JPH05240783A - 分光光度計 - Google Patents
分光光度計Info
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- JPH05240783A JPH05240783A JP4041775A JP4177592A JPH05240783A JP H05240783 A JPH05240783 A JP H05240783A JP 4041775 A JP4041775 A JP 4041775A JP 4177592 A JP4177592 A JP 4177592A JP H05240783 A JPH05240783 A JP H05240783A
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- JP
- Japan
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- sample
- light beam
- measurement
- reflection
- light
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料への光束の入反射角をきわめて小さくし
なければならない場合や垂直入射光に対する反射率特性
を測定しなければならない場合に好適な分光光度計を提
供する。 【構成】 測定光束を反射および透過の二方向に分岐す
る半透鏡と、分岐された光束の一方に対して試料を保持
する機構と、試料からの反射光束を前記半透鏡で再度分
岐しその反射光束または透過光束の一方を測光する検出
機構とからなる分光光度計。
なければならない場合や垂直入射光に対する反射率特性
を測定しなければならない場合に好適な分光光度計を提
供する。 【構成】 測定光束を反射および透過の二方向に分岐す
る半透鏡と、分岐された光束の一方に対して試料を保持
する機構と、試料からの反射光束を前記半透鏡で再度分
岐しその反射光束または透過光束の一方を測光する検出
機構とからなる分光光度計。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体試料の分光反射率
特性を主に小さな入反射角で測定するための分光光度
計、特にその付属装置に関するものである。
特性を主に小さな入反射角で測定するための分光光度
計、特にその付属装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、ミラー、レンズ、プリズムな
どの光学素子、ガラスなどの光学的特性を問題とする材
料、蒸着あるいは塗布などによって形成された薄膜など
の固体試料の分光的な特性、たとえば反射率特性を測定
する従来の分光光度計としては６図および７図に示すも
のがある。
どの光学素子、ガラスなどの光学的特性を問題とする材
料、蒸着あるいは塗布などによって形成された薄膜など
の固体試料の分光的な特性、たとえば反射率特性を測定
する従来の分光光度計としては６図および７図に示すも
のがある。
【０００３】図６の従来例では、積分球103 の反射測定
部106 に被測定試料104 または反射基準試料105 が保持
できるようになっている。測定光束101 は積分球103 に
保持された上記いずれかの試料によって入射角θで反射
され、積分球内面でトラップされて光電検出器によって
検出される。測定は、まず、反射基準試料105 を測定し
てその反射率を100 ％とし、つぎに被測定試料104 を測
定することにより反射基準試料に対する被測定試料の入
射角θにおける反射率を求める。反射基準試料として
は、反射率既知のアルミ蒸着ミラーや硫酸バリウム粉
末、アルミナセラミックなどが通常用いられる。
部106 に被測定試料104 または反射基準試料105 が保持
できるようになっている。測定光束101 は積分球103 に
保持された上記いずれかの試料によって入射角θで反射
され、積分球内面でトラップされて光電検出器によって
検出される。測定は、まず、反射基準試料105 を測定し
てその反射率を100 ％とし、つぎに被測定試料104 を測
定することにより反射基準試料に対する被測定試料の入
射角θにおける反射率を求める。反射基準試料として
は、反射率既知のアルミ蒸着ミラーや硫酸バリウム粉
末、アルミナセラミックなどが通常用いられる。
【０００４】参照光束102 は反射基準試料の測定時およ
び被測定試料の測定時の双方において同一の状態で積分
球に入射し、測定される。従って、測定は測定光束Ｓと
参照光束Ｒの比をとる、いわゆるダブルビーム測定とな
る。
び被測定試料の測定時の双方において同一の状態で積分
球に入射し、測定される。従って、測定は測定光束Ｓと
参照光束Ｒの比をとる、いわゆるダブルビーム測定とな
る。
【０００５】図７の従来例では、測定光束101 は反射鏡
107 によって屈曲され、試料保持機構（図示せず）で支
持された試料104 または反射基準試料105 に照射され
る。照射された光束は、これら試料表面で反射されて他
方の反射鏡108 により再度屈曲され、積分球103 によっ
て測光される。参照光束102 は図６と同様、つねに同一
の状態で積分球に入射する。試料104 と反射基準試料10
5 の比をとる点および測定光束Ｓと参照光束Ｒの比をと
る点も図６の従来例と同様である。
107 によって屈曲され、試料保持機構（図示せず）で支
持された試料104 または反射基準試料105 に照射され
る。照射された光束は、これら試料表面で反射されて他
方の反射鏡108 により再度屈曲され、積分球103 によっ
て測光される。参照光束102 は図６と同様、つねに同一
の状態で積分球に入射する。試料104 と反射基準試料10
5 の比をとる点および測定光束Ｓと参照光束Ｒの比をと
る点も図６の従来例と同様である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、固体試料の
分光反射率特性、測定の目的によっては、試料への光束
の入反射角をきわめて小さくしなければならない場合、
さらに垂直入射光に対する反射率特性を測定しなければ
ならない場合がある。端的な例としては、垂直入射光に
対して使用されることを前提に設計製作された干渉フィ
ルタの実際の使用状況における反射率特性をあらかじめ
測定したい場合などがある。この目的に適合するように
反射率測定装置を構成しようとするとき、まず図６の従
来例においては、試料面と測定光束Ｓのなす角θを０ま
たは０に近い小さな角度とした場合試料面からの反射光
束はほぼ入射測定光束と同一の光路をたどって戻り、測
定光束Ｓの入射窓109 から積分球の外部に出射してしま
い、測光することができなくなる。また、図７の従来例
においては、試料への測定光束の入反射角θを小さく
（または０に）するためには、反射鏡107 、108 が互い
に接近し、ある角度を越えて入射角θを小さくした場合
には両者が機械的に干渉して装置の構成が不可能にな
る。このように、従来例では試料への測定光束の入射角
を垂直（０°）またはそれに近い角度まで小さくするこ
とがきわめて困難であった。
分光反射率特性、測定の目的によっては、試料への光束
の入反射角をきわめて小さくしなければならない場合、
さらに垂直入射光に対する反射率特性を測定しなければ
ならない場合がある。端的な例としては、垂直入射光に
対して使用されることを前提に設計製作された干渉フィ
ルタの実際の使用状況における反射率特性をあらかじめ
測定したい場合などがある。この目的に適合するように
反射率測定装置を構成しようとするとき、まず図６の従
来例においては、試料面と測定光束Ｓのなす角θを０ま
たは０に近い小さな角度とした場合試料面からの反射光
束はほぼ入射測定光束と同一の光路をたどって戻り、測
定光束Ｓの入射窓109 から積分球の外部に出射してしま
い、測光することができなくなる。また、図７の従来例
においては、試料への測定光束の入反射角θを小さく
（または０に）するためには、反射鏡107 、108 が互い
に接近し、ある角度を越えて入射角θを小さくした場合
には両者が機械的に干渉して装置の構成が不可能にな
る。このように、従来例では試料への測定光束の入射角
を垂直（０°）またはそれに近い角度まで小さくするこ
とがきわめて困難であった。
【０００７】そこで本発明は、試料への光束の入反射角
をきわめて小さくしなければならない場合や垂直入射光
に対する反射率特性を測定しなければならない場合に好
適な分光光度計を提供することを目的としている。
をきわめて小さくしなければならない場合や垂直入射光
に対する反射率特性を測定しなければならない場合に好
適な分光光度計を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の分光光度計においては、測定光束を反射お
よび透過の二方向に分岐する半透鏡と、分岐された光束
の一方に対して試料を保持する機構と、試料からの反射
光束を前記半透鏡で再度分岐しその反射光束または透過
光束の一方を測光する検出機構とからなる。
に、本発明の分光光度計においては、測定光束を反射お
よび透過の二方向に分岐する半透鏡と、分岐された光束
の一方に対して試料を保持する機構と、試料からの反射
光束を前記半透鏡で再度分岐しその反射光束または透過
光束の一方を測光する検出機構とからなる。
【０００９】
【作用】測定光束は適当な位置および角度で取り付けた
半透鏡により透過光および反射光の二方向に分岐され、
分岐された光束の一方に対して垂直（０°）またはそれ
に近い小さな角度に支持した試料の試料面から反射し、
入射光とほぼ同一の光路をたどって戻ってくる反射光が
再度半透鏡によって分岐され、その一方を検出部導入す
ることにより、垂直またはそれに近い小さな角度での入
射光に対する固体試料の分光反射率特性が測定される。
半透鏡により透過光および反射光の二方向に分岐され、
分岐された光束の一方に対して垂直（０°）またはそれ
に近い小さな角度に支持した試料の試料面から反射し、
入射光とほぼ同一の光路をたどって戻ってくる反射光が
再度半透鏡によって分岐され、その一方を検出部導入す
ることにより、垂直またはそれに近い小さな角度での入
射光に対する固体試料の分光反射率特性が測定される。
【００１０】
【実施例】実施例について図面を参照して説明するに、
図１は本発明実施例の概略図、図２および３はそれぞれ
詳細構造を示す平面図である。
図１は本発明実施例の概略図、図２および３はそれぞれ
詳細構造を示す平面図である。
【００１１】検出機構は積分球１および光電検出器（図
示せず）によって構成されており、図１のＡ、Ｂの２位
置のいずれかに固定することができるようになってい
る。反射測定時には、積分球は図１のＡの位置に取り付
けられる。測定光束２は光路上に光軸に対して45°の角
度で設置された半透鏡６によって直角方向に屈曲する反
射光と直進する透過光に分岐され、分岐された光束のう
ち反射光11に対して試料４または反射基準試料５が、そ
の面が光束に対して垂直となるよう保持機構（図示せ
ず）により保持されている。試料の表面に垂直入射した
光束は表面で反射されてもとの光路をたどり、再び半透
鏡６によって反射光と透過光に分岐され、分岐された光
束のうち透過光を反射鏡７によって屈曲し、積分球１に
導入して測光する。この構成によって、光学素子が機械
的に干渉することなく試料表面に垂直に入射した光束の
分光反射率を測定することができる。
示せず）によって構成されており、図１のＡ、Ｂの２位
置のいずれかに固定することができるようになってい
る。反射測定時には、積分球は図１のＡの位置に取り付
けられる。測定光束２は光路上に光軸に対して45°の角
度で設置された半透鏡６によって直角方向に屈曲する反
射光と直進する透過光に分岐され、分岐された光束のう
ち反射光11に対して試料４または反射基準試料５が、そ
の面が光束に対して垂直となるよう保持機構（図示せ
ず）により保持されている。試料の表面に垂直入射した
光束は表面で反射されてもとの光路をたどり、再び半透
鏡６によって反射光と透過光に分岐され、分岐された光
束のうち透過光を反射鏡７によって屈曲し、積分球１に
導入して測光する。この構成によって、光学素子が機械
的に干渉することなく試料表面に垂直に入射した光束の
分光反射率を測定することができる。
【００１２】測定光束のうち半透鏡を透過した光束12は
反射鏡８によって屈曲され、光トラップ９により吸収さ
れる。これは透過光12が装置内壁などによって乱反射さ
れ、積分球１に入射して測定誤差が生じるのを防止する
ためである。
反射鏡８によって屈曲され、光トラップ９により吸収さ
れる。これは透過光12が装置内壁などによって乱反射さ
れ、積分球１に入射して測定誤差が生じるのを防止する
ためである。
【００１３】参照光束３は積分球１に直接入射する構成
となっており、両光束Ｓ、Ｒの測光比をとるダブルビー
ム測光が行われる。また、試料４の反射率は反射基準試
料５に対する相対値として測定することができる。
となっており、両光束Ｓ、Ｒの測光比をとるダブルビー
ム測光が行われる。また、試料４の反射率は反射基準試
料５に対する相対値として測定することができる。
【００１４】半透鏡６の半透面を構成する材質は測定波
長範囲などによって決定されるが、透過率と反射率の比
が１：１に近く、吸収がなるべく少なく、かつ反射率、
透過率の波長依存性が小さいものが望ましい。具体的な
材料としては、たとえば石英基板上に蒸着したクロム、
インコネル、アルミなどの金属薄膜が挙げられる。特
に、クロム薄膜は紫外、可視、近赤外域でほぼ平坦な波
長特性をもっている。クロムを反射率と透過率とがほぼ
等しくなるよう膜厚を制御して蒸着した場合、反射率：
透過率：吸収の比がほぼ３：３：４になる。
長範囲などによって決定されるが、透過率と反射率の比
が１：１に近く、吸収がなるべく少なく、かつ反射率、
透過率の波長依存性が小さいものが望ましい。具体的な
材料としては、たとえば石英基板上に蒸着したクロム、
インコネル、アルミなどの金属薄膜が挙げられる。特
に、クロム薄膜は紫外、可視、近赤外域でほぼ平坦な波
長特性をもっている。クロムを反射率と透過率とがほぼ
等しくなるよう膜厚を制御して蒸着した場合、反射率：
透過率：吸収の比がほぼ３：３：４になる。
【００１５】本実施例において、測定光束は半透鏡によ
って一回反射、一回透過するので、吸収も含めるて考え
ると、試料４の反射率が100 ％であったとして積分球に
入射する光量はもとの測定光束の約 1／10となる。この
程度の減光であれば高感度な高検出器の使用、あるいは
参照高束をフィルタなどにより減高してＳとＲの光量バ
ランスをとることなどにより、測定精度に大きな影響を
与えることなく測定することができる。
って一回反射、一回透過するので、吸収も含めるて考え
ると、試料４の反射率が100 ％であったとして積分球に
入射する光量はもとの測定光束の約 1／10となる。この
程度の減光であれば高感度な高検出器の使用、あるいは
参照高束をフィルタなどにより減高してＳとＲの光量バ
ランスをとることなどにより、測定精度に大きな影響を
与えることなく測定することができる。
【００１６】また、測定波長範囲が限定されている場合
には、適切に設計された誘電体多層膜によっても半透鏡
を形成することによりほとんど吸収なく、測定光束１：
１に分岐することが可能となる。この場合の積分球７へ
の入射光量はもとの測定光束の約 1／4 となり、上記ク
ロム膜の場合に比べてさらにノイズの少ない高精度な測
定ができる。
には、適切に設計された誘電体多層膜によっても半透鏡
を形成することによりほとんど吸収なく、測定光束１：
１に分岐することが可能となる。この場合の積分球７へ
の入射光量はもとの測定光束の約 1／4 となり、上記ク
ロム膜の場合に比べてさらにノイズの少ない高精度な測
定ができる。
【００１７】さらに、石英基板上にアルミを部分蒸着し
たもの、あるいは多数小孔を形成した石英板にアルミを
蒸着したものなどの光束を位相分割する半透鏡を用いる
場合には、半透鏡の蒸着パターンが試料面上に結像され
ないよう光学系を適切に設計することなどによって、前
記多層膜半透鏡と同様の効果をより広い波長範囲で得る
ことができる。
たもの、あるいは多数小孔を形成した石英板にアルミを
蒸着したものなどの光束を位相分割する半透鏡を用いる
場合には、半透鏡の蒸着パターンが試料面上に結像され
ないよう光学系を適切に設計することなどによって、前
記多層膜半透鏡と同様の効果をより広い波長範囲で得る
ことができる。
【００１８】本実施例においては、積分球１は参照光束
３に沿った二つの位置ＡおよびＢに取り付け可能となっ
ている。このうち、位置Ａは上記の垂直入射光を反射測
定するための位置で、一方、位置Ｂは反射測定部を取り
付けベース10ごと取り去った場合に、直進する測定光束
２が積分球に直接入射する位置となるように決定されて
いる。このように構成する利点を以下に説明する。
３に沿った二つの位置ＡおよびＢに取り付け可能となっ
ている。このうち、位置Ａは上記の垂直入射光を反射測
定するための位置で、一方、位置Ｂは反射測定部を取り
付けベース10ごと取り去った場合に、直進する測定光束
２が積分球に直接入射する位置となるように決定されて
いる。このように構成する利点を以下に説明する。
【００１９】一般に、固体試料の分光特性としては反射
率の他に分光透過率もあわせて測定される場合が多く、
測定装置も反射および透過の両方の測定が簡単に切り換
えて行えるようになっているのが望ましい。図１の例に
おいて、積分球１を反射測定用の位置Ａに置いたまま透
過率測定をするためには、図４および５の方法が考えら
れる。
率の他に分光透過率もあわせて測定される場合が多く、
測定装置も反射および透過の両方の測定が簡単に切り換
えて行えるようになっているのが望ましい。図１の例に
おいて、積分球１を反射測定用の位置Ａに置いたまま透
過率測定をするためには、図４および５の方法が考えら
れる。
【００２０】図４の方法は、図１の反射測定試料位置に
透過測定用反射鏡13を置き、図１の場合と同じ経路で積
分球１に入射する測定光束２の直前に透過測定用試料14
を置いてその透過率を測定する。この方法によれば、大
幅な装置の変更をすることなく透過率測定ができるが、
半透鏡による光量ロスのため、測定光の本来もつエネル
ギが無駄になり、ノイズの増加、波長範囲の制限などの
問題が生じる場合がある。これらは特殊な測定である垂
直入射の反射測定においてはある程度許容されるが、ご
く一般的な透過率測定においてはその許容限界を越える
場合がある。
透過測定用反射鏡13を置き、図１の場合と同じ経路で積
分球１に入射する測定光束２の直前に透過測定用試料14
を置いてその透過率を測定する。この方法によれば、大
幅な装置の変更をすることなく透過率測定ができるが、
半透鏡による光量ロスのため、測定光の本来もつエネル
ギが無駄になり、ノイズの増加、波長範囲の制限などの
問題が生じる場合がある。これらは特殊な測定である垂
直入射の反射測定においてはある程度許容されるが、ご
く一般的な透過率測定においてはその許容限界を越える
場合がある。
【００２１】一方、図５の例では、図１または図４の半
透鏡の代りに透過測定用反射鏡13を設置して図示の光路
で図４の場合と同様、積分球１の直前に置いた試料の透
過率測定を行う。この方法によれば、測定光束のロスを
少なくして、もとの光量にほぼ等しい光量での透過率測
定ができる。反面、半透鏡と反射鏡の二つの光学素子を
正確に位置決め交換する必要があり、また光学素子単体
を交換することは脱着時の汚染、破損などの問題を生じ
る虞もある。さらに、光トラップ９などの部品が空間的
な制約となって測定できる試料の大きさ、形状などが制
限される。
透鏡の代りに透過測定用反射鏡13を設置して図示の光路
で図４の場合と同様、積分球１の直前に置いた試料の透
過率測定を行う。この方法によれば、測定光束のロスを
少なくして、もとの光量にほぼ等しい光量での透過率測
定ができる。反面、半透鏡と反射鏡の二つの光学素子を
正確に位置決め交換する必要があり、また光学素子単体
を交換することは脱着時の汚染、破損などの問題を生じ
る虞もある。さらに、光トラップ９などの部品が空間的
な制約となって測定できる試料の大きさ、形状などが制
限される。
【００２２】これらの問題点をもあわせて解決した本実
施例の詳細平面図を図２および３に示す。図２は積分球
１を図１のＡ位置に設置すると共に、測定部基台15上に
反射測定部10が位置決めピン（図示せず）などによって
正確に位置決めされてネジ17により取り付けられる。こ
の着脱操作は、ネジ17を弛めることにより容易に再現性
よく着脱することができ、また反射測定部10全体をカバ
ーなどで覆うことにより各光学素子の破損、汚染の虞れ
なく行うことができる。なお、18は試料押さえである。
図３は、図２の例において、前述のように反射測定部10
を取り外し、かつ積分球１を検出部基台16上で、図１で
示したＢ位置に移動させた状態を示す。この状態におい
て、測定光束２は積分球１に直接入射する構成となるの
で、積分球入口窓部に置いた透過測定用試料14の透過率
を光量のロスなく測定することができる。参照光束３は
積分球の位置が参照光路に沿ってＡ、Ｂの二つの位置を
とることから、いずれの場合にも同じ入射角で積分球１
に入射して測定される。図３の配置によれば、透過測定
される試料には前記検出部がＡ位置にある場合に見られ
た大きさ、形状の制限は大幅に緩和され、大きな試料や
厚い試料、異形の試料などの透過測定ができる。
施例の詳細平面図を図２および３に示す。図２は積分球
１を図１のＡ位置に設置すると共に、測定部基台15上に
反射測定部10が位置決めピン（図示せず）などによって
正確に位置決めされてネジ17により取り付けられる。こ
の着脱操作は、ネジ17を弛めることにより容易に再現性
よく着脱することができ、また反射測定部10全体をカバ
ーなどで覆うことにより各光学素子の破損、汚染の虞れ
なく行うことができる。なお、18は試料押さえである。
図３は、図２の例において、前述のように反射測定部10
を取り外し、かつ積分球１を検出部基台16上で、図１で
示したＢ位置に移動させた状態を示す。この状態におい
て、測定光束２は積分球１に直接入射する構成となるの
で、積分球入口窓部に置いた透過測定用試料14の透過率
を光量のロスなく測定することができる。参照光束３は
積分球の位置が参照光路に沿ってＡ、Ｂの二つの位置を
とることから、いずれの場合にも同じ入射角で積分球１
に入射して測定される。図３の配置によれば、透過測定
される試料には前記検出部がＡ位置にある場合に見られ
た大きさ、形状の制限は大幅に緩和され、大きな試料や
厚い試料、異形の試料などの透過測定ができる。
【００２３】なお、以上の実施例においては、試料への
光束の入射角を０°（すなわち垂直入射）としたが、判
など光学素子の位置、角度を適切に設定することにより
たとえば５°以下の小さな入反射角に対する反射率を測
定することができることはいうまでもない。
光束の入射角を０°（すなわち垂直入射）としたが、判
など光学素子の位置、角度を適切に設定することにより
たとえば５°以下の小さな入反射角に対する反射率を測
定することができることはいうまでもない。
【００２４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したとおり構成され
ているので、固体試料の垂直またはそれに近い小さな入
反射角に対する反射率を測定することができ、あわせて
簡単な操作によって光量をロスすることなく透過測定用
の配置にも変更することが可能となる。
ているので、固体試料の垂直またはそれに近い小さな入
反射角に対する反射率を測定することができ、あわせて
簡単な操作によって光量をロスすることなく透過測定用
の配置にも変更することが可能となる。
【図１】本発明実施例の概略図である。
【図２】本発明実施例（反射率測定時）の平面図であ
る。
る。
【図３】本発明実施例（透過率測定時）の平面図であ
る。
る。
【図４】本発明を透過率測定に適用する場合の例を示す
概略図である。
概略図である。
【図５】本発明を透過率測定に適用する場合の例を示す
概略図である。
概略図である。
【図６】従来の反射測定の例を示す概略図である。
【図７】従来の反射測定の例を示す概略図である。
１ 積分球 ２ 測定光
束 ３ 参照光束 ４ 試料 ５ 反射基準試料 ６ 半透鏡 ７ 反射鏡 ８ 反射鏡 10 反射測定部 11 反射光 12 透過光 13 透過測
定用反射鏡 14 透過測定用試料 15 測定部
基台 16 検出部基台
束 ３ 参照光束 ４ 試料 ５ 反射基準試料 ６ 半透鏡 ７ 反射鏡 ８ 反射鏡 10 反射測定部 11 反射光 12 透過光 13 透過測
定用反射鏡 14 透過測定用試料 15 測定部
基台 16 検出部基台
Claims (1)
- 【請求項１】 測定光束を反射・透過の二方向に分岐す
る半透鏡と、分岐された光束の一方に対して試料を保持
する機構と、試料からの反射光束を前記半透鏡で再度分
岐しその反射光束または透過光束の一方を測光する検出
機構とからなる分光光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4041775A JP2699753B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4041775A JP2699753B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 分光光度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05240783A true JPH05240783A (ja) | 1993-09-17 |
| JP2699753B2 JP2699753B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=12617754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4041775A Expired - Fee Related JP2699753B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2699753B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106996A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Jasco Corp | 加熱測定装置 |
| JP2005249674A (ja) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Jasco Corp | 高感度反射測定装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60242308A (ja) * | 1984-02-02 | 1985-12-02 | ロ−レンス・エス・キヤニノ | 薄いサンプルの厚さの測定方法及びその装置並びに薄いサンプルの特性の測定方法及びその装置 |
| JPS618936A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-16 | Hitachi Hokkai Semiconductor Kk | 半導体装置の製造方法 |
| JPS62132152A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-15 | Hitachi Ltd | 反射率測定方法 |
| JPH01308930A (ja) * | 1988-06-08 | 1989-12-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 顕微分光装置 |
| JPH0296640A (ja) * | 1988-10-03 | 1990-04-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 屈折率分散の測定方法及び膜厚測定方法 |
| JPH0427844A (ja) * | 1990-05-22 | 1992-01-30 | Res Dev Corp Of Japan | 不透明試料の顕微吸収分布測定装置 |
| JPH04125431A (ja) * | 1990-09-17 | 1992-04-24 | Hitachi Ltd | 分光々度計 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4041775A patent/JP2699753B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2699753B2 (ja) | 1998-01-19 |
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