JPH0412683A - シート静電吸着方法 - Google Patents

シート静電吸着方法

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JPH0412683A
JPH0412683A JP11650690A JP11650690A JPH0412683A JP H0412683 A JPH0412683 A JP H0412683A JP 11650690 A JP11650690 A JP 11650690A JP 11650690 A JP11650690 A JP 11650690A JP H0412683 A JPH0412683 A JP H0412683A
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adsorption
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sheet
electrostatic charge
electrostatic
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Keiji Kasahara
敬次 笠原
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、例えばオーバーへラドプロジェクタ等におけ
る原稿、或は掲示用の各種文書類やポスター類を透明も
しくは不透明の担体に保持するための静電吸着板、を用
いてのシート静電吸着方法に関する。
(従来の技術) 近年、ワードプロセッサやパーソナルコンピュータの高
級機化が進み、その印字出力についても高精細化するに
伴ってシート状記録媒体はますます薄くなると共に、カ
ラー記録も普及しつつある。
ところが、そのような高精細な記録を施された薄い媒体
は、それ自体では平坦な形態を保持できず、例えばオー
バーへッドブロジェクタの原稿載置仮に載せられたとき
細かい皺がより、映写像が歪むという問題がある。高精
細の文字等においては、この歪みが特に見苦しいものと
なる。このような不具合は例えばショーウィンド等の透
明ガラスに該印字記録、又は手書き文書類を掲示する場
合にも同様に問題である。
しかしながら、極めて薄いシートないしはフィルム状の
記録媒体や掲示媒体を皺や波うちのない平坦な姿勢で保
持するための支持体、として効果的かつ実用的なものは
今だ需要家に提供されていない現状である。
他方、上記の一般的な問題のほか、被吸着物がきわめて
高い抵抗率、例えば10I&ΩC11以上の抵抗率を有
するOHP用ポリエステルフィルムなどは、従来の静電
吸着板によっては強固に吸着保持することができない。
このような傾向は、相当に厚さが大のポリエステルフィ
ルム等を垂直に静電吸着保持する場合などでは特に重大
な問題となる。本発明者は、このような被吸着物の種類
と静電吸着力の大きさとの関係を把握するべく、次のよ
うなテストを実施し9た。
即ち、絶縁層と、体積抵抗率が10′+Ωcm以上の吸
着層との間に、1対の櫛歯状電極がその櫛歯部分を接触
することなく互いCご入り込ませた状態に形成されてい
る吸着板の該吸着層の表面・へ、A4サイズの被吸着物
の表面を接当し、前記電極に2600V (ボルト)の
直流電圧を印加し該吸着板へ吸着させた状態のもとに被
吸着物を吸着板から強制的に引剥すに要する力(吸着力
)と該状態における消費電流(μA) (下記表におい
ては単に電流と記す)を測定したところ、次の第1表の
結果を得た。
第1表 抵抗率(Ωc+++)と吸着力(Kg)第1表
において「導電フィルム」とはポリエステルフィルムに
四塩化インジウムを蒸着したもの、「絶縁フィルム」と
は厚さ300μmの未加工ポリエステルフィルム、「ア
ルミ板」の厚さは1mm、「銅板」の厚さは35μmと
した。
第1表に明らかなように、OHPフィルムに代表される
ような絶縁フィルムに対しては静電吸着作用が極めて弱
く殆ど吸着不可能に近い。この問題を従来法により解決
するには、極めて薄い、例えば25〜50μm程度の透
明な吸着板を使用するか、或は普通の吸着板に極めて高
い、例えば約10.000ネルトにも達する電圧を印加
するといった措置が必要である。しかし、極薄の吸着板
では耐久性が低下し、また高電圧を用いる場合には危険
を伴う、等々の別の問題を派生する。
(発明が解決しようとする課題) 従って本発明の目的は、上記のような欠点のないシート
静電吸着方法を提供することにあり、特に本発明者によ
る試験の結果を集録した上掲第1表に示されている如き
導電性シート状体に対する静電吸着作用の強さを利用し
て難吸着性の被吸着物に対する効果的かつ実施容易なシ
ート吸着方法を提供することにある。
(課題を解決するための手段) この目的を達成するべく、本発明の第1態様によれば、
絶縁層と、体積抵抗率が約101Ωcm以上の誘電材料
より構成されている吸着層との間に1対の櫛歯状電極が
その櫛歯部分を互いに接触することなく入り込ませた状
態に形成されてなる吸着板の該吸着層の表面へ被吸着物
の表面を接当し、前記電極に直流電圧を印加して吸着層
の前記表面に静電荷を帯びさせることにより前記被吸着
物を吸着板へ吸着する方法において、前記被吸着物の表
面に対し抵抗率約108ΩCl11以下の導電性を前も
って付与しておくと共に、前記吸着層の表面における静
電荷に対向した状態に且つこれとは極性の異なる静電荷
を前記被吸着物の導電性付与表面に誘電生起させること
を特徴とするシート静電吸着方法、が提供される。
又、本発明の第2態様によれば、絶縁層と、体積抵抗率
が約108Ωcm以上の誘電材料より構成されている吸
着層との間に1対の櫛歯状電極がその櫛歯部分を互いに
接触することなく入り込ませた状態に形成されてなる吸
着板の該吸着層の表面へ被吸着物の一方の側の表面を接
当し、前記電極に直流電圧を印加して吸着層の前記表面
に静電荷を帯びさせることにより前記被吸着物を吸着板
へ吸着する方法において、前記被吸着物の他方の側の表
面に、抵抗率が約108Ωcm以下の導電性を有した押
えシートを接当し、前記吸着層の表面における静電荷に
対向した状態に且つこれとは極性の異なる静電荷を前記
押えシートの導電性の表面に誘電生起させることを特徴
とするシート静電吸着方法、が提供される。
上記2態様の何れにあっても吸着板における両電極間つ
まり隣接櫛歯状部分間の間隔は市単位、例えば2mm前
後であるが、これら電極と被吸着物または押えシートの
導電性表層との間の距離はμm単位、例えば高々500
μm程度であることが肝要な条件である。
(作 用) 本発明の静電吸着方法では、上記のような距離関係に起
因して、1つの正極側電極櫛歯部分Pから隣の負極側電
極櫛歯部分Nへ至る吸着層中または絶縁層中の直線的電
界強度(第1図参照)に比べ、導電性表層Cのために櫛
歯部分Pから該部分に対向した前記導電性表層Cの部位
C1へ至り該表層C中を進んで櫛歯部分Nに対向した部
位C2から櫛歯部分Nへ帰還する弧状の電界強度のほう
が遥かに強くなる。
したがって、この弧状電界線上の上記部位CI。
C2に接する個所の被吸着物の部位には分極による強い
静電荷を生じ、吸着力が大になるものと考えられる。
(発明の効果) 本発明によれば、以上に記した如く、被吸着物に導電性
の表層を設け、又は該被吸着物を吸着板との間で挟持す
る押えシートとして導電性の表層を設けたものを使用す
る、という簡潔な構成をもって従来は吸着困難又は不十
分であった完全絶縁性のポリエステルフィルム(例えば
OHPフィルム)や厚手のポスター類をも確実に吸着で
きることになった。
(実施例) 以下、図面を参照して実施例を説明すると、第1図の第
1実施例では平坦な基板(1o)の上に、絶縁層(22
)と吸着層(26)とが正・負1対の電極(24a>(
24b) (図では櫛歯部分を1つずつ示す)を挟んだ
構造の吸着板(20)を載置し、電源(12)からはコ
ネクタ(14)を介して該電極へ2600 Vの直流電
圧を印加可能に装置を構成した。吸着層(26)の抵抗
率は約1013Ωcmであった。被吸着物(30)とし
ては、予め四塩化インジウムを蒸着して抵抗率が約10
5Ωcmの導電性の表層(30a)を形成したA4サイ
ズのOHP用ポリエステルフィルムを用い、その表層を
吸着層(26)へ接当させた。この準備ののち、上記電
圧を印加して該フィルムを吸着板(lO)へ吸着させ、
バネ秤により図の矢印(−)方向へ引張って剥離に要す
る力を測定したところ吸着力は約4Kgであった。比較
のため、導電性の表層(30a)を設けず生のままの上
記フィルム(抵抗率は約1016Ωcm)を同様に吸着
させたところ、その吸着力は約IKgに過ぎなかった。
更に別の比較のため、吸着層(26)の表面を抵抗率約
104Ωcmの導電性としたものを用い同様に測定した
ところ、吸着力はOKgであった。
以上の測定結果は、前記導電性表層(C)のために櫛歯
部分(P 、 24a)から該部分に対向した導電性表
層(C、30a)の部位(C1)へ至り該表層(C)中
を進んで櫛歯部分(N、24b)に対向した部位(C2
)から櫛歯部分(N)へ帰還する弧状の電界強度が他の
方向の電界強度よりも遥かに強くなり、これら部位(C
I、C2)において強い静電荷を生じていることを示唆
している。そして被吸着物に導電性の表層(30a)を
設けない比較例、および吸着層(26)の表面を導電性
とした比較例にあっては、電界線が被吸着物の中を殆ど
通らず、従って被吸着物中に静電荷を生じないことが吸
着力の弱さをもたらしていると考えられる。
次に第2図に示した第2実施態様は、基板(10)上の
吸着板(20)の構成において上記の第1実施例と同様
であるが、押えシート(50)により被吸着物(40)
、例えば絶縁性のポリエステルフィルム、を吸着板(2
0)との間に挟圧する点において第1実施例と異なって
いる。押えシート(50)の表面に形成した導電性の層
(50a)は第1実施例における被吸着物(30)の表
層(30a)と同様に108Ωcm以下、例えば約10
3Ωcm程度の抵抗率を有し、やはり四塩化インジウム
をベースフィルム面へ蒸着したものである。この場合に
も吸着層(26)と押えシート(50)の対向部位に夫
々逆極性の強い静電荷が発生して吸引し合うので、両者
間に挟持された被吸着物(40)は高度の絶縁性である
にも拘らず吸着板(20)により保持されることになる
。印加電圧を2600 Vとした場合の吸着力は約3K
g強であった。尚、比較のため押えシートとして抵抗率
約10′6Ωcmのものを用いたところ、引き剥しに要
する力は約1Kg弱という不十分さであった。
以上の2実施例はOHPフィルムの吸着のみならず、種
々の用途に供することができる。例えば、ショーウィン
ドのガラス(実施例における基板に相当)に透明の吸着
板(20)を取付け、該板面と透明の導電性押えシー)
 (50)との間に標識や表示媒体としての切り文字や
図柄などを挟み、吸着板へ直流電圧を印加すれば該標識
等を着脱容易に保持でき、そのデザイン変更の際には従
来よりも簡単に対処できるから便利である。尚、電源と
しては消費電流が数マイクロアンペア程度であるため単
1ないし単3の乾電池でもよいが、2000〜3000
 Vに昇圧するためのトランスを必要とする。
屋内外におけるポスターボードに利用する場合には吸着
板(20)は不透明のものでよいが、押えシート(50
)は透明のものを用いることになる。電装ポスターボー
ドの場合には、透明吸着板(20)の背面の基板として
、光源からの光線を拡散する透明の光線拡散板を用い、
透明の押えシート(50)との間に光透過性のポスター
等を静電吸着力で保持すればよい。更に、グリッドタイ
プのXYプロッタにおいて補強シート(残留吸着力利用
)を使用する際に導電性押えシート(50)で被吸着物
を覆い静電吸着させれば、該押えシートを外したのちの
残留吸着力を強くできるので好都合である。
以上の本発明方法については、導電性の表層の位置を、
図示した例とは逆に、即ち吸着板(2o)がら離隔した
方の被吸着物(30)の表面または押えシート(50)
の表面に配置する、等々の改変を加えることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は第1実施例を示した概略断面図、第2図は第2
実施例を示した概略断面図、である。 (10)・・・基 板、   (20)・・・吸着板、
(22) ・・・絶縁層、   (24a) (24b
) −電 極、(26)・・・吸着層、   (30)
 (40)・・・被吸着物、(30a) (50a)−
導電性の表層、(50)・・・押えシート、

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、絶縁層と、体積抵抗率が約10^1^1Ωcm以上
    の誘電材料より構成されている吸着層との間に1対の櫛
    歯状電極がその櫛歯部分を互いに接触することなく入り
    込ませた状態に形成されてなる吸着板の該吸着層の表面
    へ被吸着物の表面を接当し、前記電極に直流電圧を印加
    して吸着層の前記表面に静電荷を帯びさせることにより
    前記被吸着物を吸着板へ吸着する方法において、前記被
    吸着物の表面に対し抵抗率約10^8Ωcm以下の導電
    性を前もって付与しておくと共に、前記吸着層の表面に
    おける静電荷に対向した状態に且つこれとは極性の異な
    る静電荷を前記被吸着物の導電性付与表面に誘電生起さ
    せることを特徴とするシート静電吸着方法。 2、絶縁層と、体積抵抗率が約10^1^1Ωcm以上
    の誘電材料より構成されている吸着層との間に1対の櫛
    歯状電極がその櫛歯部分を互いに接触することなく入り
    込ませた状態に形成されてなる吸着板の該吸着層の表面
    へ被吸着物の一方の側の表面を接当し、前記電極に直流
    電圧を印加して吸着層の前記表面に静電荷を帯びさせる
    ことにより前記被吸着物を吸着板へ吸着する方法におい
    て、前記被吸着物の他方の側の表面に、抵抗率が約10
    ^8Ωcm以下の導電性を有した押えシートを接当し、
    前記吸着層の表面における静電荷に対向した状態に且つ
    これとは極性の異なる静電荷を前記押えシートの表面に
    誘電生起させることを特徴とするシート静電吸着方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06120329A (ja) * 1992-08-20 1994-04-28 Fujitsu Ltd ウエハの静電吸着装置、ウエハの静電吸着方法、ウエハの離脱方法及びドライエッチング方法
JPH06274114A (ja) * 1993-03-18 1994-09-30 Taihei Kagaku Seihin Kk 静電気力による物体の保持方法

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JPS585734U (ja) * 1981-07-06 1983-01-14 凸版印刷株式会社 製図用プラスチックフイルム
JPS6477555A (en) * 1987-09-18 1989-03-23 Iwatsu Electric Co Ltd Electrostatic attractor

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