JPH04136538U - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 溶接による歩留が良好安価で、信頼性の高い
差圧測定装置を実現する。 【構成】 ブロック状の受圧部に隔液ダイアフラムの周
縁部が隔液リングにより溶接固定される差圧測定装置に
おいて、前記隔液ダイアフラムと前記隔液リングとが該
隔液ダイアフラムと該隔液リングと溶接容易でかつ前記
受圧部と溶接容易な材質からなる中間リングを介して前
記受圧部に溶接固定されたことを特徴とする差圧測定装
置である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、溶接による歩留が良好安価で、信頼性の高い差圧測定装置に関する ものである。

【０００２】

【従来の技術】

図２は、従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、実開 昭６０―１８１６４２号に示されている。

【０００３】 図において、 １はハウジングで、円柱状の首部１Ａと、首部１Ａの端部外周縁部１Ｃにおい て溶接接続されたブロック状の受圧部１Ｂとよりなる。 ハウジング１の両側に高圧側フランジ２、低圧側フランジ３が溶接等によって 固定されており、両フランジ２，３には測定せんとする圧力Ｐ_H の高圧流体の導 入口４、圧力Ｐ_L の低圧流体の導入口５が設けられている。

【０００４】 ハウジング１内に圧力測定室６が形成されており、この圧力測定室６内にセン タダイアフラム７とシリコンダイアフラム８が設けられている。 センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８はそれぞれ別個に圧力測定室 ６の壁に固定されており、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８の両 者でもって圧力測定室６を２分している。 センタダイアフラム７と対向する圧力測定室６の壁には、バックプレ―ト６Ａ ，６Ｂが形成されている。

【０００５】 センタダイアフラム７は周縁部をハウジング１に溶接されている。 シリコンダイアフラム８は全体が単結晶のシリコン基板から形成されている。 シリコン基板の一方の面にボロン等の不純物を選択拡散して４っのストレンゲ ―ジ８０を形成し、他方の面を機械加工、エッチングし、全体が凹形のダイアフ ラムを形成する。

【０００６】 ４っのストレインゲ―ジ８０は、シリコンダイアフラム８が差圧ΔＰを受けて たわむ時、２つが引張り、２つが圧縮を受けるようになっており、これらがホイ ―トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧ΔＰの変化として検出さ れる。 シリコンダイアフラム８は、首部１Ａを２個のセンサ室８１，８２に分ける。

【０００７】 支持体９の圧力測定室６側端面に、低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイ アフラム８が接着固定されている。 ハウジング１と高圧側フランジ２、および低圧側フランジ３との間に、圧力導 入室１０，１１が形成されている。 この圧力導入室１０，１１内に隔液ダイアフラム１２，１３を設け、この隔液 ダイアフラム１２，１３と対向するハウジング１の壁１０Ａ，１１Ａに隔液ダイ アフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ―トが形成されている。 隔液ダイアフラム１２，１３は、受圧部１Ｂに図３に示すごとく、隔液リング １２１，１３１により周縁部が溶接されている。

【０００８】 隔液ダイアフラム１２，１３とバックプレ―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される 空間と、圧力測定室６は、連通孔１４，１５を介して導通している。 そして、隔液ダイアフラム１２，１３間にシリコンオイル等の封入液１０１， １０２が満たされ、この封入液が連通孔１６，１７を介してシリコンダイアフラ ム８の上下面にまで至っている。 封入液１０１，１０２は、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８と によって２分されているが、その量が、ほぼ均等になるように配慮されている。 １８は、受圧部１Ｂとフランジ２，３との間に設けられたガスケットで、この 場合は、Ｏリングが使用されている。

【０００９】 以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１２ に作用する圧力が封入液１０１によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１３に作用する圧力 が封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達される。

【００１０】 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が歪み 、この歪み量がストレインゲ―ジ８０によって電気的に取出され、差圧の測定が 行なわれる。

【００１１】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、この様な装置においては、通常は、受圧部１Ｂと隔液ダイアフ ラム１２，１３と隔液リング１２１，１３１とは同一材料が使用され、一般には ステンレスが使用される。 しかし、腐蝕性の強い測定流体に使用する場合には、隔液ダイアフラム１２， １３と隔液リング１２１，１３１と耐食性の良好な、例えば、モネル等が使用さ れる場合がある。この場合、受圧部１Ｂ３のステンレスと隔液ダイアフラム１２ ，１３と隔液リング１２１，１３１のモネルとの溶接性は良くなく、溶接歩留が 悪く、コストが掛かると共に、製品の信頼性を損う。

【００１２】 本考案は、この問題点を、解決するものである。 本考案の目的は、溶接による歩留が良好安価で、信頼性の高い差圧測定装置を 提供するにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】

この目的を達成するために、本考案は、ブロック状の受圧部に隔液ダイアフラ ムの周縁部が隔液リングにより溶接固定される差圧測定装置において、 前記隔液ダイアフラムと前記隔液リングとが該隔液ダイアフラムと該隔液リン グと溶接容易でかつ前記受圧部と溶接容易な材質からなる中間リングを介して前 記受圧部に溶接固定されたことを特徴とする差圧測定装置を構成したものである 。

【００１４】

【作用】

以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作 用する圧力が封入液によってシリコンダイアフラムに伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作用する圧力が封 入液によってシリコンダイアフラムに伝達される。 従って、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラムが歪み、こ の歪み量がストレインゲ―ジによって電気的に取出され、差圧の測定が行なわれ る。

【００１５】 而して、隔液ダイアフラムと隔液リングとが、隔液ダイアフラムと隔液リング と溶接容易で、かつ、受圧部と溶接容易な材質からなる中間リングを介して受圧 部に溶接固定されたので、溶接が確実にでき、歩留が向上し、製造コストの低下 と、信頼性の向上とが図れる。 以下、実施例に基づき詳細に説明する。

【００１６】

【実施例】

図１は本考案の一実施例の要部構成説明図である。

【００１７】 図において、 隔液ダイアフラム２１，２２と隔液リング２１１，２２１とが、隔液ダイアフ ラム２１，２２と隔液リング２１１，２２１と溶接容易で、かつ、受圧部１Ｂと 溶接容易な材質からなる中間リング２１２，２２２を介して受圧部１Ｂに溶接固 定されている。 この場合は、隔液ダイアフラム２１，２２と隔液リング２１１，２２１とはモ ネルからなり、中間リング２１２，２２２は純ニッケルあるいは高ニッケル合金 からなり、受圧部１Ｂはステンレスよりなる。

【００１８】 以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１２ に作用する圧力が封入液１０１によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１３に作用する圧力 が封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 従って、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が歪み、 この歪み量がストレインゲ―ジ８０によって電気的に取出され、差圧の測定が行 なわれる。

【００１９】 而して、隔液ダイアフラム２１，２２と隔液リング２１１，２２１とが、隔液 ダイアフラム２１，２２と隔液リング２１１，２２１と溶接容易で、かつ、受圧 部１Ｂと溶接容易な材質からなる中間リング２１２，２２２を介して受圧部１Ｂ に溶接固定された。

【００２０】 この結果、 （１）隔液ダイアフラム２１，２２と隔液リング２１１，２２１と受圧部１Ｂの 溶接が確実に出来、歩留が向上し、製造コストを低下出来る。 （２）隔液ダイアフラム２１，２２と隔液リング２１１，２２１と受圧部１Ｂの 溶接が確実にでき、信頼性の向上が図れる。

【００２１】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案は、ブロック状の受圧部に隔液ダイアフラムの周 縁部が隔液リングにより溶接固定される差圧測定装置において、 前記隔液ダイアフラムと前記隔液リングとが該隔液ダイアフラムと該隔液リン グと溶接容易でかつ前記受圧部と溶接容易な材質からなる中間リングを介して前 記受圧部に溶接固定されたことを特徴とする差圧測定装置を構成した。

【００２２】 この結果、隔液ダイアフラムと隔液リングとが、隔液ダイアフラムと隔液リン グと溶接容易で、かつ、受圧部と溶接容易な材質からなる中間リングを介して受 圧部に溶接固定されたので、溶接が確実に出来る。

【００２３】 従って、 （１）隔液ダイアフラムと隔液リングと受圧部の溶接が確実に出来、歩留が向上 し、製造コストを低下出来る。 （２）隔液ダイアフラムと隔液リングと受圧部の溶接が確実にでき、信頼性の向 上が図れる。

【００２４】 従って、本考案によれば、溶接による歩留が良好安価で、信頼性の高い差圧測 定装置を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の要部構成説明図である。

【図２】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

【図３】図２の詳細説明図である。

【符号の説明】

１…ハウジング １Ａ…首部 １Ｂ…受圧部 １Ｃ…溶接部 ２…高圧側フランジ ３…低圧側フランジ ４，５…導入口 ６…圧力測定室 ６Ａ…バックプレ―ト ６Ｂ…バックプレ―ト ７…センタダイアフラム ８…シリコンダイアフラム ９…支持体 １０…圧力導入室 １０Ａ…バックプレ―ト １１…圧力導入室 １１Ａ…バックプレ―ト １４…連通孔 １５…連通孔 １６…連通孔 １７…連通孔 １８…Ｏリング ２１，２２…隔液ダイアフラム ８０…ストレインゲ―ジ ８１…センサ室 ８２…センサ室 １０１…封入液 １０２…封入液 ２１１…隔液リング ２１２…中間リング ２２１…隔液リング ２２２…中間リング

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ブロック状の受圧部に隔液ダイアフラムの
   周縁部が隔液リングにより溶接固定される差圧測定装置
   において、前記隔液ダイアフラムと前記隔液リングとが
   該隔液ダイアフラムと該隔液リングと溶接容易でかつ前
   記受圧部と溶接容易な材質からなる中間リングを介して
   前記受圧部に溶接固定されたことを特徴とする差圧測定
   装置。