JPH034816B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH034816B2 JPH034816B2 JP60068215A JP6821585A JPH034816B2 JP H034816 B2 JPH034816 B2 JP H034816B2 JP 60068215 A JP60068215 A JP 60068215A JP 6821585 A JP6821585 A JP 6821585A JP H034816 B2 JPH034816 B2 JP H034816B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceiling
- joists
- hollow frame
- lattice
- filter mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/28—Arrangement or mounting of filters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体製造工場で採用されるクリー
ンルームに関するものである。
ンルームに関するものである。
［従来の技術と発明が解決しようとする問題点］
半導体製造工場等で採用されている垂直層流型
クリーンルームは、通常、第６図の構造を備えて
いる。図において、１は、躯体、２は、中空の鋼
材を組んで形成した天井フイルタ取付用格子、３
…は、該格子で支持した天井フイルタ、４は、天
井チヤンバ、５は、通風床用スタンド、６…は、
該スタンドで支えたグレーチング、パンチングメ
タル等の通風性床材、７は、レタンチヤンバであ
る。
クリーンルームは、通常、第６図の構造を備えて
いる。図において、１は、躯体、２は、中空の鋼
材を組んで形成した天井フイルタ取付用格子、３
…は、該格子で支持した天井フイルタ、４は、天
井チヤンバ、５は、通風床用スタンド、６…は、
該スタンドで支えたグレーチング、パンチングメ
タル等の通風性床材、７は、レタンチヤンバであ
る。
而して、空調器からの清浄空気を、送風ダクト
を介して天井チヤンバ４へ送り、天井フイルタ３
…を介して室内へ層流として供給し、また、室内
の空気を、通風性床材６…を介してレタンチヤン
バ７へ送り、空調器のレタン口へと帰還させるよ
うになつている。
を介して天井チヤンバ４へ送り、天井フイルタ３
…を介して室内へ層流として供給し、また、室内
の空気を、通風性床材６…を介してレタンチヤン
バ７へ送り、空調器のレタン口へと帰還させるよ
うになつている。
ところで、このクリーンルームにおける製造プ
ロセスは、ライフサイクルが短く、数年に一度、
大幅な改変が行なわれる。
ロセスは、ライフサイクルが短く、数年に一度、
大幅な改変が行なわれる。
この改変に対して、従来のクリーンルームは、
空間のフレキシビリテイに乏しく、大々的な改造
工事が必要とされる。例えば、第６図に示すよう
に、間仕切壁８を１つ設けるにも、特別寸法の天
井フイルタ３と通風性床材６を設け、根太９を建
て込み、該根太に間仕切壁を受ける鋼材９１を付
設し、天井でその特別寸法の天井フイルタ３の端
を受ける枠材１０，１０を要すると共に、該枠材
と天井フイルタ及び間仕切壁との相互間に気密用
のシールを要する。また、天井において、照明器
具等の配置を変えるにも、同様にして容易でな
く、天井の格子に取り付け得たとしても、単に取
り付けるのでは格子での気密性を欠くことになる
ため別個にシール手段を要して頗る面倒である。
空間のフレキシビリテイに乏しく、大々的な改造
工事が必要とされる。例えば、第６図に示すよう
に、間仕切壁８を１つ設けるにも、特別寸法の天
井フイルタ３と通風性床材６を設け、根太９を建
て込み、該根太に間仕切壁を受ける鋼材９１を付
設し、天井でその特別寸法の天井フイルタ３の端
を受ける枠材１０，１０を要すると共に、該枠材
と天井フイルタ及び間仕切壁との相互間に気密用
のシールを要する。また、天井において、照明器
具等の配置を変えるにも、同様にして容易でな
く、天井の格子に取り付け得たとしても、単に取
り付けるのでは格子での気密性を欠くことになる
ため別個にシール手段を要して頗る面倒である。
本発明は、斯る問題点を解決しようとするもの
である。
である。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、気密に遮断された複層構造の中空枠
材により天井フイルタ取付用格子を組み、該格子
の各枡目にそれぞれ１乃至数枚の天井フイルタを
嵌めて、相互間を気密に連係させ、また、床材を
受ける根太を格子状に組み、該根太の上面に隣接
相互の床材間へ介在させて間仕切壁等を受ける受
材を一体乃至別体に並設し、該受材付根太を上記
天井フイルタ取付用格子と同一乃至整数倍のモジ
ユールに形成し、該受材付根太のなす各枡目にそ
れぞれのグレーチング、パンチングメタル等の通
風性床材を嵌めて、これらの床材の周縁部を根太
で受けて成る。
材により天井フイルタ取付用格子を組み、該格子
の各枡目にそれぞれ１乃至数枚の天井フイルタを
嵌めて、相互間を気密に連係させ、また、床材を
受ける根太を格子状に組み、該根太の上面に隣接
相互の床材間へ介在させて間仕切壁等を受ける受
材を一体乃至別体に並設し、該受材付根太を上記
天井フイルタ取付用格子と同一乃至整数倍のモジ
ユールに形成し、該受材付根太のなす各枡目にそ
れぞれのグレーチング、パンチングメタル等の通
風性床材を嵌めて、これらの床材の周縁部を根太
で受けて成る。
［実施例］
第１図は、天井と床のモジユールを、第２図
は、天井の一部の下面を示しており、図におい
て、１２は、天井フイルタ取付用格子、１３…
は、該格子で支持した天井フイルタ、１４は、天
井チヤンバ、１５は、通風床を構成するための根
太、１６…は、該根太で支えたグレーチング、パ
ンチングメタル等の通風性床であり、根太は天井
取付け用格子１２と同一乃至整数倍のモジユール
に形成する。
は、天井の一部の下面を示しており、図におい
て、１２は、天井フイルタ取付用格子、１３…
は、該格子で支持した天井フイルタ、１４は、天
井チヤンバ、１５は、通風床を構成するための根
太、１６…は、該根太で支えたグレーチング、パ
ンチングメタル等の通風性床であり、根太は天井
取付け用格子１２と同一乃至整数倍のモジユール
に形成する。
天井フイルタ取付用格子１２は、第３図に示
す、上下に気密に遮断された複層構造の中空枠材
１２１を、第１図、第２図に示すように、格子に
組んで成る。該中空枠材１２１は、アルミニウ
ム、鉄鋼等により断面日字状で上下二層の中空の
主部１２１１を形成すると共に、該主部の上面中
央に断面凸字状で中空の突条１２１２を一体に付
設している。
す、上下に気密に遮断された複層構造の中空枠材
１２１を、第１図、第２図に示すように、格子に
組んで成る。該中空枠材１２１は、アルミニウ
ム、鉄鋼等により断面日字状で上下二層の中空の
主部１２１１を形成すると共に、該主部の上面中
央に断面凸字状で中空の突条１２１２を一体に付
設している。
斯様な中空枠材１２１による天井フイルタ取付
用格子１２は、第４図に示す、天井スラブ乃至梁
から垂設した吊りボルト２６…により支持する
が、第４図、第５図に示すように、吊りボルト２
６…の下端にコ字状金物２６１…を設け、該コ字
状金物を中空枠材１２１の突状１２１２へ嵌め、
ねじ２６２…で連結する。また、斯様に支持した
格子１２の外周面は、躯体の周壁へ隣接させるこ
ととなるが、この外周面と周壁との間にシリコン
シールを施す。
用格子１２は、第４図に示す、天井スラブ乃至梁
から垂設した吊りボルト２６…により支持する
が、第４図、第５図に示すように、吊りボルト２
６…の下端にコ字状金物２６１…を設け、該コ字
状金物を中空枠材１２１の突状１２１２へ嵌め、
ねじ２６２…で連結する。また、斯様に支持した
格子１２の外周面は、躯体の周壁へ隣接させるこ
ととなるが、この外周面と周壁との間にシリコン
シールを施す。
而して、天井フイルタ取付用格子１２には、各
枡目にそれぞれ天井フイルタ１３…を嵌め、各天
井フイルタの周縁部を、格子を構成する中空枠材
１２１の主部１２１１の上面に載置し、該主部の
上層部ａへ気密に支持させる。
枡目にそれぞれ天井フイルタ１３…を嵌め、各天
井フイルタの周縁部を、格子を構成する中空枠材
１２１の主部１２１１の上面に載置し、該主部の
上層部ａへ気密に支持させる。
なお、天井フイルタ取付用格子１２は、中空枠
材１２１を継ぐ部分、例えば、交差部乃至その周
辺で、通気性を生じないよう遮断するとよい。中
空枠材１２１の主部１２１１は、断面日字状に限
るものではなく、３層以上の複層構造にしてもよ
い。また、その成層は、上下方向でなくて横方向
であつてもよい。そして、中空の形状は、断面方
形に限らず、円形、その他の形状であつてもよ
い。中空枠材１２１の上面の突条１２１２は、段
面凸字条に限らず適宜である。該突条１２１２
は、必ずしも必要でなく、支持手段を講ずるとが
できればなくてもよい。中空枠材１２１の上面等
には、合成樹脂等のシール材、液体式シール手段
等の適宜シール手段を施してもよい。
材１２１を継ぐ部分、例えば、交差部乃至その周
辺で、通気性を生じないよう遮断するとよい。中
空枠材１２１の主部１２１１は、断面日字状に限
るものではなく、３層以上の複層構造にしてもよ
い。また、その成層は、上下方向でなくて横方向
であつてもよい。そして、中空の形状は、断面方
形に限らず、円形、その他の形状であつてもよ
い。中空枠材１２１の上面の突条１２１２は、段
面凸字条に限らず適宜である。該突条１２１２
は、必ずしも必要でなく、支持手段を講ずるとが
できればなくてもよい。中空枠材１２１の上面等
には、合成樹脂等のシール材、液体式シール手段
等の適宜シール手段を施してもよい。
根太１５は、上述のように、天井フイルタ取付
用格子１２と同一乃至整数倍のモジユールの格子
状に構成するが、第４図に示すように、高さ調整
用アジヤスタ２０付きのスタンド１９…でスラブ
上にレタンチヤンバを保つて支持し、その根太１
５の上面中央に隣接相互の床材１６，１６間へ介
在させる間仕切壁支持用受材１８を一体乃至別体
に併設固定し、該受材付根太のなす各枡目にそれ
ぞれグレーチングパンチングメタル等の通風性床
材１６…を嵌めて、これらの床材の周縁部を根太
で受けている。
用格子１２と同一乃至整数倍のモジユールの格子
状に構成するが、第４図に示すように、高さ調整
用アジヤスタ２０付きのスタンド１９…でスラブ
上にレタンチヤンバを保つて支持し、その根太１
５の上面中央に隣接相互の床材１６，１６間へ介
在させる間仕切壁支持用受材１８を一体乃至別体
に併設固定し、該受材付根太のなす各枡目にそれ
ぞれグレーチングパンチングメタル等の通風性床
材１６…を嵌めて、これらの床材の周縁部を根太
で受けている。
［作用］
如上のように、天井フイルタ取付用格子１２と
受材１８付根太１５を同一乃至整数倍のモジユー
ルに設定したから、天井フイルタ取付用格子１２
の任意な中空枠材１２１とこれに対応する受材１
８とを適宜に選択して、その中空枠材と受材との
間に間仕切壁２１…を建て込むことができ、この
建込みには、第４図に示すように、間仕切壁の下
端を受材へ係合させ、上端を中空枠材の下面へ当
接させて、中空枠材の主部下層ｂへねじ２７…で
固定する。
受材１８付根太１５を同一乃至整数倍のモジユー
ルに設定したから、天井フイルタ取付用格子１２
の任意な中空枠材１２１とこれに対応する受材１
８とを適宜に選択して、その中空枠材と受材との
間に間仕切壁２１…を建て込むことができ、この
建込みには、第４図に示すように、間仕切壁の下
端を受材へ係合させ、上端を中空枠材の下面へ当
接させて、中空枠材の主部下層ｂへねじ２７…で
固定する。
また、天井フイルタ取付用格子１２には、任意
な中空枠材１２１を適宜に選択して、第５図に示
すように、照明器具２８…、その他の器具を自由
に取り付けることができ、この取付けには、照明
器具２８…等の上面を中空枠材１２１の下面へ当
接させて、中空枠材の主部下層部ｂへねじ２７…
で固定する。
な中空枠材１２１を適宜に選択して、第５図に示
すように、照明器具２８…、その他の器具を自由
に取り付けることができ、この取付けには、照明
器具２８…等の上面を中空枠材１２１の下面へ当
接させて、中空枠材の主部下層部ｂへねじ２７…
で固定する。
照明器具等の配線は、中空枠材の主部下層部ｂ
へ挿通させる。
へ挿通させる。
更に、天井フイルタ１３…の直下で天井フイル
タ取付用格子１２の各枡目に風速調整用のパンチ
ングフエースを取り付けることもでき、その場合
は、第４図に示すように、中空枠材１２１の主部
１２１１における下層部ｂの側面に溝型の支持枠
２９…を気密に固定し、パンチングフエース３０
…の周縁に係合縁３０１…を設けて、該係合縁を
支持枠２９…へ係合させる。
タ取付用格子１２の各枡目に風速調整用のパンチ
ングフエースを取り付けることもでき、その場合
は、第４図に示すように、中空枠材１２１の主部
１２１１における下層部ｂの側面に溝型の支持枠
２９…を気密に固定し、パンチングフエース３０
…の周縁に係合縁３０１…を設けて、該係合縁を
支持枠２９…へ係合させる。
［発明の効果］
本発明によれば、天井フイルタ取付用格子の天
井への取付け、並びに、該格子の枡目への天井フ
イルタの取付を、該格子を構成する気密に遮断さ
れた複層構造の中空枠材において一方の層で行
い、間仕切壁、照明器具等の〓後の取付けに係る
ものの取付けを、その中空枠材において他方の層
で行うことができ、従つて、これらの取付けに、
ねじ等が用いられ或いは穿孔等がなされても、中
空枠材の層別により相互が気密に遮断されて気密
性が崩れることなく、取付けの都度シール手段を
講じる必要がない。これにより、間仕切壁、照明
器具等は、簡単に取り付けることができ、その位
置変えも極めて容易に行える。
井への取付け、並びに、該格子の枡目への天井フ
イルタの取付を、該格子を構成する気密に遮断さ
れた複層構造の中空枠材において一方の層で行
い、間仕切壁、照明器具等の〓後の取付けに係る
ものの取付けを、その中空枠材において他方の層
で行うことができ、従つて、これらの取付けに、
ねじ等が用いられ或いは穿孔等がなされても、中
空枠材の層別により相互が気密に遮断されて気密
性が崩れることなく、取付けの都度シール手段を
講じる必要がない。これにより、間仕切壁、照明
器具等は、簡単に取り付けることができ、その位
置変えも極めて容易に行える。
また、天井フイルタ取付用格子と床の受材付根
太を同一乃至整数倍のモジユールに構成している
ので、間仕切壁の建込みは、天井フイルタ取付用
格子の任意な中空枠材とこれに対応する受材とを
適宜に選択して簡単に行うことができ、その位置
変えも容易に行うことができる。
太を同一乃至整数倍のモジユールに構成している
ので、間仕切壁の建込みは、天井フイルタ取付用
格子の任意な中空枠材とこれに対応する受材とを
適宜に選択して簡単に行うことができ、その位置
変えも容易に行うことができる。
よつて、製造プロセスの大幅な変更に対しても
フレキシビリテイをもたせることができ、大々的
な改造工事を要しない。
フレキシビリテイをもたせることができ、大々的
な改造工事を要しない。
第１図乃至第５図は、本発明の実施例で、第１
図は、天井と床のモジユールを示す説明図、第２
図は、天井の一部の拡大抑視図、第３図は、中空
枠材の拡大断面図、第４図は、間仕切壁及びパン
チングフエースの取付け状態を示す要部拡大断面
図、第５図は、照明器具の取付けを示す要部拡大
切断斜視図であり、第６図は、従来例を示す構成
要領断面図である。 １２…天井フイルタ取付用格子、１３…天井フ
イルタ、１４…天井チヤンバ、１５…根太、１６
…通風性床材、１７…レタンチヤンバ、１８…受
材、１９…スタンド、２０…アジヤスタ、２１…
間仕切壁、２６…吊りボルト、２７…ねじ、２８
…照明器具、３０…パンチングフエース。
図は、天井と床のモジユールを示す説明図、第２
図は、天井の一部の拡大抑視図、第３図は、中空
枠材の拡大断面図、第４図は、間仕切壁及びパン
チングフエースの取付け状態を示す要部拡大断面
図、第５図は、照明器具の取付けを示す要部拡大
切断斜視図であり、第６図は、従来例を示す構成
要領断面図である。 １２…天井フイルタ取付用格子、１３…天井フ
イルタ、１４…天井チヤンバ、１５…根太、１６
…通風性床材、１７…レタンチヤンバ、１８…受
材、１９…スタンド、２０…アジヤスタ、２１…
間仕切壁、２６…吊りボルト、２７…ねじ、２８
…照明器具、３０…パンチングフエース。
Claims (1)
- １ 気密に遮断された複層構造の中空枠材により
天井フイルタ取付用格子を組み、該格子の各枡目
にそれぞれ１乃至数枚の天井フイルタを嵌めて、
相互間を気密に連係させ、また、床材を受ける根
太を格子状に組み、該根太の上面に隣接相互の床
材間へ介在させて間仕切壁等を受ける受材を１体
乃至別体に併設し、該受材付根太を上記天井フイ
ルタ取付用格子と同一乃至整数倍のモジユールに
形成し、該受材根太のなす各枡目にそれぞれグレ
ーチング、パンチングメタル等の通風性床材を嵌
めて、これらの床材の周縁部を根太で受けたこと
を特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60068215A JPS61225527A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60068215A JPS61225527A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61225527A JPS61225527A (ja) | 1986-10-07 |
| JPH034816B2 true JPH034816B2 (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=13367350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60068215A Granted JPS61225527A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61225527A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0248019Y2 (ja) * | 1985-07-06 | 1990-12-17 | ||
| JPH0233550A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-02 | Fuorumu Sekkei Jimusho:Kk | クリーンルーム |
| JP2539960Y2 (ja) * | 1988-10-25 | 1997-07-02 | 株式会社竹中工務店 | クリーンルームの間仕切り装置 |
| JP2507121B2 (ja) * | 1990-02-28 | 1996-06-12 | 松下電器産業株式会社 | 留守番電話装置 |
| JPH048029U (ja) * | 1990-05-07 | 1992-01-24 | ||
| JP4557316B2 (ja) * | 1997-07-24 | 2010-10-06 | Ｏｋｉセミコンダクタ株式会社 | 半導体素子の製造方法、および半導体素子製造用処理室 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58195498U (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-26 | 凸版印刷株式会社 | 電磁波シ−ルド用転写箔 |
| JPH0636477B2 (ja) * | 1983-01-27 | 1994-05-11 | 大日本印刷株式会社 | 電磁波遮蔽層転写シ−ト |
| JPS59121855U (ja) * | 1983-02-02 | 1984-08-16 | 松下電器産業株式会社 | 可撓性プリント配線基板 |
| JPH0217627Y2 (ja) * | 1985-01-30 | 1990-05-17 |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP60068215A patent/JPS61225527A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61225527A (ja) | 1986-10-07 |
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