JPH0412630U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0412630U JPH0412630U JP5401590U JP5401590U JPH0412630U JP H0412630 U JPH0412630 U JP H0412630U JP 5401590 U JP5401590 U JP 5401590U JP 5401590 U JP5401590 U JP 5401590U JP H0412630 U JPH0412630 U JP H0412630U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- hot plate
- wafer
- baking
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図ａ，ｂはこの考案の一実施例を示すベー
ク装置の断面図、および上面図、第２図はこの考
案によるウエハの湿度変化を示す図、第３図およ
び第５図は従来のベーク装置の断面図であり、第
４図および第６図はそれぞれ第３図および第５図
のベーク装置で、ベークを行つた場合のウエハの
温度変化を示す図である。 図において、１はホツトプレート、２は半導体
ウエハ、３はウエハ吸着用穴、４は薄膜テープで
ある。なお、各図中の同一符号は同一または相当
部分を示す。
ク装置の断面図、および上面図、第２図はこの考
案によるウエハの湿度変化を示す図、第３図およ
び第５図は従来のベーク装置の断面図であり、第
４図および第６図はそれぞれ第３図および第５図
のベーク装置で、ベークを行つた場合のウエハの
温度変化を示す図である。 図において、１はホツトプレート、２は半導体
ウエハ、３はウエハ吸着用穴、４は薄膜テープで
ある。なお、各図中の同一符号は同一または相当
部分を示す。
Claims (1)
- 半導体ウエハをホツトプレートに形成された所
要数のウエハ吸着用穴を介して前記ホツトプレー
トに吸着し、前記半導体ウエハのベークを行うベ
ーク装置において、前記半導体ウエハとホツトプ
レートとの間に、前記ウエハ吸着用穴をそれぞれ
取り囲むように前記半導体ウエハとホツトプレー
トとの緩衝材となる薄膜板を装着したことを特徴
とする半導体ウエハのベーク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5401590U JPH0412630U (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5401590U JPH0412630U (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0412630U true JPH0412630U (ja) | 1992-01-31 |
Family
ID=31575703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5401590U Pending JPH0412630U (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0412630U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48113900U (ja) * | 1972-03-29 | 1973-12-26 |
-
1990
- 1990-05-22 JP JP5401590U patent/JPH0412630U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48113900U (ja) * | 1972-03-29 | 1973-12-26 |