JPH04135647A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルームに関し、更に詳しくは、室内に
設けた有害ガス発生源部の空気を除害処理して室外の排
出部より排出する除害手段と、前記室内から取り出した
空気を清浄化して前記室内へ返戻する空気浄化手段とを
備えたクリーンルームに関する。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルームにおいて、その室内での有害ガス
の発生状況に異常か生じた場合、前記室内の空気を、前
記除害手段及び前記空気浄化手段を用いて除害・清浄化
していた。

〔発明か解決しようとする課題〕

前記除害手段は前記有害ガス発生源部で通常発生する有
害ガスの処理のためのものであり、前記室内で有害ガス
が異常に発生した状態に対処するにはその処理能力が不
足するので、その処理は、前記空気浄化手段を用いて行
われるようになる。然るに、前記空気浄化手段は前記室
内の空気を循環させつつ清浄化するものであるため、そ
の処理に長時間を要するという問題がある。

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、上
述の問題の解消を図り得るクリーンルームを提供するこ
とを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係るクリーンルームの第１の特徴構成は、有害
ガスの発生状況の異常を検知するセンサを前記有害ガス
発生源部又はその近傍に設けると共に、外気を室内に取
り入れ且つ室内の空気を除害処理して室外の排出部より
排出する換気手段を設け、前記センサによる異常検知に
基づいて前記空気浄化手段を非作動状態にし且つ前梧換
気手段を作動状態にする制御手段を設けてある点にあり
、その作用効果は次の通りである。

〔作　用〕

かかる本発明装置においては、クリーンルーム内で有害
ガスが異常に発生した場合、前記センサによってその異
常を検知し、その検知に基づく前記制御手段の制御によ
り、前記空気浄化手段を非作動状態にし且つ前記換気手
段を作動状態にする。その結果、前記室内の空気は、従
来のように循環されつつ清浄化されるのではなく、前記
換気手段を用いて一挙に一掃されるように処理されるこ
ととなる。しかも、その処理される空気は、除害処理さ
れた状態で外に排出されるようになる。

〔発明の効果〕

従って、本発明装置によれば、前記異常の処理が短時間
で行われるようになり、クリーンルーム内で作業する作
業者が有害ガスに曝される時間の短縮が図れ、作業の安
全化か図れるようになる。しかも、処理後に排出される
空気は除害処理されているので、公害対策も図れる。

〔本発明の第２の特徴構成〕 本発明に係るクリーンルームの第２の特徴構成は、前記
制御手段を、前記センサによる異常検知に基づき、前記
除害装置による処理量を増大させるように構成してある
点にある。

かかる本発明装置によれば、クリーンルーム内での前記
異常に対する処理を、前記換気手段に加え、処理量の増
大した前記除害装置によっても行えるようになり、その
処理量が更に増大する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

図面は、本発明に係るクリーンルームの一実施例を示し
ており、図中、（Ａ）はそのクリーンルームの室内を示
している。

その室内（Ａ）の雰囲気は、空気浄化手段（Ｂ）によっ
て清浄化され、その清浄化された雰囲気の室内（Ａ）に
おいては、清浄な雰囲気の下てないと不都合が生じる各
種作業が行われるようになっでいる。

前記空気浄化手段（Ｂ）は、具体的には、以下に詳述す
るように構成されている。

即ち、クリーンルームの側壁部には空気排出口（１）が
設けられ、またクリーンルームの天井部には空気供給口
（２）が設けられており、前記空気排出口（１）から前
記室内（Ａ）の空気を排出すると共に、前記空気供給口
（２）から清浄空気を供給することにより、室内（Ａ）
の空気は清浄な状態に維持されるようになっている。

前記空気供給口（２）には、管路にファン（３）を介装
した空気供給管（４）が接続されており、そのファン（
３）を駆動することにより、前記空気供給管（４）内の
空気は前記空気供給口（２）経由で前記室内（Ａ）へ供
給されるようになっている。

前記空気供給管（４）における、ファン（３）介装位置
よりも上流側には、フィルター（５）が介装されており
、そのフィルター（５）に前記空気を通すことで、前記
空気は清浄化されるようになる。尚、前記空気供給管（
４）においては、前記ファン（３）介装位置と前記フィ
ルター（５）介装位置との間から、調整弁（６ａ）を介
装し且つ先端が前記室内（Ａ）に開口している分岐管（
６）か分岐している。そして、前記調整弁（６ａ）を調
整することにより、前記空気供給管（４）内の空気の前
記室内（Ａ）への供給量が調整されるようになっている
。

前記空気排出口（１）には、管路に開閉弁（７ａ）を介
装し且つ先端が前記空気供給管（４）のフィルター（５
）介装位置の上流側に通じている（図中の仮想線参照）
空気排出管（７）か接続されている。そして、前記空気
排出口（１）から排出される前記室内（Ａ）の空気は前
記空気供給管（４）へ導かれ、前記フィルター（５）を
通過することで清浄化された後、前記室内（Ａ）へ返戻
されるようになっている。尚、その空気の返戻時には必
要に応じて外気が補給される。

前記空気浄化手段（Ｂ）は以上のように構成されている
。

前記室内（Ａ）の適宜位置には、前記各種作業に使用さ
れる有害ガスが充填されたボンベ（８）を内部に貯蔵配
置したボックス（９）が設けられている。そのボックス
（９）内においては、ボンベ（８）の開閉作業を行うと
き等にボンベ（８）から有害ガスが漏洩する虞れがあり
、前記ボックス（９）内は有害ガス発生源部（Ｃ）とな
る。そこで、その有害ガス発生源部（Ｃ）における有害
ガスは、除害手段（Ｄ）によって除害処理されて室外に
排出されるようになっている。

前記除害手段（Ｄ）は、具体的には、以下に詳述するよ
うに構成されている。

即ち、前記ボックス（９）の天井部から引き出された有
害ガス排出管（１２）は、その先端かクリーンルームの
室外に設置された除害装置（１３）に引き込まれている
。そして、その有害ガス排出管（１２）経由で、前記ボ
ックス（９）内から前記除害装置（１３）まで導かれる
有害ガスは、前記除害装置（１３）によって除害処理が
行われた後、その排出部としての排出管（１０）から排
出されるようになっている。

前記除害手段（Ｄ）は以上のように構成されている。

さて、前記有害ガス発生源部（Ｃ）及びその近傍には、
前記室内（Ａ）における有害ガスの発生状況の異常を検
知するセンサ（１４）が設けられており、そのセンサ（
１４）の検知情報に関する信号は、制御手段（Ｅ）へ入
力されるようになっている。

また、前記クリーンルームには、外気を前記室内（Ａ）
に−挙に取り入れると共に、前記室内（Ａ）の空気を除
害処理して室外の排出部より排出する換気手段（Ｆ）が
付設されている。

前記換気手段（Ｆ）は、具体的には、以下に詳述するよ
うに構成されている。

即ち、前記クリーンルームの天井部に設けられた外気取
入口（１７）には、外気を前記室内（Ａ）へ取り入れる
ための外気取入管（１６）が接続されている。その外気
取入管（１６）には開閉弁（１６ａ）か管路に介装され
ている。また、前記クリーンルームの側壁部に設けられ
た空気排出口（１８）には、前記室内（Ａ）の空気を排
出するための空気排出管（１９）が接続されている。そ
の空気排出管（１９）には、開閉弁（１９ａ）が管路の
介装されている。そして前記空気排出管（１９）の端末
部には、その管（１９）内の空気を吸引して端末側へ送
り出すための吸引力を引き起こすファン（２０）が接続
されており、そのファン（２０）の駆動によって、前記
管（１９）内の空気は端末側へ吸引されて送り出される
。更に、その空気は前記ファン（２０）の更に端末側に
接続された除害装置（２１）に送り込まれ、その装置（
２１）によって適宜の除害処理が行われた後、前記室外
の排出部としての排出管（１５）から排出されるように
なっている。

前記換気手段（Ｆ）は以上のように構成されている。

尚、前記外気取入管（１６）の開閉弁（１６ａ）及び前
記空気排出管（１９）の開閉弁（１９ａ）の開閉制御は
、前記制御手段（Ｅ）からの制御信号によって行われる
。また、その制御手段（Ｅ）からの制御信号によって、
前記空気供給管（４）の管路に介装されたファン（３）
の駆動制御、及び、前記空気排出管（７）の管路に介装
された開閉弁（７ａ）の開閉制御も行われるようになっ
ている。

また、前記クリーンルームの室内（Ａ）には、その室内
（Ａ）にて生じる廃液等の処理を行うためのスクラバー
（２２）も配置されており、そのスクラバー（２２）か
ら引き出された排出管（２３）も前記空気排出管（１９
）の端末部（前記ファン（３）の接続位置の上流側）に
連通接続されている。

かかる構成の本発明装置において、前記室内（Ａ）内で
の有害ガスの発生状況に異常を来していない状態（通常
時）では、前記制御手段（Ｅ）の制御によって前記開閉
弁（７ａ）を開くと共に前記ファン（３）を駆動して前
記空気浄化手段（Ｂ）を作動状態にし、もって前記室内
（Ａ）の空気を循環させつつ清浄化する。この場合、前
記空気供給口（２）から前記室内（Ａ）へ供給される清
浄化空気の流量は例えば８４ＣＭＭ程度であり、前記空
気排出口（１）から排出される空気の流量は例えば５〜
２０ＣＭＭ程度である。そして、その条件では前記空気
の循環を行うのに流量か不足して釣り合いがとれないの
で、その不足分は外気補給によって補われる。またこの
状態で、前記ボックス（９）内の空気も例えば５ＣＭＭ
程度の流量で前記除害装置（１３）へ送り出され、そこ
で除害処理が行われる。尚、前記開閉弁（１６ａ）、　
（１９ａ）は、前記換気手段（Ｆ）を非作動状態とする
ために閉じておく。

また、前記室内（Ａ）内での有害ガスの発生状況に異常
を来した状態（緊急時）では、前記制御手段（Ｅ）の制
御によって前記開閉弁（１６ａ）。

（１９ａ）を開いて前記換気手段（Ｆ）を作動状態にし
、もって前記室内（Ａ）の空気を一挙に一掃する。尚、
前記開閉弁（７ａ）を閉じると共に前記ファン（３）の
駆動を停止することにより、前記空気浄化手段（Ｂ）は
非作動状態にしておく。この場合、前記外気取入口（１
７）から前記室内（Ａ）へ取り入れる外気の流量は、例
えば８４ＣＭＭ程度であり、前記空気排出口（１８）か
ら排出する前記室内（Ａ）の空気の流量は、例えば５０
ＣＭＭ程度である。また、前記ボックス（９）内の空気
は、例えば１００ＭＭ程度の流量で通常時よりも多量に
前記除害装置（１３）へ送り出され、そこで除害処理が
行われる。尚、前記空気浄化手段（Ｂ）を作動させない
ので、前記開閉弁（７ａ）は閉じると共に前記ファン（
３）はその駆動を停止させておく。

尚、前記スクラバー（２２）経由で前記室内（Ａ）から
排出される空気は、例えば１９ｃＭＭ程度の流量である
（通常時・緊急時共）。

〔別実施例〕

尚、緊急時においても、前記空気排出口（１）から例え
ば５　ＣＭＭ程度の流量の空気を排出することも考えら
れる。この場合、前記空気排出口（１８）から排出され
る前記室内（Ａ）の空気の流量は前記流量に応じて減る
。

また、緊急時においても、前記ボックス（９）内の空気
を通常時と同様の流量で前記除害装置（１３）へ送り出
すことも考えられる。

また、有害ガスの発生状況の異常を検知する前記センサ
（１４）の設置位置は、前記有害ガス発生源部（Ｃ）の
みであってもよく、またその近傍のみであってもよい。

要するに、前記異常が前記センサ（１４）によって検知
できればよい。

尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利にする為
に符号を記すが、該記入により本発明は添付図面の構成
に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係るクリーンルームの一実施例を模式的
に示す縦断面図である。 （１４）・・・・・・センサ、（Ａ）・・・・・・室内
、（Ｂ）・・・・・・空気浄化手段、（Ｃ）・・・・・
・有害ガス発生源部、（Ｄ）・・・・・・除害手段、（
Ｅ）・・・・・・制御手段、（Ｆ）・・・・・・換気手
段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、室内（Ａ）に設けた有害ガス発生源部（Ｃ）の空気
   を除害処理して室外の排出部より排出する除害手段（Ｄ
   ）と、前記室内（Ａ）から取り出した空気を清浄化して
   前記室内（Ａ）へ返戻する空気浄化手段（Ｂ）とを備え
   たクリーンルームであって、 有害ガスの発生状況の異常を検知するセンサ（１４）を
   、前記有害ガス発生源部（Ｃ）又はその近傍に設けると
   共に、 外気を室内（Ａ）に取り入れ、且つ、室内（Ａ）の空気
   を除害処理して室外の排出部より排出する換気手段（Ｆ
   ）を設け、 前記センサ（１４）による異常検知に基づき、前記空気
   浄化手段（Ｂ）を非作動状態にし、且つ、前記換気手段
   （Ｆ）を作動状態にする制御手段（Ｅ）を設けてあるク
   リーンルーム。 ２、前記制御手段（Ｅ）を、前記センサ（１４）による
   異常検知に基づき、前記除害装置（Ｄ）による処理量を
   増大させるように構成してある請求項１記載のクリーン
   ルーム。