JPH0413552Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は気流の乱れを整えて流体力学的な意味
での層流を形成できるようにしたクリーンルーム
用空気吹き出し構造に関する。

〔従来の技術〕

清浄空間を形成する技術として垂直層流式クリ
ーンルーム、クリーントンネル、クリーンベンチ
等が良く知られている。本明細書ではこれらの清
浄空間を総称してクリーンルームと呼ぶことにす
るが、これまで知られた垂直層流式クリーンルー
ムは、天井面に水平に張り渡したHEPAフイル
タの面からこのHEPAフイルタの面積に実質上
相当する床面の吸込面に向けて一様に空気を吹き
出すものであり、HEPAフイルタの面から均等
（均圧的に）に空気を吹き出すこと、さらには吸
込面から均等に空気を吸い込むことが層流を形成
するうえで重要な要素とされていた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従来の垂直層流式クリーンルームでは流れに乱
れを生ずる次のような問題が存在した。吹き出し
面を形成している従来のHEPAフイルタは蛇行
面をもつ連続したメデアからなつているのが通常
であるから、ミクロ的に見ると山と谷の部分では
吹き出し速度の高低が生じて流れに乱れを生ずる
ことになる。また、大きな面積にHEPAフイル
タを張り渡す場合には、小面積のHEPAフイル
タユニツトを多数隣接させてフイルター面を形成
するのが通常であり、この場合、各HEPAフイ
ルタユニツトを支持するための多数の枡目をもつ
たフレーム（天井枠）が使用されるが、このフレ
ームが空気吹き出し面に露出するので、このフレ
ーム部分では渦流が生じて層流の流れを乱す原因
となる。さらに天井面に照明器具や各種測定器具
類が存在する場合にもこれらによつて流れを乱す
ことになる。

本考案はこのような従来の垂直層流式クリーン
ルームにおける流れの乱れを整えて流体力学的な
意味での真の層流を簡単に形成しようとするもの
である。

〔問題点を解決する手段〕

本考案は、平面的に張り渡したフイルターの空
気吹き出し面の側に、この空気吹き出し面から所
定の間隔を開けて空気吹き出し面と実質上平行に
多孔整流体層を設置してなるクリーンルーム用空
気吹き出し構造において、この多孔整流体層とし
てメツシユ、布、またはこれに類する通気性の膜
を使用し、この通気性の膜をグリツド、ルーバー
またはこれに類する開口板状体の上に平面的に拡
げ乗せたことを特徴とし、この通気性の膜を通し
て空気を吹き出すことによつて前述の吹き出し流
の乱れを整え、流体力学的な意味での層流を形成
するものである。

ここで、本考案で使用する通気性の膜としては
網類、織布類、編物類などのごとくその全面にわ
たつて小さな通気孔が実質的に正規性をもつて形
成されているメツシユや布類を指し、例えば実開
昭57−132123号公報に見られるようないわゆるパ
ンチングボードなどは使用しない。通常の多孔樹
脂板のように孔が４mm以上のピツチで形成されて
いるようなものでは、孔と孔との間の板面裏側で
かえつて渦流（カルマン流）が形成されて流体力
学的な意味での層流は形成できない。より厳密に
いうならば、通気孔を形成している孔と孔との間
に存在する物質の平面方向の厚み（メツシユや布
では線体の径）が平均１mm以下であることがカル
マン流の形成を防止する上で必要である。そのさ
い、メツシユまたは布の膜とこの膜を支持するグ
リツド、ルーバーまたはこれに類する開口板状体
とからなる多孔整流体層の全体の通気抵抗が、例
えば平均吹き出し流速が0.45ｍ／secのとき１mm
Aq以上となるような通気抵抗を有するように構
成することが望ましい。

また、本考案の実施にさいし、通気性の膜とし
て所定の幅をもつ帯状の長尺膜を使用し、その長
手方向に沿う側縁を互いにつなぎ合わせることに
よつて平面的な広がりをもつ必要面積の膜面に形
成するのが実用的であり、そのさい長尺膜のつな
ぎ合わせは、フイルター枠から前記の開口板状体
を吊るすための吊り金具を利用して行うのが便宜
である。この吊り金具としては、上端がフイルタ
ー枠に支持される吊りボルトと、この吊りボルト
に水平方向に支持される下面にスリツト状の開口
を有した中空筒と、この中空筒の中に挿入され且
つスリツト状開口より大径の棒状体からなるスト
ツパー部材と、このストツパー部材に上端が支持
され該スリツト状開口を経て下端が前記の開口板
状体に接続される接続具とからなるものを本考案
者らは考案した。これによつて、長尺膜の側縁を
ストツパー部材と中空筒の該スリツト状開口との
間に挟み込むことによつて簡単に長尺膜から必要
面積の幅広膜を形成することができる。

以下に図面に従つて本考案の実施例を具体的に
説明する。

第１図において、１および２は天井面に水平方
向に張り渡した縦フレームおよび横フレームを示
しており、この縦フレーム１と横フレーム２によ
つて多くの枡目を天井面に形成し、この枡目の開
口にHEPAフイルタユニツト３がセツトされ、
これによつて天井面にHEPAフイルタが平面的
な広がりをもつて張り渡されることになる。本考
案においてはこの平面的に張り渡したフイルター
の空気吹き出し面の側に、この空気吹き出し面か
ら所定の間隔を開けて空気吹き出し面と実質上平
行に多孔整流体層を設置するのであるが、この多
孔整流体層として、メツシユ、布またはこれに類
する通気性の膜４とグリツド、ルーバーまたはこ
れに類する開口板状体５とからなるものを使用す
る。開口板状体５は主として通気性の膜４を平面
的に拡げ乗せる役割を果たすものであるが、その
開口の大きさは膜４を支持できるものであればよ
くその径の大きさには制限されないが、各開口は
正規性をもつて分布すると共に各開口を形成する
材料の平面方向の厚みは１mm以下であるようなも
のが好ましい。

一般にメツシユや布は帯状の長尺物として製造
されるので、縦方向と横方向とも相当の距離をも
つ広い天井面積を覆うには縦方向は長尺物から必
要長さを切断することによつて賄うことができる
が、横方向では長尺物の幅方向をつなぎ合わせる
ことが必要となる。第１図では長尺物の通気性の
膜４を幅方向で切断した断面で示しているが、こ
の通気性の膜４の幅縁をつなぎ合わせる部材とし
て、上端がフレーム１または２に支持される吊り
ボルト６と、この吊りボルト６に水平方向に支持
される下面にスリツト状の開口をもつ中空筒７が
が使用されている。

第２図はこの吊り金具を使用して膜４の幅縁部
をつなぎ合わせる構造を図解的に示したものであ
る。第２図に見られるように、この吊り金具は、
膜４の縁部をつなぎ合わせると同時に開口板状体
５とを同時に吊るすものであり、まず、上端がフ
イルター枠１または２に支持される吊りボルト６
に中空筒７が水平方向に吊るされる。この中空筒
７の下面にはスリツト状の開口８が設けられてお
り、この開口８より大径の棒状のストツパー部材
９（下面に先細りのテーパーをもつ）が中空筒７
内に挿入されている。そして、このストツパー部
材９に開口板状体５を吊るす接続具１０（例えば
吊りボルト）を取付ける。この開口板状体５を吊
るす接続具１０は中空筒７のスリツト状開口８よ
りも径が小さく、したがつて、開口板状体５を吊
るすとその重さでストツパー部材９がスリツト状
開口８に当接し、開口板状体５を持ち上げるとス
トツパー部材９とスリツト状開口８との間に間隙
ができる。この間隙に通気性の膜４の縁部をフイ
ルター側に折り曲げた（立ち上げた）うえで挿入
して開口板状体５を吊るすと、開口板状体５の重
さで該縁部がストツパー部材９とスリツト状開口
８との間に強固に挟み込まれることになる。した
がつて隣接する通気性の膜４の縁部も同時に該間
隙に挟み込むことによつて、隣接する通気性の膜
４同視は気密につなぎ合わせることができる。

なお、クリーンルームの側壁に接する部位では
第１図に示すように、側壁１１に通気性の膜４の
縁を立ち上がらせ、この立ち上げ部分を押さえ板
１２で押さえ込んで固定すればよい。

以上説明したように、本考案によると、
HEPAフイルタを支持するフレーム枠の存在、
照明器具類の存在、或いはHEPAフイルタのメ
デアの構造上の理由から層流式クリーンルームに
おける吹き出し空気流の乱れが通気性の膜によつ
て整えられ、これによつて流体力学的な真の層流
が形成できる。そして、この膜の取付け作業も極
めて簡単にでき安価な設備費用で精緻な層流式ク
リーンルームを形成できるという優れた効果が発
揮される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のクリーンルーム用空気吹き出
し構造の実施例を示す略断面図、第２図は本考案
のクリーンルーム用空気吹き出し設備の要部を斜
視的にみた組み立て図である。 １，２……フレーム（フイルター枠）、３……
HEPAフイルタユニツト、４……通気性の膜、
５……開口板状体、６……吊りボルト、７……中
空筒、８……スリツト状開口、９……ストツパー
部材、１０……接続具（吊りボルト）。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 平面的に張り渡したフイルターの空気吹き出
   し面の側に、この空気吹き出し面から所定の間
   隔を開けて空気吹き出し面と実質上平行に多孔
   整流体層を設置してなるクリーンルーム用空気
   吹き出し構造において、前記の多孔整流体層と
   して所定の幅をもつ帯状のメツシユ、布、また
   はこれに類する通気性の長尺膜を使用し、この
   長尺膜の長手方向に沿う側縁を互いにつなぎ合
   わせることによつて平面的な広がりをもつ必要
   面積の膜面に形成し、この平面的な広がりをも
   つ膜面をグリツド、ルーバーまたはこれに類す
   る開口板状体の上に平面的に拡げ乗せ、長尺膜
   の該側縁のつなぎ合わせにあたつて、該側縁を
   フイルター側に折り曲げたうえ該フイルターと
   多孔整流体層との間に吊るされた棒状体のスト
   ツパー部材に係止させたことを特徴とするクリ
   ーンルーム用空気吹き出し構造。 (2) 通気性の膜は、通気孔を形成している孔と孔
   との間に存在する物質の平面方向の厚み（メツ
   シユ・布の場合には線体の径）が平均１mm以下
   であり、多孔整流体層の全体の通気抵抗が、平
   均吹き出し流速が0.45ｍ／secのとき１mmAq以
   上である実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   クリーンルーム用空気吹き出し構造。 (3) ストツパー部材は、フイルター枠から前記の
   開口板状体を吊るすための吊り金具に取付けら
   れる実用新案登録請求の範囲第１項または第２
   項記載のクリーンルーム用空気吹き出し構造。 (4) 吊り金具は、上端がフイルター枠に支持され
   る吊りボルトと、この吊りボルトに水平方向に
   支持される下面にスリツト状の開口を有した中
   空筒と、この中空筒の中に挿入され且つスリツ
   ト状開口より大径の棒状体からなるストツパー
   部材と、このストツパー部材に上端が支持され
   該スリツト状開口を経て下端が前記の開口板状
   体に接続される接続具とからなり、長尺膜の側
   縁がストツパー部材と中空筒の該スリツト状開
   口との間に挟み込まれる実用新案登録請求の範
   囲第３項記載のクリーンルーム用空気吹き出し
   構造。