスクチャック部材２６をディスクホ
ルダＨの透孔１５から引き出すことによって、ディスク
Ｄ。

はディスクホルダ上側に移載される。

ここで、当初においては、最先端から２番目に位置して
いるディスクＤ２は、後退位置にあるチャック部片２４
ａ、　２４ｂにおいては、最も先端に位置するグループ
２５に係合した状態となっている。従って、チャック部
片２３ａ、２３ｂをチャック解除状態に保持し、かつチ
ャック部片２４ａ、　２４ｂをチャック状態に保ったま
ま、該チャック部片２４ａ。

２４ｂを前進位置に変位させる。これによって、第７図
（ｅ）に示したように、現にディスクチャック部材２６
に保持されている各ディスクＤがそれぞれグループ２５
の１ピッチ間隔分だけ前進せしめられる。即ち、当初は
２番目に位置していたディスクＤ２が最先端のディスク
Ｄ１が位置していた場所にシフトする。

次に、第７図（ｆ）に示したように、チャック部片２３
ａ、　２３ｂをチャック状態に変位させ、第７図（ｇ）
に示したように、チャック部片２４ａ。

２４ｂをチャック解除状態に変位させ、さらに、第７図
（ｈ）に示したように、後退位置に変位させる。これに
よって、２番目のディスクＤ２がチャック部片２３ａ、
２３ｂの最先端に位置するグループ２５に保持されて、
チャック部片２４ａ、　２４ｂはこのディスクＤ２とは
離れて、このディスクＤ２が前述したディスクＤ１と同
じようにディスクホルダＨに装架することができる状態
となる。即ち、ディスクＤ１に代えてディスクＤ２が最
も先端に変位して、第７図（ｂ）の状態になる。

従って、第７図の（ｃ）、（ｄ）の動作を繰り返すこと
によって、第２番目に位置していたディスクＤ２がディ
スクホルダＨに装架され、また同図（ｅ）、（ｆ）、（
ｇ）、（ｈ）の動作を行うことによって、第３番目以下
のディスクが順送りに１ピツチ分だけ前進せしめられて
、第３番目のディスクがディスクホルダＨに装架するこ
とができるようになり、以下、この動作を繰り返すこと
によって、第３番目、第４番目、第５番目のディスクを
順次ディスクホルダＨに装架することができる位置にシ
フトさせることができる。そして、ディスクチャック部
材２６に保持されている全てのディスクの装架が終了す
ると、再びマガジンＭからディスクＤを取り出して、前
述した操作を繰り返すことによって、ディスクホルダＨ
における全ディスク装着部にディスクＤの装架が行われ
る。

一方、ディスクＤのアンロードを行う場合には、まずチ
ャック部片２４．ａ、２４ｂを後退位置となし、かつチ
ャック部片２３ａ、　２３ｂをチャック解除状態にして
、ディスクホルダＨに装架されているディスクＤの内周
部にディスクチャック部材２６を挿入し、最先端のグル
ープ２５をディスクＤの内縁部に対面させる。そして、
チャック部片２３ａ。

２３ｂをチャック状態にすることによって、このディス
クＤをチャックする。この状態で、ディスクチャック部
材２６をディスクホルダＨから離間させる。次に、チャ
ック部片２４ａ、　２４ｂをチャック解除状態で前進位
置に変位させて、チャック状態とする。さらに、チャッ
ク部片２３ａ、２３ｂをチャック解除状態にした上で、
チャック部片２４ａ、　２４ｂを後退位置に変位させる
。これによって、ディスクＤは１ピツチ後退するように
シフトし、チャック部片２３ａ、　２３ｂにおける最先
端のグループ２５が開放され、このグループ２５に次の
ディスクＤを保持させることができるようになる。

以下、この動作を繰り返すことによって、ディスクホル
ダＨから順次１枚ずつディスクＤの回収が行われ、この
ディスクの回収毎に既にディスクチャック部材２６に保
持されているディスクは１ピツチずつ順送りに後退する
ようにシフトせしめられる。そして、５枚のディスクを
回収したときに、このディスクチャック部材２６をマガ
ジンＭの位置に移行させて、チャック部片２３ａ、　２
３ｂ。

２４ａ、　２４ｂをチャック解除状態にして引き戻すよ
うにすれば、このディスクチャック部材２６に保持され
ていたディスクは、該マガジンＭ内に留置される。

このように、ディスクＤをディスクホルダＨに受け渡す
際（ロード）においても、ディスクホルダＨからディス
クＤを受け取るＷＡ（アンロード）においても、ディス
クチャック部材２６は、常にその上下チャック機構２１
を構成する一対のチャック部片２３ａ、　２３ｂにおけ
る最先端に位置するグループ２５を介して行うようにな
っているから、ロボットに対するティーチング作業が極
めて容易になり、また位置決め誤差の累積によるディス
クＤの移載の不安定化を防止することができる。特に、
ディスクホルダＨをプリヒートにする場合においては、
該ディスクホルダＨは熱によって変形せしめられるが、
この熱変形を見込み、しかも前述した誤差が累積するの
を防止するのは極めて困難であるが、本実施例のように
、常に同じ位置でディスクＤの移載を行うようにするこ
とによって、しかもセンサ３７によってディスク受部１
６の実際の位置を確認した上でディスクＤを移載するこ
とにより、極めて正確な移載を行うことができる。

また、ディスクの移載時に、ディスクチャック部材２６
によって保持されているディスクＤは上下チャック機構
２１を構成する一対のチャック部片２３ａ、　２３ｂま
たは左右チャック機構２２を構成する一対のチャック部
片２４ａ、２４ｂの少なくとも一方で常にチャックされ
るようになっており、完全に自由な状態となることはな
いので、このディスクチャック部材２６に保持されてい
るディスクＤがみだりに位置ずれすることはない。この
結果、ディスクチャック部材２６を高速で変位させるこ
とができるので、ディスクの移載のスピードアップが図
れる。

さらに、ディスクＤのロード時において、何らかの理由
でディスクＤがディスクホルダＨに移載できない事態が
発生することがある。このような事態が生じても、第７
図（ｄ）の状態から同図（ｅ）の状態に変位する際に、
可動のチャック部片２４ａ、２４ｂの前進によって、こ
のチャック部片２４ａ、　２４ｂの端面が受渡不良とな
ったディスクを押動して、ディスクチャック部材２６か
ら押し出すことにより排除することができる。従って、
この受渡が行われなかった部位のディスク装着部はディ
スクが不装着状態のままとはなるものの、ロード作業が
行えなくなるという不都合を生じることはない。

なお、前述した実施例においては、スパッタリング成膜
装置として用いるものを示したが、これ以外でも、磁気
ディスクや光ディスク等の製造工程において、ディスク
を１枚ずつ装置する各種の機構として用いることができ
る。また、ディスクチャック部材２６によって５枚のデ
ィスクＤを保持することができるように構成したものを
示したが、−度に装着することができるディスクの数は
任意に設定することができる。さらに、上下、左右のチ
ャック機構２１．２２のうち、左右チャック機構２２を
前後方向に可動としたが、これに代えて上下チャック機
構２１を前後方向に可動とすることもできる。さらにま
た、前後方向に可動なチャック部片を、この方向には固
定されているチャック部片に対してグループ２５の１ピ
ッチ分後方の後退位置と、該固定側チャック部片とグル
ープ２５の位置が同じとなる前進位置との間に変位可能
なものとしたが、ｌピッチ分前進した位置と、固定側チ
ャック部片と同じ位置との間に往復変位させるようにし
ても良い。この場合には、ロボットによりディスクチャ
ック部材を前後動させなくとも、可動側のチャック部片
を前進、後退させる操作を行うことによって、ディスク
のディスクホルダへの受渡及びそれからのディスクの受
取りを行うことができるようになる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明は、ディスクチャック手段
を、各ディスクの位置決め部を所定のピッチ間隔で形設
した上下、左右各一対のチャック部片と、これら多対の
チャック部片のうち、一方の対のチャック部片をチャッ
ク状態とチャック解除状態との間に変位させるようにな
し、また他方の対のチャック部片をチャック状態とチャ
ック解除状態との間に変位させると共に、この他方の対
のチャック部材を、それに設けた位置決め部の１ピッチ
間隔分だけ前後動させるように構成したので、常に一定
の位置でディスクの受渡、受取りを行うことができ、ま
たこのディスクの受渡、受取り時にディスクチャック部
材上に位置するディスクは位置ずれなどを生じることな
（、極めて安定した状態に保持することができ、このデ
ィスクチャック部材を高速で移動させることが可能とな
るので、全体としてディスクの移載の高速化が図れる等
の諸効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は本発明の一実施例を示すものであっ
て、第１図はディスクのロード、アンロード機構の全体
構成図、第２図はディスクホルダの要部正面図、第３図
は第２図の■−ｍ断面図、第４図はディスクチャック手
段の外観図、第５図はディスクチャック手段の分解斜視
図、第６図はディスクチャック部材の外観図、第７図（
ａ）乃至（ｈ）は作動説明図、第８図は従来技術による
ディスクチャック部材の構成説明図である。 １）：ロード部、１２：ディスクロード装置、１３：ア
ンロード部、１４：ディスクアンロード装置、１５：透
孔、１６：ディスク受部、１６ａ：溝、２０：本体ブロ
ック、２０ａ：連結部、２１：上下チャック機構、２２
：左右チャック機構、２３ａ、２３ｂ、２４ａ。 ２４ｂ：チャック部片、２５ニゲループ、２６：ディス
クチャック部材、２７：第１のチャック駆動部材、２８
：開閉アーム、２９ニスライドブロツク、３０ニガイド
、３１ａ、　３１ｂ　：カムフォロワローラ、３２：カ
ム部材、３４：ばね、３６：前後動駆動部材、３７：セ
ンサ、Ｄ、　Ｄ、、　Ｄ、：ディスク、Ｈ：ディスクホ
ルダ、Ｍ：マガジン。 第 図 第 図 第 図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数のディスク装着部を備えたディスク保持手段
   にディスクを受け渡したり、受け取ったりするためのも
   のにおいて、複数枚のディスクを同時にチャックするデ
   ィスクチャック手段を有し、該ディスクチャック手段を
   、前記各ディスクの位置決め部を所定のピッチ間隔で形
   設した上下、左右各一対からなるチャック部片と、これ
   ら各対のチャック部片のうち、一方の対のチャック部片
   をチャック状態とチャック解除状態との間に変位させる
   第１のチャック駆動部材と、他方の対のチャック部片を
   チャック状態とチャック解除状態との間に変位させる第
   ２のチャック駆動部材と、この他方の対のチャック部材
   を、それに設けた位置決め部の１ピッチ間隔分だけ前後
   動させるシフト部材とから構成したことを特徴とするデ
   ィスク移載装置。
2. （２）前記シフト部材によって、前後動する対のチャッ
   ク部片を前後方向に固定されている対のチャック部片に
   対して前記位置決め部が１ピッチ分後方にずれた位置と
   同一となる位置との間に往復変位させるように構成した
   ことを特徴とする請求項（１）のディスク移載装置。
3. （３）前記シフト部材によって、前後動する対のチャッ
   ク部片を前後方向に固定されている対のチャック部片に
   対して前記位置決め部が同一になる位置と１ピッチ分前
   方にずれた位置との間に往復変位させるように構成した
   ことを特徴とする請求項（１）のディスク移載装置。
4. （４）前記各チャック部片はディスクの内周をチャック
   するように構成したことを特徴とする請求項（１）のデ
   ィスク移載装置。
5. （５）前記各チャック部片はその外面が円弧状に形成し
   たものであることを特徴とする請求項（４）のディスク
   移載装置。