JPH05122807A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH05122807A JPH05122807A JP29622491A JP29622491A JPH05122807A JP H05122807 A JPH05122807 A JP H05122807A JP 29622491 A JP29622491 A JP 29622491A JP 29622491 A JP29622491 A JP 29622491A JP H05122807 A JPH05122807 A JP H05122807A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean space
- cold insulation
- partition wall
- cold
- traveling device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 20
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 claims description 19
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 11
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 11
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 claims description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 5
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 8
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005292 diamagnetic effect Effects 0.000 description 3
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 102000012498 secondary active transmembrane transporter activity proteins Human genes 0.000 description 1
- 108040003878 secondary active transmembrane transporter activity proteins Proteins 0.000 description 1
- 239000011232 storage material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な清浄空間外からの制御機構により、半
導体製造プロセス等の要求する高度な清浄空間で、ウエ
ファ等を搬送することのできる非接触浮上搬送装置を提
供する。 【構成】 隔壁（１，８）内の清浄空間（７）内の、永
久磁石（２）を備えた搬送台（３）と、隔壁（８）の外
側の超電導バルク材（１１）及び保冷材（１２）を密閉
した保冷容器（１３）を搭載した走行装置（１６）とか
ら構成される。超電導バルク材（１１）のマイスナー効
果及びピン止め効果により、走行装置（１６）が移動す
ることによって、搬送台（３）が非接触浮上した状態で
移動する。そして昇降装置（１５）の上下により搬送台
（３）も上下に移動し、他の装置等と非搬送物であるウ
エファ（５）を受渡しすることが可能である。
導体製造プロセス等の要求する高度な清浄空間で、ウエ
ファ等を搬送することのできる非接触浮上搬送装置を提
供する。 【構成】 隔壁（１，８）内の清浄空間（７）内の、永
久磁石（２）を備えた搬送台（３）と、隔壁（８）の外
側の超電導バルク材（１１）及び保冷材（１２）を密閉
した保冷容器（１３）を搭載した走行装置（１６）とか
ら構成される。超電導バルク材（１１）のマイスナー効
果及びピン止め効果により、走行装置（１６）が移動す
ることによって、搬送台（３）が非接触浮上した状態で
移動する。そして昇降装置（１５）の上下により搬送台
（３）も上下に移動し、他の装置等と非搬送物であるウ
エファ（５）を受渡しすることが可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送装置に係り、特に半
導体製造プロセスにおけるウエファ搬送装置等の、大気
と隔離した清浄空間内で、ウエファ等の被搬送物を隔壁
から非接触浮上して、搬送する搬送装置に関する。
導体製造プロセスにおけるウエファ搬送装置等の、大気
と隔離した清浄空間内で、ウエファ等の被搬送物を隔壁
から非接触浮上して、搬送する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造プロセス等の要求する清浄な
空間で、ウエファ等の被搬送物を搬送するには、従来、
例えば、モノレール方式が用いられていた。このモノレ
ール方式は、清浄空間内に、モノレールのような軌道を
設け、車輪を有する搬送台がウエファ等を乗せて軌道上
を移動することにより、ウエファ等の搬送を行ってい
た。しかしながら、このモノレール方式においては、軌
道と車輪が接触するため、接触に伴う粉塵が発生し、高
度に進化した半導体製造プロセスの要求する、高度な清
浄空間には不適当であった。
空間で、ウエファ等の被搬送物を搬送するには、従来、
例えば、モノレール方式が用いられていた。このモノレ
ール方式は、清浄空間内に、モノレールのような軌道を
設け、車輪を有する搬送台がウエファ等を乗せて軌道上
を移動することにより、ウエファ等の搬送を行ってい
た。しかしながら、このモノレール方式においては、軌
道と車輪が接触するため、接触に伴う粉塵が発生し、高
度に進化した半導体製造プロセスの要求する、高度な清
浄空間には不適当であった。
【０００３】軌道と車輪等の接触による粉塵の発生を防
止するため、搬送台浮上方式の搬送装置が用いられてき
た。従来の搬送台浮上方式の搬送装置の一例は、ＤＣ電
磁石を用いたものであった。このＤＣ電磁石を用いた非
接触搬送装置は、清浄空間内に、多数の電磁石を固定側
に並べ、搬送台には永久磁石等を備え、磁気力により搬
送台を非接触浮上させ、ウエファ等を搬送していた。
止するため、搬送台浮上方式の搬送装置が用いられてき
た。従来の搬送台浮上方式の搬送装置の一例は、ＤＣ電
磁石を用いたものであった。このＤＣ電磁石を用いた非
接触搬送装置は、清浄空間内に、多数の電磁石を固定側
に並べ、搬送台には永久磁石等を備え、磁気力により搬
送台を非接触浮上させ、ウエファ等を搬送していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このＤＣ電磁石を用い
た非接触搬送装置では、ＤＣ電磁石を励磁して搬送台を
非接触浮上していたため、電磁石及び電磁石に電流を流
す配線等を清浄空間内に配置せざるを得なかった。この
ため、特に清浄度が要求されるウエファ等の搬送される
空間が、高清浄（高真空等）にすることができないとい
う問題があった。またＤＣ電磁石を励磁するための励磁
電流の制御装置が複雑となるという問題があった。
た非接触搬送装置では、ＤＣ電磁石を励磁して搬送台を
非接触浮上していたため、電磁石及び電磁石に電流を流
す配線等を清浄空間内に配置せざるを得なかった。この
ため、特に清浄度が要求されるウエファ等の搬送される
空間が、高清浄（高真空等）にすることができないとい
う問題があった。またＤＣ電磁石を励磁するための励磁
電流の制御装置が複雑となるという問題があった。
【０００５】係る現状技術に鑑み、本発明は簡易な制御
装置により、半導体製造プロセス等の要求する高度な清
浄空間で、ウエファ等を搬送することのできる非接触浮
上搬送装置を提供することを目的とする。
装置により、半導体製造プロセス等の要求する高度な清
浄空間で、ウエファ等を搬送することのできる非接触浮
上搬送装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】係る従来技術の課題を解
決するため、本発明は、隔壁により大気と隔離した清浄
空間内に、搬送台を持つ搬送装置において、前記清浄空
間内の搬送台には、上下方向に磁化した永久磁石を取付
け、超電導マイスナー効果とピン止め効果により、搬送
台を隔壁から非接触浮上するための超電導バルク材を隔
壁の外に置き、この超電導バルク材を保冷する保冷材を
密閉内蔵する保冷容器を搭載して移動する走行装置とか
ら構成される。
決するため、本発明は、隔壁により大気と隔離した清浄
空間内に、搬送台を持つ搬送装置において、前記清浄空
間内の搬送台には、上下方向に磁化した永久磁石を取付
け、超電導マイスナー効果とピン止め効果により、搬送
台を隔壁から非接触浮上するための超電導バルク材を隔
壁の外に置き、この超電導バルク材を保冷する保冷材を
密閉内蔵する保冷容器を搭載して移動する走行装置とか
ら構成される。
【０００７】
【作用】超電導バルク材は保冷材によって、保冷され、
超電導マイスナー効果により完全反磁性となる。搬送台
には上下方向に磁化された永久磁石が取付けられてお
り、完全反磁性となった超電導バルク材に対して反力が
働き、ピン止め効果により、搬送台は超電導バルク材上
に非接触浮上する。超電導バルク材は隔壁の外に置かれ
ているため、搬送台は隔壁から非接触浮上する。隔壁の
外に置かれた走行装置には、保冷容器が搭載されてお
り、この保冷容器の中には保冷材と超電導バルク材とが
密閉内蔵されている。従って、隔壁の外にある走行装置
が移動すると、超電導マイスナー効果とピン止め効果に
より、超電導バルク材の上に、上下方向に磁化した永久
磁石を具備する搬送台が非接触浮上して移動する。それ
故、隔壁の外側の清浄空間外から、非接触で搬送台を移
動させる簡単な制御機構により、半導体製造プロセスの
要求する高度な清浄空間を維持して、ウエファ等を搬送
することのできる非接触浮上搬送装置が実現された。
超電導マイスナー効果により完全反磁性となる。搬送台
には上下方向に磁化された永久磁石が取付けられてお
り、完全反磁性となった超電導バルク材に対して反力が
働き、ピン止め効果により、搬送台は超電導バルク材上
に非接触浮上する。超電導バルク材は隔壁の外に置かれ
ているため、搬送台は隔壁から非接触浮上する。隔壁の
外に置かれた走行装置には、保冷容器が搭載されてお
り、この保冷容器の中には保冷材と超電導バルク材とが
密閉内蔵されている。従って、隔壁の外にある走行装置
が移動すると、超電導マイスナー効果とピン止め効果に
より、超電導バルク材の上に、上下方向に磁化した永久
磁石を具備する搬送台が非接触浮上して移動する。それ
故、隔壁の外側の清浄空間外から、非接触で搬送台を移
動させる簡単な制御機構により、半導体製造プロセスの
要求する高度な清浄空間を維持して、ウエファ等を搬送
することのできる非接触浮上搬送装置が実現された。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例の搬送装置の断面図
である。隔壁１と隔壁８によって囲まれた空間が、半導
体製造プロセスの要求する高真空度等からなる高度な清
浄空間７である。この清浄空間７内を、ウエファ５等の
被搬送物が載置された搬送台３が非接触浮上して移動す
る。ウエファ５は搬送台３に対して支持ピン６によって
支持されている。また搬送台３には永久磁石２が取付け
られており、この永久磁石は上下方向に磁化されてい
る。
である。隔壁１と隔壁８によって囲まれた空間が、半導
体製造プロセスの要求する高真空度等からなる高度な清
浄空間７である。この清浄空間７内を、ウエファ５等の
被搬送物が載置された搬送台３が非接触浮上して移動す
る。ウエファ５は搬送台３に対して支持ピン６によって
支持されている。また搬送台３には永久磁石２が取付け
られており、この永久磁石は上下方向に磁化されてい
る。
【０００９】隔壁８と下部側壁１８によって囲まれた空
間は、ウエファ５が搬送される搬送台を浮上して移動さ
せるための、走行装置１６が移動する空間である。この
空間には、車輪１７を有する走行装置１６があり、走行
装置１６には昇降装置１５が取付けられ、保冷容器１３
を支持している。保冷容器１３の中には、超電導バルク
材１１と液体窒素等の保冷材１２が密閉されている。液
体窒素等の保冷材１２によって保冷された超電導バルク
材１１はマイスナー効果により完全反磁性となり、その
反力により永久磁石２を備えた搬送台３を隔壁８から非
接触浮上させる。走行装置１６が移動すると、超電導バ
ルク材１１のピン止め効果により、永久磁石２を具備す
る搬送台が超電導バルク材１１を搭載した走行装置１６
に伴って移動する。尚、隔壁８は、永久磁石２による磁
束が通るため、非磁性体である。
間は、ウエファ５が搬送される搬送台を浮上して移動さ
せるための、走行装置１６が移動する空間である。この
空間には、車輪１７を有する走行装置１６があり、走行
装置１６には昇降装置１５が取付けられ、保冷容器１３
を支持している。保冷容器１３の中には、超電導バルク
材１１と液体窒素等の保冷材１２が密閉されている。液
体窒素等の保冷材１２によって保冷された超電導バルク
材１１はマイスナー効果により完全反磁性となり、その
反力により永久磁石２を備えた搬送台３を隔壁８から非
接触浮上させる。走行装置１６が移動すると、超電導バ
ルク材１１のピン止め効果により、永久磁石２を具備す
る搬送台が超電導バルク材１１を搭載した走行装置１６
に伴って移動する。尚、隔壁８は、永久磁石２による磁
束が通るため、非磁性体である。
【００１０】下部側壁１８は、隔壁８の厚さを薄くする
ため、及び保冷容器１３の吸熱を少なくするため、及び
清浄空間７の下部の空間を真空にするための側壁であ
る。走行装置１６はバッテリー、モータを内蔵した自走
型走行装置であり、バッテリーは充電ポイントで接触式
または電磁誘導により固定面１４より充電される。昇降
装置１５は、上下に移動可能であり、それに伴って保冷
容器１３が上下する。超電導バルク材１１と永久磁石２
との距離が常に一定であるため、昇降装置の上下移動に
よって、保冷容器１３が上下することによって、搬送台
３が上下移動する。そして搬送台３が上下移動すること
によって、周辺の製造装置やロボットとの間でウエファ
５の受渡し等のハンドリングを可能にする。
ため、及び保冷容器１３の吸熱を少なくするため、及び
清浄空間７の下部の空間を真空にするための側壁であ
る。走行装置１６はバッテリー、モータを内蔵した自走
型走行装置であり、バッテリーは充電ポイントで接触式
または電磁誘導により固定面１４より充電される。昇降
装置１５は、上下に移動可能であり、それに伴って保冷
容器１３が上下する。超電導バルク材１１と永久磁石２
との距離が常に一定であるため、昇降装置の上下移動に
よって、保冷容器１３が上下することによって、搬送台
３が上下移動する。そして搬送台３が上下移動すること
によって、周辺の製造装置やロボットとの間でウエファ
５の受渡し等のハンドリングを可能にする。
【００１１】図２は本発明の一実施例の搬送装置の側面
図である。バッテリー、モータを内蔵した自走式走行装
置１６が左右に移動すると、搭載された超電導バルク材
１１が左右に移動する。清浄空間７内の浮上された搬送
台３が、その永久磁石２がマイスナー効果とピン止め効
果により超電導バルク材１１に引っ張られ、左右に移動
することによってウエファ５を搬送する。走行装置１６
の左右の移動により、搬送台３がそれに伴って非接触浮
上した状態で左右に移動することによって被搬送物であ
るウエファ５を搬送する。即ち、この搬送装置は、走行
装置１６により搬送台３を非接触で左右に移動し、昇降
装置１５によって搬送台３を非接触で上下に移動する。
そしてウエファ５を図示しない他の製造装置或いはロボ
ット等に受け渡し、あるいは受け取ることができる。
図である。バッテリー、モータを内蔵した自走式走行装
置１６が左右に移動すると、搭載された超電導バルク材
１１が左右に移動する。清浄空間７内の浮上された搬送
台３が、その永久磁石２がマイスナー効果とピン止め効
果により超電導バルク材１１に引っ張られ、左右に移動
することによってウエファ５を搬送する。走行装置１６
の左右の移動により、搬送台３がそれに伴って非接触浮
上した状態で左右に移動することによって被搬送物であ
るウエファ５を搬送する。即ち、この搬送装置は、走行
装置１６により搬送台３を非接触で左右に移動し、昇降
装置１５によって搬送台３を非接触で上下に移動する。
そしてウエファ５を図示しない他の製造装置或いはロボ
ット等に受け渡し、あるいは受け取ることができる。
【００１２】図３は冷却材供給ポイントの断面図であ
る。保冷容器１３の中の保冷材１２は、温度が上昇する
ため、時々交換される必要がある。このため隔壁８の下
面に保冷材を保冷容器１３に供給する冷却材供給ポイン
トが設けられている。そして新しい保冷材１２を保冷容
器１３に供給することにより、超電導バルク材１１の温
度上昇を防止する。保冷容器１３の上面には、冷却材供
給用の弁２３，２４が設けられている。冷却材供給ポイ
ントの供給容器２０には、保冷容器１３の弁２３，２４
に対向した位置に冷却材供給用の弁２１，２２が設けら
れている。
る。保冷容器１３の中の保冷材１２は、温度が上昇する
ため、時々交換される必要がある。このため隔壁８の下
面に保冷材を保冷容器１３に供給する冷却材供給ポイン
トが設けられている。そして新しい保冷材１２を保冷容
器１３に供給することにより、超電導バルク材１１の温
度上昇を防止する。保冷容器１３の上面には、冷却材供
給用の弁２３，２４が設けられている。冷却材供給ポイ
ントの供給容器２０には、保冷容器１３の弁２３，２４
に対向した位置に冷却材供給用の弁２１，２２が設けら
れている。
【００１３】図３（Ａ）は、冷却材供給直前の状態であ
る。図３（Ｂ）は冷却材供給中の状態である。（Ａ）の
状態では供給容器２０の弁２１，２２及び保冷容器１３
の弁２３，２４はいずれも閉じている。昇降装置１５が
上がることによって、保冷容器１３は供給容器２０に接
触することにより、弁２１，２３及び弁２２，２４が接
触し両者の弁は開く。この状態が（Ｂ）に示される。弁
２１，２２，２３，２４が開くと、新しい低温の保冷材
が保冷材入口２６より弁２２，２４を介して保冷容器１
３に入る。保冷容器１３内の高温となった保冷材１２
は、弁２３，２１を通して保冷材出口２７より外部に排
出される。なお供給容器２０の隔壁に設けられた小穴２
５は、常時少量の保冷材を流し、保冷材が供給容器２０
の中で滞流することにより温度が上昇することを防止し
ている。
る。図３（Ｂ）は冷却材供給中の状態である。（Ａ）の
状態では供給容器２０の弁２１，２２及び保冷容器１３
の弁２３，２４はいずれも閉じている。昇降装置１５が
上がることによって、保冷容器１３は供給容器２０に接
触することにより、弁２１，２３及び弁２２，２４が接
触し両者の弁は開く。この状態が（Ｂ）に示される。弁
２１，２２，２３，２４が開くと、新しい低温の保冷材
が保冷材入口２６より弁２２，２４を介して保冷容器１
３に入る。保冷容器１３内の高温となった保冷材１２
は、弁２３，２１を通して保冷材出口２７より外部に排
出される。なお供給容器２０の隔壁に設けられた小穴２
５は、常時少量の保冷材を流し、保冷材が供給容器２０
の中で滞流することにより温度が上昇することを防止し
ている。
【００１４】図４は走行装置の方向変換の説明図であ
る。走行装置１６には方向変換機構が設けられている。
このため図４に示すように、外部からの電磁誘導の指令
により、またはプログラムに従って、通路の方向変換を
することができる。走行装置１６が方向変換すると、こ
れに伴って、磁気的に結合された清浄空間７内の搬送台
３も方向変換される。尚、走行装置１６は内蔵したバッ
テリーで移動する。このため走行装置１６の下面と固定
面１４との間で、接点式あるいは電磁誘導による固定側
からの走行装置への給電を可能とする給電装置２９が設
けられており、この装置によって走行装置１６に内蔵し
たバッテリーが充電される。従って走行装置１６が移動
する下部空間にも、人手等による走行装置の充電作業は
不要である。
る。走行装置１６には方向変換機構が設けられている。
このため図４に示すように、外部からの電磁誘導の指令
により、またはプログラムに従って、通路の方向変換を
することができる。走行装置１６が方向変換すると、こ
れに伴って、磁気的に結合された清浄空間７内の搬送台
３も方向変換される。尚、走行装置１６は内蔵したバッ
テリーで移動する。このため走行装置１６の下面と固定
面１４との間で、接点式あるいは電磁誘導による固定側
からの走行装置への給電を可能とする給電装置２９が設
けられており、この装置によって走行装置１６に内蔵し
たバッテリーが充電される。従って走行装置１６が移動
する下部空間にも、人手等による走行装置の充電作業は
不要である。
【００１５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、簡易な清浄空間外からの制御機構により、半導体
プロセスの要求する高度な清浄な空間を損なうことな
く、ウエファ等を浮上搬送する搬送装置が実現された。
そしてこの搬送装置によれば、他の製造装置あるいはロ
ボット等と、非搬送物であるウエファ等を搬送台を上下
に昇降可能なことにより受渡しすることができる。更に
走行装置は方向変換機構を具備することから、通路の分
岐を設けることも容易である。
れば、簡易な清浄空間外からの制御機構により、半導体
プロセスの要求する高度な清浄な空間を損なうことな
く、ウエファ等を浮上搬送する搬送装置が実現された。
そしてこの搬送装置によれば、他の製造装置あるいはロ
ボット等と、非搬送物であるウエファ等を搬送台を上下
に昇降可能なことにより受渡しすることができる。更に
走行装置は方向変換機構を具備することから、通路の分
岐を設けることも容易である。
【図１】本発明の一実施例の搬送装置の断面図。
【図２】本発明の一実施例の搬送装置の側面図。
【図３】冷却材供給ポイントの断面図。
【図４】方向変換の説明図。
１，８ 隔壁 ２ 永久磁石 ３ 搬送台 ５ ウエファ ６ 支持ピン １１ 超電導バルク材 １２ 保冷材 １３ 保冷容器 １５ 昇降装置 １６ 走行装置 １７ 車輪
Claims (6)
- 【請求項１】 隔壁により、大気と隔離した清浄空間内
に搬送台を持つ搬送装置において、前記清浄空間内の上
下方向に磁化した永久磁石を取付けた搬送台と、超電導
マイスナー効果とピン止め効果により、該搬送台を隔壁
から非接触浮上するための超電導バルク材と、該超電導
バルク材を保冷する保冷材とを密閉内蔵する保冷容器を
搭載して移動する、隔壁の外に置かれた走行装置とから
なることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 前記保冷容器と、該保冷容器を搭載して
移動する走行装置の間に、昇降装置を設け、該保冷容器
を上下することにより、前記搬送台を上下することを特
徴とする請求項１の搬送装置。 - 【請求項３】 前記清浄空間の前記隔壁の下面に、前記
保冷材を前記保冷容器に供給する冷却材供給ポイントを
設けたことを特徴とする請求項１の搬送装置。 - 【請求項４】 前記保冷容器の上面に設けられた冷却材
供給用の弁と、前記冷却材供給ポイント容器の下面に、
前記弁に対向して設けられた冷却材供給用の弁とを具備
することを特徴とする請求項３の搬送装置。 - 【請求項５】 前記走行装置に方向変換機構を設け、前
記清浄空間の前記搬送台の通路の分岐を可能としたこと
を特徴とする請求項１の搬送装置。 - 【請求項６】 前記走行装置の下面と、固定面との間
で、接点式あるいは電磁誘導による該固定面側から走行
装置への給電を可能とし、前記走行装置に内蔵したバッ
テリーを充電することを特徴とする請求項１の搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29622491A JPH05122807A (ja) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29622491A JPH05122807A (ja) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05122807A true JPH05122807A (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=17830788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29622491A Pending JPH05122807A (ja) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05122807A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014161656A1 (de) * | 2013-04-02 | 2014-10-09 | Festo Ag & Co. Kg | Manipulatorvorrichtung |
| WO2016078679A1 (de) * | 2014-11-21 | 2016-05-26 | Festo Ag & Co. Kg | Handhabungseinrichtung und verwendung einer handhabungseinrichtung |
| WO2016184514A1 (de) * | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Festo Ag & Co. Kg | Kopplungseinrichtung |
| DE102015221870A1 (de) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | Festo Ag & Co. Kg | Beförderungssystem |
| DE102017218009A1 (de) * | 2017-10-10 | 2019-04-11 | Festo Ag & Co. Kg | Aufbewahrungseinrichtung |
| WO2025192029A1 (ja) * | 2024-03-11 | 2025-09-18 | 日本金銭機械株式会社 | 搬送システム |
-
1991
- 1991-10-16 JP JP29622491A patent/JPH05122807A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014161656A1 (de) * | 2013-04-02 | 2014-10-09 | Festo Ag & Co. Kg | Manipulatorvorrichtung |
| WO2016078679A1 (de) * | 2014-11-21 | 2016-05-26 | Festo Ag & Co. Kg | Handhabungseinrichtung und verwendung einer handhabungseinrichtung |
| WO2016184514A1 (de) * | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Festo Ag & Co. Kg | Kopplungseinrichtung |
| DE102015221870A1 (de) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | Festo Ag & Co. Kg | Beförderungssystem |
| DE102015221870B4 (de) | 2015-11-06 | 2022-02-24 | Festo Se & Co. Kg | Beförderungssystem |
| DE102017218009A1 (de) * | 2017-10-10 | 2019-04-11 | Festo Ag & Co. Kg | Aufbewahrungseinrichtung |
| DE102017218009B4 (de) * | 2017-10-10 | 2019-11-07 | Festo Ag & Co. Kg | Aufbewahrungseinrichtung |
| WO2025192029A1 (ja) * | 2024-03-11 | 2025-09-18 | 日本金銭機械株式会社 | 搬送システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2656659B2 (ja) | 高温超電導体を用いた物品搬送装置 | |
| CN1288714C (zh) | 通用模块化晶片输送系统 | |
| JP3387951B2 (ja) | 基板保管装置 | |
| TWI459493B (zh) | Vacuum processing device | |
| KR20180004315A (ko) | 기판 이송 진공 플랫폼 | |
| JPH0678412A (ja) | 超電導磁気支持装置 | |
| JPH05251752A (ja) | 複合超電導体及びそれを用いた超電導磁気浮上装置 | |
| KR102193613B1 (ko) | 기판의 진공 프로세싱을 위한 장치, 유기 재료들을 갖는 디바이스들의 제조를 위한 시스템, 및 2개의 압력 구역들을 연결시키는 개구를 밀봉하기 위한 방법 | |
| US5980193A (en) | Magnetically levitated robot and method of increasing levitation force | |
| JP5549062B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JPH07172578A (ja) | トンネル搬送装置 | |
| JPH07117849A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JPS60261302A (ja) | 高真空中の物品搬送装置 | |
| JPWO2025041629A5 (ja) | ||
| JP7478774B2 (ja) | 搬送システム | |
| JPH07147310A (ja) | 移載装置及び方法 | |
| JPH05122808A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS6392205A (ja) | 真空装置用磁気浮上搬送装置 | |
| TW202404225A (zh) | 電力供應裝置以及包括其的半導體製造設備、傳送系統 | |
| JPH0428622A (ja) | 半導体搬送装置 | |
| JPS63288808A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH07117848A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JP2973380B2 (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| CN223032382U (zh) | 一种磁浮运输装置 | |
| JPH0574626A (ja) | 磁気浮上搬送装置 |