JPH04134185A - 熱操作によるアクチュエータ - Google Patents
熱操作によるアクチュエータInfo
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- JPH04134185A JPH04134185A JP2256400A JP25640090A JPH04134185A JP H04134185 A JPH04134185 A JP H04134185A JP 2256400 A JP2256400 A JP 2256400A JP 25640090 A JP25640090 A JP 25640090A JP H04134185 A JPH04134185 A JP H04134185A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4298—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with non-coherent light sources and/or radiation detectors, e.g. lamps, incandescent bulbs, scintillation chambers
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- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
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- A61B34/70—Manipulators specially adapted for use in surgery
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
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- G02B6/3616—Holders, macro size fixtures for mechanically holding or positioning fibres, e.g. on an optical bench
- G02B6/3624—Fibre head, e.g. fibre probe termination
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S385/90—Solar collector or transmitter
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、機械的に物を操作するアクチュエータに関し
、特に、医療、バイオ、その他の産業の分野で、生体組
織９機械要素等比較的に小型のもの、例えば内視鏡、カ
テーテル、細胞操作マニピュレータ、狭所作業用ロボッ
トのマニュピユレータ、を操作するためのアクチュエー
タに関する。
、特に、医療、バイオ、その他の産業の分野で、生体組
織９機械要素等比較的に小型のもの、例えば内視鏡、カ
テーテル、細胞操作マニピュレータ、狭所作業用ロボッ
トのマニュピユレータ、を操作するためのアクチュエー
タに関する。
（従来の技術）
三次元モードの運動を自由に生成するアクチユエータと
してエアー駆動のアクチュエータが提案され（「マイク
ロマニピュレータの開発（１）」、鈴森等、第６回日本
ロボット学会学術講演会予稿集、ＰＰ ２７５，２７６
、昭和６３年１０月）、また形状記憶合金を利用したア
クチュエータが提案されている（「形状記憶合金アクチ
ュエータの開発」、広瀬１日本ロボット学会誌、Ｖｏｌ
、５、ＰＰ ３〜１７．１９８７年）。
してエアー駆動のアクチュエータが提案され（「マイク
ロマニピュレータの開発（１）」、鈴森等、第６回日本
ロボット学会学術講演会予稿集、ＰＰ ２７５，２７６
、昭和６３年１０月）、また形状記憶合金を利用したア
クチュエータが提案されている（「形状記憶合金アクチ
ュエータの開発」、広瀬１日本ロボット学会誌、Ｖｏｌ
、５、ＰＰ ３〜１７．１９８７年）。
前者は横断面に３つの圧力室を持っＦＲＲの成形品に、
３−本のチューブを通じて各圧力室にエアーを給、排す
ることで圧力を加減し作動させるアクチュエータであり
、各圧力室の内圧制御をすることにより３次元モードの
運動を自由に生成することができる。
３−本のチューブを通じて各圧力室にエアーを給、排す
ることで圧力を加減し作動させるアクチュエータであり
、各圧力室の内圧制御をすることにより３次元モードの
運動を自由に生成することができる。
後者は立体的に配置された複数個の形状記憶合金にそれ
ぞれ独立に電気を流すことにより発熱。
ぞれ独立に電気を流すことにより発熱。
変形させ作動させるアクチュエータであり、各々の形状
記憶合金に流す電流を制御することにより３次元モード
の運動を自由に生成することが可能である。例として内
視鏡に適用した例が説明されている。
記憶合金に流す電流を制御することにより３次元モード
の運動を自由に生成することが可能である。例として内
視鏡に適用した例が説明されている。
（発明が解決しようとする課題）
前者はしかし、アクチュエータを微小化した場合、各圧
力室内にエアーを供給するチューブ内では慣性力よりも
粘性力が支配的になり、粘性抵抗により各圧力室内にエ
アーを供給することが困難となりアクチュエータが作動
しなくなる。したがって超小型化は無理である。
力室内にエアーを供給するチューブ内では慣性力よりも
粘性力が支配的になり、粘性抵抗により各圧力室内にエ
アーを供給することが困難となりアクチュエータが作動
しなくなる。したがって超小型化は無理である。
後者は、それを実際に生体内に使用した場合、アクチュ
エータより電気が漏れると生体に障害をもたらし安全性
に問題があることが考えられる。
エータより電気が漏れると生体に障害をもたらし安全性
に問題があることが考えられる。
以上の外に、細胞操作用の微小マニピュレータとして静
電気利用型のものと圧電素子利用型の物が考えられてい
る。しかし両者とも漏電による細胞破壊の問題が派生す
る。
電気利用型のものと圧電素子利用型の物が考えられてい
る。しかし両者とも漏電による細胞破壊の問題が派生す
る。
本発明は、電気配線を要せず、比較的に小型に形成しう
るアクチュエータを提供することを目的とする。
るアクチュエータを提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明のアクチュエータは、少くとも一部分が内部の圧
力上昇に伴って膨らむ隔壁（７）で囲まれた内空間（１
５）と、該内空間（１５）内に封入された熱膨張性流体
（気体）と、該内空間（１５）内にある光−熱変換手段
（６）と、該内空間（１５）内に光を導入する光導体（
２）と、を備える。
力上昇に伴って膨らむ隔壁（７）で囲まれた内空間（１
５）と、該内空間（１５）内に封入された熱膨張性流体
（気体）と、該内空間（１５）内にある光−熱変換手段
（６）と、該内空間（１５）内に光を導入する光導体（
２）と、を備える。
なお、カッコ内に記号は、図面を参照して後述する実施
例の対応要素を示す。
例の対応要素を示す。
（作用）
光導体（２）が内空間（１５）に光を与えると、光−熱
変換手段（６）が発熱し、これにより内空間（１５）の
流体（気体）が膨張する。すると内空間（１５）の圧力
が上昇して隔壁（７）が膨らむ。この膨らみによるアク
チュエータの変形で、物（５）をある方向に操作するこ
とができる。光導体（２）の光が速断えると、光−熱変
換手段（６）の発熱が停止し、アクチュエータが放熱に
より冷えるに従がって内空間（１５）の内圧が低下しこ
れに伴って隔壁（７）が収縮する。この収縮により物（
５）が前記ある方向とは逆の方向に戻る。
変換手段（６）が発熱し、これにより内空間（１５）の
流体（気体）が膨張する。すると内空間（１５）の圧力
が上昇して隔壁（７）が膨らむ。この膨らみによるアク
チュエータの変形で、物（５）をある方向に操作するこ
とができる。光導体（２）の光が速断えると、光−熱変
換手段（６）の発熱が停止し、アクチュエータが放熱に
より冷えるに従がって内空間（１５）の内圧が低下しこ
れに伴って隔壁（７）が収縮する。この収縮により物（
５）が前記ある方向とは逆の方向に戻る。
このようにアクチュエータは光照射（光オン）／非照射
（光オフ）で動作するので、アクチュエータには電気配
線はなく、光ファイバなどの光導体を配線すればよい。
（光オフ）で動作するので、アクチュエータには電気配
線はなく、光ファイバなどの光導体を配線すればよい。
したがって、上述の電気配線によるトラブルは生じない
し、アクチュエータ自身また光導体を、マイクロオーダ
などの極微小体に形成しうる。
し、アクチュエータ自身また光導体を、マイクロオーダ
などの極微小体に形成しうる。
本発明の他の目的および特徴は、図面を参照した以下の
実施例の説明より明らかになろう。
実施例の説明より明らかになろう。
（実施例）
第１図に本発明の一実施例の外観を示す。第１図に示す
アクチュエータ３がこの発明の一実施例であり、このア
クチュエータ３に光ファイバ２を介して、光源およびコ
ントローラを内蔵する制御装置１が、光を与える。
アクチュエータ３がこの発明の一実施例であり、このア
クチュエータ３に光ファイバ２を介して、光源およびコ
ントローラを内蔵する制御装置１が、光を与える。
第２図にアクチュエータ３を拡大して示し、第３図にそ
の一部を破断して内部を示し、第４図に縦断面図を示す
。これらの図面を参照すると、アクチュエータ３は、微
小な対象物をつかむための二本のレバー５．レバー５を
開（二点鎖線位置）／閉（実線位Ｗ）するためのダイア
フラム４およびダイアフラム４の内部に光を照射するた
めの光ファイバ２で構成されている。アクチュエータ３
の内部空間１５に切欠部１６を通して光ファイバ２の先
端が挿入されている。内部空間１５には、光−熱変換を
効率よく行うため光−熱変換物質（カーボンファイバ）
６が封入されている。ダイアフラム４の膨張膜７は二酸
化シリコン（Ｓｉ０２ ）である。膨張膜７とレバー５
の間には微細な空隙がある。光ファイバ２とダイアフラ
ム４の間の空隙はシール材８で埋めである。
の一部を破断して内部を示し、第４図に縦断面図を示す
。これらの図面を参照すると、アクチュエータ３は、微
小な対象物をつかむための二本のレバー５．レバー５を
開（二点鎖線位置）／閉（実線位Ｗ）するためのダイア
フラム４およびダイアフラム４の内部に光を照射するた
めの光ファイバ２で構成されている。アクチュエータ３
の内部空間１５に切欠部１６を通して光ファイバ２の先
端が挿入されている。内部空間１５には、光−熱変換を
効率よく行うため光−熱変換物質（カーボンファイバ）
６が封入されている。ダイアフラム４の膨張膜７は二酸
化シリコン（Ｓｉ０２ ）である。膨張膜７とレバー５
の間には微細な空隙がある。光ファイバ２とダイアフラ
ム４の間の空隙はシール材８で埋めである。
制御装ｆｌｌの内部の光源を点灯すると光ファイバ２を
通してアクチュエータ３の内部空°間１５に光が照射さ
れる。この光の大部分が光−熱変換物質６により熱に変
換され光−熱変換物質６の温度が上昇しこれに伴って内
部空間１５のガスが膨張し、内部空間１５の圧力が上昇
して、膨張膜７が外方に膨らむ（第４図の２点鎖線）。
通してアクチュエータ３の内部空°間１５に光が照射さ
れる。この光の大部分が光−熱変換物質６により熱に変
換され光−熱変換物質６の温度が上昇しこれに伴って内
部空間１５のガスが膨張し、内部空間１５の圧力が上昇
して、膨張膜７が外方に膨らむ（第４図の２点鎖線）。
膨張膜７がレバー５を外方に押すのでレバー５の右端が
開く（２点鎖線）。制御装置１が光源を消灯すると、自
然冷却により内部空間１５の温度が低下しガスが収縮し
これに伴って膨張膜７の膨出が縮退し、レバー５が初期
位置（実線位Ｎ）に戻る。
開く（２点鎖線）。制御装置１が光源を消灯すると、自
然冷却により内部空間１５の温度が低下しガスが収縮し
これに伴って膨張膜７の膨出が縮退し、レバー５が初期
位置（実線位Ｎ）に戻る。
微小物をつかむときには、制御装置ＩＩの光源を点灯し
てレバー５を開き（２点鎖線）、レバー５間に微小物を
置いて光源を消灯する。これにより微小物はレバー５間
に挟まれる。微小物を離すときには制御装置１の光源を
点灯する。
てレバー５を開き（２点鎖線）、レバー５間に微小物を
置いて光源を消灯する。これにより微小物はレバー５間
に挟まれる。微小物を離すときには制御装置１の光源を
点灯する。
次に、上述のアクチュエータ３の製造法を説明する。
（１）まず、第５ａ図に示すように、シリコン基板１０
の表面にＳｉ○２薄膜７を形成する。
の表面にＳｉ○２薄膜７を形成する。
（２）次にフォトリソグラフィにより第５ｂ図に示すよ
うに、ダイアフラムチップ（４）を分離するための窓１
７を形成する。
うに、ダイアフラムチップ（４）を分離するための窓１
７を形成する。
（３）次にダイアフラム４とレバー５の間の空隙を形成
するための犠牲層１１を真空蒸着により形成する（第５
ｃ図）。
するための犠牲層１１を真空蒸着により形成する（第５
ｃ図）。
（４）更に犠牲層１１の一部にレバー５の根元とダイア
フラム４とを接合するための窓１８をフォトリングラフ
ィにより形成する（第５ｄ図）。
フラム４とを接合するための窓１８をフォトリングラフ
ィにより形成する（第５ｄ図）。
（５）その上にレバー５の材料（例えばＮ１Ｃｒ） １
２をスパッタリングにより形成する（第５ｅ図）。
２をスパッタリングにより形成する（第５ｅ図）。
（６）次いでフォトリソグラフィによりレバー５を形成
する（第５ｆ図）。
する（第５ｆ図）。
（７）裏面にエツチングのマスク材となる薄膜（Ｓｉ０
２）１−３を形成する（第５ｇ図）。
２）１−３を形成する（第５ｇ図）。
（８）続いて裏面のパターンとの位置合せを行った後、
裏面のパターン（分離パターン）をフォトリソグラフィ
により窓開けする（第５ｈ図）。
裏面のパターン（分離パターン）をフォトリソグラフィ
により窓開けする（第５ｈ図）。
（９）次に異方性エツチングにより切欠部１４゜１５及
び１６を形成する（第５１図、第５ｊ図）。
び１６を形成する（第５１図、第５ｊ図）。
以上により、−個のレバー５を装着したダイアフラム４
の半体が出来上る。
の半体が出来上る。
（１０）以上のように製造したダイアフラム半体２個を
、それらの間にカーボンファイバ６を入れかつ光ファイ
バ２の先端を挟み、シール材８で接合する（第５に図、
第５１２図）。
、それらの間にカーボンファイバ６を入れかつ光ファイ
バ２の先端を挟み、シール材８で接合する（第５に図、
第５１２図）。
なお、内部空間１５に封入するガス条件（種類。
圧力等）は、上述の（１０）の工程で設定する。
以上に説明した実施例では、膨張膜７が５１０２である
が、膨張膜７は、５ｉ０２の代りに、あるいはそれと共
に、金属又は合成樹脂膜としてもよい。
が、膨張膜７は、５ｉ０２の代りに、あるいはそれと共
に、金属又は合成樹脂膜としてもよい。
本発明のもう１つの実施例では、ダイアフラム半体を第
６ｃ図に示すように、５ｉ０２膜７に、レバー５と同じ
材質の金属（ＮｉＣｒ）膜５１をスパッタリングして、
膨張膜を５ｉ０２薄膜と金属膜５１の複合膜としている
。第６ｃ図に示すダイアフラム半体２つで、第５に図に
示す工程を経て、上述の第１実施例と同様な形状のアク
チュエータが組立てられる。この製造工程を次に説明す
る。
６ｃ図に示すように、５ｉ０２膜７に、レバー５と同じ
材質の金属（ＮｉＣｒ）膜５１をスパッタリングして、
膨張膜を５ｉ０２薄膜と金属膜５１の複合膜としている
。第６ｃ図に示すダイアフラム半体２つで、第５に図に
示す工程を経て、上述の第１実施例と同様な形状のアク
チュエータが組立てられる。この製造工程を次に説明す
る。
（１ａ）まず、第５ａ図に示すように、シリコン基板１
０の表面に５ｉ０２薄膜７を形成する。
０の表面に５ｉ０２薄膜７を形成する。
（ｌｂ） Ｓ ｉ○２薄膜７の表面に、金属薄膜５１の
材料（ＮｉＣｒ）５１をスパッタリングにより形成する
（第６ａ図）。
材料（ＮｉＣｒ）５１をスパッタリングにより形成する
（第６ａ図）。
（２）次にフォトリソグラフィにより第６ｂ図に示すよ
うに、ダイアフラムチップ（４）を分離するための窓１
７を形成する。
うに、ダイアフラムチップ（４）を分離するための窓１
７を形成する。
（３）次にダイアフラム４とレバー５の間の空隙を形成
するための犠牲層１１を真空蒸着により形成する（第５
ｃ図）。
するための犠牲層１１を真空蒸着により形成する（第５
ｃ図）。
（４）更に犠牲層１１の一部にレバー５の根元とダイア
フラム４とを接合するための窓１８をフォトリングラフ
ィにより形成する（第５ｄ図）。
フラム４とを接合するための窓１８をフォトリングラフ
ィにより形成する（第５ｄ図）。
（５）その上にレバー５の材料（ＮｉＣｒ）１２を真空
蒸着により形成する（第５ｅ図）６ （６）次いでフォトリングラフィによりレバー５を形成
する（第５ｆ図）。
蒸着により形成する（第５ｅ図）６ （６）次いでフォトリングラフィによりレバー５を形成
する（第５ｆ図）。
（７）裏面にエツチングのマスク材となる薄膜（Ｓｉ０
２ ） ｌ ３を形成する（第５ｇ図）。
２ ） ｌ ３を形成する（第５ｇ図）。
（８）続いて裏面のパターンとの位置合せを行った後、
裏面のパターン（分離パターン）をフォトリソグラフィ
により窓開けする（第５ｈ図）。
裏面のパターン（分離パターン）をフォトリソグラフィ
により窓開けする（第５ｈ図）。
（９）次に異方性エツチングにより切欠部１４゜１５及
び１６を形成する（第５１図、第６ｃ図）。
び１６を形成する（第５１図、第６ｃ図）。
以上により、−個のレバー５を装着したダイアフラム４
の半体が出来上る。
の半体が出来上る。
（１０）以上のように製造したダイアフラム半体２個を
、それらの間ににカーボンファイバ６を入れかつ光ファ
イバ２の先端を挟み、シール材８で接合する（第５に図
、第５１図）。
、それらの間ににカーボンファイバ６を入れかつ光ファ
イバ２の先端を挟み、シール材８で接合する（第５に図
、第５１図）。
なお、内部空間１５に封入するガス条件（種類。
圧力等）は、上述の（１０）の工程で設定する。
この第２実施例では、Ｓ ｉ Ｏ２膜７は極く薄いもの
で良い。
で良い。
本発明のもう１つの実施例を第７ａ’図に示す。
この第３実施例は、基礎板２３と作用子となる上板２４
との間に、多数のダイアフラム素子２２を３次元に配設
したものであり、各ダイアプラム素子には、制御装置１
１９より、光フアイバケーブル２０の各光ファイバを通
して、個別に光が与えら九る。
との間に、多数のダイアフラム素子２２を３次元に配設
したものであり、各ダイアプラム素子には、制御装置１
１９より、光フアイバケーブル２０の各光ファイバを通
して、個別に光が与えら九る。
第７ｂ図に、−個のダイアフラム素子２２ｉｊｋの拡大
縦断面を示す。２個のシリコン（Ｓｉ）リング４１と４
２の間に光ファイバ２が挾まれ、リング４１の上開口は
可撓性が高い合成樹脂膜７１で閉じられ、リング４２の
下開口も可撓性が高い合成樹脂膜７１で閉じられている
。リング４１と４２とは接合されており、それらの内部
空間にカボンファイバ６が収納されている。
縦断面を示す。２個のシリコン（Ｓｉ）リング４１と４
２の間に光ファイバ２が挾まれ、リング４１の上開口は
可撓性が高い合成樹脂膜７１で閉じられ、リング４２の
下開口も可撓性が高い合成樹脂膜７１で閉じられている
。リング４１と４２とは接合されており、それらの内部
空間にカボンファイバ６が収納されている。
合成樹脂膜７１の中心部には、ダイアフラム素子２２ｉ
ｊｋの上に位置するもう１つのダイアフラム素子２２ｉ
ｊ（ｋ＋１）の下底である合成樹脂膜の中心部が接合さ
れており、合成樹脂膜７２の中心部には、ダイアフラム
素子２２ユＪｋの下に位置するもう１つのダイアフラム
素子２２ｉｊ（ｋ−１）の上蓋である合成樹脂膜の中心
部が接合されている。このようにして複数個のダイアフ
ラム素子を茶筒状に結合したダイアフラム素子列は、そ
れぞれの素子に光が与えられると伸張し、光が速断える
と収縮する。
ｊｋの上に位置するもう１つのダイアフラム素子２２ｉ
ｊ（ｋ＋１）の下底である合成樹脂膜の中心部が接合さ
れており、合成樹脂膜７２の中心部には、ダイアフラム
素子２２ユＪｋの下に位置するもう１つのダイアフラム
素子２２ｉｊ（ｋ−１）の上蓋である合成樹脂膜の中心
部が接合されている。このようにして複数個のダイアフ
ラム素子を茶筒状に結合したダイアフラム素子列は、そ
れぞれの素子に光が与えられると伸張し、光が速断える
と収縮する。
このようなダイアフラム素子列の複数個（９個）が、第
７ａ図においては２次元方向に配列されている。
７ａ図においては２次元方向に配列されている。
９個のダイアフラム素子列のそれぞれへの光供給／非供
給の組合せにより、基礎板２３に対して上板２４が、上
昇／降下ならびに色々な方向に傾斜もしくは傾倒するこ
とになり、上板２４を可撓性板とすると、上板２４を色
々な形状に屈曲させることができる。
給の組合せにより、基礎板２３に対して上板２４が、上
昇／降下ならびに色々な方向に傾斜もしくは傾倒するこ
とになり、上板２４を可撓性板とすると、上板２４を色
々な形状に屈曲させることができる。
以上の通り本発明によれば、アクチュエータは光照射（
光オン）／非照射（光オフ）で動作するので、アクチュ
エータには電気配線はなく、光ファイバなどの光導体を
配線すればよい。したがって、電気配線によるトラブル
は生じないし、アクチュエータ自身また光導体を、マイ
クロオーダなどの極微小体に形成しろる。
光オン）／非照射（光オフ）で動作するので、アクチュ
エータには電気配線はなく、光ファイバなどの光導体を
配線すればよい。したがって、電気配線によるトラブル
は生じないし、アクチュエータ自身また光導体を、マイ
クロオーダなどの極微小体に形成しろる。
第１図は、本発明の一実施例の外観を示す斜視図である
。 第２図は、第１図に示すアクチュエータ３の拡大斜視図
である。 第３図は、第１図に示すアクチュエータ３の、一部分を
破断して示す拡大斜視図である。 第４図は、第２図に示すアクチュエータ３の縦断面図で
ある。 第５ａ図、第５ｂ図、第５ｃ図、第５ｄ図、第５ｅ図、
第５ｆ図、第５ｇ図、第５ｈ図、第５１図、第５ｊ図、
第５に図、第５１図、第６ａ図。 第６ｂ図および第６ｃ図は、アクチュエータ３の製造工
程各段階におけるアクチュエータ基材の拡大縦断面図で
ある。 第７ａ図は、本発明のもう１つの実施例の外観を示す斜
視図である。 第７ｂ図は、第７ａ図に示すダイアフラム素子２２の１
つの拡大縦断面図である。 １：制御装置 ２：光ファイバ３：アクチュ
エータ ４：ダイアフラム５ニレバー ６：カーボンファイバ（光−熱変換手段）７：膨張膜（
隔壁） ８：シール材１０：シリコン基板
１１：犠牲層１２ニレバー５の材料 １３：マスク材となる薄膜 １４：切欠部 】５：内部空間（内空間）１６
：切欠部 １７：窓 １８：窓 １９：制御装置２０：光フアイ
バケーブル ２２：ダイアフラム素子 二基礎板 ２４：上板 ４１゜ ４２：シリコンリング ：金属膜 （隔壁） １ 。 ７２：合成樹脂膜
。 第２図は、第１図に示すアクチュエータ３の拡大斜視図
である。 第３図は、第１図に示すアクチュエータ３の、一部分を
破断して示す拡大斜視図である。 第４図は、第２図に示すアクチュエータ３の縦断面図で
ある。 第５ａ図、第５ｂ図、第５ｃ図、第５ｄ図、第５ｅ図、
第５ｆ図、第５ｇ図、第５ｈ図、第５１図、第５ｊ図、
第５に図、第５１図、第６ａ図。 第６ｂ図および第６ｃ図は、アクチュエータ３の製造工
程各段階におけるアクチュエータ基材の拡大縦断面図で
ある。 第７ａ図は、本発明のもう１つの実施例の外観を示す斜
視図である。 第７ｂ図は、第７ａ図に示すダイアフラム素子２２の１
つの拡大縦断面図である。 １：制御装置 ２：光ファイバ３：アクチュ
エータ ４：ダイアフラム５ニレバー ６：カーボンファイバ（光−熱変換手段）７：膨張膜（
隔壁） ８：シール材１０：シリコン基板
１１：犠牲層１２ニレバー５の材料 １３：マスク材となる薄膜 １４：切欠部 】５：内部空間（内空間）１６
：切欠部 １７：窓 １８：窓 １９：制御装置２０：光フアイ
バケーブル ２２：ダイアフラム素子 二基礎板 ２４：上板 ４１゜ ４２：シリコンリング ：金属膜 （隔壁） １ 。 ７２：合成樹脂膜
Claims (1)
- 少くとも一部分が内部の圧力上昇に伴って膨らむ隔壁
で囲まれた内空間と、該内空間内に封入された熱膨張性
流体と、該内空間内にある光−熱変換手段と、該内空間
内に光を導入する光導体と、を備える熱操作によるアク
チュエータ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2256400A JP2926605B2 (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 | 熱操作によるアクチュエータ |
| US07/764,677 US5214737A (en) | 1990-09-26 | 1991-09-25 | Optically operated actuator |
| US07/838,097 US5218666A (en) | 1990-09-26 | 1992-02-20 | Light operated mechanical actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2256400A JP2926605B2 (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 | 熱操作によるアクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04134185A true JPH04134185A (ja) | 1992-05-08 |
| JP2926605B2 JP2926605B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=17292155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2256400A Expired - Fee Related JP2926605B2 (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 | 熱操作によるアクチュエータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5214737A (ja) |
| JP (1) | JP2926605B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329968A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-12-07 | Seiko Instruments Inc | 近視野光発生素子の製造方法 |
| JP2011090001A (ja) * | 2005-04-26 | 2011-05-06 | Seiko Instruments Inc | 近視野光発生素子の製造方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107795443A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-03-13 | 南京理工大学 | 光推进仿生肌肉动力系统及其做功方法 |
| CN110308514B (zh) * | 2019-07-26 | 2021-01-26 | 南京邮电大学 | 基于光波导结构的微驱动器 |
| WO2025213039A1 (en) * | 2024-04-05 | 2025-10-09 | The Regents Of The University Of California | Actuators |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3847547A (en) * | 1972-11-24 | 1974-11-12 | France Etat | Process and apparatus for detecting of the presence of a liquid |
| US4259593A (en) * | 1976-02-26 | 1981-03-31 | Gte Laboratories Incorporated | High voltage control devices |
| US4065593A (en) * | 1976-04-14 | 1977-12-27 | Hercules Incorporated | Solar energy absorber |
| US4758695A (en) * | 1986-09-03 | 1988-07-19 | Texas Instruments Incorporated | Automotive transmission control system and improved longevity therefor |
| US4821997A (en) * | 1986-09-24 | 1989-04-18 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Integrated, microminiature electric-to-fluidic valve and pressure/flow regulator |
| US4943032A (en) * | 1986-09-24 | 1990-07-24 | Stanford University | Integrated, microminiature electric to fluidic valve and pressure/flow regulator |
| US4940896A (en) * | 1989-02-02 | 1990-07-10 | The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services | Pyroelectric calorimeter |
-
1990
- 1990-09-26 JP JP2256400A patent/JP2926605B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-09-25 US US07/764,677 patent/US5214737A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329968A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-12-07 | Seiko Instruments Inc | 近視野光発生素子の製造方法 |
| JP2011090001A (ja) * | 2005-04-26 | 2011-05-06 | Seiko Instruments Inc | 近視野光発生素子の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5214737A (en) | 1993-05-25 |
| JP2926605B2 (ja) | 1999-07-28 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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