JPH041341U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH041341U JPH041341U JP4052290U JP4052290U JPH041341U JP H041341 U JPH041341 U JP H041341U JP 4052290 U JP4052290 U JP 4052290U JP 4052290 U JP4052290 U JP 4052290U JP H041341 U JPH041341 U JP H041341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- exhaust
- air
- blower
- clean
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は、クリーンルーム内外の各設備の配置
を示す概略平面図である。第２図は、クリーンル
ーム内で使用するクリーンベンチの概略側面断面
図である。 ３……クリーンベンチ、１１……吸気用送風機
、１７……排気用送風機、１８……作業室。
を示す概略平面図である。第２図は、クリーンル
ーム内で使用するクリーンベンチの概略側面断面
図である。 ３……クリーンベンチ、１１……吸気用送風機
、１７……排気用送風機、１８……作業室。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) クリーンルーム内に供給する空気とは別に
、供給する空気をクリーンルーム外から取り、該
空気の供給量に対して排気量を１．０〜１．１倍
に設定した局所排気設備を組込んだクリーンベン
チを有する、ことを特徴とするクリーンルーム。 (2) 請求項１記載のクリーンルームにおいて、
クリーンベンチは、空気を清浄にするフイルタと
、該フイルタの下流に配置した吸気用送風機と、
該吸気用送風機の下流に配置されかつクリーンル
ーム内に連通可能な作業室と、該作業室の下流に
配置した排気用送風機と、を有し、排気用送風機
の排気量を吸気用送風機の吸気量の１．０〜１．
１倍に設定し、これによつて、前記作業室内の排
気圧をクリーンルーム内の空気圧の１．０〜１．
１倍に設定する、ことを特徴とするクリーンルー
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4052290U JPH041341U (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4052290U JPH041341U (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH041341U true JPH041341U (ja) | 1992-01-08 |
Family
ID=31550383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4052290U Pending JPH041341U (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH041341U (ja) |
-
1990
- 1990-04-16 JP JP4052290U patent/JPH041341U/ja active Pending