JPH04124746U - 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ質量分析計Info
- Publication number
- JPH04124746U JPH04124746U JP9045090U JP9045090U JPH04124746U JP H04124746 U JPH04124746 U JP H04124746U JP 9045090 U JP9045090 U JP 9045090U JP 9045090 U JP9045090 U JP 9045090U JP H04124746 U JPH04124746 U JP H04124746U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high frequency
- mass spectrometer
- inductively coupled
- coupled plasma
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
本考案は、高周波誘導コイルに高周波エネルギ
ーを供給し高周波磁界を形成して高周波誘導結合
プラズマを生じさせ、該プラズマを用いて試料を
励起してイオンを生じさせ、該イオンをノズルと
スキマーからなるインターフェイスを介して質量
分析計に導いて検出することにより、前記試料中
の被測定元素を分析する高周波誘導結合プラズマ
質量分析計に関し、特に、低コストの拡散ポンプ
を使用しディスクトップ可能な高周波誘導結合プ
ラズマ質量分析計に関する。
本考案は、高周波誘導コイルに高周波エネルギ
ーを供給し高周波磁界を形成して高周波誘導結合
プラズマを生じさせ、該プラズマを用いて試料を
励起してイオンを生じさせ、該イオンをノズルと
スキマーからなるインターフェイスを介して質量
分析計に導いて検出することにより、前記試料中
の被測定元素を分析する高周波誘導結合プラズマ
質量分析計に関し、特に、低コストの拡散ポンプ
を使用しディスクトップ可能な高周波誘導結合プ
ラズマ質量分析計に関する。
＜従来の技術＞
第３図は、高周波誘導結合プラズマを用いた分
析計の一般的な構成説明図である。この図におい
て、プラズマトーチ１の外室１ｂと最外室１ｃに
はガス調節器２を介してアルゴンガス供給源３か
らアルゴンガスが供給され、内室１ａには試料導
入装置４内の固体試料がレーザ光源５から照射さ
れたレーザ光によって気化されてのちキャリアガ
スであるアルゴンガスによって搬入されるように
なっている。尚、試料が液体の場合は、第３図の
試料導入装置４とレーザ光源５が除去され、導入
される液体試料を霧化してプラズマトーチ１の内
室１ａに供給するネブライザが装着される。また、 試料は固体であることよりも液体であることが多
い。
第３図は、高周波誘導結合プラズマを用いた分
析計の一般的な構成説明図である。この図におい
て、プラズマトーチ１の外室１ｂと最外室１ｃに
はガス調節器２を介してアルゴンガス供給源３か
らアルゴンガスが供給され、内室１ａには試料導
入装置４内の固体試料がレーザ光源５から照射さ
れたレーザ光によって気化されてのちキャリアガ
スであるアルゴンガスによって搬入されるように
なっている。尚、試料が液体の場合は、第３図の
試料導入装置４とレーザ光源５が除去され、導入
される液体試料を霧化してプラズマトーチ１の内
室１ａに供給するネブライザが装着される。また、 試料は固体であることよりも液体であることが多
い。
一方、プラズマトーチ１に巻回された高周波誘
導コイル６には高周波電源１０によって高周波電
流が流され、該コイル６の周囲に高周波磁界（図
示せず）が形成されている。この状態で上記高周
波磁界の近傍でアルゴンガス中に電子かイオンが
植え付けられると、該高周波磁界の作用によって
瞬時に高周波誘導結合プラズマ７が生ずる。
導コイル６には高周波電源１０によって高周波電
流が流され、該コイル６の周囲に高周波磁界（図
示せず）が形成されている。この状態で上記高周
波磁界の近傍でアルゴンガス中に電子かイオンが
植え付けられると、該高周波磁界の作用によって
瞬時に高周波誘導結合プラズマ７が生ずる。
また、ノズル８とスキマー９に挟まれたフォア
チャンバー本体１１内は、真空ポンプ１２によっ
て例えば１Ｔｏｒｒ．に吸引されている。更に、 センターチャンバー１３内にはイオンレンズ１４
ａ、１４ｂが設けられると共に、該センターチャ
ンバー１３の内部は第１油拡散ポンプ１５によっ
て例えば１０−4Ｔｏｒｒ．に吸引され、マスフ
ィルタ（例えば四重極マスフィルタ）１６を収容
しているリアチャンバー１７内は第２油拡散ポン
プ１８によって例えば１０−5Ｔｏｒｒ．に吸引
されている。
チャンバー本体１１内は、真空ポンプ１２によっ
て例えば１Ｔｏｒｒ．に吸引されている。更に、 センターチャンバー１３内にはイオンレンズ１４
ａ、１４ｂが設けられると共に、該センターチャ
ンバー１３の内部は第１油拡散ポンプ１５によっ
て例えば１０−4Ｔｏｒｒ．に吸引され、マスフ
ィルタ（例えば四重極マスフィルタ）１６を収容
しているリアチャンバー１７内は第２油拡散ポン
プ１８によって例えば１０−5Ｔｏｒｒ．に吸引
されている。
この状態で高周波誘導結合プラズマ中に上述の
ようにして気化された試料が導入され、イオン化
や発光が行われる。該プラズマ７内のイオンは、 ノズル８、スキマー９、および引出し電極９−を
経由してのちイオンレンズ１４ａ、１４ｂ（若し
くはダブレット四重極レンズ）の間を通って収束
され、その後、マスフィルタ１６を通り二次電子
増倍管１９に導かれて検出される。この検出信号
が信号処理部２０に送出されて演算・処理される
ことによつて、前記試料中の被測定元素分析値が
求められるようになっている。
ようにして気化された試料が導入され、イオン化
や発光が行われる。該プラズマ７内のイオンは、 ノズル８、スキマー９、および引出し電極９−を
経由してのちイオンレンズ１４ａ、１４ｂ（若し
くはダブレット四重極レンズ）の間を通って収束
され、その後、マスフィルタ１６を通り二次電子
増倍管１９に導かれて検出される。この検出信号
が信号処理部２０に送出されて演算・処理される
ことによつて、前記試料中の被測定元素分析値が
求められるようになっている。
第３図は第２図のＡ−Ａ−断面図であり、図中、
第２図と同一記号は同一意味を持たせて使用しこ
こでの重複説明は省略する。また、２１は第２の
フォアチャンバー１１とセンターチャンバー１３
を結んでいる接続部、２２は第１油拡散ポンプ１
５をセンターチャンバー１３に接続させる例えば
パチン錠タイプのホルダである。
こでの重複説明は省略する。また、２１は第２の
フォアチャンバー１１とセンターチャンバー１３
を結んでいる接続部、２２は第１油拡散ポンプ１
５をセンターチャンバー１３に接続させる例えば
パチン錠タイプのホルダである。
この図において、第１油拡散ポンプ１５は垂直
に設置することが絶対条件となっている。このた
め、第１油拡散ポンプ１５の高さｌ1、にセンター
チャンバー１３の高さｌ2が加わるようになって
いる。従って、ＩＣＰ−ＭＳとしての高さが大と
なり、ＩＣＰ−ＭＳの小型化が困難で、その結果、 ＩＣＰ−ＭＳのいわゆるディスクトップ化も困難
となっていた。
に設置することが絶対条件となっている。このた
め、第１油拡散ポンプ１５の高さｌ1、にセンター
チャンバー１３の高さｌ2が加わるようになって
いる。従って、ＩＣＰ−ＭＳとしての高さが大と
なり、ＩＣＰ−ＭＳの小型化が困難で、その結果、 ＩＣＰ−ＭＳのいわゆるディスクトップ化も困難
となっていた。
＜考案が解決しようとする問題点＞
本考案は、かかる状況に鑑みてなされものであ
り、その課題は、低コストの拡散ポンプを使用し
ディスクトップ可能な高周波誘導結合プラズマ質
量分析計を提供することにある。
本考案は、かかる状況に鑑みてなされものであ
り、その課題は、低コストの拡散ポンプを使用し
ディスクトップ可能な高周波誘導結合プラズマ質
量分析計を提供することにある。
＜課題を解決するための手段＞
本考案は、高周波誘導コイルに高周波エネルギ
ーを供給し高周波磁界を形成して高周波誘導結合
プラズマを生じさせ、該プラズマを用いて試料を
励起してイオンを生じさせ、該イオンをノズルと
スキマーからなるインターフェイスを介して質量
分析計に導いて検出することにより、前記試料中
の被測定元素を分析する高周波誘導結合プラズマ
質量分析計において、ノズルとスキマーに挟まれ
たフォアチャンバーに接続されるセンターチャン
バーと、該センターチャンバーの内部を減圧する
第１油拡散ポンプと、前記質量分析計の検出器を
収容するリアチャンバーと、該リアチャンバーの
内部を減圧する第２油拡散ポンプとを設け、前記
センターチャンバーを逆Ｌの字形に形成し空間部
に前記第１油拡散ポンプを収容するようにしたこ
とにある。
本考案は、高周波誘導コイルに高周波エネルギ
ーを供給し高周波磁界を形成して高周波誘導結合
プラズマを生じさせ、該プラズマを用いて試料を
励起してイオンを生じさせ、該イオンをノズルと
スキマーからなるインターフェイスを介して質量
分析計に導いて検出することにより、前記試料中
の被測定元素を分析する高周波誘導結合プラズマ
質量分析計において、ノズルとスキマーに挟まれ
たフォアチャンバーに接続されるセンターチャン
バーと、該センターチャンバーの内部を減圧する
第１油拡散ポンプと、前記質量分析計の検出器を
収容するリアチャンバーと、該リアチャンバーの
内部を減圧する第２油拡散ポンプとを設け、前記
センターチャンバーを逆Ｌの字形に形成し空間部
に前記第１油拡散ポンプを収容するようにしたこ
とにある。
＜実施例＞
以下、本考案について図を用いて詳細に説明す
る。第１図は本考案実施例の要部構成説明図であ
り、図中、第３図と同一記号は同一意味をもたせ
て使用しここでの重複説明は省略する。また、２
３は例えばアルミブロックを削り出して製造した
逆Ｌの字形のセンターチャンバー、２２−は第１
油拡散ポンプ１５をセンターチャンバー２１に接
続させる例えばパチン錠タイプのホルダ、２４は
電源や真空変換器などを収納する収納スペースで
ある。このような要部構成からなる本考案の実施
例において、第１油拡散ポンプ１５は逆Ｌの字形
のセンターチャンバー２１の空間部（より詳しく
は、逆Ｌの字形のセンターチャンバー２１と収納
スペース２３で形成される空間部）に配置されて
いる。このため、第１油拡散ポンプ１５とセンタ
ーチャンバー２１の部分は、垂直寸法も奥行き寸
法も第３図のに示した従来例に比して小さくなり、 その結果、ＩＣＰ−ＭＳ全体としても小型化され
所謂ディスクトップも可能となる。
以下、本考案について図を用いて詳細に説明す
る。第１図は本考案実施例の要部構成説明図であ
り、図中、第３図と同一記号は同一意味をもたせ
て使用しここでの重複説明は省略する。また、２
３は例えばアルミブロックを削り出して製造した
逆Ｌの字形のセンターチャンバー、２２−は第１
油拡散ポンプ１５をセンターチャンバー２１に接
続させる例えばパチン錠タイプのホルダ、２４は
電源や真空変換器などを収納する収納スペースで
ある。このような要部構成からなる本考案の実施
例において、第１油拡散ポンプ１５は逆Ｌの字形
のセンターチャンバー２１の空間部（より詳しく
は、逆Ｌの字形のセンターチャンバー２１と収納
スペース２３で形成される空間部）に配置されて
いる。このため、第１油拡散ポンプ１５とセンタ
ーチャンバー２１の部分は、垂直寸法も奥行き寸
法も第３図のに示した従来例に比して小さくなり、 その結果、ＩＣＰ−ＭＳ全体としても小型化され
所謂ディスクトップも可能となる。
尚、本考案は上述の実施例に限定されることな
く種々の変形が可能であり、例えば、第１油拡散
ポンプ１５の一部が収納スペース２３の下方ライ
ンから一部飛出しているような構成であっても良
い。また、ＩＣＰ−ＭＳの動作自体は前記従来例
の場合と全く同一であるため、ここでの重複説明
は省略する。
く種々の変形が可能であり、例えば、第１油拡散
ポンプ１５の一部が収納スペース２３の下方ライ
ンから一部飛出しているような構成であっても良
い。また、ＩＣＰ−ＭＳの動作自体は前記従来例
の場合と全く同一であるため、ここでの重複説明
は省略する。
第１図は本考案実施例の要部構成説明図、第２
図は高周波誘導結合プラズマ質量分析計の一般的
な構成説明図、第３図は従来例の要部構成説明図
である。 １……プラズマトーチ、２……流量制御部、３
……アルゴンガス供給源、４……試料セル、６…
…高周波誘導コイル、７……高周波誘導結合プラ
ズマ、８……ノズル、９……スキマー、１６……
マスフィルタ、１７……リアチヤンバー、２０…
…信号処理部、２１……接続部、２２、２２′…
…ホルダ、２３……センターチヤンバー、２４…
…収納スペース。
図は高周波誘導結合プラズマ質量分析計の一般的
な構成説明図、第３図は従来例の要部構成説明図
である。 １……プラズマトーチ、２……流量制御部、３
……アルゴンガス供給源、４……試料セル、６…
…高周波誘導コイル、７……高周波誘導結合プラ
ズマ、８……ノズル、９……スキマー、１６……
マスフィルタ、１７……リアチヤンバー、２０…
…信号処理部、２１……接続部、２２、２２′…
…ホルダ、２３……センターチヤンバー、２４…
…収納スペース。
補正 平４．６．１１
考案の名称を次のように補正する。 考案の名称 高周波誘導結合プラズマ質量分
析計
考案の名称を次のように補正する。 考案の名称 高周波誘導結合プラズマ質量分
析計
Claims (1)
- 高周波誘導コイルに高周波エネルギーを供給し
高周波磁界を形成して高周波誘導結合プラズマを
生じさせ、該プラズマを用いて試料を励起してイ
オンを生じさせ、該イオンをノズルとスキマーか
らなるインターフェイスを介して質量分析計に導
いて検出することにより、前記試料中の被測定元
素を分析する高周波誘導プラズマ質量分析計にお
いて、前記ノズルとスキマーに挟まれたフオアチ
ヤンバーに接続されるセンターチヤンバーと、該
センターチヤンバーの内部を減圧する第１油拡散
ポンプと、前記質量分析計の検出器を収容するリ
アチヤンバーと、該リアチヤンバーの内部を減圧
する第２油拡散ポンプとを具備し、前記センター
チヤンバーを逆Ｌの字形に形成し空間部に前記第
１油拡散ポンプを収容することを特徴とすること
を特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分析
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9045090U JPH04124746U (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9045090U JPH04124746U (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04124746U true JPH04124746U (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=31930935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9045090U Pending JPH04124746U (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04124746U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01311554A (ja) * | 1988-06-10 | 1989-12-15 | Hitachi Ltd | プラズマイオン化質量分析計 |
-
1990
- 1990-08-29 JP JP9045090U patent/JPH04124746U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01311554A (ja) * | 1988-06-10 | 1989-12-15 | Hitachi Ltd | プラズマイオン化質量分析計 |
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