JPH04133342U - イオン注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ファラデー系のアースに対する絶縁性能を簡
単に判定することができるようにする。 【構成】 ファラデー系２０に流れるビーム電流を計測
するビーム電流計測回路２６の他に、ファラデー系２０
のアースに対する絶縁性能を判定する絶縁性能判定回路
４０と、ファラデー系２０をこの絶縁性能判定回路４０
とビーム電流計測回路２６とに切り換える切換器２８と
を設けた。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、イオン注入装置に関し、より具体的には、そのファラデー系のア ースに対する絶縁性能を判定する手段に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図２は、従来のイオン注入装置の一例を示す概略図である。

【０００３】 このイオン注入装置は、基本的には、真空容器４内に設けたプラテン８に装着 されたターゲット（例えばウェーハ）６に、図示しない走査手段によって走査さ れたイオンビーム２を照射してイオン注入を行うよう構成されている。

【０００４】 プラテン８は、ターゲット６の着脱等のために、回転軸１０によって矢印Ａの ように立てたり倒したりされる。

【０００５】 プラテン８の上流側には、イオンビーム２がターゲット６やプラテン８に当た った際に放出される二次電子がアースへ逃げるのを防止してイオンビーム２のビ ーム電流の計測を正確に行うために、ファラデーケース（ファラデーカップやフ ァラデーケージとも呼ばれる）１２を設けている。

【０００６】 また、この例ではプラテン８の上流側に、回転軸１８によって矢印Ｂのように 立てたり倒したりされるフラッグ１４を配置して、更にそのフラッグ１４の背面 側にファラデーカップ１６を配置して、ターゲット６に対するイオン注入時以外 にフラッグ１４を立てて、その開口部１４ａを通過したイオンビーム２のビーム 電流を計測してイオンビーム２の集束度等を確認することができるようにしてい る。

【０００７】 この例では、上記のようなプラテン８、回転軸１０、ファラデーケース１２、 フラッグ１４、ファラデーカップ１６および回転軸１８によってファラデー系２ ０が構成されている。従って、このファラデー系２０を構成する全ての要素はア ースから電気的に絶縁されている。

【０００８】 そして、この例では抵抗２２および電流計２４を含むビーム電流計測回路２６ をこのファラデー系２０とアース間に接続して、ターゲット６に対するイオン注 入時のイオンビーム２のビーム電流を正確に計測することができるようにしてい る。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上記イオン注入装置においては、運転を続けている内に、イオンビ ーム２がプラテン８等に当たることによって放出されるスパッタ粒子やその他の パーティクル（ごみ等）によって、ファラデー系２０のアースに対する絶縁性能 が低下する可能性があり、そうなると、絶縁性能が低下した部分からビーム電流 がアースへ分流してしまい、そのぶんビーム電流計測回路２６に流れるビーム電 流が少なくなるので、ビーム電流計測回路２６によるビーム電流の計測に誤差が 生じるという問題がある。ちなみにこのような誤差が生じると、通常はターゲッ ト６に対するイオン注入量（ドーズ量）はこのビーム電流計測回路２６で計測し たビーム電流に基づいて制御しているので、ターゲット６に対するイオン注入量 は所望のものより多くなってしまう。

【００１０】 そこでこの考案は、上記のようなファラデー系のアースに対する絶縁性能を簡 単に判定することができるようにしたイオン注入装置を提供することを主たる目 的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案のイオン注入装置は、前記ファラデー系の アースに対する絶縁性能を判定する絶縁性能判定回路と、前記ファラデー系をこ の絶縁性能判定回路と前記ビーム電流計測回路とに切り換える切換器とを設けた ことを特徴とする。

【００１２】

【作用】

上記構成によれば、切換器によってファラデー系を絶縁性能判定回路側に切り 換えることによって、ファラデー系のアースに対する絶縁性能を簡単に判定する ことができる。

【００１３】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係るイオン注入装置を示す概略図である。図２ の従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従 来例との相違点を主に説明する。

【００１４】 この実施例においては、従来の構成に加えて、前述したようなファラデー系２ ０のアースに対する絶縁性能を判定する絶縁性能判定回路４０と、ファラデー系 ２０をこの絶縁性能判定回路４０と前述したようなビーム電流計測回路２６とに 切り換える切換器２８とを設けている。

【００１５】 切換器２８は、リレーでも良いし、スイッチ等でも良い。

【００１６】 絶縁性能判定回路４０は、この実施例では、直流電源３０と、アースを経由し てこの直流電源３０に流れる電流を電圧に変換する抵抗３２、３４と、それから の電圧が基準電圧源３６によって設定された基準値を超えたときに警報信号Ｓを 出力する比較器３８とを備えている。

【００１７】 上記構成によれば、切換器２８を絶縁性能判定回路４０側に切り換えると、直 流電源３０の電圧がファラデー系２０に印加され、そのアースに対する絶縁性能 が低下していると、この直流電源３０からの電流が抵抗３２、３４、アースおよ びファラデー系２０を経由して流れて比較器３８に対する入力電圧が高くなり、 これが基準値を超えると当該比較器３８から警報信号Ｓが発せられる。これによ って、ファラデー系２０のアースに対する絶縁性能を簡単に判定することができ る。

【００１８】 ちなみに上記のような判定は、例えば、ターゲット６に対するイオン注入の前 に行えば良い。そして、ファラデー系２０の絶縁性能に異常がなければ、切換器 ２８をビーム電流計測回路２６側に切り換えてそれによるイオンビーム２のビー ム電流計測が可能な状態にしてイオン注入を始めれば良い。もしファラデー系２ ０の絶縁性能が悪いと判定された場合は、比較器３８からの警報信号Ｓを用いて 、イオン注入動作にインターロックをかけても良いし、警報表示を出すようにし ても良い。このようにすることにより、ビーム電流の計測誤差に伴うターゲット ６への過多注入といった注入量異常が発生するのを防止することができる。

【００１９】 なお、上記絶縁性能判定回路４０の構成はあくまでも一例であり、上記以外の 構成によってファラデー系２０のアースに対する絶縁性能を判定しても良いのは 勿論である。

【００２０】 また、ファラデー系２０の構成も上記例のようなものに限定されるものではな く、例えば、フラッグ１４、ファラデーカップ１６および回転軸１８を含まない ファラデー系等でも良い。

【００２１】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、切換器を絶縁性能判定回路側に切り換えるこ とによって、ファラデー系のアースに対する絶縁性能を簡単に判定することがで きる。その結果、ターゲットに対する注入量異常が発生するのを未然に防止する ことも可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の一実施例に係るイオン注入装置を
示す概略図である。

【図２】 従来のイオン処理装置の一例を示す概略図で
ある

【符号の説明】

２ イオンビーム ６ ターゲット ８ プラテン １２ ファラデーケース ２０ ファラデー系 ２６ ビーム電流計測回路 ２８ 切換器 ４０ 絶縁性能判定回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｌ 21/265

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 イオンビームのビーム電流を計測するた
   めのファラデー系と、このファラデー系に流れるビーム
   電流を計測するビーム電流計測回路とを備えるイオン注
   入装置において、前記ファラデー系のアースに対する絶
   縁性能を判定する絶縁性能判定回路と、前記ファラデー
   系をこの絶縁性能判定回路と前記ビーム電流計測回路と
   に切り換える切換器とを設けたことを特徴とするイオン
   注入装置。