JPS5983971U - イオンプレ−テイング装置 - Google Patents
イオンプレ−テイング装置Info
- Publication number
- JPS5983971U JPS5983971U JP17966782U JP17966782U JPS5983971U JP S5983971 U JPS5983971 U JP S5983971U JP 17966782 U JP17966782 U JP 17966782U JP 17966782 U JP17966782 U JP 17966782U JP S5983971 U JPS5983971 U JP S5983971U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- ion plating
- choke coil
- evaporation source
- plating device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
添付図は本考案の一実施例を示した高周波イオンブレー
ティング装置の概略図である。 １：被排気室、９Ａ、 ９Ｂ：熱電子用電極、１０：
放電開始電源、１１：チョークコイル、１２：バイメタ
ルスイッチ。
ティング装置の概略図である。 １：被排気室、９Ａ、 ９Ｂ：熱電子用電極、１０：
放電開始電源、１１：チョークコイル、１２：バイメタ
ルスイッチ。
Claims (1)
- 被排気室内に配置された蒸発源と基板との間にグロー放
電を発生させ、蒸発源からの蒸発粒子をイオン化させる
様になした装置において、１対の電極、該電極にチョー
クコイルを介して電力を印加する為の電源、及び該電極
に流れる電流によって瞬時前記チョークコイルで発生し
た逆起電力を前記電極間に印加させる様に作動するスイ
ッチから成る放電開始装置を具備したイオンプレーティ
゛ング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17966782U JPS5983971U (ja) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | イオンプレ−テイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17966782U JPS5983971U (ja) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | イオンプレ−テイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983971U true JPS5983971U (ja) | 1984-06-06 |
Family
ID=30389768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17966782U Pending JPS5983971U (ja) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | イオンプレ−テイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983971U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01201470A (ja) * | 1988-02-04 | 1989-08-14 | Shinko Seiki Kk | イオン化装置及びイオンプレーティング装置 |
-
1982
- 1982-11-27 JP JP17966782U patent/JPS5983971U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01201470A (ja) * | 1988-02-04 | 1989-08-14 | Shinko Seiki Kk | イオン化装置及びイオンプレーティング装置 |
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