JPH0413050U - - Google Patents
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- JPH0413050U JPH0413050U JP5051190U JP5051190U JPH0413050U JP H0413050 U JPH0413050 U JP H0413050U JP 5051190 U JP5051190 U JP 5051190U JP 5051190 U JP5051190 U JP 5051190U JP H0413050 U JPH0413050 U JP H0413050U
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- high frequency
- electrodes
- electrode
- electrostatic chuck
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- Pending
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- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す図である。第２
図は従来の例を示す図である。 １……ウエハー、２……絶縁物、３……静電吸
着用の正電極、４……静電吸着用の負電極、５…
…絶縁物、６……高周波印加用の電極、７……カ
バー、８……固定台、９……チヤンバー、１０…
…静電吸着用の直流電源、１１……ローパスフイ
ルター、１２……高周波電源、１３……整合回路
、１４……ターゲツト、１５……ターゲツト用サ
セプタ。
図は従来の例を示す図である。 １……ウエハー、２……絶縁物、３……静電吸
着用の正電極、４……静電吸着用の負電極、５…
…絶縁物、６……高周波印加用の電極、７……カ
バー、８……固定台、９……チヤンバー、１０…
…静電吸着用の直流電源、１１……ローパスフイ
ルター、１２……高周波電源、１３……整合回路
、１４……ターゲツト、１５……ターゲツト用サ
セプタ。
Claims (1)
- 電極間に吸着用の電流電圧を印加するための電
源と、一方の電極表面に絶縁物を被着して誘電体
を構成し、前記誘電体上に配置されたウエハーを
、静電気力により吸着する、少なくとも一対の静
電吸着用電極と、高周波電源に接続された高周波
印可用の電極とからなるスパツタ用静電チヤツク
式サセプタにおいて、チヤツク電極および高周波
電極の周囲に交換可能な非金属製のカバーを取り
付ける事を特徴とするスパツタ用静電チヤツク式
サセプタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5051190U JPH0413050U (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5051190U JPH0413050U (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0413050U true JPH0413050U (ja) | 1992-02-03 |
Family
ID=31569121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5051190U Pending JPH0413050U (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0413050U (ja) |
-
1990
- 1990-05-14 JP JP5051190U patent/JPH0413050U/ja active Pending
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