JPH04121076A - 振動波モータ - Google Patents

振動波モータ

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Publication number
JPH04121076A
JPH04121076A JP2241472A JP24147290A JPH04121076A JP H04121076 A JPH04121076 A JP H04121076A JP 2241472 A JP2241472 A JP 2241472A JP 24147290 A JP24147290 A JP 24147290A JP H04121076 A JPH04121076 A JP H04121076A
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JP
Japan
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protrusion
elastic body
vibration wave
vibration
wave motor
Prior art date
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Pending
Application number
JP2241472A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Kimura
篤史 木村
Hiroyuki Seki
裕之 関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Priority to DE69106819T priority patent/DE69106819T2/de
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Priority to US07/758,892 priority patent/US5241234A/en
Publication of JPH04121076A publication Critical patent/JPH04121076A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/08Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野〕 本発明は振動波モータ、特に進行波が形成される弾性体
をレール状固定子に圧接し、弾性体をレール状固定子に
沿って移動させる方式の振動波モータに関するものであ
る。
[従来の技術] 従来のこの種の振動波モータとしては例えば第9図、第
10図に示されているような構成が知られている。
1は摺動面側に設けられた突起1aを有する長円形状の
弾性体で、この弾性体1に進行性振動波を形成するため
の圧電素子2がその上面に接合されている。8は弾性体
1と摩擦接触するレール状固定子て、振動絶縁材5(例
えばフェルト)を介して加圧ハネ3によフて弾性体1と
圧接している。
6は<シ歯状の移動止めて、そのくし南部6aがレール
状固定子8と接触していない部分の弾性体1のスリット
に差し込まれており、該くし歯部6aによりスリットの
底部に配置されたフェルト7を介して弾性体1を支持し
ている。
弾性体1は、移動止め6、加圧バネ3等を介して置載台
4に支持されており、置載台4は予定移動方向にあるB
y方向以外の変位を拘束する拘束部材9によって支持さ
れている。
弾性体1に進行性振動波が形成されると、レール状固定
子8と弾性体1との摩擦力により、弾性体1がレール状
固定子8の上を移動し、それに伴って置載台4及びその
他の部材(3,5,6,7)も拘束部材9に、沿ってB
y力方向移動する。その際、発生する摩擦駆動力は弾性
体1の一部に作用しそれが支持部とずれているため、弾
性体1にモーメントか働き、Bx、 By力方向ずれよ
うとする。
移動止め6のくシ歯部6aは第10図に示す様に弾性体
1のスリット部に差し込まれており、弾性体1のBY方
向に変位を拘束すると共に、弾性体1の自重をフェルト
7を介して支えている。拘束部6b、6cは弾性体1の
BX方向の変位を拘束しており、拘束部材6dは加圧部
側の弾性体1のBY方向に変位を拘束している。
これらの拘束部材68〜6dにより弾性′体1はガタつ
くことなく、置載台4と共にスムーズに直線運動が可能
となる。
[発明が解決しようとしている課題] しかしながら、上記従来例において、弾性体1は置載台
4に固定されている部分がないため、レール状固定子8
と弾性体1の間の加圧力をはずすと、支持部材6と弾性
体1はばらばらになってしまう。言いかえると、第9図
のように組立てることが困難であるという欠点があった
。また、弾性体1とレール状固定子8の間の加圧は、弾
性体1の中立面からはなれた圧電素子2上でフェルト5
を介して加圧バネ3によってなされているのて、加圧損
失が大きいという欠点があった。
本発明の目的は、このような従来の問題を解決し、組立
性が良好で、しかも加圧損失の減少を図ることができる
振動波モータを提供することにある。
[課題を解決するための手段及び作用]本発明の目的を
実現するための構成は、弾性体の1つの直線部の側面に
第1の突起部を設け、該第1の突起部を振動絶縁体を介
して加圧バネで押圧し、該直線部と平行な直線部の側面
に第2の突起部を設け、該第2の突起部を振動絶縁体を
介してしっかり支持するようにしたもので、この構成に
よれば加圧部分の損失を減少させ、モータとしての組立
てを容易にする。
施 例] 以下本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明す
る。
実施例1 第1図、第2図、第3図、第5図は本発明による振動波
モータの実施例1を示す。また、第11図、第12図に
第2図の主な部品の斜視図、第13図に第12図の主要
部の構成を示す。
弾性体1には、両面線部の内側面に、第5図に示すよう
に、平板状の突起部1b、lcが対向して形成しており
、これら突起部1b、1cは弾、性体に形成される振動
を疎外しないように中立面付近に設けている。
レール状固定子8と当接する弾性体1の直線部側に形成
した第1の突起部1bは、置載台4から水平に延出され
た第3図に示すような板状の加圧バネ3°によってフェ
ルト5°を介して支持されている。
一方、弾性体lの他方の直線部側に形成され[実 ている第2の突起部ICは、置載台4に固定された支持
部材6’a、6°bによって、フェルト7を介して挟持
されている。
これによフて、弾性体1は置載台4に軽く固定された状
態となっているため、第1図のように組み立てるのが容
易となり、また右側の直線部のA方向の動きを拘束でき
る。
一方、弾性体1に進行性振動波が形成されると、発生す
る摩擦駆動力は弾性体1の一部に作用し、それが支持部
とずれているため、弾性体1にモーメントが働き、Bx
方向及びBY方向にずれようとするが、支持部材6’a
はそれを拘束できるような形状にしている。第13図で
それを説明すると、突起部ICの斜線で示す端面1fが
支持部材6’aの凹部の斜線で示す端面6°fにわずか
のすきまをもって嵌合しており、突起部1cの上下にフ
ェルト7″を設けて、支持部材6°aと6’bで挟持し
ている。これにより弾性体1のBx、BY方向の変位を
拘束している。
また、A方向の変位も拘束している。
さらに、第11図に示すように、移動止め6’cを設け
、突起部1bの斜線で示す端面1eが移動止め6°Cの
斜線で示す端面6“eにわずかのすきまをもって嵌合す
るようにしてBX方向及びB、方向の変位をよりしっか
り拘束している。
なお上記した実施例において、加圧バネを第4図に示す
ように、X形状の加圧バネ3″とすることにより、板状
のバネ3゛に比べてバネ定数が小さく、そのため加圧変
動が小さくなる。
また、弾性体1の直線部の内側面に対向して形成してい
る突起部はその直線部の全長にわたり延びているが、第
6図に示すように、櫛歯のように分割して突起部1°b
、l’cを形成してもよく、この場合は弾性体1の振動
の阻害をさらに小さく抑えることができる。
実施例2 第7図は実施例2を示す。
上記した実施例においては、加圧バネを第3図に示すご
とく平板状、第4図に示すごとくX形状としているが、
本実施例の加圧バネ31は第7図に示す如く、H形状と
している。
この場合、前述の実施例は第2図に示すように、弾性体
1の円弧部の一部もレール状固定子8に接触しているた
め、一部層動力のベクトルの向き11が異なっており、
それが不要モードを励振し、鳴きが発生することがあっ
た。
しかし、本実施例の加圧バネ3′″を用いれば、円弧部
の加圧力が弱くなり、方向の異なる駆動力を小さくする
ことかで包、上記した鳴きの発生を抑えることが可能と
なる。
実施例3 第8図は実施例3を示す。
本実施例は上記した第4図の加圧バネ3”と、上記した
第6図の弾性体とを組み合わせると共に、フェルト5′
を弾性体1の突起部1°bの長さ方向中央部に設けてい
る。
本実施例によれば、上記した実施例2と同様に円弧部の
加圧力を弱くすることができ、鳴きの発生を抑えること
ができる。
なお、第9図のように、圧電素子2上でフェルト5を介
して加圧バネ3で加圧する場合も、直線部の中央部の加
圧力を大きくすれば、前述の理由で鳴きを抑えることが
できるが、この場合は、加圧による損失はやや大きくな
る。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば弾性体の2つの直
線部の側面に突起部を設け、一方はフェルトを介してし
つかり支持し、他方はフェルトを介して加圧バネで加圧
することによって、モータとしての組立てが容易になり
・、加圧による損失を減少させることができる。
また、加圧を、弾性体の直線部中央で大きく、両端で小
さくなるようにすることによって、不要モードの発生を
抑え、鳴きを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による振動波モータの実施例1を示す正
面図、第2図はその平面図、第3図はその加圧バネの平
面図、第5図はその弾性体の平面図、第4図は実施例1
の加圧バネの変形例、第6図は実施例1の弾性体の変形
例を夫々示す平面図である。第7図は実施例2の加圧バ
ネを示す平面図、ms図は実施例3を示す平面図である
。第11図、第12図は、実施例1の主な部品の斜視図
、第13図は、第12図の主要部の構成図である。 !・・・弾性体     1b、l’b・・・第1の突
起部lc、l’c・・・第2の突起部 2・・・、圧電素子    3.3°、3”、3″・・
・加圧バネ4・・・置載台 5.5°、5″、7.7’・・・フェルト6.6°C・
・・移動止め  6’a、6°b・・・支持部材8・・
・レール状固定子 9・・・拘束部材10・・・底板 他4名 第 図 第 図 1:l  It) 5c3 C 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 T’b 6c 3″′ C 第 図 第10図 第13 図 手 続 補 書cカ 平I!Lλ年12月を日

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 直線部と円弧部を有する弾性体に接合された電気−
    機械エネルギ変換素子に交流電界を印加することにより
    、該弾性体に進行性振動波を形成し、該弾性体の1つの
    直線部をレール状固定子に摩擦接触させて該進行性振動
    波により該レール状固定子に沿って移動させる振動波モ
    ータにおいて、該レール状固定子に摩擦接触させている
    該弾性体の1つの直線部の側面に第1の突起部を設け、
    該第1の突起部を振動絶縁体を介して加圧バネで押圧し
    、該直線部と平行な直線部の側面に第2の突起部を設け
    、該第2の突起部を振動絶縁体を介して支持する支持部
    材を有することを特徴とする振動波モータ。 2 請求項1において、第1および第2の突起部が、複
    数に分割されていることを特徴とする振動波モータ。 3 請求項1において、第1の突起部の中央部を加圧バ
    ネで押圧することを特徴とする振動波モータ。 4 請求項1において、振動絶縁体を、第1の突起部の
    中央部に設けることを特徴とする振動波モータ。
JP2241472A 1990-09-12 1990-09-12 振動波モータ Pending JPH04121076A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020136385A (ja) * 2019-02-15 2020-08-31 新日本無線株式会社 圧電素子

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0614567A (ja) * 1992-06-29 1994-01-21 Canon Inc 振動式リニア駆動装置及び該リニア駆動装置を有するプリンタ装置
JPH06178560A (ja) * 1992-12-03 1994-06-24 Canon Inc 振動波モータおよびプリンタ装置
US5596241A (en) * 1993-01-18 1997-01-21 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave driven linear-motor or printer
JP3155109B2 (ja) * 1993-01-22 2001-04-09 キヤノン株式会社 振動波駆動装置およびプリンタ装置
US6628046B2 (en) 1997-05-27 2003-09-30 Canon Kabushiki Kaisha Vibration type actuator
JP4731723B2 (ja) * 2001-05-24 2011-07-27 キヤノン株式会社 振動波駆動装置の製造方法
DE10154526B4 (de) * 2001-06-12 2007-02-08 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co Piezoelektrisches Stellelement
JP4027090B2 (ja) * 2001-12-27 2007-12-26 キヤノン株式会社 振動体および振動波駆動装置
CN101039641B (zh) 2004-10-11 2010-06-09 康复宝科技有限公司 电活性压缩绷带
WO2007079777A1 (en) 2006-01-13 2007-07-19 Smm Medical Ab Device, system and method for compression treatment of a body part
EP2126936A1 (en) 2007-01-24 2009-12-02 SMM Medical AB An elastomeric particle having an electrically conducting surface, a pressure sensor comprising said particles, a method for producing said sensor and a sensor system comprising sais sensors
US10451833B2 (en) 2015-11-27 2019-10-22 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator
US10516091B2 (en) 2015-11-27 2019-12-24 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator
US10775681B2 (en) 2015-11-27 2020-09-15 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator
US10536097B2 (en) 2015-11-27 2020-01-14 Canon Kabushiki Kaisha Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786836A (en) * 1984-03-01 1988-11-22 Matsushita Electric Industrail Co., Ltd. Piezoelectric motor
JPS61154487A (ja) * 1984-12-26 1986-07-14 Canon Inc リニア振動波モ−タ
JPS61224880A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 Canon Inc 振動波モ−タ
JPH02285974A (ja) * 1989-04-25 1990-11-26 Canon Inc 振動波モータ
JPH03183381A (ja) * 1989-12-12 1991-08-09 Canon Inc 振動波モータ
JP2669913B2 (ja) * 1989-12-15 1997-10-29 キヤノン株式会社 振動波駆動装置および振動波駆動装置を駆動源とする移動機器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020136385A (ja) * 2019-02-15 2020-08-31 新日本無線株式会社 圧電素子

Also Published As

Publication number Publication date
EP0475752A3 (en) 1992-06-03
EP0475752B1 (en) 1995-01-18
DE69106819D1 (de) 1995-03-02
US5241234A (en) 1993-08-31
DE69106819T2 (de) 1995-05-24
EP0475752A2 (en) 1992-03-18

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