JPH04134681A - ヘッド位置決め機構 - Google Patents

ヘッド位置決め機構

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JPH04134681A
JPH04134681A JP25596790A JP25596790A JPH04134681A JP H04134681 A JPH04134681 A JP H04134681A JP 25596790 A JP25596790 A JP 25596790A JP 25596790 A JP25596790 A JP 25596790A JP H04134681 A JPH04134681 A JP H04134681A
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JP
Japan
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head
actuator
sub
positioning mechanism
thermal expansion
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JP25596790A
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English (en)
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Takaharu Ariga
敬治 有賀
Tomoyoshi Yamada
朋良 山田
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要] 磁気ディスク装置等における記録ディスクに対するヘッ
ド位置決め機構に関し、 アクセスアームの一部に微小変位素子を、該アクセスア
ームの構造部材の熱膨脹率と整合するように組み込んだ
ピギーバックアクチュエータからなる副アクチュエータ
を設けることにより、該副アクチュエータでの異常熱変
形がなく、かつデータ用ヘッドを独立して高精度に位置
決めすることを可能とすることを目的とし、 記録ディスクの半径方向に主アクチュエータにより揺動
するアクセスアームとヘッドを支持したヘッド支持ばね
とを、枠構造支持体により連結したヘッド位置決め機構
において、前記枠構造支持体のヘッド側に伸びる梁の全
体、または一部に微小変位素子と、該枠構造支持体を構
成する他の梁の熱膨脹率と整合する補償用部材との接続
体からなる微小変位用副アクチュエータを設け、該副ア
クチュエータによりヘッド支持ばねを主アクチュエータ
とは独立して記録ディスクの半径方向に微小変位可能と
した構成とする。
また、前記枠構造支持体は、ヘッド支持ばねに接続され
る第1の梁と、この第1の梁及びアクセスアームにそれ
ぞれ接続された第2の梁と、これらの梁を接続する第3
の梁とを三角形に枠組した形状からなり、該第3の梁の
全体、または一部に前記微小変位用副アクチュエータを
組み込んだ構成とする。
更に、前記微小変位用副アクチュエータに組み込まれた
微小変位素子は、積層型圧電素子、若しくは磁歪素子か
らなる構成とする。
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ディスク装置等における記録ディスクに対
するヘッド位置決め機構に関するものである。
近年、電算機システムの外部記憶装置として用いられて
いる磁気ディスク装置では、情報処理量の増大と多様化
に伴って記録密度の向上が著しく、特に高トランク密度
化においては磁気ヘッドのより高精度な位置決めが不可
欠であり、ヘッド位置決め系の精密機構技術を高めるこ
とが重要となる。
また、そのような高トラツク密度化に伴い、例えばサー
ボ面サーボ方式によるヘッド位置決め等にあっては、磁
気ディスクに対するサーボ位置決め用磁気へンドとデー
タ用磁気ヘッドとが、装置内の温度変化等による僅かな
熱変形などにより微小にずれて磁気ディスクに対するデ
ータ用磁気ヘッドが位置ずれを起こす所謂、サーマルオ
フトラックが生じてリード・ライトエラーが発生し易い
傾向にある。このため、そのような磁気ディスクに対す
るデータ用磁気ヘッドのサーマルオフトランクを低減し
てヘッド位置決め精度を高める機構が要望されている。
〔従来の技術〕
磁気ディスク装置における高トラツク密度化では10μ
−以下のトラックピッチが要求され、またオフトラック
量もサブミクロンのオーダーが要求されている。従って
、オフトラックの最も主因とされているサーマルオフト
ラックを低減するために、ヘッド位置決め機構の熱的な
歪みや変形の減少緩和を図った多(の機構技術の改良を
行ってきた。しかし、オフトラック量もサブミクロンの
オーダーとなると低減対策にも限界があった。
そこでそのようなオフトラックを積極的に補正するヘッ
ド位置決め機構として、複数枚の磁気ディスクの各デー
タ面に対して、第4図に示すようにデータ用磁気ヘッド
3とサーボ面にサーボ位置決め用磁気ヘッド(図示せず
)とをヘッド支持ばね2を介して例えばボイスコイルモ
ータ(VoiceCoi IMotor、 V CM)
駆動の主アクチュエータ(図示省略)に連結されたアク
セスアーム1により支持し、かつ該アクセスアーム1の
一部に積層型圧電素子等の微小変位素子4を組み込んだ
副アクチュエータ5、所謂ピギーバックアクチュエータ
を用いたヘッド位置決め機構が提案されている。
この位置決め機構では、前記磁気ディスクのサーボ面に
予め記録されたサーボ位置情報をサーボ位置決め用磁気
ヘッドで読み出し、そのサーボ位置情報に基づいて前記
主アクチュエータを駆動することにより、各データ用磁
気ヘッド3を対応する磁気ディスクの各データ面におけ
る目標記録トラックに移動すると共に、前記副アクチュ
エータ5を駆動して各データ用磁気ヘッド3をそれぞれ
独立して記録トラックと直交する左右方向に微小に揺動
変位させて当該目標記録トラックに精度よく位置決めし
、或いはサーマルオフトラックによるヘッドの位置ずれ
を補正する。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで前記アクセスアームIの一部に組み込まれた微
小変位素子4、例えば積層型圧電素子は複数のPZT素
子を積層した構成からなり、その両端子間に電圧を印加
することにより数μmのオーダーで変位するので、各デ
ータ用磁気ヘッド3の位置情報が常に正確に得られれば
、各データ用磁気ヘッド3を1〜2μ霧のオーダで微小
に変位制御することは可能であるが、その積層型圧電素
子がアクセスアーム1の一部に単純に組み込まれた構造
にあっては、該アクセスアーム1の構成部材との熱膨脹
率の違いにより生しる偏った熱変形が大きな問題となる
。
即ち、前記アクセスアームIは一般にアルミニウム系の
軽合金が用いられ、その熱膨脹率が20X10−6程度
であるのに対し、P Z T (PbZrO:+とPb
Ti0.+との同容体)からなる積層型圧電素子の熱膨
脹率は5.OX 10−6程度であり、単なる温度変化
だけでアクセスアーム1の積層型圧電素子が組み込まれ
た部分が熱変形し、かつ大きな熱応力が発生してデータ
用磁気ヘッド3を逆に位置づれさせてしまい、本来のヘ
ッド位置決め機構の熱変形を補償するための副アクチュ
エータ5が熱変形発生手段となるといった不都合が生し
る問題があった。
本発明は上記した従来の問題点に鑑み、アクセスアーム
の一部に、微小変位素子を該アクセスアームの構造部材
の熱膨脹率と整合するように組み込んだピギーバックア
クチュエータからなる副アクチュエータを設けることに
より、該副アクチュエータでの偏った異常熱変形がなく
、かつデータ用ヘッドを独立して高精度に位置決めする
ことを可能とする新規なヘッド位置決め機構を提供する
ことを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は上記した目的を達成するため、記録ディスクの
半径方向に主アクチュエータにより揺動するアクセスア
ームとヘッドを支持したヘッド支持ばねとを、枠構造支
持体により連結したベンド位置決め機構において、前記
枠構造支持体のヘッド側に伸びる梁の全体、または一部
に微小変位素子と、該枠構造支持体を構成する他の梁の
熱膨脹率と整合する補償用部材との接続体からなる微小
変位用副アクチュエータを設け、該副アクチュエータに
よりヘッド支持ばねを主アクチュエータとは独立して記
録ディスクの半径方向に微小変位可能とした構成とする
。
また、前記枠構造支持体は、ヘッド支持ばねに接続され
る第1の梁と、この第1の梁及びアクセスアームにそれ
ぞれ接続された第2の梁と、これらの梁を接続する第3
の梁とを三角形に枠組した形状からなり、該第3の梁の
全体、または一部に前記微小変位用副アクチュエータを
組み込んだ構成とする。
更に、前記微小変位用副アクチュエータに組み込まれた
微小変位素子は、積層型圧電素子、若しくは磁歪素子か
らなる構成とする。
〔作 用〕
本発明では、記録ディスクの半径方向に主アクチュエー
タにより揺動するアクセスアームとヘッドを支持したヘ
ッド支持ばねとを、該ヘッド支持ばねと接続される第1
の梁と、この第1の梁及びアクセスアームとそれぞれ接
続される第2の梁と、これらの梁を接続する第3の梁と
を三角形に枠組した形状からなり、該第3の梁の全体、
または−部にPZTを用いた積層型圧電素子等からなる
微小変位素子と、該枠構造支持体を構成す・る他の梁の
熱膨脹率と整合する補償用部材との接続体からなる微小
変位用副アクチュエータを組み込んだ枠構造支持体によ
り連結した構成とすることにより、当該副アクチュエー
タが環境温度の変化より偏った異常熱変形を起こす恐れ
が解消され、複数のデータ用ヘッドを主アクチュエータ
により対応する各磁気ディスクの当該目標記録トラック
に同時に移動させると共に、前記副アクチュエータを駆
動じて前記各磁気ヘッドをそれぞれ独立して微小に揺動
変位させ、当該目標記録トラックに高精度に位置決めす
る、或いはサーマルオフトラック等による位置ずれを精
度良く補正することが可能となる。
〔実施例〕
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
第1図は本発明に係るヘッド位置決め機構の一実施例を
示す斜視図、第2図はそのヘッド位置決め機構における
微小変位用副アクチュエータを説明するための要部平面
図である。
第1図において、11は例えばボイスコイルモータ(V
oiceCoil Motor、 V CM)駆動の揺
動型主アクチュエータ、12は該揺動型主アクチュエー
タ11に取り付けられた複数のアクセスアームであり、
この複数のアクセスアーム12と、データ用磁気ヘッド
14をそれぞれ支持したヘッド支持ばね13の取付は端
部とは、第2図に示すように該ヘッド支持ばね13と接
続される第1の梁15aと、この第1の梁15a及びア
クセスアーム12とそれぞれ接続される第2の梁15b
と、これら第1.第2の梁1.5a、15bを接続する
第3の梁15cとを三角形に枠組したアルミニウム(A
l2)からなる形状からなり、その第3の梁15cの全
体、または一部にPZTによる熱膨脹率が5.0X10
−bの積層型圧電素子等からなる微小変位素子17と、
該微小変位素子17と組み合わせてAlからなる前記他
の第1.第2の梁15a、 15bの熱膨脹率20X1
0−’と整合するAfよりも熱膨脹率が26XIO−”
と大きい、例えばマグネシウム合金からなる補償用の金
属部材18とを所定の長さ比で組み合わせた接続体から
なる微小変位用副アクチュエータ19を組み込んだ枠構
造支持体15により連結した構成としている。
前記した三角形状のアルミニウム(A f ”)からな
る枠構造支持体15における第3の梁15cに組み合わ
せて設けた積層型圧電素子等からなる微小変位素子17
とマグネシウム合金からなる補償用の金属部材18とし
ては、第3図に示すようにこれら両者を組み合わせた全
長を!、微小変位素子17の長さをfp、その熱膨脹率
(5,OX 10−’)をαp、また補償用の金属部材
18の長さをi!m、その熱膨脹率(26XIO−’)
をα−1更にA2枠構造支持体15の熱膨脹率(20X
 10−’)をαaとすれば、次の関係式により、lp
/l=cαI−αa)/(αm−αp)ffip/fζ
は0.3となるので、全長lに対する微小変位素子エフ
と補償用の金属部材工8とを3=7の比率の長さで組み
合わせることにより、Alからなる枠構造支持体15の
熱膨脹率と、微小変位素子17と補償用の金属部材18
との合成熱膨脹率とが整合され、環境温度等が変化して
も前記iからなる枠構造支持体15の伸び量(lαa)
ΔTと微小変位素子17と補償用の金属部材18との合
成伸び量(l蒙αs+j!pαρ)八Tが等しくなるの
で、該微小変位用側アクチュエコタ19が環境温度の変
化等により偏った異常熱変形や熱応力を起こす恐れがな
(なる。
また、その副アクチュエータ19における微小変位素子
17に電圧を印加すると、該微小変位素子17の変位に
よりデータ用磁気ヘッド14を支持したヘッド支持ばね
13が第2図に破線で示すように揺動変位する。該デー
タ用磁気ヘッド14の幅をwh、前記三角形状のAlか
らなる枠構造支持体15の幅をwbとすると、該枠構造
支持体15の変位に対するデータ用磁気ヘッド14の変
位拡大率Wh/Wbは図中の寸法比の場合、約2となる
。
従って、ヘッド変位量を2μmとすれば、前記微小変位
用副アクチュエータ19の変位量は1μ−程度でよく、
積層型圧電素子からなる微小変位素子17への印加電圧
としては数十V程度で容易に変位を発生させることがで
きる。
更に、前記微小変位用副アクチュエータ19を構成する
枠構造支持体15におけ第1の梁15aと第2の梁15
bとの一端部同士が接続された部分を円弧状に切り欠い
てヒンジ16を設けることにより、その部分での剛性を
低下させて変位時の応力集中による破壊を防ぎ、かつ変
位を容易にしている。
このような構成のヘッド位置決め機構とすることにより
、回転する複数枚の磁気ディスクの各デ−タ面に対応す
る全てのデータ用磁気ヘッド14を、サーボ情報に基づ
いて前記揺動型主アクチュエータ11により同時に所定
の目標記録トラックにアクセス動作すると共に、その個
々のデータ用磁気ヘッド14を支持するヘッド支持ばね
13とアクセスアーム12間に設けた前記微小変位用副
アクチュエータ19における積層型圧電素子からなる微
小変位素子17に電圧を印加することにより、該副アク
チュエータ19が環境温度の変化等により偏った異常熱
変形や熱応力を起こすことなく、その各データ用磁気ヘ
ッド14を更にそれぞれ独立して記録トラックと交叉す
る方向に微小に揺動変位させることができ、この微小な
揺動変位をその後読み出した位置決め情報により制御す
ることによって各データ用磁気ヘッド14をそれぞれ当
該目標記録トラックに精度良く位置決めすることができ
、またサーマルオフトラック等による位置ずれも精度良
く補正することが可能となる。
なお、上記したように前記補償用の金属部材18として
、例えばマグネシウム等の軽合金を用いる所以は、熱膨
脹率の整合用とは別に、アクチュエータ全体の慣性モー
メントの低減に有利であり、第3図に示すようにように
主アクチュエータ11の揺動中心側に比重の大きいPZ
Tからなる微小変位素子17を、また該揺動中心より離
れた側にマグネシウム合金からなる補償用の金属部材1
8を組合わせて配設した構成により、前記微小変位素子
17の比重が8程度と大きいにもかかわらずアクチュエ
ータ全体の慣性モーメントは、総アルミニウム製のアク
チュエータの場合とほぼ同等に低減され、その効果はよ
り大きくなる利点がある。
また、以上の実施例では微小変位用副アクチュエータ1
9を構成する微小変位素子17として積層型圧電素子を
用いた場合の例で説明したが、本発明はこの例に限定さ
れるものではなく、例えば磁歪素子等を用いるようにし
ても良く、同様な効果が得られる。
更に、本発明のヘッド位置決め機構はサーボ面サーボ方
式に限らず、データ面サーボ方式等の各種ヘッド位置決
め制御方式に適用できることばいうまでもなく、その他
、光学ヘッドを用いたディスク装置や光磁気ディスク装
置等にも適用可能である。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明に係るヘッド位
置決め機構によれば1、主アクチュエータと、該主アク
チュエータに取り付けられたアクセスアームと磁気ヘッ
ドを支持したヘッド支持ばねとの間に、環境温度の変化
等により偏った異常熱変形や熱応力の発生を防止するよ
うに補償した微小変位用副アクチュエータを設けた2段
アクチュエータを構成しているため、データ用ヘッドを
独立してディスク面の所定の記録トラック位置に精度良
く位置決め、或いはサーマルオフトラック等を所定記録
トラック位置に高精度に位置補正することが可能となり
、信転性の高い高密度記録で大容量の各種ディスク装置
が実現できる優れた利点を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るヘッド位置決め機構の一実施例を
示す斜視図、 第2図は本発明に係る微小変位用副アクチュエータを説
明するための要部平面図、 第3図は本発明に係る微小変位用副アクチュエータの細
部を説明するための構成図、 第4図は従来のヘッド位置決め機構における微小変位用
副アクチュエータを説明する ための要部平面図である。 第1図〜第3図において、 11は揺動型主アクチュエータ、12はアクセスアーム
、13はヘッド支持ばね、14はデータ用磁気ヘッド、
15は枠構造支持体、15aは第1の梁、15bは第2
の梁、15cは第3の梁、16はヒンジ、17は微小変
位素子、工8は補償用の金属部材、19は微小変位用副
アクチュエータをそれぞれ示す。 (Jda)ΔT 秤蛸^1珈−r信串2・1γ74−、I−夕め柑Htt
tθB力澗りN閃第3図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)記録ディスクの半径方向に主アクチュエータ(1
    1)により揺動するアクセスアーム(12)とヘッド(
    14)を支持したヘッド支持ばね(13)とを、枠構造
    支持体(15)により連結したヘッド位置決め機構にお
    いて、 前記枠構造支持体(15)のヘッド側に伸びる梁の全体
    、または一部に微小変位素子(17)と、該枠構造支持
    体(15)を構成する他の梁の熱膨脹率と整合する補償
    用部材(18)との接続体からなる微小変位用副アクチ
    ュエータ(19)を設け、該副アクチュエータ(19)
    によりヘッド支持ばね(13)を主アクチュエータ(1
    1)とは独立して記録ディスクの半径方向に微小変位可
    能としたことを特徴とするヘッド位置決め機構。
  2. (2)前記枠構造支持体(15)は、ヘッド支持ばね(
    13)に接続される第1の梁(15a)と、この第1の
    粱(15a)及びアクセスアーム(12)にそれぞれ接
    続された第2の梁(15b)と、これらの梁(15a、
    15b)を接続する第3の梁(15c)とを三角形に枠
    組した形状からなり、該第3の梁(15c)の全体、ま
    たは一部に前記微小変位用副アクチュエータ(19)を
    組み込んだことを特徴とする請求項1記載のヘッド位置
    決め機構。
  3. (3)前記微小変位用副アクチュエータ(19)に組み
    込まれた微小変位素子(17)は、積層型圧電素子、若
    しくは磁歪素子からなることを特徴とする請求項1、ま
    たは2記載のヘッド位置決め機構。
JP25596790A 1990-09-25 1990-09-25 ヘッド位置決め機構 Pending JPH04134681A (ja)

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Cited By (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998020486A1 (en) * 1996-11-01 1998-05-14 Seagate Technology, Inc. Actuator arm integrated piezoelectric microactuator
US6069771A (en) * 1996-11-04 2000-05-30 Seagate Technology, Inc. Gimbal micropositioning device
US6108175A (en) * 1996-12-16 2000-08-22 Seagate Technology, Inc. Bimorph piezoelectric microactuator head and flexure assembly
US6157522A (en) * 1998-04-07 2000-12-05 Seagate Technology Llc Suspension-level microactuator
US6215629B1 (en) 1998-04-16 2001-04-10 Seagate Technology Llc Unitary synchronous flexure microactuator
US6222706B1 (en) 1997-03-31 2001-04-24 Seagate Technology Llc Flexure microactuator
US6233124B1 (en) 1998-11-18 2001-05-15 Seagate Technology Llc Piezoelectric microactuator suspension assembly with improved stroke length
US6268983B1 (en) * 1997-12-25 2001-07-31 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head actuator driven by piezoelectric element
US6268984B1 (en) 1999-01-22 2001-07-31 Seagate Technology Llc Magnet configuration for head-level microactuator
US6289564B1 (en) 1997-08-15 2001-09-18 Seagate Technology Llc Method of making a piezoelectric microactuator for precise head positioning
US6297936B1 (en) 1998-11-09 2001-10-02 Seagate Technology Llc Integral load beam push-pull microactuator
US6320730B1 (en) 1998-09-26 2001-11-20 Seagate Technology Llc Low-stress disc drive microactuator cradle
US6351354B1 (en) 1999-05-07 2002-02-26 Seagate Technology Llc Head to flexure interconnection for disc drive microactuator
US6359758B1 (en) 1998-06-11 2002-03-19 Seagate Technology, Llc Rigid body microactuator having elastic joint attachment
US6392848B1 (en) 1998-03-20 2002-05-21 Fujitsu Limited Head carriage assembly and disk device incorporating thereof
US6414823B1 (en) 1999-06-09 2002-07-02 Seagate Technology Llc Coil-structures for magnetic microactuator
US6414822B1 (en) 1998-06-11 2002-07-02 Seagate Technology Llc Magnetic microactuator
US6498706B1 (en) 1999-03-15 2002-12-24 Fujitsu Limited Dual driving unit for a magnetic head carriage assembly and magnetic disk drive
US6507463B1 (en) 1999-06-11 2003-01-14 Seagate Technology, Inc. Micro disc drive employing arm level microactuator
US6574077B1 (en) 1999-12-02 2003-06-03 Seagate Technology Llc Microactuator assembly having improved standoff configuration
US6614628B2 (en) 2001-01-19 2003-09-02 Seagate Technology Llc Moving coil micro actuator with reduced rotor mass
US6683757B1 (en) 2000-04-05 2004-01-27 Seagate Technology Llc Slider-level microactuator for precise head positioning
US6683758B2 (en) 2000-06-01 2004-01-27 Seagate Technology Llc Fabrication method for integrated microactuator coils
US6697232B1 (en) 2000-03-24 2004-02-24 Seagate Technology Llc Bonded transducer-level electrostatic microactuator for disc drive system
US6765766B2 (en) 2000-07-11 2004-07-20 Seagate Technology Llc Bonding tub improved electromagnetic microactuator in disc drives
US6778350B2 (en) 2000-10-06 2004-08-17 Seagate Technology Llc Feed forward control of voice coil motor induced microactuator disturbance
US6785086B1 (en) 2000-04-05 2004-08-31 Seagate Technology Llc Transducer-level microactuator with dual-axis control
US6798609B1 (en) 1999-07-28 2004-09-28 Seagate Technology, Inc. Magnetic microactuator with capacitive position sensor
US6831539B1 (en) 2003-08-28 2004-12-14 Seagate Technology Llc Magnetic microactuator for disc with integrated head connections and limiters drives
US6851120B2 (en) 2000-07-13 2005-02-01 Seagate Technology Llc Micro-actuator structure for improved stability
JP2005322395A (ja) * 2004-04-30 2005-11-17 Headway Technologies Inc 記録ヘッド、再生ヘッド、再生記録ヘッド、ならびに再生記録ヘッドの変位方法

Cited By (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998020486A1 (en) * 1996-11-01 1998-05-14 Seagate Technology, Inc. Actuator arm integrated piezoelectric microactuator
US6052251A (en) * 1996-11-01 2000-04-18 Seagate Technology, Inc. Actuator arm integrated piezoelectric microactuator
US6298545B1 (en) 1996-11-01 2001-10-09 Seagate Technology Llc Method of making an actuator arm integrated piezoelectric microactuator
US6069771A (en) * 1996-11-04 2000-05-30 Seagate Technology, Inc. Gimbal micropositioning device
US6108175A (en) * 1996-12-16 2000-08-22 Seagate Technology, Inc. Bimorph piezoelectric microactuator head and flexure assembly
US6222706B1 (en) 1997-03-31 2001-04-24 Seagate Technology Llc Flexure microactuator
US6362542B1 (en) 1997-08-15 2002-03-26 Seagate Technology Llc Piezoelectric microactuator for precise head positioning
US6289564B1 (en) 1997-08-15 2001-09-18 Seagate Technology Llc Method of making a piezoelectric microactuator for precise head positioning
US6268983B1 (en) * 1997-12-25 2001-07-31 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head actuator driven by piezoelectric element
US6392848B1 (en) 1998-03-20 2002-05-21 Fujitsu Limited Head carriage assembly and disk device incorporating thereof
US6157522A (en) * 1998-04-07 2000-12-05 Seagate Technology Llc Suspension-level microactuator
US6215629B1 (en) 1998-04-16 2001-04-10 Seagate Technology Llc Unitary synchronous flexure microactuator
US6359758B1 (en) 1998-06-11 2002-03-19 Seagate Technology, Llc Rigid body microactuator having elastic joint attachment
US6414822B1 (en) 1998-06-11 2002-07-02 Seagate Technology Llc Magnetic microactuator
US6320730B1 (en) 1998-09-26 2001-11-20 Seagate Technology Llc Low-stress disc drive microactuator cradle
US6297936B1 (en) 1998-11-09 2001-10-02 Seagate Technology Llc Integral load beam push-pull microactuator
US6233124B1 (en) 1998-11-18 2001-05-15 Seagate Technology Llc Piezoelectric microactuator suspension assembly with improved stroke length
US6634083B1 (en) 1999-01-22 2003-10-21 Seagate Technology Llc Method of forming a magnet/keeper assembly for head level microactuator
US6268984B1 (en) 1999-01-22 2001-07-31 Seagate Technology Llc Magnet configuration for head-level microactuator
US6498706B1 (en) 1999-03-15 2002-12-24 Fujitsu Limited Dual driving unit for a magnetic head carriage assembly and magnetic disk drive
US6351354B1 (en) 1999-05-07 2002-02-26 Seagate Technology Llc Head to flexure interconnection for disc drive microactuator
US6414823B1 (en) 1999-06-09 2002-07-02 Seagate Technology Llc Coil-structures for magnetic microactuator
US6507463B1 (en) 1999-06-11 2003-01-14 Seagate Technology, Inc. Micro disc drive employing arm level microactuator
US6798609B1 (en) 1999-07-28 2004-09-28 Seagate Technology, Inc. Magnetic microactuator with capacitive position sensor
US6574077B1 (en) 1999-12-02 2003-06-03 Seagate Technology Llc Microactuator assembly having improved standoff configuration
US6697232B1 (en) 2000-03-24 2004-02-24 Seagate Technology Llc Bonded transducer-level electrostatic microactuator for disc drive system
US6683757B1 (en) 2000-04-05 2004-01-27 Seagate Technology Llc Slider-level microactuator for precise head positioning
US6785086B1 (en) 2000-04-05 2004-08-31 Seagate Technology Llc Transducer-level microactuator with dual-axis control
US6683758B2 (en) 2000-06-01 2004-01-27 Seagate Technology Llc Fabrication method for integrated microactuator coils
US6765766B2 (en) 2000-07-11 2004-07-20 Seagate Technology Llc Bonding tub improved electromagnetic microactuator in disc drives
US6851120B2 (en) 2000-07-13 2005-02-01 Seagate Technology Llc Micro-actuator structure for improved stability
US6778350B2 (en) 2000-10-06 2004-08-17 Seagate Technology Llc Feed forward control of voice coil motor induced microactuator disturbance
US6614628B2 (en) 2001-01-19 2003-09-02 Seagate Technology Llc Moving coil micro actuator with reduced rotor mass
US6831539B1 (en) 2003-08-28 2004-12-14 Seagate Technology Llc Magnetic microactuator for disc with integrated head connections and limiters drives
JP2005322395A (ja) * 2004-04-30 2005-11-17 Headway Technologies Inc 記録ヘッド、再生ヘッド、再生記録ヘッド、ならびに再生記録ヘッドの変位方法

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