JPH04127555A - 試料搬送装置 - Google Patents
試料搬送装置Info
- Publication number
- JPH04127555A JPH04127555A JP24759190A JP24759190A JPH04127555A JP H04127555 A JPH04127555 A JP H04127555A JP 24759190 A JP24759190 A JP 24759190A JP 24759190 A JP24759190 A JP 24759190A JP H04127555 A JPH04127555 A JP H04127555A
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- Japan
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野１
本発明は、試料搬送装置に係り、特に半導体素子基板等
の試料を連続的に処理する装置に好適な試料搬送装置に
関するものである。 〔従来の技術］ 半導体素子基板等の試料を連続的に処理する装置では、
例えば、試料はカセットから取り出され理される。処理
済み試料は、真空処理室から真空予備室に搬入され、該
搬入された処理済みの試料は真空予備室から搬出されて
カセットに搬入、回収されるようになっている。 尚、この種の装置として関連するものには、例えば、特
開昭６１−２４６３８１号、特開昭６２−１８１４３９
号等が挙げられる。 〔発明が解決しようとする課題〕 上記従来技術では、少なくとも２搬送区間を有する搬送
フローでエラーが発生した場合、エラー発生後、該エラ
ーの原因とは無関係で実行可能なシーケンスも中断され
てしまい、このため、これによる試料損失が増大すると
いった問題があった。 本発明の目的は、搬送フローでのエラー発生による試料
損失を低減できる試料搬送装置を提供することにある。 ［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、少なくとも２搬送区間を有
する搬送フローでのエラー発生ケ所より下流側のシーケ
ンス継続を判断し該下流側での試料の搬送を継続させる
制御手段を備えた試料搬送装置としたものである。 〔作 用〕 少な（とも２搬送区間を有する搬送フローで試料は試料
搬送装置により上記搬送区間を順次搬送される。 ここで、上記搬送フローで、つまり、いずれかの搬送区
間でエラーが発生した場合、該エラー発生ケ所より下流
側のシーケンス継続が制御手段で判断され、下流側での
試料の搬送が継続させられる。 このように、搬送フローでエラーが発生した場合、エラ
ー発生後、該エラーの原因とは無関係で実行可能な下流
側のシーケンス中断されずに継続させられ、搬送フロー
でのエラー発生による試料損失がこの分低減されること
になる。 ［実 施 例］ 以下、本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る。 第１図で、試料である半導体素子基板（以下、ウェハと
略）１９は、大気に設置されているロードカセットＩＯ
から、この場合、アーム搬送１５にて隔離弁等の隔離手
段（図示省略）を介してロード室１１に搬入される。ロ
ード室１１の真空排気後、ロード室１１に搬入されたウ
ェハ１９は。 この場合、アーム搬送１６にて真空処理室１２に搬入さ
れる。真空処理室１２に搬入されたウェハ１９は、真空
処理室１２にて所定処理される０例えば、プラズマを利
用してエツチング処理、成膜処理される。この間、ロー
ド室１１には、新たなウェハ１９が搬入される。真空処
理室１２での処理終了後、処理済みウェハ１９は、この
場合、アーム搬送１７にてアンロード室１３に搬入され
る。また、処理済みウェハ１９が取り出された真空処理
室１２には、ロード室１１の新たなウェハ１９が搬入さ
れ、該ウェハ１９は、ここで同様に所定処理される。一
方、処理済みウェハ１９は、アンロード室１３を大気圧
復帰後、アンロード室１３から、この場合、アーム搬送
１８にて隔離弁等の隔離手段（図示省略）を介してアン
ロードカセット１４に搬入されて回収される。 上記のようなウェハ１９の搬送は、制御装置（図示省略
）によって制御される。 ここで、エラー発生原因ごとに予めエラーレベルが設定
される０例えば、従来のエラーレベルは、装置のオペレ
ータに対して発生したエラーが人災を招くような重度の
エラーまたは軽度のエラー及び警告のみで可といったレ
ベル分けされているが、この場合、エラーレベルの意味
付けを更に一歩進めてエラーレベルと装置各部位との関
連付けを行い、エラー発生後は、エラーレベルにより各
部位またはシーケンスがそれぞれの処理で実行可、不可
を判断するようにしている。つまり、エラー発生時、エ
ラーレベル用フラグにエラー原因によるレベル値が設定
されると、各シーケンスが処理を行えるエラーレベルで
あるかどうかを常に判別しながら実行する、実行しない
を判断する。 このため、正常、異常にかかわらず同じプログラムを使
用し得る。装置の各部位の動作とエラーのレベルを関連
付けることで、エラーのレベル状態により装置部位動作
の可、不可を部位動作側で判断して影響がある部分は、
即時停止、また、影響がない部分は、継続して全ての動
作が完了した時点でオペレータに警報を出す。 例えば、第１図、第２図で、ロードカセットｌＯ動作エ
ラーが発生すると、エラーレベルフラグに１が設定され
る。よって、アーム１５搬送はアーム搬送フロー２０に
より搬入シーケンスは実行されない、アーム１６搬送、
アーム１７搬送、アーム１８搬送は、アーム搬送フロー
２１〜２３それぞれの判定条件が成立するため正常に搬
送シーケンスを処理する。これによって、装置内のウェ
ハ１９の全てが順次アンロードカセット１４へ搬出され
て回収されると処理が終了する。尚、このような制御は
、制御装置によって実施される。 本実施例では、エラー後もシーケンスが処理されるので
次のような効果がある。 ■ エラー発生後エラー原因による影響のないシーケン
スは正常に処理を行うのでエラーによる製品ウェハの損
失を最小限におさえることができる。 ■ エラー発生後シーケンスが中断されず実行可能なシ
ーケンスは継続されるのでエラー後オペレータの手動操
作による復帰作業が軽減できるのでエラー後の復帰作業
ミス等の２次トラブルを防止できる。 ■ 正常時も異常時も同じプログラムを使用するためエ
ラー処理のために別のシーケンスプログラムを作成する
必要がないのでプログラム量を減らすことができシステ
ムとしての信頼性を向上することができる。
の試料を連続的に処理する装置に好適な試料搬送装置に
関するものである。 〔従来の技術］ 半導体素子基板等の試料を連続的に処理する装置では、
例えば、試料はカセットから取り出され理される。処理
済み試料は、真空処理室から真空予備室に搬入され、該
搬入された処理済みの試料は真空予備室から搬出されて
カセットに搬入、回収されるようになっている。 尚、この種の装置として関連するものには、例えば、特
開昭６１−２４６３８１号、特開昭６２−１８１４３９
号等が挙げられる。 〔発明が解決しようとする課題〕 上記従来技術では、少なくとも２搬送区間を有する搬送
フローでエラーが発生した場合、エラー発生後、該エラ
ーの原因とは無関係で実行可能なシーケンスも中断され
てしまい、このため、これによる試料損失が増大すると
いった問題があった。 本発明の目的は、搬送フローでのエラー発生による試料
損失を低減できる試料搬送装置を提供することにある。 ［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、少なくとも２搬送区間を有
する搬送フローでのエラー発生ケ所より下流側のシーケ
ンス継続を判断し該下流側での試料の搬送を継続させる
制御手段を備えた試料搬送装置としたものである。 〔作 用〕 少な（とも２搬送区間を有する搬送フローで試料は試料
搬送装置により上記搬送区間を順次搬送される。 ここで、上記搬送フローで、つまり、いずれかの搬送区
間でエラーが発生した場合、該エラー発生ケ所より下流
側のシーケンス継続が制御手段で判断され、下流側での
試料の搬送が継続させられる。 このように、搬送フローでエラーが発生した場合、エラ
ー発生後、該エラーの原因とは無関係で実行可能な下流
側のシーケンス中断されずに継続させられ、搬送フロー
でのエラー発生による試料損失がこの分低減されること
になる。 ［実 施 例］ 以下、本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る。 第１図で、試料である半導体素子基板（以下、ウェハと
略）１９は、大気に設置されているロードカセットＩＯ
から、この場合、アーム搬送１５にて隔離弁等の隔離手
段（図示省略）を介してロード室１１に搬入される。ロ
ード室１１の真空排気後、ロード室１１に搬入されたウ
ェハ１９は。 この場合、アーム搬送１６にて真空処理室１２に搬入さ
れる。真空処理室１２に搬入されたウェハ１９は、真空
処理室１２にて所定処理される０例えば、プラズマを利
用してエツチング処理、成膜処理される。この間、ロー
ド室１１には、新たなウェハ１９が搬入される。真空処
理室１２での処理終了後、処理済みウェハ１９は、この
場合、アーム搬送１７にてアンロード室１３に搬入され
る。また、処理済みウェハ１９が取り出された真空処理
室１２には、ロード室１１の新たなウェハ１９が搬入さ
れ、該ウェハ１９は、ここで同様に所定処理される。一
方、処理済みウェハ１９は、アンロード室１３を大気圧
復帰後、アンロード室１３から、この場合、アーム搬送
１８にて隔離弁等の隔離手段（図示省略）を介してアン
ロードカセット１４に搬入されて回収される。 上記のようなウェハ１９の搬送は、制御装置（図示省略
）によって制御される。 ここで、エラー発生原因ごとに予めエラーレベルが設定
される０例えば、従来のエラーレベルは、装置のオペレ
ータに対して発生したエラーが人災を招くような重度の
エラーまたは軽度のエラー及び警告のみで可といったレ
ベル分けされているが、この場合、エラーレベルの意味
付けを更に一歩進めてエラーレベルと装置各部位との関
連付けを行い、エラー発生後は、エラーレベルにより各
部位またはシーケンスがそれぞれの処理で実行可、不可
を判断するようにしている。つまり、エラー発生時、エ
ラーレベル用フラグにエラー原因によるレベル値が設定
されると、各シーケンスが処理を行えるエラーレベルで
あるかどうかを常に判別しながら実行する、実行しない
を判断する。 このため、正常、異常にかかわらず同じプログラムを使
用し得る。装置の各部位の動作とエラーのレベルを関連
付けることで、エラーのレベル状態により装置部位動作
の可、不可を部位動作側で判断して影響がある部分は、
即時停止、また、影響がない部分は、継続して全ての動
作が完了した時点でオペレータに警報を出す。 例えば、第１図、第２図で、ロードカセットｌＯ動作エ
ラーが発生すると、エラーレベルフラグに１が設定され
る。よって、アーム１５搬送はアーム搬送フロー２０に
より搬入シーケンスは実行されない、アーム１６搬送、
アーム１７搬送、アーム１８搬送は、アーム搬送フロー
２１〜２３それぞれの判定条件が成立するため正常に搬
送シーケンスを処理する。これによって、装置内のウェ
ハ１９の全てが順次アンロードカセット１４へ搬出され
て回収されると処理が終了する。尚、このような制御は
、制御装置によって実施される。 本実施例では、エラー後もシーケンスが処理されるので
次のような効果がある。 ■ エラー発生後エラー原因による影響のないシーケン
スは正常に処理を行うのでエラーによる製品ウェハの損
失を最小限におさえることができる。 ■ エラー発生後シーケンスが中断されず実行可能なシ
ーケンスは継続されるのでエラー後オペレータの手動操
作による復帰作業が軽減できるのでエラー後の復帰作業
ミス等の２次トラブルを防止できる。 ■ 正常時も異常時も同じプログラムを使用するためエ
ラー処理のために別のシーケンスプログラムを作成する
必要がないのでプログラム量を減らすことができシステ
ムとしての信頼性を向上することができる。
本発明によれば、少なくとも２区間を有する搬送フロー
でのエラー発生ケ所より下流側での試料の搬送を継続さ
せることができるので、搬送フローでのエラー発生によ
る試料損失を低減できる効果がある。
でのエラー発生ケ所より下流側での試料の搬送を継続さ
せることができるので、搬送フローでのエラー発生によ
る試料損失を低減できる効果がある。
第１図は、本発明の一実施例の試料搬送装置を適用した
真空処理装置の平面構成図、第２図は、第１図での搬送
シーケンスの概略のフローチャートである。
真空処理装置の平面構成図、第２図は、第１図での搬送
シーケンスの概略のフローチャートである。
Claims (1)
- １、少なくとも２搬送区間を有する搬送フローで試料を
順次搬送する試料搬送装置において、前記搬送フローで
のエラー発生ヶ所より下流側のシーケンス継続を判断し
該下流側での前記試料の搬送を継続させる制御手段を備
えたことを特徴とする試料搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24759190A JPH04127555A (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | 試料搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24759190A JPH04127555A (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | 試料搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04127555A true JPH04127555A (ja) | 1992-04-28 |
Family
ID=17165786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24759190A Pending JPH04127555A (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | 試料搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04127555A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6162010A (en) * | 1997-06-23 | 2000-12-19 | Tokyo Electron Limited | Method for recovering object to be treated after interruption |
| JP2013033975A (ja) * | 2012-09-10 | 2013-02-14 | Hitachi Ltd | 真空処理装置及び真空処理方法 |
| JP2016083693A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-19 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 熱間圧延異常時の連動設備停止方法 |
-
1990
- 1990-09-19 JP JP24759190A patent/JPH04127555A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6162010A (en) * | 1997-06-23 | 2000-12-19 | Tokyo Electron Limited | Method for recovering object to be treated after interruption |
| JP2013033975A (ja) * | 2012-09-10 | 2013-02-14 | Hitachi Ltd | 真空処理装置及び真空処理方法 |
| JP2016083693A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-19 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 熱間圧延異常時の連動設備停止方法 |
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