JPH04126159U - 超音波顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本考案は、機械的強度や位置合わせ精度を低下
させることなく走査範囲を拡大できる超音波顕微鏡を提
供することを目的とする。 【構成】本考案は、超音波を伝播させるためのカプラ液
体が入った水槽１３中に試料を入れ、この試料に対して
水槽１３の上方に配置された音響レンズ２７から集束す
る超音波を入射し、超音波入射方向のＺ方向に水槽１３
と音響レンズ２７とを相対的に移動させて音響レンズ２
７の焦点調節を行うと共に、Ｚ方向と直交するＸ，Ｙ方
向に水槽１３と音響レンズ２７とを相対的に移動させて
試料を走査する超音波顕微鏡において、水槽１３の下方
に配置され該水槽１３を保持してＺ方向に移動させる上
下動機構１２と、音響レンズ２７が取付けられ、その音
響レンズ２７をＸ方向およびＹ方向に移動すると共に少
なくともＸ方向に高速走査するＸＹスキャナ１１とを具
備したものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、超音波を用いて試料の画像を得る超音波顕微鏡に係り、特に音響レ ンズおよび水槽の移動機構の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

送信信号をトランスデューサで超音波に変換し、この超音波を音響レンズによ って集束球面波として試料に入射させ、その試料反射波を取込んで一点の情報と し、音響レンズと試料とを相対的に二次元走査して超音波の画像を形成する超音 波顕微鏡が知られている。

【０００３】 かかる超音波顕微鏡は、図７に示すように、Ｘ方向（図中水平方向）およびＹ 方向（紙面に対して垂直方向）に移動可能なＸＹステージ１上に水槽２が設置さ れ、水槽２上方にＸスキャナ３に保持された音響レンズ４が配置されている。さ らに、Ｘスキャナ３はＺ方向（上下方向）に移動可能なＺステージ４に取付けら れた構成となっている。なお、水槽２の中には超音波を伝播させるためのカプラ 液体５が入れられていて、その中に試料Ｓが沈められている。

【０００４】 この様に構成された超音波顕微鏡では、Ｚステージ４によって音響レンズ４と 試料ＳとのＺ方向の相対的位置が調節され、ＸＹステージ１によって音響レンズ ４と試料ＳとのＸＹ方向の相対位置が調節される。測定時においては、Ｚステー ジ４によって、音響レンズ４からの超音波が集束する位置に試料Ｓが位置するよ うに調節される。そして、超音波による二次元走査は、Ｘスキャナ３によってＸ 方向に高速走査され、ＸＹステージ１のＹステージ１ｂによってそれと直交する Ｙ方向に走査される。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述した走査機構を備えた超音波顕微鏡は、Ｘ走査範囲を広げ ようとすると、それに伴ってＸスキャナ３も大きくなり、例えばＸ走査範囲が４ ００ｍｍ以上になるような場合、その様な大型化したＸスキャナを上下動させる 機構を装置本体に持たせなければならず、機械的強度や位置合わせ精度が低下す るという問題が生じる。

【０００６】 また、ＸスキャナにＺステージを設け、そのＺステージに音響レンズを取付け た構成とすれば、大型化したＸスキャナを上下動させずに音響レンズのみを上下 動させることができる。ところが、音響レンズと共にＺステージまで高速走査し なければならないので高速化に不利である。

【０００７】 本考案は以上のような実情に鑑みてなされたもので、機械的強度や位置合わせ 精度の低下を招くことなく走査範囲を拡大することができる超音波顕微鏡を提供 することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、第１の考案に係る超音波顕微鏡を、超音波を伝播 させるためのカプラ液体が入った水槽中に試料を入れ、この試料に対して前記水 槽の上方に配置された音響レンズから集束する超音波を入射し、前記試料に対す る超音波の入射方向であるＺ方向に前記水槽と前記音響レンズとを相対的に移動 させて前記音響レンズの焦点調節を行うと共に、前記Ｚ方向と直交するＸ，Ｙ方 向に前記水槽と前記音響レンズとを相対的に移動させて前記試料を走査する超音 波顕微鏡において、前記水槽を保持して前記Ｚ方向に移動させる上下動機構と、 前記音響レンズが取付けられ、その音響レンズを前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に 移動すると共に少なくともＸ方向に高速走査を行うＸＹスキャナとを具備した構 成とし、

【０００９】 第２の考案に係る超音波顕微鏡を、超音波を伝播させるためのカプラ液体が入 った水槽中に試料を入れ、この試料に対して前記水槽の上方に配置された音響レ ンズから集束する超音波を入射し、前記試料に対する超音波の入射方向であるＺ 方向に前記水槽と前記音響レンズとを相対的に移動させて前記音響レンズの焦点 調節を行うと共に、前記Ｚ方向と直交するＸ，Ｙ方向に前記水槽と前記音響レン ズとを相対的に移動させて前記試料を走査する超音波顕微鏡において、内部には 前記水槽が収納される空間が形成され、側面には外部から前記収納空間に対し前 記水槽を出し入れするための開口部が設けられた支持枠体と、前記支持枠体の外 部で載置された前記水槽を前記支持枠体の開口部から前記収納空間へ移動させる と共に、前記支持枠体の内部で載置された前記水槽を前記支持枠体の開口部から 外部へ移動させる移動台と、前記支持枠体に保持されて前記収納空間下方に配置 され、前記支持枠体内に移動された前記水槽よりも下方から上昇して該水槽を保 持すると共に、その保持した水槽を前記移動台よりも上方から下降して該移動台 へ移す上下動機構と、前記支持枠体に保持されて前記収納空間上方に配置され、 前記音響レンズが取付けられ該音響レンズを前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に移動 すると共に少なくともＸ方向に高速走査を行うＸＹスキャナとを具備した構成と した。

【００１０】

【作用】

上記した第１の考案によれば、水槽が上下動機構によってＺ方向に移動して音 響レンズをＺ方向に移動させずに焦点調節が行われ、音響レンズがＸＹスキャナ によってＸ方向に高速走査されると共に一走査毎にＹ方向に移動して二次元走査 が行われる。走査範囲を拡大した場合には、ＸＹスキャナや水槽が大きくなるが 、水槽は上下動機構に保持され、音響レンズはＸＹスキャナに保持されて、水槽 のみが上下動すると共に音響レンズのみが高速走査されるので、機械的強度や位 置合わせ精度が低下するのを防止できる。

【００１１】 上記した第２の考案によれば、水槽は移動台上に載せられて支持枠体の側面に 形成された開口部から収納空間に移動し、この状態で上下動機構を上昇させるこ とにより、上下動機構に保持されて移動台から上下動機構へ移される。一方、上 下動機構に保持された水槽の上方には支持枠体に保持されたＸＹスキャナに取付 けられている音響レンズがあり、上下動機構によって水槽のみがＺ方向に移動し て音響レンズに対する焦点調節が行われる。そして、音響レンズのみがＸＹスキ ャナによってＸ方向に高速走査されると共にＹ方向に移動されて二次元走査され る。また、水槽を顕微鏡外へ取出す場合には、支持枠体内に移動台を配置した状 態で上下動機構により水槽を下降させて移動台上に移し、水槽を移動台上に乗せ た状態で支持枠体の開口部から外に移動する。

【００１２】

【実施例】

以下、図面を参照しながら本考案の実施例を説明する。

【００１３】 図１には本考案の第１実施例に係る超音波顕微鏡の移動機構部分の構成が示さ れている。この超音波顕微鏡は、上端が開口し水槽収納空間が形成されている支 持枠体１０に、その上端開口部にＸＹスキャナ１１が設けられ、上記水槽収納空 間の下方に上下動機構１２が設けられている。符号１３は水槽であり、水槽収納 空間に配置された状態を示している。

【００１４】 ＸＹスキャナ１１は、支持枠体１０の上端開口部の図示する矢印Ｙ方向の対向 する二辺にボールネジからなるＹ送りねじ１４ａ，１４ｂがそれぞれ配設され、 一方のＹ送りネジ１４ａの一端部にモータ１５が取付けられ、その他端部にＹエ ンコーダ１６が取付けられている。Ｙ送りネジ１４ａ，１４ｂ間にはタイミング ベルト１７が張架され、Ｙ送りネジ１４ａと１４ｂとにモータ１５から同じタイ ミングで同じ回転量が与えられるようになっている。また、各Ｙ送りネジ１４ａ ，１４ｂには移動部材１８（Ｙ送りネジ１４ｂ側は不図示）が螺合されている。 さらに、支持枠体１０の上端開口部には、長手方向を図示する矢印Ｘ方向に向 けたＸステージ１９が設けられている。このＸステージ１９は、その両端部に各 Ｙ送りネジ１４ａ，１４ｂに螺合した移動部材１８がそれぞれ固定されている。 さらに、Ｙ送りねじ１４ａ，１４ｂの各々に沿って設けられたガイドレール１９ ａ，１９ｂに摺動自在に嵌合している。

【００１５】 Ｘステージ１９には、その長手方向となるＸ方向に沿ってＸ送りネジ２１が設 けられている。Ｘ送りネジ２１は、一端部にモータ２２が取付けられ、他端部に Ｘエンコーダ２３が取付けられている。また、Ｘステージ１９は、図２に示すよ うに、その下面にＸ方向に沿ってリニアボールガイド２４が設けられている。こ のリニアボールガイド２４には、レンズ保持部材２５が摺動自在に下側から取付 けられている。レンズ保持部材２５にはＸ送りネジの移動部材が固定されていて 、Ｘ送りネジ２１が回転することによってレンズ保持部材２５自体がＸ方向に移 動するようになっている。このレンズ保持部材２５の下面に形成されているアリ 溝２６に、音響レンズ２７の取付け部に形成されているアリ部２８を挿入するこ とにより、音響レンズ２７が着脱自在に取付けられる。なお、音響レンズ２７の 側面に設けられているコネクタ部２９に、信号ケーブルの一端が接続され、送信 部及び受信部との接続が行われる。

【００１６】 一方、上下動機構１２は、そのベース３１が支持枠体１０又はその他の固定部 に固定されている。図３に示すように、ベース３１の前面には、図示する矢印Ｚ 方向となる上下方向に２つのガイドレール３２が設けられ、このガイドレール３ ２に可動部材３３が摺動自在に取付けられている。この可動部材３３は、その上 面が水槽１３を支持する支持柱３５の載置台３４となり、またベース３１との対 向面に横幅が上記２つのガイドレール３２の間隔よりも狭く縦が水槽１３のＺ方 向の移動ストロークに応じた長さの開口部３５が形成されている。基端部がベー ス３１に固定された固定台３６が、この開口部３５からベース３１の前面側へ突 出して設けられている。固定台３６には軸受けを介してナット３７が回転自在に 固定され、このナット３７のねじ部に送りねじ３８が螺入され、その送りねじ３ ８の先端が載置台３４の下面に固定されている。さらに、固定台３６にはモータ ３９が設置され、その回転軸４１とナットとが動力伝達ベルト４２を介して連結 されている。

【００１７】 以上のように構成された超音波顕微鏡では、水槽１３が上下動機構１２の載置 台３４上に置かれた支持柱３５上に載置され、音響レンズ２７がその水槽１３上 方に配設されたＸＹスキャナ１１のレンズ保持部材２５に取付けられて水槽１３ と対向配置される。

【００１８】 水槽１３のカプラ液体中に入れられた試料に、音響レンズ２７の焦点を合わせ るためのフォーカシング動作は、上下動機構１２で水槽１３をＺ方向へ移動させ ることによって行われる。すなわち、モータ３６の回転が動力伝達ベルト４２を 介してナットへ伝えられてナットが所定の方向に回転する。ナット３７側が固定 されていることから、送りねじ３８がＺ方向へ移動し、この送りねじ３８の先端 部に固定されている可動部３３も連動してＺ方向へ移動する。この結果、可動部 ３３に載置されている水槽１３が上下動し、モータ３９の回転量および回転方向 を制御することにより水槽１３をＺ方向の所望の位置に移動することができる。 この様にして、試料と音響レンズ２７とのＺ方向の相対位値が決められたなら ば、ＸＹスキャナ１１によって試料を二次元走査する。ＸＹスキャナ１１では、 モータ１５を回転させると、その回転が一方のＹ送りねじ１４ａ及びタイミング ベルト１７を介して他方のＹ送りねじ１４ｂにそれぞれ伝えられ、各Ｙ送りねじ １４ａ，１４ｂが同様に回転することにより、Ｘステージ１９がガイドレール１ ９ａ，１９ｂに沿ってＹ方向へ移動し、音響レンズ２７のＹ方向の位置がＹエン コーダ１６から出力される。また、モータ２２を回転させることにより、Ｘ送り ねじ２１が回転し、これに螺合しているレンズ保持部材２５がリニアボールガイ ド２４にガイドされてＸ方向に移動し、これによってレンズ保持部材２５に取付 けられている音響レンズ２７がＸ方向へ移動するものとなる。音響レンズ２７の Ｘ方向の位置はＸエンコーダ２３から出力される。

【００１９】 実際の描画時には、Ｘ方向に高速走査すると共に、Ｘ方向の一ライン走査が終 了する度に、Ｙ方向へ１ライン間隔分づつ移動させて試料を二次元走査する。不 図示の画像形成部では、試料各点からの反射波の情報をデジタルメモリに蓄え、 画像を形成する。

【００２０】 この様に本実施例は、支持枠体１０の上端開口部にＸＹスキャナ１１を設け、 Ｙ方向の移動はＸスキャナが取付けられたＸステージ１９によって行い、高速走 査を行うＸ方向の移動は音響レンズ２７およびそのレンズ保持部材２５のみを移 動させるＸスキャナによって行うようにし、しかも水槽収納空間の下方に上下動 機構１２を設け、Ｚ方向の調節は上下動機構１２に載置された水槽１３の上下動 によって行うようにした。

【００２１】 したがって、二次元走査範囲を行うためのＸＹスキャナ１１の荷重は、Ｚ方向 の調整を行う上下動機構１２には全くかからないので、二次元走査範囲を拡大す るために、ＸＹスキャナ１１を大きくしても、上下動機構１２の負担は増えるこ とがなく、機械的強度が低下したり位置合わせ精度が低下するなどの不都合が生 じることがない。また、高速移動されるのは音響レンズ２７と一部の付属部品２ ５に限られるので、高速走査のストロークが長くなっても高速化の妨げとはなら ない。 次に、本考案の第２実施例について説明する。 図４には、第２実施例に係る超音波顕微鏡の移動機構部分の構成が示されてい る。

【００２２】 本実施例で用いられる支持枠体５０は、上端が開口し水槽収納空間が形成され ていると共に、一側面が開口しここから水槽１３を出し入れ可能な構造となって いる。支持枠体５０の上端開口部のＹ方向の対向する二辺にはＹステージ５１ａ ，５１ｂがそれぞれ設けられている。両Ｙステージ５１ａ，５１ｂには、リニア ボールガイド５２ａ，５２ｂがそれぞれ設けられている。リニアボールガイド５ ２ａ，５２ｂには、スライダー５４ａ，５４ｂがそれぞれ摺動自在に取付けられ 、さらに各スライダー５４ａ，５４ｂは不図示のボールネジに螺合されている。 一方のＹステージ５１ａ内のボールネジの一端部にはモータ５５が取付けられて いる。また、モータ５５の回転はタイミングベルト５６を介して他方のＹステー ジ５１ｂ内のボールネジの回転軸に伝えられるように構成されている。

【００２３】 Ｙステージ５１ａ，５１ｂ上にはＸステージ５７が交差して配置され、スライ ダー５４ａ，５４ｂがそれぞれ固着されている。このＸステージ５７内にはＸ送 りねじ５８が配設され、その一端にはモータ５９が取付けられ、他端にはＸエン コーダ６１が取付けられている。さらに、Ｘ送りねじ５８には前記第１実施例と 同様にレンズ保持部材６２が取付けられ、レンズ保持部材６２に音響レンズ６３ が取付けられている。上記Ｙステージ５１ａ，５１ｂとＸステージ５７とからＸ Ｙスキャナを構成している。

【００２４】 また、支持枠体５０の上端開口部の下方に形成され、水槽６４が図示する如く 配置される水槽収納空間は、Ｚ方向に移動する水槽６４のストロークを十分確保 できるだけの高さを有している。

【００２５】 この水槽収納空間の下方に上下動機構７０が設けられている。この上下動機構 ７０は、図５に示されるように、水槽収納空間下方に配設される横フレーム６５ に固定部材７１が固定され、この固定部材７１に２本のガイドシャフト７２ａ， ７２ｂが摺動自在に上下方向に貫通されると共に、送りねじ７３がナット７１ａ に螺入されて上下方向に貫通している。これらガイドシャフト７２ａ，７２ｂの 一端は可動載置台７４に固定され、送りねじ７３の一端は可動載置台７４に軸受 け７５を介して取付けられている。また、ガイドシャフト７２ａ，７２ｂの他端 は固定板７６にそれぞれ固定されている。また、送りねじ７３の他端は固定板７ ６に回転自在に嵌挿され、固定板７６の裏面側に取付けられたモータ７７に連結 されている。

【００２６】 また、本実施例では、水槽６４を支持枠体５０内の水槽収納空間に出し入れす るための移動台車８０が備えられている。この移動台車８０は、支持枠体５０の 側面開口部から支持枠体５０の内部に挿入したときに、上記横フレーム６５を回 避するための切れ込み８１が形成されている。また、横フレーム６５の上面より も高い位置となる移動台車８０の上面には載置板８２が設けられている。この載 置板８２は、移動台車８０を支持枠体５０内にセットしたときに上下動機構７０ の可動載置台７４が対向するところに開口部８３が形成されている。また、移動 台車８０には、走行用のキャスター８４が取付けられている。

【００２７】 以上のように構成された本実施例では、水槽６４を移動台車８０の載置台８２ 上に載せて、水槽６４が設置されていない支持枠体５０の側面開口部から水槽収 納空間まで挿入する。この状態では、上下動機構７０の可動載置台７４が、開口 部８３から露出した水槽６４の下面に対向している。

【００２８】 次に、上下動機構７０のモータ７７を駆動して、移動台車８０上の水槽６４を 可動載置台７４上へ移す。すなわち、モータ７７を駆動することにより、送りね じ７３が回転する。送りねじ７３が挿入されているナット７１ａは固定部材７１ に固定されているため、送りねじ７３自体が上昇する。ガイドシャフト７２ａ， ７２ｂ、固定板７６、モータ７７、可動載置台７４は共に送りねじ７３と一体と なっているので、これらは一体となって上昇し、可動載置台７４が開口部８３か ら水槽６４を直接押し上げて、可動載置台７４上に水槽６４が移される。

【００２９】 また、上下動機構７０に支持されている水槽６４を支持枠体５０外へ取り出す 場合には、上述した場合とは逆に、水槽６４が載置されている可動載置台７４を 下降させ、待機している移動台車８０の載置板８２よりも可動載置台７４が下に なった時点で水槽６４が移動台車８０上に移される。その後、移動台車８０を支 持枠体５０の側面開口部より引き出すことにより、支持枠体５０の外部へ取り出 すことができる。

【００３０】 また、Ｙステージ５１ａ，５１ｂおよびＸステージ５７からなるＸＹスキャナ に支持された音響レンズ６３が、上下動機構７０に支持されている水槽６４に対 向配置され、音響レンズ６３がＸステージ５７によってＸ方向に高速走査される と共にＹステージ５１ａ，５１ｂによってＹ方向へ順次移動され、二次元走査が 行われるものとなる。

【００３１】 この様に本実施例によれば、支持枠体５０の上端開口部にＹステージ５１ａ， ５１ｂおよびＸステージ５７からなるＸＹスキャナを設けてこれに音響レンズ６ ３を支持させ、水槽収納空間の下方に上下動機構７０を設けて水槽６４を支持す るようにしたので、前記第１実施例と同様に二次元走査範囲を拡大するために、 ＸＹスキャナを大きくしても、機械的強度が低下したり位置合わせ精度が低下す るなどの不都合を防止でき、かつ走査の高速化を図ることができる。

【００３２】 また、支持枠体５０の側面に開口部を設け、この開口部から支持枠体５０の内 外へ出入り可能な移動台車８０を備え、上下動機構７０のモータ７７の制御のみ で水槽６４を移動台車８０から上下動機構７０へまたはその逆に移し代え可能に したので、水槽６４の交換作業を極めて容易にでき、作業負担の軽減を図ること ができる。 図６（ａ）（ｂ）は上記第２実施例の変形例を示す図である。

【００３３】 この変形例は、上下動機構７０の可動載置台７４の上面に位置決め用ピン９１ を設け、位置決め用ピン９１が嵌合される嵌合穴９２が形成された位置決め板９ ３を、水槽６４の下面であって可動載置台７４に対向する領域に取り付けたもの である。 この様な変形例によれば、可動載置台７４に載置された水槽６４が横ずれする のを確実に防止できる。

【００３４】

【考案の効果】

以上詳記したように、第１の考案によれば、機械的強度、位置合わせ精度、走 査速度を低下させることなく走査範囲を拡大できる超音波顕微鏡を提供できる。 また、第２の考案によれば、機械的強度や位置合わせ精度を低下させることな く走査範囲を拡大でき、さらに水槽の交換作業が極めて容易になる超音波顕微鏡 を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１実施例に係る超音波顕微鏡の移動
機構の構成を示す斜視図。

【図２】第１実施例に係る超音波顕微鏡のＸステージの
断面図。

【図３】第１実施例に係る超音波顕微鏡の上下動機構の
断面図。

【図４】本考案の第２実施例に係る超音波顕微鏡の移動
機構の構成を示す斜視図。

【図５】第２実施例に係る超音波顕微鏡の上下動機構の
断面図。

【図６】第２実施例の変形例を示す図。

【図７】従来の超音波顕微鏡の移動機構を示す断面図。

【符号の説明】

１０，５０…支持枠体、１１…ＸＹスキャナ、１２，７
０…上下動機構、１３，６４…水槽、２７，６３…音響
レンズ。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 超音波を伝播させるためのカプラ液体が
   入った水槽中に試料を入れ、この試料に対して前記水槽
   の上方に配置された音響レンズから集束する超音波を入
   射し、前記試料に対する超音波の入射方向であるＺ方向
   に前記水槽と前記音響レンズとを相対的に移動させて前
   記音響レンズの焦点調節を行うと共に、前記Ｚ方向と直
   交するＸ，Ｙ方向に前記水槽と前記音響レンズとを相対
   的に移動させて前記試料を走査する超音波顕微鏡におい
   て、前記水槽の下方に配置され該水槽を保持して前記Ｚ
   方向に移動させる上下動機構と、前記音響レンズが取付
   けられ、その音響レンズを前記Ｘ方向および前記Ｙ方向
   に移動すると共に少なくとも前記Ｘ方向に高速走査を行
   うＸＹスキャナと、を具備したことを特徴とする超音波
   顕微鏡。
2. 【請求項２】 超音波を伝播させるためのカプラ液体が
   入った水槽中に試料を入れ、この試料に対して前記水槽
   の上方に配置された音響レンズから集束する超音波を入
   射し、前記試料に対する超音波の入射方向であるＺ方向
   に前記水槽と前記音響レンズとを相対的に移動させて前
   記音響レンズの焦点調節を行うと共に、前記Ｚ方向と直
   交するＸ，Ｙ方向に前記水槽と前記音響レンズとを相対
   的に移動させて前記試料を走査する超音波顕微鏡におい
   て、内部には前記水槽が収納される空間が形成され、側
   面には外部から前記収納空間に対し前記水槽を出し入れ
   するための開口部が設けられた支持枠体と、前記支持枠
   体の外部で載置された前記水槽を前記支持枠体の開口部
   から前記収納空間へ移動させると共に、前記支持枠体の
   内部で載置された前記水槽を前記支持枠体の開口部から
   外部へ移動させる移動台と、前記支持枠体に支持されて
   前記収納空間下方に配置され、前記支持枠体内に移動さ
   れた前記水槽よりも下方から上昇して該水槽を保持する
   と共に、その水槽を前記移動台よりも上方から下降して
   該移動台へ移す上下動機構と、前記支持枠体に支持され
   て前記収納空間上方に配置され、前記音響レンズが取付
   けられ該音響レンズを前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に移
   動すると共に少なくとも前記Ｘ方向に高速走査を行うＸ
   Ｙスキャナと、を具備したことを特徴とする超音波顕微
   鏡。