JPH04133299A - Ｓｏｒ光装置における光取り出しラインの真空排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、光取り出しラインの端部を窓材て封止せず
に試料チャンバへ連通させて、ＳＯＲ光を試料チャンバ
内の試料へ照射するＳＯＲ光装置において、試料チャン
バからの気体分子か光取り出しラインを通って電子ビー
ムダクト内に流入するのを防止するための真空排気装置
に関し、簡易な構成でこれを実現したものである。

〔従来の技術〕

近年、シンクロトロン装置は、ＳＯＲ光装置として、超
々ＬＳ１回路の作成、医療分野における診断、物性実験
等様々な分野への適用が期待されている。

物性実験を行なうＳＯＲ光装置の概要を第２図に示す。

ＳＯＲ光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１
０で発生した電子ビームは直線加速器（ライナック）］
２で光速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁
石１６て偏向されて、インフレクタ１８を介してシンク
ロトロンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング
２２に入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエ
ネルギを与えられなから収束電磁石２３で収束され、偏
向電磁石２４て偏向されて真空ダクト２２内を周回し続
ける。偏向電磁石２４て偏向される時に発生するＳＯＲ
光２９は光取り出しライン２６を通して出射されて、試
料チャンバ２８に送られる。

試料チャンバ２８内には実験対象の試料が収容されてい
て、この試料にＳＯＲ光２９が照射されて、その回折光
等から物性が解析される。

軟Ｘ線のＳＯＲ光を用いた物性実験においては、軟Ｘ線
に対して透明な窓材か存在しないため、光取り出しライ
ン２６の端部は第３図に示すように窓材で封止せずに試
料チャンバ２８内に連通させている。このような構造で
は、蓄積リンク２２と試料チャンバ２８との真空度の違
いか問題となる。

すなわち、試料チャンバ２８内はもともと蓄積リング２
２内はどの高真空が得られていないうえに、ＳＯＲ光２
９を試料３０に照射することにより試料３０からガスが
放出される。これらの気体分子３２が光取り出しライン
２６を通って蓄積リング２２内に流入すると蓄積リング
２２内を周回している電子ビームかこの気体分子３２に
衝突して消滅してしまい、電子ビームの周回に支障をき
たす。

そこで、これを防止するため、差動排気を行なって、試
料チャンバ２８からの気体分子３２か蓄積リング２２に
流れ込まないようにする必要がある。

従来においては、第３図に示すように、光取り出しライ
ン２６の端部付近に外付けの真空ポンプ３４を連結して
差動排気を行ない、試料チャンバ２８からの気体分子３
２を排気するようにして、蓄積リング２２への流入を阻
止していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記従来の真空排気装置では、外付けの真空ポンプ３４
を使用するため、装置か大がかりとなるうえに真空排気
効率か悪い欠点があった。

この発明は、前記従来の技術における問題点を解決して
、試料チャンバからの気体分子を簡易な構成で排気する
ことかできるＳＯＲ光装置における光取り出しラインの
真空排気装置を提供しようとするものである。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は、光取り出しラインの端部を窓材で封止せず
に試料チャンバへ連通させて、ＳＯＲ光を試料チャンバ
内の試料へ照射するＳＯＲ光装置において、前記光取り
出しライン内にガス吸着金属蒸発槽を配設するとともに
、その前後の位置で光取り出しラインを遮断するゲート
バルブをそれぞれ配設してなり、ＳＯＲ光照射を行なわ
ない時に前記両ゲートバルブを遮断してガス吸着金属蒸
発槽からガス吸着金属を蒸発させて光取り出しラインの
内周面にガス吸着金属膜を形成し、ＳＯＲ光照射を行な
う時にガス吸着金属の蒸発を停止して前記両ゲートバル
ブを開いてＳＯＲ光を前記試料に照射し、この時ＳＯＲ
光の照射てイオン化された前記試料チャンバからの気体
分子を前記光取り出しライン内周面のガス吸着金属膜で
吸着排気することを特徴とするものである。

〔作　用〕

この発明によれば、ＳＯＲ光照射を行なわない時に光取
り出しラインの両ゲートバルブを遮断してガス吸着金属
蒸発槽からガス吸着金属を蒸発させて光取り出しライン
の内周面にガス吸着膜を形成し、ＳＯＲ光照射を行なう
時にガス吸着金属の蒸発を停止して前記両ゲートバルブ
、を開いてＳＯＲ光を前記試料に照射し、この時ＳＯＲ
光の照射でイオン化された前記試料チャンバからの気体
分子を前記光取り出しライン内周面のガス吸着金属蒸着
膜で吸着排気することができ、蓄積リング等の電子ビー
ムダクトへの気体分子の流入を阻止することができる。

これによれば、光取り出しライン内にガス吸着金属槽と
その前後にゲートバルブを設ければよいので、前記従来
の外付けの真空ポンプを用いたものに比べて簡易に実現
することができるとともに、光取り出しライン内で吸着
排気するので、外付けの真空ポンプを用いた場合に比べ
て真空排気効率が向上する。

〔実施例〕

この発明の一実施例を第１図に示す。第１図において、
（ａ）はガス吸着金属の蒸着膜を形成している状態、（
ｂ）はＳＯＲＯＲ光合９料３０に照射して物性実験を行
なっている状態である。

ＳＯＲ光装置の蓄積リングにおける電子ビームの偏向位
置からは、その接線方向に光取り出しライン２６が接続
されている。光取り出しライン２６の端部は窓材て封止
せすに試料チャンバ２８に連通されている。試料チャン
バ２８は外部から密閉された容器で構成され、その中に
物性実験対象の試料３０が収容されている。

光取り出しライン２６内には、その端部付近の側面に凹
状のガス吸着金属槽３６か形成され、その中にチタン、
マグネシウム、タングステン等のガス吸着金属３８か収
容されている。ガス吸着金属槽３６は、収容されている
カス吸着金属３８を加熱して昇華させる。

光取り出しライン２６におけるガス吸着金属槽３６の前
後の位置には、光取り出しライン２６を遮断するゲート
バルブ４０．４２か配設されている。

第１図の真空排気装置を使用する場合は、ます同図（ａ
）のようにゲートバルブ４０．４２を閉じて、ガス吸着
金属蒸発槽３６内のガス吸着金属３８を加熱して、昇華
させる。昇華したカス吸着金［３８′はゲートバルブ４
０．４２て閉しられた空間の内周面に蒸着されて、ガス
吸着金属膜３８′を形成する。

ガス吸着金属膜３８′が形成されたら、同図（ｂ）のよ
うにゲートバルブ４０．４２を開く。

これにより、蓄積リング２２（第２図）の偏向位置から
放射された軟Ｘ線のＳＯＲＯＲ光合９光取り出しライン
２６を通って試料チャンバ２８に送り込まれて、試料３
０に照射される。試料チャンバ２８はもともと蓄積リン
グ２２よりも真空度か低いうえに、ＳＯＲＯＲ光合９射
により試料３０からはガスか放出される。これらの気体
分子３２は、さらにＳＯＲＯＲ光合９射によりイオン化
される。イオン化された気体分子３２′は、試料チャン
バ２８から光取り出しライン２６に流出するとガス吸着
金属膜３８′に吸着されるので（吸着された気体分子を
３２′で示す。）、蓄積リング２２への流入は阻止され
る。

吸着能力が低下したら、再びゲートバルブ４０゜４２を
閉じて、新たなガス金属吸着膜３８′を形成して、吸着
を行なう。

なお気体分子３２に効率よ＜ＳＯＲＯＲ光合９射してイ
オン化を促進するためには、光取り出しライン２６は全
体をまたは少くとも試料チャンバ２８の出口からマイナ
ス電極３６の入口に至るまでの部分の少くとも一部をＳ
ＯＲＯＲ光合９過を妨げない程度に細径に形成するのか
よい。

〔変更例〕

なお、前記実施例ではガス吸着金属膜３８′たけて真空
排気するようにしたが、これだけで足りない場合には、
外付けの真空ポンプを併用することもできる。このよう
にしても、前記第３図の外付けの真空ポンプ３４たけて
排気する場合に比べて、外付けの真空ポンプの負担を軽
減することかできるので、外付けの真空ポンプは小型の
もので済むようになる。

また、前記実施例では軟Ｘ線のＳＯＲ光を使用した物性
実験にこの発明を適用した場合について説明したが、軟
Ｘ線以外のＳＯＲ光を使用する場合にも窓なしで使用す
る場合にはこの発明を適用することができる。また、物
性実験以外の用途にも適用することができる。

また、この発明は、ウィグラーやアンジュレータ−等に
おける光取り出しラインにも適用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、Ｓ。

Ｒ光照射を行なわない時に光取り出しラインの両ゲート
バルブを遮断してガス吸着金属蒸発槽がらガス吸着金属
を蒸発させて光取り出しラインの内周面にガス吸着膜を
形成し、ＳＯＲ光照射を行なう時にガス吸着金属の蒸発
を停止して前記両ゲトバルブを開いてＳＯＲ光を前記試
料に照射し、この時ＳＯＲ光の照射でイオン化された前
記試料チャンバからの気体分子を前記光取り出しライン
内周面のガス吸着金属蒸着膜で吸着排気することかでき
、蓄積リング等の電子ビームダクトへの気体分子の流入
を阻止することができる。そして、これによれば、光取
り出しライン内にガス吸着金属槽とその前後にゲートバ
ルブを設ければよいので、前記従来の外付けの真空ポン
プを用いたものに比べて簡易に実現することができると
もに、光取り出しライン内で吸着排気するので、外付け
の真空ポンプを用いた場合に比べて真空排気効率が向上
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例を示す図で、光取り出し
ラインおよび試料チャンバ内の構成を示す概要図である
。 第２図は、この発明が適用されるＳＯＲ光装置概要を示
す平面図である。 第３図は、従来の真空排気装置を示す概要図である。 １・・・ＳＯＲ光装置、２６・・・光取り出しライン、
２６′・・・光取り出しライン内周面、２８・・・試料
チャンバ　２９・・・ＳＯＲ光、３ｏ・・・試料、３２
・・−気体分子、３２′・・・イオン化された気体分子
、３２′・・・吸着された気体分子、３６由ガス吸着金
属蒸発槽、３８・・・ガス吸着金属、３８′・・・昇華
したガス吸着金属、３８′・・・ガス吸着金属膜、４０
．４２・・・ゲートバルブ。 出願人　　石川島播磨重工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 光取り出しラインの端部を窓材で封止せずに試料チャン
   バへ連通させて、ＳＯＲ光を試料チャンバ内の試料へ照
   射するＳＯＲ光装置において、前記光取り出しライン内
   にガス吸着金属蒸発槽を配設するとともに、その前後の
   位置で光取り出しラインを遮断するゲートバルブをそれ
   ぞれ配設してなり、 ＳＯＲ光照射を行なわない時に前記両ゲートバルブを遮
   断してガス吸着金属蒸発槽からガス吸着金属を蒸発させ
   て光取り出しラインの内周面にガス吸着金属膜を形成し
   、ＳＯＲ光照射を行なう時にガス吸着金属の蒸発を停止
   して前記両ゲートバルブを開いてＳＯＲ光を前記試料に
   照射し、この時ＳＯＲ光の照射でイオン化された前記試
   料チャンバからの気体分子を前記光取り出しライン内周
   面のガス吸着金属膜で吸着排気することを特徴とするＳ
   ＯＲ光装置における光取り出しラインの真空排気装置。