JPH04125431A - 分光々度計 - Google Patents
分光々度計Info
- Publication number
- JPH04125431A JPH04125431A JP2244035A JP24403590A JPH04125431A JP H04125431 A JPH04125431 A JP H04125431A JP 2244035 A JP2244035 A JP 2244035A JP 24403590 A JP24403590 A JP 24403590A JP H04125431 A JPH04125431 A JP H04125431A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- sample
- beam splitter
- reflectance
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、物質の０゜入射に対する表面反射率を測定す
る迷光の少ない光分々度計に関する。
る迷光の少ない光分々度計に関する。
従来の装置は公技番７９−１１５０号絶対反射率測定用
光学系や、第３図に示す７字型光学系が知られている。
光学系や、第３図に示す７字型光学系が知られている。
上記従来技術は、０°に近ずけるためにはミラー配置の
関係から光路長を長くする必要があり実用的には４°が
限界であった。
関係から光路長を長くする必要があり実用的には４°が
限界であった。
本発明の目的は、垂直入射光を正確に試料に照射し、か
つその反射光を検知器に受光できるようにし、ビームス
プリッタ−で透過した不用な光は消光し迷光を少なくし
、正確な０°反射を測定する。
つその反射光を検知器に受光できるようにし、ビームス
プリッタ−で透過した不用な光は消光し迷光を少なくし
、正確な０°反射を測定する。
上記目的を達成するためにビームスプリッタを利用し反
射光を試料に垂直に照射、透過光をトラップに導入し消
光し迷光を少なくしたものである。
射光を試料に垂直に照射、透過光をトラップに導入し消
光し迷光を少なくしたものである。
ビームスプリラフは分光した試料光Ｉｏの５０％を透過
、５０％を直角に反射する（ビームスプリッタ内部吸収
はＯに近似の場合）透過光の５０％はトラップに消光し
迷光にならないようにする。
、５０％を直角に反射する（ビームスプリッタ内部吸収
はＯに近似の場合）透過光の５０％はトラップに消光し
迷光にならないようにする。
ビームスプリッタでの反射光Ｉｎｎ＝０．５Ｉｏは試料
に垂直に入射その反射光Ｉ Ｂｎｓは再びビームスプリ
ッタを介して透過光と反射光に分離、透過光０．５ＩＢ
Ｒ８が検知器に照射され電気信号に変換される。
に垂直に入射その反射光Ｉ Ｂｎｓは再びビームスプリ
ッタを介して透過光と反射光に分離、透過光０．５ＩＢ
Ｒ８が検知器に照射され電気信号に変換される。
したがって、反射率の明確な試料を使い１００％Ｒを補
正し、次に未知の試料を開側し前述の基準サンプルの絶
対反射率を掛は算することにより絶対反射率を求めるこ
とができる。
正し、次に未知の試料を開側し前述の基準サンプルの絶
対反射率を掛は算することにより絶対反射率を求めるこ
とができる。
以下１本発明の一実施例を第１図〜第２図により説明す
る。第１図の１は分光々度肝の光源で紫外域（１９０〜
３５０ｎｍ）では重水素放電管、可視域及び近赤外領域
（３５０〜２６００ｎｍ）ではヨウソランプ、又はタン
グステンランプが用いられる。
る。第１図の１は分光々度肝の光源で紫外域（１９０〜
３５０ｎｍ）では重水素放電管、可視域及び近赤外領域
（３５０〜２６００ｎｍ）ではヨウソランプ、又はタン
グステンランプが用いられる。
２は光源１よりの白色光を単色光に分光する分光器でプ
リズム、又はグレーテング等が使われる。
リズム、又はグレーテング等が使われる。
３は分光器２で分光された単色光を対照光と試料光に分
別する分別器で一般にはセクターミラーなどが使われる
。分別された試料光ＩＳは平面ミラー４で９０″曲げト
ロイドミラに照射ビムを集光ビームスプリッタ６で透過
光ＩＳＴと反射光ＩＳＲに分割される。透過光のＩｓｒ
弁０．５Ｉｓは光を吸込むトラップ７に入り消光、反射
光Ｉｓｓ≠０．５Ｉｓは試料８に照射する。試料の反射
率Ｒｓとすると反射光ｌ５ａｓ＝０．５ＲｓＩｓが試料
より反射し再びビームスプリッタ６に入射、透過光０．
２５ＲｓＩｓとなって、トロイドミラ９を介し積分球検
知器に入射する。入射光は白板１１上で拡散反射し積分
球内で均一な光となりその一部を検知器１２で受光し光
信号を電気信号に変換できる。
別する分別器で一般にはセクターミラーなどが使われる
。分別された試料光ＩＳは平面ミラー４で９０″曲げト
ロイドミラに照射ビムを集光ビームスプリッタ６で透過
光ＩＳＴと反射光ＩＳＲに分割される。透過光のＩｓｒ
弁０．５Ｉｓは光を吸込むトラップ７に入り消光、反射
光Ｉｓｓ≠０．５Ｉｓは試料８に照射する。試料の反射
率Ｒｓとすると反射光ｌ５ａｓ＝０．５ＲｓＩｓが試料
より反射し再びビームスプリッタ６に入射、透過光０．
２５ＲｓＩｓとなって、トロイドミラ９を介し積分球検
知器に入射する。入射光は白板１１上で拡散反射し積分
球内で均一な光となりその一部を検知器１２で受光し光
信号を電気信号に変換できる。
検知器として波長１９０〜９００ｎｍの領域はホトマル
チプライヤ−１９００〜２６００ｎｍの領域はＰｂｓセ
ルが使用される。
チプライヤ−１９００〜２６００ｎｍの領域はＰｂｓセ
ルが使用される。
一方、対照光ＩＲはトロイドミラ１３を介してマスク１
４にて試料光とバランスをとるよう光量調節し積分球に
入射、白板１１で試料光同様に拡散反射検知器で光信号
を電気信号に変える。
４にて試料光とバランスをとるよう光量調節し積分球に
入射、白板１１で試料光同様に拡散反射検知器で光信号
を電気信号に変える。
検知器１２で電気信号に変換されその電気信号はアンプ
、Ａ／Ｄ変換を得て信号演算部１５で処理後デースプレ
ー又はプリンタ１６に出力して得られる。反射率の値い
付けされた基準サンプルを使い１００％Ｒを測定波長全
域を補正した後、試料を測定、得られた反射率Ｒｓに前
述した基準サンプルの反射率Ｒ８Ｔを掛は算することに
よって試料の絶対反射率Ｒが求めることができる。
、Ａ／Ｄ変換を得て信号演算部１５で処理後デースプレ
ー又はプリンタ１６に出力して得られる。反射率の値い
付けされた基準サンプルを使い１００％Ｒを測定波長全
域を補正した後、試料を測定、得られた反射率Ｒｓに前
述した基準サンプルの反射率Ｒ８Ｔを掛は算することに
よって試料の絶対反射率Ｒが求めることができる。
Ｒ” Ｒ３Ｘ Ｒｓｔ
ここで注意することはビームスプリッタを使用するため
全体のエネルギが少なくなること。また、ガラス等の反
射率は４％Ｒと値が低いため、ビームスプリッタ６を透
過した光をトラップ７を用いないで装置の周辺に逃すと
その光が迷光となって積分球に入り測光誤差となるので
トラップを備えることは本発明において重要なポイント
であることを明記したい。また対照光と試料光のバラン
スをとるため対照光側に入れたマスクで光量を調節する
ことも重要である。
全体のエネルギが少なくなること。また、ガラス等の反
射率は４％Ｒと値が低いため、ビームスプリッタ６を透
過した光をトラップ７を用いないで装置の周辺に逃すと
その光が迷光となって積分球に入り測光誤差となるので
トラップを備えることは本発明において重要なポイント
であることを明記したい。また対照光と試料光のバラン
スをとるため対照光側に入れたマスクで光量を調節する
ことも重要である。
トロイドミラー５は試料８の表面で光束を小さくし微小
サンプル５×５ｍの反射測定を可能にした。またトロイ
ドミラー９は試料から反射する光が拡散するのを集光し
積分球の白板上に照射させるために使った。
サンプル５×５ｍの反射測定を可能にした。またトロイ
ドミラー９は試料から反射する光が拡散するのを集光し
積分球の白板上に照射させるために使った。
本実施例では積分球検知器を用いたがヘッドオンホトマ
ルを用いても良い。
ルを用いても良い。
このような構成になっているので微小試料（５×５■）
から大きな試料（５０ｍｍφ）のＯｏの反射率測定がで
きる。
から大きな試料（５０ｍｍφ）のＯｏの反射率測定がで
きる。
本発明によれば、ビームスプリッタによる透過光をトラ
ップによって消光できるので迷光の少ない低位の０゜反
射率測定が正確にできる。
ップによって消光できるので迷光の少ない低位の０゜反
射率測定が正確にできる。
第１図は本発明の一実施例の総合系統図、第２図は本発
明の０゜反射装置の詳細光学系統図、第３図は従来の反
射装置（４°）の光学系統図を示す。
明の０゜反射装置の詳細光学系統図、第３図は従来の反
射装置（４°）の光学系統図を示す。
Claims (1)
- １、分光々度計において分光した光束をビームスプリッ
タで分離・透過光をトラップで消光・反射光を試料に垂
直に入射しその反射光を再び前記ビームスプリッタ、を
介し透過光のみを検出器に入射し試料の０゜反射率を測
定することを特徴とする分光々度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2244035A JPH04125431A (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | 分光々度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2244035A JPH04125431A (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | 分光々度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04125431A true JPH04125431A (ja) | 1992-04-24 |
Family
ID=17112742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2244035A Pending JPH04125431A (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | 分光々度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04125431A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05240783A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
| JPH07260677A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-10-13 | Hughes Aircraft Co | レーザ遠隔センサ用の積分検出器 |
| CN104713647A (zh) * | 2015-03-10 | 2015-06-17 | 张美英 | 光谱仪及光谱分析方法 |
-
1990
- 1990-09-17 JP JP2244035A patent/JPH04125431A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05240783A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
| JPH07260677A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-10-13 | Hughes Aircraft Co | レーザ遠隔センサ用の積分検出器 |
| CN104713647A (zh) * | 2015-03-10 | 2015-06-17 | 张美英 | 光谱仪及光谱分析方法 |
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