JPH04130239A - 動的面出入り測定装置 - Google Patents
動的面出入り測定装置Info
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- JPH04130239A JPH04130239A JP25011490A JP25011490A JPH04130239A JP H04130239 A JPH04130239 A JP H04130239A JP 25011490 A JP25011490 A JP 25011490A JP 25011490 A JP25011490 A JP 25011490A JP H04130239 A JPH04130239 A JP H04130239A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザプリンタ等に使用される回転多面鏡、
振動鏡等の光偏向器の評価装置に関するものである。
振動鏡等の光偏向器の評価装置に関するものである。
（従来の技術）
従来、光偏向器では、その回転精度及び面の倒れがその
特性として重要視されてきたが、反射面の回転中心から
の位置が変動する（以下これを面出入りと称する）と、
これらの特性に影響を及ぼすので、この面出入りを回転
中に測定する方法として、第３図に示すように入射及び
反射光路を光偏向器２８の回転軸を含む面内にあるよう
に構成された光源２４、光学系２５、ビームスプリッタ
２６、トリガ検出器２７とトリガ発生時点で光がミラー
に角度を持つように入射反射するように構成された光源
２１、光学系２２．ビーム位置検出器２３を含む面位置
検出系とを備え、トリガ発生時点の検出器２３の出力か
ら面出入りを測定する面出入り測定装置が提案されてい
た。
特性として重要視されてきたが、反射面の回転中心から
の位置が変動する（以下これを面出入りと称する）と、
これらの特性に影響を及ぼすので、この面出入りを回転
中に測定する方法として、第３図に示すように入射及び
反射光路を光偏向器２８の回転軸を含む面内にあるよう
に構成された光源２４、光学系２５、ビームスプリッタ
２６、トリガ検出器２７とトリガ発生時点で光がミラー
に角度を持つように入射反射するように構成された光源
２１、光学系２２．ビーム位置検出器２３を含む面位置
検出系とを備え、トリガ発生時点の検出器２３の出力か
ら面出入りを測定する面出入り測定装置が提案されてい
た。
（発明が解決しようとする課題）
従来提案されている面出入り測定装置では、光源２１か
ら出た光を直接検出器２３上に集光するようになってい
た。このような構成では第４図に示すようにミラー面が
２８ａから２８ｂに距離ｄだけ移動した時、ミラーから
の出射光の主光線はＬ２２からＬ２３に移動し、焦点位
置はＦ２１がらＦ２２に移動し、検出器への入射点はＦ
２１から５２１へ移動し、その移動量Ｘ２がら面出入り
量を求めていた。ところがミラー面の表面は完全な平面
とはなり得ないため、表面状態のリップル等によりＬ２
４のようなミラーからの出射光の角度誤差が発生すると
入射点はＳ２２となり、誤差Ｙ２が発生してしまい、正
確な測定ができないという問題があった。
ら出た光を直接検出器２３上に集光するようになってい
た。このような構成では第４図に示すようにミラー面が
２８ａから２８ｂに距離ｄだけ移動した時、ミラーから
の出射光の主光線はＬ２２からＬ２３に移動し、焦点位
置はＦ２１がらＦ２２に移動し、検出器への入射点はＦ
２１から５２１へ移動し、その移動量Ｘ２がら面出入り
量を求めていた。ところがミラー面の表面は完全な平面
とはなり得ないため、表面状態のリップル等によりＬ２
４のようなミラーからの出射光の角度誤差が発生すると
入射点はＳ２２となり、誤差Ｙ２が発生してしまい、正
確な測定ができないという問題があった。
（課題を解決するための手段）
本発明は、前記課題を解決すべくなされたもので実施例
に対応する第１図及び第２図で説明すると、本発明によ
る動的面出入り測定装置は、ミラーの回転により光を走
査する光偏向器９の回転中心軸を含む面内に入射及び反
射光路を含み、その反射光の通過時点を検出しトリガ信
号を発生するトリガ検出系５，６，７，８と、ミラー面
に垂直でない入射及び反射光路をもち前記トリガ検出系
によってトリガ信号が発生した時点の入射・反射光を含
む面内で、反射光にほぼ垂直方向の反射光の位置を検出
する面位置検出系１，２，３．４とを備えた動的面出入
り測定装置において、前記面位置検出系の光学系３とし
て、入射光ＬＸはミラー面９ａ上に焦点を持ち、反射光
光学系３はミラー９ａ上の焦点ｏ１と共役な像Ｆ１を反
射光位置検出器４上に結ぶ光学系としたことを特徴とす
る動的面出入り測定装置である。
に対応する第１図及び第２図で説明すると、本発明によ
る動的面出入り測定装置は、ミラーの回転により光を走
査する光偏向器９の回転中心軸を含む面内に入射及び反
射光路を含み、その反射光の通過時点を検出しトリガ信
号を発生するトリガ検出系５，６，７，８と、ミラー面
に垂直でない入射及び反射光路をもち前記トリガ検出系
によってトリガ信号が発生した時点の入射・反射光を含
む面内で、反射光にほぼ垂直方向の反射光の位置を検出
する面位置検出系１，２，３．４とを備えた動的面出入
り測定装置において、前記面位置検出系の光学系３とし
て、入射光ＬＸはミラー面９ａ上に焦点を持ち、反射光
光学系３はミラー９ａ上の焦点ｏ１と共役な像Ｆ１を反
射光位置検出器４上に結ぶ光学系としたことを特徴とす
る動的面出入り測定装置である。
（作用）
この場合ミラー面９ａ上の焦点０１と検出器４上の像点
Ｆ１が共役であるので、ミラー面９ａの表面状態によっ
て反射光の角度が変化しても、必ず反射光Ｌ２は検出器
４上の像点に集光する。また、面出入りがあったときに
は、ミラー面上の反射点が移動するため像点も移動する
ので移動量により面出入りが検出できる。
Ｆ１が共役であるので、ミラー面９ａの表面状態によっ
て反射光の角度が変化しても、必ず反射光Ｌ２は検出器
４上の像点に集光する。また、面出入りがあったときに
は、ミラー面上の反射点が移動するため像点も移動する
ので移動量により面出入りが検出できる。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例であって、１，５は光源、２
はミラー面上に入射光を集光する光学系、３は出射光を
検出器上に集光する光学系、４はビーム位置検出器、６
はトリガ検出器８上に出射光を集光する光学系、７はビ
ームスプリッタ、８はトリガ検出器、９は回転多面鏡で
ある。光源５から出てトリガ検出器８に入る光は回転多
面鏡９の回転軸を含む面内にあるのでトリガ検出器８は
面出入りの影響を受けずトリガ信号を発生する。この時
光源１から出ている光は、ビーム位置検出器４に入射す
る構成になっている。光源１から出た光は光学系２でミ
ラー面上に集光され、その反射光は光学系３によりビー
ム位置検出器４上に集光され入射する。トリガ発生時点
でのミラー面の方向は一定であるのでそのときのビーム
位置検出器の出力の変動は面出入りによるものと考えら
れ。
はミラー面上に入射光を集光する光学系、３は出射光を
検出器上に集光する光学系、４はビーム位置検出器、６
はトリガ検出器８上に出射光を集光する光学系、７はビ
ームスプリッタ、８はトリガ検出器、９は回転多面鏡で
ある。光源５から出てトリガ検出器８に入る光は回転多
面鏡９の回転軸を含む面内にあるのでトリガ検出器８は
面出入りの影響を受けずトリガ信号を発生する。この時
光源１から出ている光は、ビーム位置検出器４に入射す
る構成になっている。光源１から出た光は光学系２でミ
ラー面上に集光され、その反射光は光学系３によりビー
ム位置検出器４上に集光され入射する。トリガ発生時点
でのミラー面の方向は一定であるのでそのときのビーム
位置検出器の出力の変動は面出入りによるものと考えら
れ。
これから面出入りを測定できる。
次に第２図を用いて、光路を詳細に説明する。
入射光Ｌ１はミラー面９ａ上で焦点０１を結び。
反射光Ｌ２は光学系３により検出器４上で焦点Ｆ１を結
ぶ、ここでミラー面９ｂに示すように面出入りが発生す
ると反射は光路Ｌ３に移動し、見かけの焦点は０１から
０２に移動しそれと共役な検出器４上の焦点はＦｌから
Ｆ２に移動する。そのことにより検出器４上の光入射点
はＳｌとなり。
ぶ、ここでミラー面９ｂに示すように面出入りが発生す
ると反射は光路Ｌ３に移動し、見かけの焦点は０１から
０２に移動しそれと共役な検出器４上の焦点はＦｌから
Ｆ２に移動する。そのことにより検出器４上の光入射点
はＳｌとなり。
ＦｌとＳｌの距離ｘ１から面出入り量ｄが求められる。
さらに、ミラー面の状態により反射光がＬ４のように角
度誤差を発生してもそのときの検出器４上の光入射点は
Ｓ２となり、ＳｌとＳ２の差Ｙ１は、従来の方法でのＹ
２に比べ極めて小さく高精度な測定ができる。
度誤差を発生してもそのときの検出器４上の光入射点は
Ｓ２となり、ＳｌとＳ２の差Ｙ１は、従来の方法でのＹ
２に比べ極めて小さく高精度な測定ができる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明によれば従来の方法
に比べ、光偏向器の反射面の状態に影響されにくい高精
度な面出入り測定器を構成できる。
に比べ、光偏向器の反射面の状態に影響されにくい高精
度な面出入り測定器を構成できる。
第１図は本発明の構成図、第２図は本発明の原理図、第
３図は従来例の構成図、第４図は従来例の原理図である
。 １．２，２１，２４・・・光源 ２．３，６，２２，２５・・・集光光学系４．２３・・
・ビーム位置検出器 ７，２６・・・ビームスプリッタ ８．２７・・・トリガ検出器 ９．２８・・・光偏向器（回転多面鏡）９ ａ 、 ９
ｂ 、 ２８ ａ 、 ２８ ｂ−ミラー面ＬＬ、Ｌ
２．Ｌ３．Ｌ４．Ｌ２１．Ｌ２２゜Ｌ２３．Ｌ２４・・
・光路
３図は従来例の構成図、第４図は従来例の原理図である
。 １．２，２１，２４・・・光源 ２．３，６，２２，２５・・・集光光学系４．２３・・
・ビーム位置検出器 ７，２６・・・ビームスプリッタ ８．２７・・・トリガ検出器 ９．２８・・・光偏向器（回転多面鏡）９ ａ 、 ９
ｂ 、 ２８ ａ 、 ２８ ｂ−ミラー面ＬＬ、Ｌ
２．Ｌ３．Ｌ４．Ｌ２１．Ｌ２２゜Ｌ２３．Ｌ２４・・
・光路
Claims (1)
- ミラーの回転により光を走査する光偏向器の回転中心軸
を含む面内に入射及び反射光路を含み、その反射光の通
過時点を検出してトリガ信号を発生するトリガ検出系と
、ミラー面に垂直でない入射及び反射光路をもち前記ト
リガ検出系によってトリガ信号が発生した時点の入射・
反射光を含む面内で、反射光にほぼ垂直方向の反射光の
位置を検出する面位置検出系とを備えた動的面出入り測
定装置において、前記面位置検出系の光学系として、入
射光はミラー面上に焦点を持ち、反射光光学系はミラー
上の焦点と共役な像を反射光位置検出器上に結ぶ光学系
としたことを特徴とする動的面出入り測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25011490A JPH0735988B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 動的面出入り測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25011490A JPH0735988B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 動的面出入り測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130239A true JPH04130239A (ja) | 1992-05-01 |
| JPH0735988B2 JPH0735988B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=17203039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25011490A Expired - Lifetime JPH0735988B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 動的面出入り測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735988B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084331A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴンミラーモータの偏心測定装置 |
| JP2006132955A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴンミラーモータのミラー偏心および面出入りを測定する装置 |
| JP2007127911A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | Canon Inc | 光偏向装置の偏心測定装置及び偏心調整装置及びそれらを用いた走査光学装置及び画像形成装置 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP25011490A patent/JPH0735988B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084331A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴンミラーモータの偏心測定装置 |
| JP2006132955A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴンミラーモータのミラー偏心および面出入りを測定する装置 |
| JP2007127911A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | Canon Inc | 光偏向装置の偏心測定装置及び偏心調整装置及びそれらを用いた走査光学装置及び画像形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0735988B2 (ja) | 1995-04-19 |
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