JPH04121323A

JPH04121323A - 磁気浮上搬送装置

Info

Publication number: JPH04121323A
Application number: JP23987590A
Authority: JP
Inventors: Koji Inoue; 井上　宏治; Toyohiko Yokoyama; 横山　豊彦; Shin Shiraishi; 白石　伸
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1990-09-12
Filing date: 1990-09-12
Publication date: 1992-04-22
Anticipated expiration: 2016-01-09
Also published as: JP3121607B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、半導体工場のクリーンルームのような、ゴミ
の発生を嫌い、かつ、スペースの効率的運用が重要な場
所において、荷物を搬送する搬送システムに関するもの
である。

（従来の技術）最近、半導体工場のクリーンルームに要求される清浄度
は、ますます高くなりゴミの発生の少ないクリーン搬送
装置の導入が進められている。

また、オフィスオートメーションの一環としても、建物
内の複数の地点間において伝票、書類、現金、資料など
を移動させるのに搬送装置を用いることが広く行われて
いる。

このような用途に用いられる搬送装置は、搬送物を速や
かに、かつ静かに移動させ得るものであることが要求さ
れる。このため、この種の搬送装置においては、ガイド
レール上で搬送車を非接触で支持することが行われてい
る。中でも、搬送車を磁気的に非接触で支持する方法は
、ガイドレールに対する追従性や騒音、発塵防止効果に
優れている。

しかし、搬送車を磁気力によって支持する場合、この磁
気力をすべて電磁石によって賄おうとすると、電磁石を
常時付勢しなければならず、消費電力が大きくならざる
を得ない。

そこで、先に、電磁力で要求される起磁力の大部分を永
久磁石によって与え、消費電力の低減化を図った、いわ
ゆるゼロパワーフィードバック制御方式を提案した。（
特開昭６１−１０２１０５号公報参照）この制御方式は、搬送車の重量が変動しても常に永久磁
石による磁気力と搬送車の重量が釣り合うように両者間
のギャップ（空隙）を制御しようとするものである。こ
れにより、電磁石に殆ど電流を流すことなく磁気浮上さ
せる事ができ、搬送車に搭載する電池の容量を小さくす
ることができる。

第７図は、その具体的構成を示す。

同図において搬送路は、断面が逆Ｕ字状をなす軌道枠１
と、軌道枠１の上部壁下面の離れた位置に埋設され強磁
性体よりなる２本のガイドレール２と、軌道枠１の側壁
内面にそれぞれ断面がＬ字状をなし互いの開放側を対抗
して取り付けられた非常用ガイドレール３と、軌道枠１
の２本のガイドレール２の中間に配置され、かつ長手方
向に所定の距離を隔てて取り付けられたリニアインダク
ションモータの固定子４とから構成されている。

また、この搬送路に沿って走行移動自在とした搬送車５
には、搬送車枠６の上部に上記したガイドレール２のそ
れぞれに所定のギャップをもって配置された複合電磁石
７と、これら複合電磁石７を固定すると共にガイドレー
ル２の下面と対抗するように配電された平板状の基台８
を取り付けている。

なお、搬送車５の駆動は、−次側となる固定子４を搬送
路側に適当な距離をおいて配置する。

一方、二次側導体となるリニアインダクションモータ駆
動方式になっている。前記磁気浮上搬送車の浮上エネル
ギーは、搭載した電池で行っているため、出来るだけ他
の目的に使用する消費電力を少なくしなければ長時間の
浮上運転が出来ない。

このため、搬送車自体に移載装置など付加させることが
出来ず、荷物９の積み降ろしには、地上側に装置を設け
て、高所から作業面へ降ろしていた。

しかし、この地上移載装置１０には、荷物受取りの移載
台１１と上下方向へ動かすボールネジ１２とリニアガイ
ド１３を設は電動機１４で制御している為に。

この地上移載装置１０の位置が固定され、将来レイアウ
ト変更等の場合システム変更、改造が大規模になり問題
であった。

（発明が解決しようとする課題）自動化が進む半導体工場においては１発塵源である作業
者から、ウェハを隔離するハンドリング方式（例えば米
国の装置メーカーから提唱されている。いわゆるスミツ
ボラド方式）の採用が増えている。これは、被搬送物で
あるウェハカセットボッドの中に保護されており、ウェ
ハカセットのボッドからの取り出し、処理装置への装着
、また逆に２処理装置からの取り出し、ボッドへの戻し
が自動化でき、自動搬送に適している。

しかし、ゴミの発生がなく、スペース効率の良い搬送装
置、さらに搬送装置から地上側装置への自動移載装置の
実現に難があった。

本発明は、これら問題を解決すべく、前記磁気浮上搬送
装置に、被搬送物を搬送路側から直接積み降ろし出来る
機構を付加することにより、フレキシブルな搬送システ
ムを提供する。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段）搬送車自体に移載装置を設けることは、前記で説明した
ように、浮上用エネルギーであるバッテリー電源を共用
することになり、その消耗を早めるため無理がある。そ
こで、有線にてエネルギーが供給できる搬送路側に移載
装置を設け、そこから荷物の積み降ろしを可能とするシ
ステムを考案した。

また、この移載装置を搬送路上の任意の位置に設置出来
るように、移載装置に移動手段を設けた。

（作用）搬送路上に設けた移載装置の位置で、搬送車を停止させ
、荷物を移載機構の荷台で受け取り荷物を作業面へ降下
させる。

搬送車の停止位置を変更する場合には、移動手段により
移載装置を移動させる。

（実施例）第１図、第２図、第３図は、本発明による移載装置に関
する一実施例を示す断面図である。軌道枠（搬送路）１
の上部に移載袋［１５を設け、この中に巻き上げ用駆動
装置１６と上下作用を司る巻き上げ滑車１７を設ける。

さらに搬送車の停止制御、駆動制御用のリニアインダク
ションモータ、及びインバータ４を移載装置１５内に設
ける。この滑車１７には、移載基台１８を吊り支える銅
帯１９が巻き付けられるようになっている。

移載装置１５内のリニアインダクションモータ及びイン
バータ４により搬送車５が停止位置で停止した後、移載
基台１８を上昇させる。

移載基台１８には、第４図、第５図で示すように。

荷物９を止めるリンク機構２０が設けられ、この駆動は
モータ２１を制御することによりリンク機構２０を動か
す。

要は、リンク機構２０の短辺リンク２０Ａ、２０Ｂの中
央部を固定した。いわゆる平行四辺形方式により、中央
部貫通穴の面積を大きくしたり、小さくしたりして制御
する。この貫通穴は荷物９全体が通る大きさである。

第２図では、上記移載基台１８のリンク機構２０により
、貫通穴の面積をあらかじめ小さくしておくことにより
荷物９は上昇し、移載装置内１５のリニアイングション
モータおよびインバータ４により搬送車５は発進出来る
。第３図は、搬送車が移載機構位置から走り去った状態
を示す。

この状態で、移載基台１８かを滑車１７を回転させるこ
とにより降下させる。

第６図では、移載基台１８を降下させて、荷物９を作業
面に下ろした状態を示す。

作業面の位置に到着したら、リンク機構の短辺リンク２
０Ａ、２０Ｂを元の位置に戻す（平行四辺形を長方形に
戻す）ことにより貫通穴の面積を大きくし、移載基台１
８を上昇させることにより、搬送システム移載作業が完
了となる。

なお、この実施例では、搬送車の停止制御、駆動制御用
のリニアインダクションモータ、及びインバータ４を移
載装置１５内に設け、移載装置１５に車軸２２を設けた
。よって搬送車５を搬送路の任意の位置で停止、発進す
ることが可能となり、これにより移載装置が搬送路の任
意の位置に容易に変更することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、従来方式である
地上側設置の移載装置と比べ、省スペースが実現でき、
がっ、システム変更に伴う移載位置の変更にも対応でき
、また、低コストなシステムが実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図および第３図は本発明の磁気洋上搬送装
置の各動作時の断面図、第４図および第５図は移載基台
のリンク機構の平面図、第６図は第５図の移載基台の断
面図、第７図は従来の磁気浮上搬送装置の断面図である
。１・・・軌道枠、　　　　　　２・・・ガイドレール。３・・・非常用ガイドレール、４・・・リニアインダクションモータ及びインバータ。５・・・搬送車、　　　　　６・・・搬送車枠、７・・
・複合電磁石、　　　８・・・基台、９・・・荷物、　
　　　　　１０・・・地上移載装置、１１・・・移載台
、　　　　　１２・・・ボールネジ、１３・・・リニア
ガイド、　　１４・・・電動機、１５・・・移載装置、
　　　　　１６・・・巻き上げ用駆動装置、１７・・・
巻き上げ滑車、　　１８・・・移載基台、１９・・・銅
帯、　　　　　　２０・・・リンク機構、２０Ａ　、　
２０Ｂ・・・短辺リンク、２１・・・モータ、　　　　
　２２・・・車輪。代理人　弁理士　則　近　憲　佑第図第図第図ン第４図ン第図第図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）強磁性体のガイドレールが敷設された搬送路と、
この搬送路に長手方向に沿って所定間隔を置いて配置さ
れた一次側固定子と、この固定子と組み合わされてリニ
アインダクションモータを形成する二次導体と、前記ガ
イドレールとの間で磁力作用（吸引力）を生ぜしめる複
合磁石と、この複合磁石に流す電流を調整する制御装置
と二次導体と複合磁石および制御装置が搭載されて磁力
作用により浮上してリニアインダクションモータの形成
により搬送路に沿って走行移動する搬送車と、を備えた
磁気浮上搬送装置において、搬送車から荷物を受け取る
移載基台と、搬送車から移載基台ヘ荷物を積み降ろして
作業面に移す移載機構と、を有する移載装置を搬送路側
に設置したことを特徴とする磁気浮上搬送装置。
（２）請求項１において、移載装置が搬送路に沿って移
動する手段を具備したことを特徴とする磁気浮上搬送装
置。