JPH04133300A - Ｓｏｒ光装置における光取り出しラインの真空排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、光取り出しラインの端部を窓材で・封止せ
ずに試料チャンバへ連通させて、ＳＯＲ光を試料チャン
バ内の試料へ照射するＳＯＲ光装置において、試料チャ
ンバからの気体分子が光取り出しラインを通って電子ビ
ームダクト内に流入するのを防・止するためσ）真空排
気装置に関し、簡易な構成でこれを実現したものである
。

〔従妹の技術〕

近年、シンクロトロン装置は、ＳＯＲ光装置とし、て、
超々Ｌ　Ｓ　Ｉ回路の作成、医療分野における診断、物
性実験等様々な分野への適用か期待されている。

物性実験を行なうＳＯＲ光装置の概要を第２図に示す。

ＳＯＲ光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１
０で発生した電子ビ、−ムは直線加速器（ライナック）
１２て光速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電
磁石１６で偏向されて、インフレクタ１８を介してシン
クロトロンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リン
グ２２に入射された電子ビームは高周波加速空洞２１で
エネルギを与えられながら収束電磁石２３で収束され、
偏向電磁石２４で偏向されて真空ダクト２２内を周回し
続ける。偏向電磁石２４て偏向される時に発生するＳＯ
ＲＯＲ光音９取り出しライン２６を通して出射されて、
試料チャンバ２８に送られる。

試料チャンバ２８内には実験対象の試料か収容されてい
て、この試料にＳＯＲＯＲ光音９射されて、その回折光
等から物性が解析される。

軟Ｘ線のＳＯＲ光を用いた物性実験においては、軟Ｘ線
に対して透明な窓材が存在しないため、光取り出しライ
ン２６の端部は第３図に示すように窓材で封止せずに試
料チャンバ２８内に連通させている。このような構造で
は、蓄積リング２２と試料チャンバ２８との真空度の違
いが問題となる。

すなわち、試料チャンバ２８内はもともと蓄積リング２
２内はどの高真空が得られていないうえに、ＳＯＲＯＲ
光音９料３０に照射することにより試料３０からガスが
放出される。これらの気体分子３２が光取り出しライン
２６を通って蓄積リング２２内に流入すると蓄積リング
２２内を周回している電子ビームかこの気体分子３２に
衝突して消滅、してしまい、電子ビームの周回に支障を
きたす。

そこで、これを防止するため、差動排気を行なって、試
料チャンク・２８からの気体分子３２か蓄積リング２２
に流れ込まないようにする必要かある。

従来においては、第３図に示すように、光取り出しライ
ン２６の端部付近に外付けの真空ポンプ３４を連結して
差動排気を行ない、試料チャンクく２８からの気体分子
３２を排気するようにして、蓄積リング２２への流入を
阻止していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記従来の真空排気装置では、外付けの真空ポンプ３４
を使用するため、装置が大がかりとなるうえに真空排気
効率が悪い欠点があった。

この発明は、前記従来の技術における問題点を解決して
、試料チャンバからの気体分子を簡易な構成で排気する
ことができるＳＯＲ光装置における光取り出しラインの
真空排気装置を提供しようとするものである。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は、光取り出しラインの端部を窓材て封止せず
に試料チャンバへ連通させて、ＳＯＲ光を試料チャンバ
内の試料へ照射するＳＯＲ光装置において、前記光取り
出しライン内に電極を配設して、前記ＳＯＲ光の照射て
イオン化された前記試料チャンバからの気体分子をこの
電極で吸着排気することを特徴とするものである。

〔作　用〕

この発明によれば、試料チャンバ内にもともと存在しま
たはＳＯＲ光の照射により試料から放出された気体分子
は、さらにＳＯＲ光の照射を受けてイオン化するので、
光取り出しライン内に電極を配設しておくことにより、
イオン化された気体分子をこの電極に吸着して排気する
ことができ、蓄積リング等の電子ビームダクトへの気体
分子の流入を阻止することができる。これによれば、光
取り出しライン内に電極を設ければよいので、前記従来
の外付けの真空ポンプを用いたものに比べて簡易に実現
することができるとともに、光取り出しライン内で直接
吸着排気するので、前記従来の外付けの真空ポンプを用
いたものに比べて効率良い真空排気装置を実現すること
ができる。

〔実施例〕

この発明の一実施例を第１図に示す。ＳＯＲ光装置の蓄
積リングにおける電子ビームの偏向位置からは、その接
線方向に光取り出しライン２６が接続されている。光取
り出しライン２６の端部は窓材で封止せずに試料チャン
バ２８に連通されている。試料チャンバ２８は外部から
密閉された容器で構成され、その中に物性実験対象の試
料３０が収容されている。

光取り出しライン２６内には、その出力端付近またはラ
イン全体にわたってＳＯＲＯＲ光音９行な電極３５．３
６が対向配置されている。これら電極３５．３６間には
直流電源３８が印加されて、それらの間の空間に電界Ｅ
を生じさせている（第１図のＡ−Ａ矢視図である第４図
参照）。

蓄積リング２２（第２図）の偏向位置から放射された軟
Ｘ線のＳＯＲＯＲ光音９光取り出しライン２６を通って
試料チャンバ２８に送り込まれて、試料３０に照射され
る。試料チャンバ２８はもともと蓄積リング２２よりも
真空度が低いうえに、ＳＯＲＯＲ光合９射により試料３
０からはガスが放出される。これらの気体分子３２は、
さらにＳＯＲＯＲ光合９射によりイオン化される。イオ
ン化された気体分子３２′は、試料チャンバ２８から光
取り出しライン２６に流出すると、電界Ｅの作用により
電極３５．３６に吸着されるので（吸着された気体分子
を３２′で示す。）、蓄積リング２２へ流入するのは阻
止される。

なお気体分子３２に効率よ＜ＳＯＲＯＲ光合９射してイ
オン化を促進するためには、光取り出しライン２６は全
体をまたは少くとも試料チャンバ２８の出口から電極３
５．３６の入口に至るまでの部分の少くとも一部をＳＯ
ＲＯＲ光合９過を妨げない程度の細径に形成するのがよ
い。

うにしたが、これだけで足りない場合には、外付けの真
空ポンプを併用することもできる。このようにしても、
前記第３図の外付けの真空ポンプ３４だけで排気する場
合に比べて、外付けの真空ポンプの負担を軽減すること
かできるので、外付けの真空ポンプは小型のもので済む
ようになる。

また、前記実施例では軟Ｘ線のＳＯＲ光を使用した物性
実験にこの発明を適用した場合について説明したが、軟
Ｘ線以外のＳＯＲ光を使用する場合にも窓なして使用す
る場合にはこの発明を適用することができる。また、物
性実験以外の用途にも適用することができる。

また、この発明は、ライフラーやアンジュレータ−等に
おける光取り出しラインにも適用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、試料チャンバ
内の気体分子にＳＯＲ光を照射してイオン化し、光取り
出しライン内に配設された電極でこれを吸着して排気す
るようにしたので、蓄積リング等の電子ビームダクトへ
の気体分子の流入を阻止することができる。そして、こ
れによれば、光取り出しライン内に電極を設ければよい
ので、前記従来の外付けの真空ポンプを用いたものに比
べて簡易に実現することかできるとともに、光取り出し
ライン内で直接吸着排気するので、前記従来の外付けの
真空ポンプを用いたものに比べて効率良い真空排気装置
を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例を示す図で、光取り出し
ラインおよび試料チャンバ内の構成を示す概要図である
。 第２図は、この発明が適用されるＳＯＲ光装置概要を示
す平面図である。 第３図は、従来の真空排気装置を示す概要図である。 第４図は、第１図のＡ−Ａ矢視図である。 １・・・ＳＯＲ光装置、２６・・・光取り出しライン、
２８・・・試料チャンバ、２９・・・ＳＯＲ光、３０・
・・試料、３２・・・気体分子、３２′・・・イオン化
された気体分子、３２′・・・吸着された気体分子、３
．５．３６・・・電極。 ３２″明１だ木交灸杯ケＪ 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光取り出しラインの端部を窓材で封止せずに試料チャン
   バへ連通させて、ＳＯＲ光を試料チャンバ内の試料へ照
   射するＳＯＲ光装置において、前記光取り出しライン内
   に電極を配設して、前記ＳＯＲ光の照射でイオン化され
   た前記試料チャンバからの気体分子をこの電極で吸着排
   気することを特徴とするＳＯＲ光装置における光取り出
   しラインの真空排気装置。