JPH04130902A - 低温槽の温度変化予測方法 - Google Patents
低温槽の温度変化予測方法Info
- Publication number
- JPH04130902A JPH04130902A JP2253516A JP25351690A JPH04130902A JP H04130902 A JPH04130902 A JP H04130902A JP 2253516 A JP2253516 A JP 2253516A JP 25351690 A JP25351690 A JP 25351690A JP H04130902 A JPH04130902 A JP H04130902A
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- JP
- Japan
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- temperature
- time
- section
- cryostat
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- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、冷凍機で冷却される低温槽の目標温度に到
達するまでの時間を予測するための低温槽の温度変化予
測方法に関するものである。
達するまでの時間を予測するための低温槽の温度変化予
測方法に関するものである。
〔従来の技術]
低温槽を冷却する冷凍機の冷却能力には、個体差9周囲
条件変化や経年変化があるために、例えば熱衝撃試験器
、恒温器等に用いられる設定温度が固定でない低温槽を
運転する場合は、ある温度から目標温度まで冷却するの
に要する時間を予測するのに、従来はオペレータの熟練
による勘に頼っていた。
条件変化や経年変化があるために、例えば熱衝撃試験器
、恒温器等に用いられる設定温度が固定でない低温槽を
運転する場合は、ある温度から目標温度まで冷却するの
に要する時間を予測するのに、従来はオペレータの熟練
による勘に頼っていた。
従来は低温槽が目標温度に達するまでに要する時間の予
測を、オペレータの勘により行っているため、未熟なオ
ペレータの場合は、予測の見積り時間に誤りが生じ易く
、このため、時間の無駄や冷凍機の無駄な運転が生して
いた。
測を、オペレータの勘により行っているため、未熟なオ
ペレータの場合は、予測の見積り時間に誤りが生じ易く
、このため、時間の無駄や冷凍機の無駄な運転が生して
いた。
この問題を解決するには、冷却時間と温度変化との関係
を表わす演算式を求め、この演算式に基づいて目標温度
に達するまでの時間を、演算装置により自動的に算出す
るように成せばよい。
を表わす演算式を求め、この演算式に基づいて目標温度
に達するまでの時間を、演算装置により自動的に算出す
るように成せばよい。
しかしながら、実際には冷凍機の冷却能力には個体差3
周囲条件変化や経年変化があるために、冷却時間に対す
る温度変化は常に一定とはならない。例えば、第8図は
+40’Cから一80°Cまで冷却する場合の温度変化
を示す特性図であるが、この特性カーブの傾きは、冷却
能力の個体差9周囲条件変化や経年変化により変化する
。このため、上記演算式を用いる方法は、上記冷却時間
に対する温度変化特性の変化に対応できないという問題
点があった。
周囲条件変化や経年変化があるために、冷却時間に対す
る温度変化は常に一定とはならない。例えば、第8図は
+40’Cから一80°Cまで冷却する場合の温度変化
を示す特性図であるが、この特性カーブの傾きは、冷却
能力の個体差9周囲条件変化や経年変化により変化する
。このため、上記演算式を用いる方法は、上記冷却時間
に対する温度変化特性の変化に対応できないという問題
点があった。
従って、この発明は冷凍機の冷却能力の個体差。
周囲条件変化や経年変化に拘らず、低温槽が目標温度に
到達するまでの時間を、常に精度よく知ることのできる
低温槽の温度変化予測方法を提供することを目的とする
。
到達するまでの時間を、常に精度よく知ることのできる
低温槽の温度変化予測方法を提供することを目的とする
。
この発明においては、低温槽の温度変化曲線を、予め設
定された複数区間の上限、下限温度を接続する折れ線で
近似して各区間の直線の傾きを求め、この傾きと上記下
限温度、冷却開始温度、目標温度等を用いて目標温度へ
の到達時間を算出するようにしている。
定された複数区間の上限、下限温度を接続する折れ線で
近似して各区間の直線の傾きを求め、この傾きと上記下
限温度、冷却開始温度、目標温度等を用いて目標温度へ
の到達時間を算出するようにしている。
低温槽が実際に動作している状態で測定された温度に基
づいて、温度変化及び目標温度への到達時間が算出され
、従って、冷凍機の冷却能力の個体差1周囲条件変化や
経年変化の影響を含めた上記目標温度への到達時間が得
られる。
づいて、温度変化及び目標温度への到達時間が算出され
、従って、冷凍機の冷却能力の個体差1周囲条件変化や
経年変化の影響を含めた上記目標温度への到達時間が得
られる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図において、1は低温槽、2は低温槽1を冷却する
冷凍機、3は低温槽1内の温度を測定する温度センサ、
4は温度センサ3のアナログの測定値をディジタルの測
定値に変換するA/D変換器、5は上記測定値を用いて
所定時間毎に後述する諸演算を行って、目標温度への到
達時間を算出する演算装置、6は演算装置5の演算動作
を所定時間毎に行わせるためのタイマ、7は演算装置5
の演算結果や演算式等が格納されるメモリ、8は演算装
置5で求められた上記目標温度への到達時間を示す信号
から表示信号を作る表示コントローラ、9は上記表示信
号により上記目標温度への到達時間を表示する表示部、
10は外部から所望データを入力するためのインターフ
ェースである。
冷凍機、3は低温槽1内の温度を測定する温度センサ、
4は温度センサ3のアナログの測定値をディジタルの測
定値に変換するA/D変換器、5は上記測定値を用いて
所定時間毎に後述する諸演算を行って、目標温度への到
達時間を算出する演算装置、6は演算装置5の演算動作
を所定時間毎に行わせるためのタイマ、7は演算装置5
の演算結果や演算式等が格納されるメモリ、8は演算装
置5で求められた上記目標温度への到達時間を示す信号
から表示信号を作る表示コントローラ、9は上記表示信
号により上記目標温度への到達時間を表示する表示部、
10は外部から所望データを入力するためのインターフ
ェースである。
なお、低温槽1は冷凍機2により常に冷却され、目標温
度より低下すると、ヒータ(図示せず)が働くことによ
り、常に目標温度を保持するように制御されている。
度より低下すると、ヒータ(図示せず)が働くことによ
り、常に目標温度を保持するように制御されている。
次に上記構成による動作を説明する。
低温槽lは冷凍機2により、ある温度から目標温度に向
けて冷却される。冷却中の低温槽Iの温度は温度センサ
3で測定され、・その測定値はA/D変換器4でディジ
タル化されて演算装置5に送られる。演算装置5はタイ
マ6の指示により、所定時間毎に上記測定値をサンプリ
ングし、このサンプル値に基づき、メモリ7に格納され
た演算式を用いて所定の演算を行う。この演算結果は、
表示コントローラ8を介して表示部9で表示される。
けて冷却される。冷却中の低温槽Iの温度は温度センサ
3で測定され、・その測定値はA/D変換器4でディジ
タル化されて演算装置5に送られる。演算装置5はタイ
マ6の指示により、所定時間毎に上記測定値をサンプリ
ングし、このサンプル値に基づき、メモリ7に格納され
た演算式を用いて所定の演算を行う。この演算結果は、
表示コントローラ8を介して表示部9で表示される。
これにより、表示部9は低温槽1が目標温度に到達する
時刻あるいは目標温度に到達するまでの時間を所定時間
毎に表示する。
時刻あるいは目標温度に到達するまでの時間を所定時間
毎に表示する。
次に、演算装置5で行われる演算について説明する。
この実施例においては、第2図(A)に示すような低温
槽1の実際の温度変化曲線を、同図(B)に示すような
折れ線で近似し、この近似折れ線の傾きに基づいて目標
温度に到達するまでの時間を求めるようにしている。
槽1の実際の温度変化曲線を、同図(B)に示すような
折れ線で近似し、この近似折れ線の傾きに基づいて目標
温度に到達するまでの時間を求めるようにしている。
第3図は第2図(B)の近似折れ線を表にしたものであ
る。
る。
第2図(B)及び第3図において、低温槽lの温度は一
80°C〜+50°Cの範囲外の値を取らないこととす
る。近似方法は一80°C〜+50°Cの全温度領域を
五つの区間に分割し、各々の区間内を直線で近似する。
80°C〜+50°Cの範囲外の値を取らないこととす
る。近似方法は一80°C〜+50°Cの全温度領域を
五つの区間に分割し、各々の区間内を直線で近似する。
また、その際各区間に区間番号(dn)を当てはめ、そ
れらの区間の下限温度。
れらの区間の下限温度。
上限温度を定めて、それぞれTj2d、Thdと呼ぶこ
ととする。各区間は直線として扱うので、近似折れ線を
決定することは、各区間内の温度変化に対する経過時間
の割合(単位〔分/”CL以後これを傾きと呼ぶ)をサ
ンプリングから決定することを意味する。実施に当たっ
ては、近似折れ線を決定する段階と、決定した近似折れ
線に基づいて目標温度到達時間を計算する段階との二つ
に分けられる。
ととする。各区間は直線として扱うので、近似折れ線を
決定することは、各区間内の温度変化に対する経過時間
の割合(単位〔分/”CL以後これを傾きと呼ぶ)をサ
ンプリングから決定することを意味する。実施に当たっ
ては、近似折れ線を決定する段階と、決定した近似折れ
線に基づいて目標温度到達時間を計算する段階との二つ
に分けられる。
第4図及び第5図は、近似折れ線の決定のために実行さ
れるフローチャートを示す。
れるフローチャートを示す。
第4図は傾き計算処理のための初期化処理であり、計算
処理開始時に一度だけ実行する。第5図は計算処理のメ
イン部分であり、初期化処理を実行した後、毎秒実行す
る。なお、これらの処理は低温[1が目標温度に向かっ
て降下中に実行される。また区間番号dnで示される各
区間の近似直線の傾きをang (dn)(単位〔分/
”C))で表わしている。
処理開始時に一度だけ実行する。第5図は計算処理のメ
イン部分であり、初期化処理を実行した後、毎秒実行す
る。なお、これらの処理は低温[1が目標温度に向かっ
て降下中に実行される。また区間番号dnで示される各
区間の近似直線の傾きをang (dn)(単位〔分/
”C))で表わしている。
第4図の初期化処理において、先ず、ステップSTIで
経過時間d、secをゼロに初期化し、次にステップS
T2でそのときの低温槽1の温度T1を検出し、その温
度T/2をステップST3で初期温度Tsとして記憶す
る。次にその温度T 1 (Ts)が第3回のテーブル
のどの区間に属するかを求め、その区間番号dnをステ
ップST5で区間番号の変数dpとして記憶する。
経過時間d、secをゼロに初期化し、次にステップS
T2でそのときの低温槽1の温度T1を検出し、その温
度T/2をステップST3で初期温度Tsとして記憶す
る。次にその温度T 1 (Ts)が第3回のテーブル
のどの区間に属するかを求め、その区間番号dnをステ
ップST5で区間番号の変数dpとして記憶する。
第5図の傾き計算処理において、先ず、ステップST6
で現在の低温槽1の温度Tfを取り込み、ステップST
7でTfが属す区間番号dnを算出し、ステップST8
でその温度Tlが現在記憶されている区間番号dpより
小さいか否か、即ち、温度が低下して次の区間に入って
いるか否かが判断される。次の区間に入っていればステ
ップST9に進み、ここで経過時間d、secが5分を
越えているか否かが判断される。5分を越えている場合
のみステップ5TIOでそれまでの区間におけるの演算
式により算出する。この演算式は第6図の温度変化曲線
の傾きを求めることになる。上記算出された傾きang
Cdp)の値で前回の傾きの値を更新した後、ステッ
プ5TIIで現在の区間の区間番号dnを区間番号ap
として記憶し、ステップ5T12でd、secをゼロと
し、さらにステップ5T13で現在の温度Tfを初期温
度Tsとして記憶する。そしてステップ5T14でd、
secに1秒を足した後、ステップST6から繰返す。
で現在の低温槽1の温度Tfを取り込み、ステップST
7でTfが属す区間番号dnを算出し、ステップST8
でその温度Tlが現在記憶されている区間番号dpより
小さいか否か、即ち、温度が低下して次の区間に入って
いるか否かが判断される。次の区間に入っていればステ
ップST9に進み、ここで経過時間d、secが5分を
越えているか否かが判断される。5分を越えている場合
のみステップ5TIOでそれまでの区間におけるの演算
式により算出する。この演算式は第6図の温度変化曲線
の傾きを求めることになる。上記算出された傾きang
Cdp)の値で前回の傾きの値を更新した後、ステッ
プ5TIIで現在の区間の区間番号dnを区間番号ap
として記憶し、ステップ5T12でd、secをゼロと
し、さらにステップ5T13で現在の温度Tfを初期温
度Tsとして記憶する。そしてステップ5T14でd、
secに1秒を足した後、ステップST6から繰返す。
上記ステップST9でd、secが5分以下の場合は信
軌性が低いものと見なして、傾きの値の更新は行わず、
そのままステップ5TII〜5T14の処理が行われる
。
軌性が低いものと見なして、傾きの値の更新は行わず、
そのままステップ5TII〜5T14の処理が行われる
。
また、上記ステップST8で次の区間に入っていないと
判断された場合は、ステップ5T15に進む。ここでd
、secが10分を越えていなければ傾きの値の更新は
行わず、ステップ5T14に行く。d、secが10分
を越えているときは、即ち、温度低下の傾きが小さく、
次の区間に移るのが遅い場合は、ステップ5T16に進
んで上記演算式を用いて傾きの値の更新を行った後、ス
テップ5T14に行く。
判断された場合は、ステップ5T15に進む。ここでd
、secが10分を越えていなければ傾きの値の更新は
行わず、ステップ5T14に行く。d、secが10分
を越えているときは、即ち、温度低下の傾きが小さく、
次の区間に移るのが遅い場合は、ステップ5T16に進
んで上記演算式を用いて傾きの値の更新を行った後、ス
テップ5T14に行く。
以上の処理を毎秒実行することにより、実際の温度変化
曲線(第2図(A))を5分割された近似折れ線(第2
図(B))として求めることができる。
曲線(第2図(A))を5分割された近似折れ線(第2
図(B))として求めることができる。
第7図は上記のようにして決定された近似折れ線に基づ
いて目標温度到達時間(以下、sumとして表す)を算
出するために実行されるフローチャートを示す。
いて目標温度到達時間(以下、sumとして表す)を算
出するために実行されるフローチャートを示す。
先ず、ステップST21で低温槽1の冷却開始温度Tf
を検出すると共に、ステップST2でsum=oに設定
し、さらにステップST23で上記Tfが属する区間の
区間番号dnを求め、これをiとして記憶する。そして
、ステップ5T24〜ST27の処理が区間番号を一つ
ずつ進めながら、その区間の下限温度Tld (i)が
目標温度より高い間に繰り返し実行される。即ち、ステ
ップST25では、その区間のTld (i)とTfと
の差にその区間の傾きang (i)を掛けた値に前回
のsumを加えた値で前回のsumを更新する。
を検出すると共に、ステップST2でsum=oに設定
し、さらにステップST23で上記Tfが属する区間の
区間番号dnを求め、これをiとして記憶する。そして
、ステップ5T24〜ST27の処理が区間番号を一つ
ずつ進めながら、その区間の下限温度Tld (i)が
目標温度より高い間に繰り返し実行される。即ち、ステ
ップST25では、その区間のTld (i)とTfと
の差にその区間の傾きang (i)を掛けた値に前回
のsumを加えた値で前回のsumを更新する。
次にステップ5T26でjを1つ進めて次の区間で同様
の処理を実行する。そして、Tld (i)が目標温度
以下となる区間に入ったら、ステップ5T28に進み、
目標温度とTfとその区間のang (i)とにより新
しいsumを算出し、それをステップST29で表示す
る。
の処理を実行する。そして、Tld (i)が目標温度
以下となる区間に入ったら、ステップ5T28に進み、
目標温度とTfとその区間のang (i)とにより新
しいsumを算出し、それをステップST29で表示す
る。
この発明によれば、低温槽の温度変化曲線を、予め設定
された複数区間の上限、下限温度を接続する折れ線で近
似して各区間の直線の傾きを求め、この傾きと上記下限
温度、冷却開始温度、目標温度等を用いて目標温度への
到達時間を算出するようにしたので、冷凍機の冷却能力
が常に更新され、このため求められた到達時間あるいは
到達時刻は、その冷凍機の現在の冷却能力に応じた値と
することができ、冷凍機の個体差によらず精度の高い予
測を行うことができる効果が得られる。
された複数区間の上限、下限温度を接続する折れ線で近
似して各区間の直線の傾きを求め、この傾きと上記下限
温度、冷却開始温度、目標温度等を用いて目標温度への
到達時間を算出するようにしたので、冷凍機の冷却能力
が常に更新され、このため求められた到達時間あるいは
到達時刻は、その冷凍機の現在の冷却能力に応じた値と
することができ、冷凍機の個体差によらず精度の高い予
測を行うことができる効果が得られる。
第1図はこの発明の一実施例による低温槽の温度変化予
測方法を示すブロック図、第2図はこの発明の一実施例
による低温槽の温度変化予測方法を説明するための特性
図、第3図は温度範囲を複数区間に分けた場合の各区間
の温度域を示すテーブル図、第4図及び第5図は近似折
れ線を求める処理で実行されるフローチャート、第6図
は直線の傾きの算出を行う演算式を説明するための特性
図、第7図は目標温度への到達時間を算出する処理で実
行されるフローチャート、第8図は低温槽の時間に対す
る温度変化の一例を示す特性図である。 1は低温槽、2は冷凍機、3は温度センサ、5は演算装
置、6はタイマ。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 同 上 タハイエスペック株式会社 第 図 第 図 第 図 終占戸開 第 ワ 図
測方法を示すブロック図、第2図はこの発明の一実施例
による低温槽の温度変化予測方法を説明するための特性
図、第3図は温度範囲を複数区間に分けた場合の各区間
の温度域を示すテーブル図、第4図及び第5図は近似折
れ線を求める処理で実行されるフローチャート、第6図
は直線の傾きの算出を行う演算式を説明するための特性
図、第7図は目標温度への到達時間を算出する処理で実
行されるフローチャート、第8図は低温槽の時間に対す
る温度変化の一例を示す特性図である。 1は低温槽、2は冷凍機、3は温度センサ、5は演算装
置、6はタイマ。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 同 上 タハイエスペック株式会社 第 図 第 図 第 図 終占戸開 第 ワ 図
Claims (1)
- 冷凍機により冷却される低温槽の所定の温度範囲をそれ
ぞれ上限温度と下限温度が設定された複数の区間に分け
、上記低温槽の温度のサンプル値に基づいて上記複数の
区間の温度変化を直線で近似すると共に各区間の直線の
傾きを算出し、上記各区間の下限温度、上記低温槽の冷
却開始温度、目標温度及び上記傾き等に基づいて上記目
標温度に到達するまでの時間を算出するようにした低温
槽の温度変化予測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253516A JPH04130902A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 低温槽の温度変化予測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253516A JPH04130902A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 低温槽の温度変化予測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130902A true JPH04130902A (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=17252458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2253516A Pending JPH04130902A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 低温槽の温度変化予測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04130902A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01190427A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-07-31 | Sekisui Chem Co Ltd | 自動昇温制御システム |
| JPH01313385A (ja) * | 1988-06-09 | 1989-12-18 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体単結晶の直径制御方法 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP2253516A patent/JPH04130902A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01190427A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-07-31 | Sekisui Chem Co Ltd | 自動昇温制御システム |
| JPH01313385A (ja) * | 1988-06-09 | 1989-12-18 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体単結晶の直径制御方法 |
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