JPH0412243A - 直孔性フィルター及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、７濾過材料として使用される多孔性フィルタ
ー及びその製造方法に関する。更に詳しくは、例えば生
態細胞、細菌、ウィルス等の生物学並びに医学上や食品
衛生上の顕微鏡観察時に、被検体をｖ濾過捕捉するのに
好適な直孔性フィルター及びその製造方法に関する。

［従来の技術］ 一般に、細胞検査、細菌類の確認、薬効テスト等の生物
学並びに医学研究用の顕微鏡観察は、例えば細胞診の場
合、被検体を、重なり合ったり折り曲がらないよう注意
してスライドガラスＬに付け（塗抹）、被検体が脱落し
やすいスライドガラス上での被検体の固定化、染色及び
洗浄を行った上で顕微鏡観察に供するという、熟練度、
手間及び時間のかかる処理を経て行われている。

上記処理の実状から、最近、多孔性フィルターを用いて
培養液、血液、尿等の中に含まれる被検体を濾過して捕
捉し、被検体に対してこの多孔性フィルター上で固定化
、染色及び洗浄の各処理を施した後、これらの処理を経
た多孔性フィルタを半透明スライドガラス上に載せてそ
のまま観察するシステムが′Ｉ］−１１されている。

この新しい検査システ１、の第一・の特徴は、多孔性フ
ィルターを用いて被検体を濾過捕捉することにある。こ
のようにすると、被検体の捕捉時に被検体か屯なったり
折り曲かりにくいと共に、多孔性フィルター上からは被
検体が脱落しにいのでく、固足化、染色及び洗Ｓ処理が
容易で、これまでの処理のような熟練度を要しないばか
りか、手間及び処理時間を大幅に軽減できるものと期待
されている。また、第二の特徴は、半透明スライドガラ
スを用いていることで、これは顕微鏡の光源からの光を
散乱させることで、光学的に多孔性フィルターの孔の輪
郭が見えなくなるようにし、孔の輪郭か被検体と重なっ
て見えることによる観察障害を防止するものである。

この新しい検査システムに用いられる多孔性フィルター
としては、一般に、膜に対してほぼ垂直に孔が形成され
た直孔性フィルターが適しているとされている。

・般のか紙等のようなネットワーク構造の孔を有するフ
ィルターではなく、直孔性フィルターか良いとされてい
るのは、直孔性フィルターの孔が膜に対してほぼ垂直で
あるため、孔の長さが、膜厚とほぼ等しく、ネットワー
ク構造の孔に比して極めて短いことに起因している。

即ち、直孔性フィルターは、ネットワーク構造の孔を有
するフィルターに比して、濾過面の通液抵抗が小さく、
ど濾過操作か容易である。また、θｊ適過時被検体以外
の挟雑物、例えば血液中の赤血球、蛋白質等を通過させ
やすく、これらが孔に詰まって残留することか少ない。

加えて、染色時にも染料や挟雑物の詰まりか少なく、孔
内に詰まった染料や挟雑物によるコントラストの悪化が
少ないので、顕微鏡観察が行いやすいものである。

現在市場で入「できる直孔性フィルターで、前述の新し
い検査システムに利用できるものは極めて少なく、唯一
存在するものとして、ジェネラルエレクトリック（Ｇ　
Ｅ）社が開発し、ニュークリポアー社より収光されてい
る商品名「ニュークリポアフィルター」なるフィルター
が挙げられる。

この従来の直孔性フィルターには、ポリカーボネイト製
とポリエステル酸のものがあり、膜厚６〜１１μｍの平
膜に、原子炉内で中性子を照射し、その後エツチングに
より開孔させていると言われている。極めて孔径の均一
な膜であり、０．０１５〜１４ｇｍの範囲で１７種類の
孔径のものか用意されている。孔の形状はほぼ真円に近
く、膜にほぼ垂直に開けられた貫通孔となっているが、
孔の分布は必ずしも均一ではない。開口率は孔径によっ
て異なり、２〜１２％の範囲で孔径が大きくなると開口
率も高くなっている。

１−記従来の直孔性フィルターの内、例えば細胞検査の
場合、通常３〜５ｐｍの孔径（この場合の開「１率は７
〜１０％）のポリカーボネイトのものが適しているとさ
れている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記従来の直孔性フィルターを用いた場
合、被検体の重なりや折れ曲りを皆無とすることができ
ない問題がある。

Ｉユ記重なりや折れ曲りは頻繁かつ多量に生じるもので
はないが、この発生は検査の確度や自動化に大きな影響
をかえるものである。

例えば癌の検査において、直孔性フィルターに捕捉され
た単細胞が１０００個であったとすると、９９９個が正
常な細胞であっても、残りの１個が癌細胞であれば癌看
者と認定しなければならない。にも拘らず、その１個の
細胞が、毛なり合いや折れ曲りによって判定できなかっ
たために正常な９９９個の細胞から正常であると認定し
てしまうと、せっかく検査を受けても、早期治療が受け
られず、症状が進むまで放置されてしまうことにもなる
。

一方、上記判定は、現在、顕微鏡観察によって人が行っ
ているが、１個でも異常な細胞を見落してはならないこ
とから、判定者に極めて大きな負担を強いることになっ
ている。

これを解決するために、コンピューターの画像回折処理
による自動診断が検討されているが、細胞の重なりや折
れ曲りにより、人が判断できないような状態になってい
る場合にはコンピューターでも判断できないことから、
この細胞の重なりや折れ曲りの発生が自動診断システム
実用化の大きな妨げになっている。

本発明は、上記現状に鑑みてなされたもので７濾過捕捉
時の被検体の重なり合いや折れ曲りをほぼ皆無にできる
ようにすることをその解決すべき課題とするものである
。

［課題を解決するための手段及び作用］本発明は、前述
したような被検体の重なり合いや折れ曲りの発生原因を
種々の観点から追究し、その発生メカニズムを究明した
ことによってなされたものである。

本発明者の得た知見によると、被検体の重なり合いや折
れ曲りは、直孔性フィルターの孔の開口分布のばらつき
が大きな発生原因となっているものである。

即ち、被検体の濾過捕捉は、被検体を含む液を加圧して
直孔性フィルターに通すことで行われるが、直孔性フィ
ルターの孔の開口分布にばらつきがあると、液が通過し
やすい箇所としにくい箇所が生じることになるので、直
孔性フィルターを通過する液の流れにむらを生じ、直孔
性フィルター前面付近で渦流が発生しやすくなる。そし
て、この渦流が発生すると、これによって被検体がもま
れると共にその付着位置が乱され、重なり合いや折れ曲
りを生しることになる。

請求項第１項の発明で講じられた手段を第１図で説明す
ると、請求項第１項の発明では、上記渦流を防止し、か
つ効率よく十分な量の被検体を捕捉できるようにすべく
、膜厚１〜１００４＋、ｍ、平均孔径０．０１〜５０Ｉ
ｊ、ｍ、平均開口率１０〜５０％、孔数変動率１５％以
下の孔１ａを有する直孔性フィルター２ａとするという
手段を講じているものである。

また、請求項第２項の発明で講じられた手段を第３図で
説明すると、請求項第２項の発明では」−配向孔性フイ
ルター２ａが効率的かつ確実に得られるよう、放射線を
、膜厚１〜１１００ＩＬの合成樹脂フィルム２ｂ−ヒヘ
、マスク３を介して、平均孔ｇｏ　、　０１〜５０μｍ
、ｒｎ、平均開口率１０〜５０％、孔数変動率１５％以
下の礼状に照射すると共に、マスク３及び合成樹脂フィ
ルム２ｂと放射線との相対位置を、上記放射線の照射エ
ネルギーを均一化する方向に移動させるという手段を講
じているものである。

更に本発明を説明する。

本直孔性フィルター２は、通常、合成樹脂フィルム２ｂ
によって構成されるもので、その材質は、透明でフィル
ム状に形成できるものであれば特に〃１限されるもので
はなく、透明フィルムの材料として従来から使用されて
いる合成樹脂、例えばポリオレフィン、スチレン系樹脂
、アクリル系樹脂、セルロース系樹脂、ポリエステル、
ポリカーボネイト、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミ
ドイミド、塩化ビニル系樹脂、ポリアセタールを代表と
するポリエーテル、シリコーン樹脂、その他のエンジニ
アリング樹脂等の他、ＬＳＩ製造に用いられるレジスト
、その他の熱硬化性樹脂等が使用される。また、これら
の樹脂によるフィルムは、例えば溶融法、溶液重合成形
法、スピンコーティング法等、通常用いられているいず
れのフィルム成形法で形成されたものであってもよい。

上記フィルムのうち、透明性が良く、耐薬品性、耐溶剤
性、耐熱性、非染色性等にも優れたものが好ましく、こ
の観点から、ポリエステル、ポリカーボネイト、芳香族
ポリアミド等のフィルムが好ましい。

合成樹脂フィルム２ｂの膜厚（木立孔性フィルター２ａ
の膜厚）は、１〜１００ｇｍであり、特に細胞検査用と
しては５〜２０ｐｍであることが好ましい。膜厚が薄過
ぎると強度的な問題を生じやすく、また膜厚が厚過ぎる
と濾過時の通液抵抗が大きくなり、濾過しにくくなると
共に、挟雑物が孔１ａに詰まりやすくなる。

平均孔径は、０．Ｏ１〜５０ｐｍであり、細胞検査にお
いては１〜１５ｇ＋ａが好ましく、特に２〜１０μｍが
好ましい。平均孔径が小さ過ぎると、挟雑物が詰まりや
すくなり、逆に大き過ぎると被検体が木簡孔性フィルタ
ー２ａを通り抜けて捕捉しにくくなる。また、孔径のば
らつきは小さいことが好ましく、平均孔径の±２０％以
内に全ての孔径が納まることが好ましい。

孔１ａの断面形状は丸、四角、三角、星形等、任意の形
状とすることができるが、直線を連ねた角のある形状、
例えば四角、三角、星形等が好ましい。このような直線
を連ねた角のある形状とすると、表面張力による通液抵
抗を小さくしやすく、濾過が容易となる。また、細胞等
の被検体の輪郭は、主に曲線によって構成されているの
で、顕微鏡観察時に木簡孔性フィルター２ａの孔１ａが
見えても、これと被検体との識別が容易となる。

平均開口率とは、孔１ａの形成領域の面積（本直孔性フ
ィルタ−２ａ全面に孔１ａが形成されている場合は本直
孔性フィルター２ａの全面積、木簡孔性フィルター２ａ
の一部に孔１ａが形成されている場合は当該孔１ａの形
成領域の面積）に対する孔１ａの開口部分の面積の総和
の割合で、５〜５０％であることが必要で、１０〜３５
％であることが好ましい。平均開口率が小さ過ぎると、
捕捉できる被検体数が少なくなるので、１回の検査に何
枚もの直孔性フィルター２ａを使用して濾過捕捉を縁り
返さなければならず、作業効率が低下する。また、開口
率が大き過ぎると、木簡孔性フィルター２ａの強度が不
足しがちとなる。

孔数変動率とは、孔１ａの形成領域において、平均孔径
の１０倍を１辺とする正方形面積を単位面積とし、各単
位面積中における孔数の平均値に対する標準偏差の割合
をいい、１５％以下であることが必要で、１０％以下で
あることが好ましい。孔数変動率が大き過ぎると、被検
体の濾過捕捉時に渦流が生じやすくなり、被検体の重な
りや折れ曲りが発生しやすくなる。

上述の平均開口率及び孔数変動率の測定は、木簡孔性フ
ィルター２ａを顕微鏡で観察し、写真に撮って測定する
ことで容易に行うことができる。

木簡孔性フィルター２ａは、被検体の濾過捕捉、更には
固定、染色、洗浄の各工程での取扱いが容易となるよう
、第１図及び第２図に示されるように、金属又は合成樹
脂製の枠体５に、しわ及びたるみなく張って使用するこ
とが好ましい。

枠体５への木簡孔性フィルター２ａの増刊けは、あらか
じめホットメルトフィルム８をラミネート（又はホット
メルト型接着剤をコーティング）した枠体５に本直孔性
フィルター２ａを熱圧着させることで容易に行うことが
できる。枠体５に取付けられた木簡孔性フィルター２ａ
を、しわ及びたるみのない良好な緊張状態にする上で、
本直孔性フィルター・２ａの枠体５と接合される部分は
孔１ａが形成されていない無孔部であることが好ましい
。特に以下に述べる本製造方法の発明によれば、孔１ａ
の形成位置を自由に制御できるので、このような無孔部
を自由に設定できる利点もある。

木簡孔性フィルター２ａの孔１ａの形成は、放射線を、
ＬＳＩの製造等に利用されているものと同様の原理のマ
スク３を介して合成樹脂フィルム２ｂに照射することで
効率的かつ確実に行うことができる。

マスク３は、−殻的には石英カラス板６にクロムメツキ
７を施し、レジストの塗＆１ｊ　、露光、現像、エツチ
ング、レジスト剥離という工程を経て、所望の位置、形
状及び大きさで放射線を透過させる透光部１ｂを形成し
たものである。このマスク３は、放射線の照射がレンズ
系等を用いた縮小露光であれば拡大マスクとして設計作
成され、また密着露光の場合は原寸マスクとして設計作
成されるのが一般的である。また、マスク３の大きさ及
び形状は、放射線を照射すべき領域の大きさや形状によ
って自由に定められるものである。

第３図は密着露光を行っている状態を示しており、この
場合、合成樹脂フィルム２ｂにはマスク３の透光部１ｂ
の状態が１：ｌの関係で転写されることになるので、マ
スク３は、作成すべき木簡孔性フィルター２ａの孔１ａ
と同様に、平均孔径０．０１〜５０μＷ、平均開口率１
０〜５０％、孔数変動率１５％以下の礼状に透光部１ｂ
が形成されているものである。また、図示はされていな
いが、縮小露光の場合、マスク３を透過した放射線をど
の程度縮小するかに応じて、合成樹脂フィルム２ｂ上に
、平均孔径０．０１〜５０ＰＩ１１、平均開口率１０〜
５０％、孔数変動率１５％以下の礼状に放射線が照射さ
れるよう、マスク３の透光部１ｂを形成すればよい。

木直孔性フィルター２ａの製造に用いる放射線としては
、エキシマレーザ−や自由電子レーザー等のレーザー光
、紫外線、電子線、Ｘ線、シンクロトロン放射光等が挙
げられ、加工すべき合成樹脂フィルム２ａの種類等に応
して選択されるが、好ましくはエキシマレーザ−である
。

エキシマレーザ−は、エキシマ−（ＥＸＣＩＭＥＲ：Ｅ
ｘｄｉｔｅｄ　Ｉｌｉｍｅｒの略語で、励起状態の原子
又は分子と基底状態の原子又は分子によって作られる二
量体のこと）によって出される紫外域のレーザーである
。例えば希ガスとハロゲンとの混合ガスを電子ビームや
放電等で励起するとエキシマ−状ｙルを作る。この状態
での分子は準安定的であり、寿命は数ナノ秒であり、こ
の励起状態から基底状態に落ちる時にレーザー光を放出
する。特に希ガスとハロゲンによって生成されるエキシ
マ−は、ガスの組合せで１５７〜３５０ｎｍの範囲の単
パルスの紫外光を出すことができる。

エキシマレーザ−の特徴は、光エネルギーの高い紫外域
で発信することと、非常に短いパルスのパルスレーザ−
であり、ピーク出力が非常に高い点である。その光子エ
ネルギーは、多くの化合物や分子の結合エネルギーに近
接しており、分子結合を切断し、原子を遊離させること
が可能である。

従って、合成樹脂フィルム２ｂにこのエキシマレーザー
を照射することで微細孔加工が可能であり、特に光の波
長が紫外域の短波長であるため、合成樹脂フィルム２ｂ
に熱変質（炭化等）を伴わず、シャープな孔１ａの加工
が可能である。このシャープな孔１ａが得られることは
、前述の範囲の孔１ａが確実に得られるようにする上で
重要である。

使用される希ガスとしては、例えばキセノン、クリプト
ン、アルゴン、フッ素等があり、ハロゲンとしては、例
えばフッ素、塩素、臭素等がある。一般的にはフッ素と
クリプトンの混合ガスが好ましく、その発振波長は分子
鎖切断に優位な２４８ｎｍである。

本発明の製造方法は、マスク３を使用することにより、
−度に多数の孔１ａを形成するもので、このためにはあ
る程度の広さをもって放射線を照射する必要がある。

ところで、一般に放射線の照射エネルギーは、照射領域
４の全面に亘って均一なものではない。

この均一性を欠いた状態で木直孔性フィルター２ａの製
造を行った場合、孔１ａの状態が不均一化するおそれが
ある。そこで請求項第２項の発明では、合成樹脂フィル
ム２ｂ及びマスク３と放射線との相対位置を、上記放射
線の照射エネルギーを均一化する方向に移動させている
ものである。

特にエキシマレーザ−については、照射領域４の形状が
長方形となるよう照射した場合、−・般に第３図に示さ
れるように、その長辺延長方向（Ｘ軸方向）では均一で
あるが、短辺延長方向（Ｙ軸方向）に対してはガウス分
布を有する。

このことから、エキシマレーザ−を用いて照射領域４の
形状が長方形となるよう照射する場合、合成樹脂フィル
ム２ｂに対して均一に照射エネルギーを与えるために、
マスク３及び合成樹脂フィルム２ｂとエキシマレーザ−
との相対位置を、照射領域４の長辺側に移動させること
が好ましい。

この移動は、一定時間毎に一定量ずつ断続的に行っても
、また連続的に行ってもよい。

例えば、一定時間毎に、照射領域４の短辺長さの１／４
だけマスク３及び合成樹脂フィルム２ｂを照射領域４の
長辺側に移動させると、第４図に示されるように、孔１
ａを形成する領域についての照射エネルギーはほぼ均一
となる。そして、その結果、番孔１ａを均一に形成する
ことができる。

上記移動速度は、照射する放射線の種類、強さ、合成樹
脂フィルム２ｂの種類、厚さ等によっても相違するが、
一般的には数ｍｍ／秒程度である。

［実施例］ 実施例１ （１）枠体付直孔性フィルターの作成 ｆ記の材料及び方法により、枠体伺の直孔性フィルター
を作成した。

■枠体 厚さ１５０ｇｍで、２５Ｘ２９ｍｍの角を落した方形の
ステンレススチール板の中央部に直径２１１Ｉｌｆｌｌ
の円孔を打ち抜いたものを使用した。

■直孔性フィルター 以下に示す合成樹脂フィルム、装置及びマスクを用い、
エキシマレーザ−による密着露光によって、孔径的３ｐ
ｍの直孔性フィルターを作成した。エキシマレーザ−の
照射領域の形状は、６Ｘ２０ｍｍの長方形で、合成樹脂
の孔形成領域全体にほぼ等しいパルスショツト数のエキ
シマレーザ−が照射されるよう、合成樹脂フィルムとマ
スクを、上記照射領域の長辺側に移動させながら露光を
行った。

フィルムＡ：アラミドフィルム（厚さ：１０μｍ、旭化
成工業株式会社製） フィルムＢ：ポリエステルフィルム（厚さニア４ｍ、旭
化成工業株式会社製） 装　　　置：エキシマレーザ−０３４７０浜松ホトニク
ス社製 エネルギー＋　０．ＩＪ／（０ｍ２・５ｈｏｔｓ）パル
ス周波数：　０．５Ｈｚ マ　ス　り＋２３Ｘ２３ｍｍ（透光部の径：３４ｍ、透
光部のピッチ：６色ｍ＋ｎ　）照射したエキシマレーザ
−の平均パルスショツト数及び得られた直孔性フィルタ
ーに関する測定結果を第１表に示す。

■直孔性フィルターの枠体への増刊は 前記枠体にホットメルトフィルムを加圧加熱（１００〜
１６０’Ｃ）して貼り付け、その上に上記直孔性フィル
ターを乗せて、再度抑圧加熱（１００〜１６０’Ｃ）す
ることで両者を接合し、枠体付直孔性フィルターを作成
した。

（２）半透明スライドガラスの作成 以下の材料及び方法により、透明板に光拡散層を設けた
半透明スライドガラスを作成した。

■透明板 厚さ１０１０μｍで、２６Ｘ７６ｍ＋ａの大きさのホウ
ケイ酸ガラスを用いた。

■光拡散層 以下の光硬化性樹脂４５重量％（固形分の重性％）とシ
リコン樹脂５５重量％とを混合した光拡散層材料を塗布
硬化させることで形成した。

光硬化性樹脂：ポリウレタナクリレートと、ＴＭＰＴＡ
と、Ｐ−クロルベンゾ フェノンと、トルエンと酢酸 ブチルをにｌの割合で混合 した溶剤とを主成分とする紫 外線硬化型の光硬化性樹脂 で、その固形分が５０ｗｔ＄のも の。

シリコン樹１指：数乎均粒子径が２ＩＬｍの球状粒子も
の。

■作成方法 支持フィルムとして厚さ１２５ｐｍのポリエチレンテレ
フタレートフィルムを用い、第２表に示される配合の光
拡散層材料をバーコーダ−で２３０ＩＬｍの厚さで塗布
した後、１２０　’Ｏ雰囲気下で３分間エアバス乾燥し
、カバーフィルムとして厚さ６０）ｚ＋ｎのポリエチレ
ンフィルムをラミネートして転写シートとした。

アンカー処理した透明板を２０枚（５×４枚）並べ、上
記によって得た転写シートのポリエチレンフィルムを剥
した後、この剥離面をホットスタンプ機（ロール温度ｌ
ＯＯ℃）で、並べた透明板に熱圧着した。

次いで、ポリエチレンテレフタレートフィルム側より紫
外線を照射して光硬化性樹脂を光硬化させた後、ポリエ
チレンテレフタレートフィルムを剥離したところ、厚さ
１４０ＩＬｍの光拡散層を有する半透明スライドガラス
を得た。

−１−記のようにして得た半透明スライドガラスの全光
線透過率、平行光線透過率、ヘイズ度及び光拡散層の表
面粗さを下記の装置及び方法で測定した。その結果を第
２表に示す。

光学特性測定：東京重色■製［ディジタルヘーズメータ
ーＴＯ−ＨＩ［Ｉ型」 （ＪＩＳ−に−６７１４，１３７１８，８７１９及びＡ
ＳＴＭ−Ｄ−１００３に準拠） 平面粗度測定：東京精密社■製触針式表面粗さ計ｒｓｕ
ｒｆｃｏ　５５４Ａ　Ｊ　　（ＪＩＳＢ−０８０１に準
拠） 以北の枠体付直孔性フィルターと、半透明スライドガラ
スを用い、次のようにして細胞標本を作成した。

まず、生体組織をカミソリで薄い切片にして培養液に入
れ、注射針を付けた注射器に吸い込み、これを培養液中
に急速に押し出すことで単細胞を得た。

次いで、濾過器の北に、枠体付直孔性フィルターを乗せ
、上記によって得た培養液中の単細胞をか過しだ。これ
によって枠体付直孔性フィルターに捕捉された細胞に、
直孔性フィルター上で固定化、染色及び洗浄処理を施し
た後、前述の半透明スライドガラスの上に乗せ、５０倍
、１００倍、２００倍、１０００倍に拡大して観察を行
った。

上記の結果、いずれの倍率における顕微鏡観察において
も、鮮明に観察でき、被検体である細胞の重なり及び折
れ曲りが無いことが確認された。

比較例１ 直孔性フィルターとして、第１表に示される平均開口率
、平均孔数、孔数変動率、平均孔径のポリカーボネイト
フィルム（Ｃ）を用いた以外は実施例１と同様にして顕
微鏡観察を行った。

上記顕微鏡観察の結果、−・部に被検体である細胞の重
なりや折れ曲りが生じていることが確認された。

第１表 第２表 ［発明の効果］ 本発明は、以上説明した通りのものであり、被検体のか
過捕捉時に、はとんど被検体の重なりや折り曲りを生じ
ないことから、コンピューターを利用した自動診断が現
実的なものとすることができると共に、顕微鏡検査の迅
速化及び確実化をもたらすものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は請求項第１項の発明に係る直孔性フィルターを
枠体に地利けた枠体付直孔性フィルターの縦断面図、第
２図はその枠体と直孔性フィルターを分離した状態の斜
視図、第３図は請求項第２項の発明に係る製造方法の説
明図、第４図はこの製造方法において合成樹脂フィルム
に照射されるエキシマレーザ−のエネルギー状態の説明
図である。 ｌａ：孔、１ｂ：透光部、２ａ直孔性フイルター、２ｂ
二合成樹脂フィルム、３：マスク、４：照射領域、５：
マスク、６：石英ガラス板、７：クロムメツキ、８：ホ
・ントメルトフィルム。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）膜厚１〜１００μｍ、平均孔径０．０１〜５０μｍ
   、平均開口率１０〜５０％、孔数変動率１５％以下の孔
   を有することを特徴とする直孔性フィルター。 ２）放射線を、膜厚１〜１００μｍの合成樹脂フィルム
   上へ、マスクを介して、平均孔径０．０１〜５０μｍ、
   平均開口率１０〜５０％、孔数変動率１５％以下の孔状
   に照射すると共に、マスク及び合成樹脂フィルムと放射
   線との相対位置を、上記放射線の照射エネルギーを均一
   にする方向に移動させることを特徴とする直孔性フィル
   ターの製造方法。