JPH04122847A - 光学式欠陥検査装置 - Google Patents
光学式欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH04122847A JPH04122847A JP24581990A JP24581990A JPH04122847A JP H04122847 A JPH04122847 A JP H04122847A JP 24581990 A JP24581990 A JP 24581990A JP 24581990 A JP24581990 A JP 24581990A JP H04122847 A JPH04122847 A JP H04122847A
- Authority
- JP
- Japan
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- signal
- binary
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、撮像手段を用いた光学式欠陥検査装置に関し
、特に紙、金属板、プラスチックフィルム、布等のシー
ト状の被検査物の可視欠陥検査を行う光学式欠陥検査装
置に関するものである。
、特に紙、金属板、プラスチックフィルム、布等のシー
ト状の被検査物の可視欠陥検査を行う光学式欠陥検査装
置に関するものである。
（従来の技術）
紙の製造工程に於ける検査には、孔、汚れ等の可視欠陥
の有無を検査する欠陥検査があり、この種の欠陥検査を
行う欠陥検査装置として、ＣＣＤカメラ（ＣＣＤイメー
ジセンサ）の如き撮像装置を用い、裁断前のロール紙を
走行させた状態にて固定の撮像装置により紙表面を撮像
し、その映像信号の信号処理によってそれら検査を光学
的に行うよう構成されたものが知られている。この種の
欠陥検査装置は、例えば、特開平２−９００４７号の各
公報に示されている。
の有無を検査する欠陥検査があり、この種の欠陥検査を
行う欠陥検査装置として、ＣＣＤカメラ（ＣＣＤイメー
ジセンサ）の如き撮像装置を用い、裁断前のロール紙を
走行させた状態にて固定の撮像装置により紙表面を撮像
し、その映像信号の信号処理によってそれら検査を光学
的に行うよう構成されたものが知られている。この種の
欠陥検査装置は、例えば、特開平２−９００４７号の各
公報に示されている。
（発明が解決しようとする課題）
上述の如き紙の欠陥検査装置に於いては、リニア撮像手
段よりの映像信号を所定の弁別レベルにて二値化し、こ
の二値化信号より欠陥の大きさを判別し、これが予め定
められた設定値以上である時には欠陥検出信号を出力す
るようになっている。
段よりの映像信号を所定の弁別レベルにて二値化し、こ
の二値化信号より欠陥の大きさを判別し、これが予め定
められた設定値以上である時には欠陥検出信号を出力す
るようになっている。
この場合には、欠陥検出信号は二値化信号より見い出さ
れる欠陥の大きさが予め定められた設定値以上である時
にのみ出力され、前記設定値より少し小さい欠陥が多発
していても、欠陥検出信号は出力されず、このことを作
業者に伝えることができない。このため、前記設定値の
設定が不適切であったり、設定値より少し小さい欠陥が
多発している場合には、適切な欠陥検査が行われず、不
良品の発見及びこれに基づく生産設備不良の早期発見が
行われなくなる。
れる欠陥の大きさが予め定められた設定値以上である時
にのみ出力され、前記設定値より少し小さい欠陥が多発
していても、欠陥検出信号は出力されず、このことを作
業者に伝えることができない。このため、前記設定値の
設定が不適切であったり、設定値より少し小さい欠陥が
多発している場合には、適切な欠陥検査が行われず、不
良品の発見及びこれに基づく生産設備不良の早期発見が
行われなくなる。
本発明は、従来の欠陥検査装置に於ける上述の如き不具
合に鑑み、設定値より少し小さい欠陥が多発していても
、これを作業者に伝えることができ、また設定値の設定
が不適切である場合には、このことを作業者に伝えるこ
とができ、設定値の適正設定、及びこれの修正が的確に
行われるようにし、不良品の発見及びこれに基づく生産
設備不良の早期発見が的確に行われるようにする光学式
欠陥検査装置を提供することを目的としている。
合に鑑み、設定値より少し小さい欠陥が多発していても
、これを作業者に伝えることができ、また設定値の設定
が不適切である場合には、このことを作業者に伝えるこ
とができ、設定値の適正設定、及びこれの修正が的確に
行われるようにし、不良品の発見及びこれに基づく生産
設備不良の早期発見が的確に行われるようにする光学式
欠陥検査装置を提供することを目的としている。
（課題を解決するための手段）
上述の如き目的は、本発明によれば、走行する被検査物
を幅方向の一次元画像として撮像するリニア撮像手段と
、前記リニア撮像手段よりの映像信号を複数個の互いに
異なる所定の弁別レベルにて二値化し、各弁別レベル毎
に二値化信号を出力する弁別手段と、前記弁別手段が出
力する二値化信号より欠陥の大きさを判別し、これが予
め定められた設定値以上である時には欠陥検出信号を出
力する欠陥判別手段と、前記弁別手段が各弁別レベル毎
に出力する二値化信号の各々より得られる画像を各弁別
レベルによる二値化信号毎に異なる色彩をもってカラー
表示するための信号処理を行う表示制御手段とを有して
いることを特徴とする光学式欠陥検査装置によって達成
される。
を幅方向の一次元画像として撮像するリニア撮像手段と
、前記リニア撮像手段よりの映像信号を複数個の互いに
異なる所定の弁別レベルにて二値化し、各弁別レベル毎
に二値化信号を出力する弁別手段と、前記弁別手段が出
力する二値化信号より欠陥の大きさを判別し、これが予
め定められた設定値以上である時には欠陥検出信号を出
力する欠陥判別手段と、前記弁別手段が各弁別レベル毎
に出力する二値化信号の各々より得られる画像を各弁別
レベルによる二値化信号毎に異なる色彩をもってカラー
表示するための信号処理を行う表示制御手段とを有して
いることを特徴とする光学式欠陥検査装置によって達成
される。
（作用）
上述の如き構成によれば、弁別手段によりりニア撮像手
段よりの映像信号が複数個の互いに異なる所定の弁別レ
ベルにて二値化され、この二値化信号より欠陥の大きさ
が判別手段により判別され、これが予め定められた設定
値以上である時には欠陥検出信号が出力されると共に、
弁別手段が各弁別レベル毎に出力する二値化信号の各々
より得られる画像を各弁別レベルによる二値化信号毎に
異なる色彩をもってカラー表示するための信号処理が表
示制御手段により行われ、これがカラーＣＲＴの如きカ
ラー表示器に出力されることにより、欠陥像が、大きさ
を問わず、全て各弁別レベルによる二値化信号毎に異な
る色彩をもってカラー表示されるようになる。
段よりの映像信号が複数個の互いに異なる所定の弁別レ
ベルにて二値化され、この二値化信号より欠陥の大きさ
が判別手段により判別され、これが予め定められた設定
値以上である時には欠陥検出信号が出力されると共に、
弁別手段が各弁別レベル毎に出力する二値化信号の各々
より得られる画像を各弁別レベルによる二値化信号毎に
異なる色彩をもってカラー表示するための信号処理が表
示制御手段により行われ、これがカラーＣＲＴの如きカ
ラー表示器に出力されることにより、欠陥像が、大きさ
を問わず、全て各弁別レベルによる二値化信号毎に異な
る色彩をもってカラー表示されるようになる。
（実施例）
以下に添付の図を参照して本発明を実施例について詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明による光学式欠陥検査装置の全体構成の
一実施例を示している。本発明による光学式検査装置は
リニア撮像手段としてリニアＣＣＤカメラ１０を有して
いる。リニアＣＣＤカメラ１０は、被検査物である紙Ｐ
の幅方向の全域に亘って、また所定の一定速度にて走行
している紙Ｐの走行方向に対し連続して隙間なく紙表面
を撮像すべく、紙Ｐの上方に、紙Ｐの幅方向に所定間隔
をおいて複数個固定配置されている。紙Ｐの下方には、
リニアＣＣＤカメラ１０と対向して紙Ｐの幅方向の全域
に亘って延在するスリット状の光源手段１２が固定配置
されている。
一実施例を示している。本発明による光学式検査装置は
リニア撮像手段としてリニアＣＣＤカメラ１０を有して
いる。リニアＣＣＤカメラ１０は、被検査物である紙Ｐ
の幅方向の全域に亘って、また所定の一定速度にて走行
している紙Ｐの走行方向に対し連続して隙間なく紙表面
を撮像すべく、紙Ｐの上方に、紙Ｐの幅方向に所定間隔
をおいて複数個固定配置されている。紙Ｐの下方には、
リニアＣＣＤカメラ１０と対向して紙Ｐの幅方向の全域
に亘って延在するスリット状の光源手段１２が固定配置
されている。
リニアＣＣＤカメラ１０は、光源手段１２より紙Ｐに照
射された照射光を紙Ｐを透過した透過光として与えられ
、これの光貴変化による光像を紙Ｐの幅方向の一次元画
像として連続搬像し、光電変換による映像信号を第２図
に示されている如き信号処理装置２０へ出力するように
なっている。
射された照射光を紙Ｐを透過した透過光として与えられ
、これの光貴変化による光像を紙Ｐの幅方向の一次元画
像として連続搬像し、光電変換による映像信号を第２図
に示されている如き信号処理装置２０へ出力するように
なっている。
信号処理装置２０及び後述のカラーＣＲＴの如きカラー
表示器４０は、第１図に示されている如き制御機器コン
ソールボックス１４に設けられている。
表示器４０は、第１図に示されている如き制御機器コン
ソールボックス１４に設けられている。
次に第２図を用いて信号処理装置２０について説明する
。信号処理装置２０は、弁別部２２と、大きさ判別部２
４と、メモリ２６と、ＣＲ７表示制御部２８とを有して
いる。
。信号処理装置２０は、弁別部２２と、大きさ判別部２
４と、メモリ２６と、ＣＲ７表示制御部２８とを有して
いる。
弁別部２２は、リニアＣＣＤカメラ１０より映像信号（
第３図（ａ）参照）を与えられ、これを、孔明き欠陥検
出のための互いに異なる二つの弁別レベルＢとＬｌ及び
汚れ欠陥検出のための互いに異なる二つの弁別レベルＧ
とＤの各々をもって二値化し、第３図（ｂ）に示されて
いる如き、各弁別レベルＢＳＬＳＧＳＤ毎の二値化信号
ＣＢ、ＣＬＳＣＧＳＣＤを大きさ判別部２４とメモリ２
６へ出力するようになっている。
第３図（ａ）参照）を与えられ、これを、孔明き欠陥検
出のための互いに異なる二つの弁別レベルＢとＬｌ及び
汚れ欠陥検出のための互いに異なる二つの弁別レベルＧ
とＤの各々をもって二値化し、第３図（ｂ）に示されて
いる如き、各弁別レベルＢＳＬＳＧＳＤ毎の二値化信号
ＣＢ、ＣＬＳＣＧＳＣＤを大きさ判別部２４とメモリ２
６へ出力するようになっている。
大きさ判別部２４は、ビデオ周波数クロックにより定め
られた幅方向の感度（しきい値）とロータリエンコーダ
３０が発生する紙Ｐの長さ（走行距離）パルスにより定
められた長さ方向（走行方向）の感度（しきい値）に基
づいて前記二値化信号ＣＢＳＣＬＳＣＧＳＣＤのハイレ
ベル持続時間を監視し、これの何れか一つでもが所定の
設定値以上である場合には、孔明き欠陥或は汚れ欠陥の
大きさが予め定められた設定値以上であると判別して欠
陥検出信号を出力するようになっている。
られた幅方向の感度（しきい値）とロータリエンコーダ
３０が発生する紙Ｐの長さ（走行距離）パルスにより定
められた長さ方向（走行方向）の感度（しきい値）に基
づいて前記二値化信号ＣＢＳＣＬＳＣＧＳＣＤのハイレ
ベル持続時間を監視し、これの何れか一つでもが所定の
設定値以上である場合には、孔明き欠陥或は汚れ欠陥の
大きさが予め定められた設定値以上であると判別して欠
陥検出信号を出力するようになっている。
尚、この大きさ判別の設定値は欠陥の種類に応じて異な
ったものに設定されていてよく、またこの大きさ判別は
幅方向の大きさのみにより行われてもよい。
ったものに設定されていてよく、またこの大きさ判別は
幅方向の大きさのみにより行われてもよい。
メモリ２６は、弁別部２２より各弁別レベルＢ１ＬＳＧ
ＳＤ毎の二値化信号ＣＢ、ＣＬＳＣＧＳＣＤを取り込ん
で、これを、−フレーム毎に所定フレーム分、二次元デ
ータとして順次格納するようになっている。
ＳＤ毎の二値化信号ＣＢ、ＣＬＳＣＧＳＣＤを取り込ん
で、これを、−フレーム毎に所定フレーム分、二次元デ
ータとして順次格納するようになっている。
ＣＲ７表示制御部２８は、メモリ２６に二次元データと
して格納された各弁別レベルＢＳＬＳＧ。
して格納された各弁別レベルＢＳＬＳＧ。
Ｄ毎の二値化信号ＣＢ、ＣＬ、ＣＧ５ＣＤを−フレーム
分、順次取り出し、これの集まりより、静止画像として
の面状の二次元画像データを得て、大きさ判別部２４よ
り欠陥検出信号を与えられない限り各弁別レベルＢ、Ｌ
ＳＧ、Ｄ毎の二値化信号ＣＢＳＣＬ、ＣＧ５ＣＤの各々
による画像データを、その二値化信号ＣＢＳＣＬ、ＣＧ
５ＣＤ毎に異なる色彩をもってカラー表示するための信
号処理を行い、これをカラー表示器４０へ出力するよう
になっている。この場合、例えば、背景色を黒色とする
と、二値化信号ＣＢによる画像データは白色、二値化信
号ＣＬによる画像データは黄色、二値化信号ＣＧによる
画像データは緑色、二値化信号ＣＤによる画像データは
赤色にて表示するための信号処理が行われればよい。
分、順次取り出し、これの集まりより、静止画像として
の面状の二次元画像データを得て、大きさ判別部２４よ
り欠陥検出信号を与えられない限り各弁別レベルＢ、Ｌ
ＳＧ、Ｄ毎の二値化信号ＣＢＳＣＬ、ＣＧ５ＣＤの各々
による画像データを、その二値化信号ＣＢＳＣＬ、ＣＧ
５ＣＤ毎に異なる色彩をもってカラー表示するための信
号処理を行い、これをカラー表示器４０へ出力するよう
になっている。この場合、例えば、背景色を黒色とする
と、二値化信号ＣＢによる画像データは白色、二値化信
号ＣＬによる画像データは黄色、二値化信号ＣＧによる
画像データは緑色、二値化信号ＣＤによる画像データは
赤色にて表示するための信号処理が行われればよい。
ＣＲ７表示制御部２８は、大きさ判別部２４より欠陥検
出信号を与えられ時には、欠陥検出信号の発生の基にな
った二値化信号のデータにより欠陥像を表示するための
信号処理と、欠陥種類名を表示するための信号処理を行
い、これをカラー表示器４０へ出力するようになってい
る。
出信号を与えられ時には、欠陥検出信号の発生の基にな
った二値化信号のデータにより欠陥像を表示するための
信号処理と、欠陥種類名を表示するための信号処理を行
い、これをカラー表示器４０へ出力するようになってい
る。
カラー表示器４０は、ＣＲ７表示制御部２８より画像表
示信号を与えられ、欠陥検出信号が出力されていない間
は、二値化信号ＣＢ、ＣＬ、ＣＧ、ＣＤの各々よりの画
像データによる画像を、二値化信号ＣＢＳＣＬＳＣＧＳ
ＣＤ毎に互いに異なる色彩をもって二次元画像としてカ
ラー表示し、これに対し欠陥検出信号が出力された時に
は、欠陥検出信号の発生の基になった二値化信号のデー
タにより設定値より大きい欠陥像のみを拡大表示すると
共に、それの欠陥種類名を表示するようになっている。
示信号を与えられ、欠陥検出信号が出力されていない間
は、二値化信号ＣＢ、ＣＬ、ＣＧ、ＣＤの各々よりの画
像データによる画像を、二値化信号ＣＢＳＣＬＳＣＧＳ
ＣＤ毎に互いに異なる色彩をもって二次元画像としてカ
ラー表示し、これに対し欠陥検出信号が出力された時に
は、欠陥検出信号の発生の基になった二値化信号のデー
タにより設定値より大きい欠陥像のみを拡大表示すると
共に、それの欠陥種類名を表示するようになっている。
上述の如き構成によれば、リニアＣＣＤカメラ１０より
の映像信号が弁別部２２により複数個の互いに異なる所
定の弁別レベルＢＳＬＳＧ、Ｄにて二値化され、この二
値化信号ＣＢ、ＣＬ、ＣＧ。
の映像信号が弁別部２２により複数個の互いに異なる所
定の弁別レベルＢＳＬＳＧ、Ｄにて二値化され、この二
値化信号ＣＢ、ＣＬ、ＣＧ。
ＣＤの各々より欠陥の大きさが大きさ判別手段２４によ
り判別され、これが予め定められた設定値以上である時
には欠陥検出信号が出力される。
り判別され、これが予め定められた設定値以上である時
には欠陥検出信号が出力される。
またＣＲ７表示制御部２８により、弁別部２２が各弁別
レベルＢ、Ｌ、ＧＳＤ毎に出力する二値化信号ＣＢＳＣ
Ｌ、ＣＧ、ＣＤの各々より得られる画像を各弁別レベル
ＢＳＬ、Ｇ、Ｄにょる二値化信号ＣＢＳＣＬＳＣＧＳＣ
Ｄ毎に異なる色彩をもってカラー表示するための信号処
理が行われ、欠陥検出信号が出力されていない間は、こ
れがカラー表示器４０に出力される。
レベルＢ、Ｌ、ＧＳＤ毎に出力する二値化信号ＣＢＳＣ
Ｌ、ＣＧ、ＣＤの各々より得られる画像を各弁別レベル
ＢＳＬ、Ｇ、Ｄにょる二値化信号ＣＢＳＣＬＳＣＧＳＣ
Ｄ毎に異なる色彩をもってカラー表示するための信号処
理が行われ、欠陥検出信号が出力されていない間は、こ
れがカラー表示器４０に出力される。
これにより、欠陥像が、大きさを問わず、全て各弁別レ
ベルＢＳＬ、Ｇ、Ｄにょる二値化信号ＣＢ、ＣＬ、ＣＧ
、ＣＤ毎に異なる色彩をもってカラー表示されるように
なり、作業者は、このカラー表示により、設定値より少
し小さい欠陥が多発していること、設定値の設定が不適
切であること等を的確に発見することができるようにな
る。
ベルＢＳＬ、Ｇ、Ｄにょる二値化信号ＣＢ、ＣＬ、ＣＧ
、ＣＤ毎に異なる色彩をもってカラー表示されるように
なり、作業者は、このカラー表示により、設定値より少
し小さい欠陥が多発していること、設定値の設定が不適
切であること等を的確に発見することができるようにな
る。
尚、上述の実施例に於いては、透過光方式の欠陥検査装
置について説明したが、本発明による光学式欠陥検査装
置は、これに限定されるものではなく、反射光方式の欠
陥検査装置にも適用され、また紙量外の金属板、プラス
チックフィルム、布等のシート状の被検査物の欠陥検査
を行う光学式欠陥検査装置としても適用されるものであ
る。
置について説明したが、本発明による光学式欠陥検査装
置は、これに限定されるものではなく、反射光方式の欠
陥検査装置にも適用され、また紙量外の金属板、プラス
チックフィルム、布等のシート状の被検査物の欠陥検査
を行う光学式欠陥検査装置としても適用されるものであ
る。
（発明の効果）
以上の説明より明かな如く、本発明による光学式欠陥検
査装置によれば、弁別手段によりリニア撮像手段よりの
映像信号が複数個の互いに異なる所定の弁別レベルにて
二値化され、この二値化信号より欠陥の大きさが判別手
段により判別され、これが予め定められた設定値以上で
ある時には欠陥検出信号が出力されると共に、弁別手段
が各弁別レベル毎に出力する二値化信号の各々より得ら
れる画像を各弁別レベルによる二値化信号毎に異なる色
彩をもってカラー表示するための信号処理が表示制御手
段により行われ、これがカラーＣＲＴの如きカラー表示
器に出力されることにより、欠陥像が、大きさを問わず
、全て各弁別レベルによる二値化信号毎に異なる色彩を
もってカラー表示されるようになるから、設定値より少
し小さい欠陥が多発していてこと等が作業者によって発
見され得るようになる。またそのカラー表示状況より設
定値の設定が不適切であることを作業者に伝えることが
でき、これによって設定値の適正設定、及びこれの修正
が的確に行われるようになり、不良品の発見及びこれに
基づく生産設備不良の早期発見が的確に行われるように
なり、これらのことより生産性が向上し、品質が安定す
るようになる。
査装置によれば、弁別手段によりリニア撮像手段よりの
映像信号が複数個の互いに異なる所定の弁別レベルにて
二値化され、この二値化信号より欠陥の大きさが判別手
段により判別され、これが予め定められた設定値以上で
ある時には欠陥検出信号が出力されると共に、弁別手段
が各弁別レベル毎に出力する二値化信号の各々より得ら
れる画像を各弁別レベルによる二値化信号毎に異なる色
彩をもってカラー表示するための信号処理が表示制御手
段により行われ、これがカラーＣＲＴの如きカラー表示
器に出力されることにより、欠陥像が、大きさを問わず
、全て各弁別レベルによる二値化信号毎に異なる色彩を
もってカラー表示されるようになるから、設定値より少
し小さい欠陥が多発していてこと等が作業者によって発
見され得るようになる。またそのカラー表示状況より設
定値の設定が不適切であることを作業者に伝えることが
でき、これによって設定値の適正設定、及びこれの修正
が的確に行われるようになり、不良品の発見及びこれに
基づく生産設備不良の早期発見が的確に行われるように
なり、これらのことより生産性が向上し、品質が安定す
るようになる。
第１図は本発明による光学式欠陥検査装置の全体構成の
一実施例を示す斜視図、第２図は本発明による光学式欠
陥検査装置のブロック線図、第３図（ａ）、（ｂ）は各
々本発明による光学式欠陥検査装置に於ける信号波形図
である。 １０・・・リニアＣＣＤカメラ １２・・・光源手段 １４・・・制御機器コンソールボックス２０・・・信号
処理装置 ２２・・・弁別部 ２４・・・大きさ判別部 ２６・・・メモリ ２８・・・ＣＲ７表示制御部 ３０・・・ロータリエンコーダ ４０・・・カラー表示器
一実施例を示す斜視図、第２図は本発明による光学式欠
陥検査装置のブロック線図、第３図（ａ）、（ｂ）は各
々本発明による光学式欠陥検査装置に於ける信号波形図
である。 １０・・・リニアＣＣＤカメラ １２・・・光源手段 １４・・・制御機器コンソールボックス２０・・・信号
処理装置 ２２・・・弁別部 ２４・・・大きさ判別部 ２６・・・メモリ ２８・・・ＣＲ７表示制御部 ３０・・・ロータリエンコーダ ４０・・・カラー表示器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、走行する被検査物を幅方向の一次元画像として撮像
するリニア撮像手段と、 前記リニア撮像手段よりの映像信号を複数個の互いに異
なる所定の弁別レベルにて二値化し、各弁別レベル毎に
二値化信号を出力する弁別手段と、前記弁別手段が出力
する二値化信号より欠陥の大きさを判別し、これが予め
定められた設定値以上である時には欠陥検出信号を出力
する欠陥判別手段と、 前記弁別手段が各弁別レベル毎に出力する二値化信号の
各々より得られる画像を各弁別レベルによる二値化信号
毎に異なる色彩をもってカラー表示するための信号処理
を行う表示制御手段と、を有していることを特徴とする
光学式欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24581990A JPH04122847A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 光学式欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24581990A JPH04122847A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 光学式欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04122847A true JPH04122847A (ja) | 1992-04-23 |
Family
ID=17139325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24581990A Pending JPH04122847A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 光学式欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04122847A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004163176A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面検査方法及び表面検査装置 |
| CN101403704B (zh) | 2007-12-07 | 2010-11-17 | 东华大学 | 氟塑料薄膜在线疵点检测系统和方法 |
| CN102854194A (zh) * | 2012-09-11 | 2013-01-02 | 中南大学 | 基于线阵ccd的物件表面缺陷检测方法及装置 |
| CN106383126A (zh) * | 2016-10-24 | 2017-02-08 | 张家港清研再制造产业研究院有限公司 | 一种用于再制造汽车零部件检测的装置及方法 |
-
1990
- 1990-09-14 JP JP24581990A patent/JPH04122847A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004163176A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面検査方法及び表面検査装置 |
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| CN102854194A (zh) * | 2012-09-11 | 2013-01-02 | 中南大学 | 基于线阵ccd的物件表面缺陷检测方法及装置 |
| CN106383126A (zh) * | 2016-10-24 | 2017-02-08 | 张家港清研再制造产业研究院有限公司 | 一种用于再制造汽车零部件检测的装置及方法 |
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