JPH0413774B2 - - Google Patents
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- JPH0413774B2 JPH0413774B2 JP62136668A JP13666887A JPH0413774B2 JP H0413774 B2 JPH0413774 B2 JP H0413774B2 JP 62136668 A JP62136668 A JP 62136668A JP 13666887 A JP13666887 A JP 13666887A JP H0413774 B2 JPH0413774 B2 JP H0413774B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- control
- rotating body
- disk
- axis
- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ビデオデイスク、PCMデイスク
などから記録情報を光学的に読み出す再生装置に
係り、特にデイスク面に光スポツトを形成する集
光手段の駆動機構に関するものである。
などから記録情報を光学的に読み出す再生装置に
係り、特にデイスク面に光スポツトを形成する集
光手段の駆動機構に関するものである。
従来この種の装置として第5図に示すものがあ
つた。図において、1はHe−Neなどのレーザ光
源、2はレーザ光、3は拡散レンズ、4はハーフ
ミラー、5はトラツク追跡制御ミラー装置、6は
焦点制御レンズ装置、7は光検知器、8はデイス
ク、9はモータ、10は再生信号処理回路、11
はトラツク追跡制御回路、12は焦点制御回路、
13はピツトである。
つた。図において、1はHe−Neなどのレーザ光
源、2はレーザ光、3は拡散レンズ、4はハーフ
ミラー、5はトラツク追跡制御ミラー装置、6は
焦点制御レンズ装置、7は光検知器、8はデイス
ク、9はモータ、10は再生信号処理回路、11
はトラツク追跡制御回路、12は焦点制御回路、
13はピツトである。
次に動作について説明する。レーザ光源1から
出たレーザ光2は拡散レンズ3で拡散された後、
ハーフミラー4及びトラツク追跡制御ミラー装置
5を経て、焦点制御レンズ装置6に収納された集
光レンズでデイスク8上にミクロンオーダの光ス
ポツト(光学針)を形成する。一方、デイスク8
には第6図に示す様にミクロンオーダのピツト1
3がスパイラル状もしくは同心円状のトラツクと
して記録されている。このミクロンオーダのピツ
ト13に、ミクロンオーダに集光した光ビーム2
を適正な位置関係に維持することにより、光学的
に信号を再生している。
出たレーザ光2は拡散レンズ3で拡散された後、
ハーフミラー4及びトラツク追跡制御ミラー装置
5を経て、焦点制御レンズ装置6に収納された集
光レンズでデイスク8上にミクロンオーダの光ス
ポツト(光学針)を形成する。一方、デイスク8
には第6図に示す様にミクロンオーダのピツト1
3がスパイラル状もしくは同心円状のトラツクと
して記録されている。このミクロンオーダのピツ
ト13に、ミクロンオーダに集光した光ビーム2
を適正な位置関係に維持することにより、光学的
に信号を再生している。
第7図は光スポツトとデイスクとの位置関係を
説明するための図であり、この図で示すように光
ビーム2は集光された後に再び拡がる。このよう
な状態において、最も効率の良い再生を行なうた
めには、最も集光されている付近で再生すること
が良いのは明らかな事である。ところがデイスク
8を第5図の矢印Cの方向に回転させると、デイ
スク8の初期うねり、モータ9による振動、外乱
等によりデイスク8の記録面が第7図a,b,c
で示したように変化することになる。同様に光ス
ポツトと記録トラツクとの関係も、記録トラツク
の蛇行、デイスク8の取り付け偏心等によつて第
7図d,e,fの様に位置ずれを生じる。従つて
常に効率の良い再生を行うには、常時、焦点方向
及びトラツクと直行する方向において光ビーム2
の光スポツトがピツト13を追跡する必要が生じ
る。
説明するための図であり、この図で示すように光
ビーム2は集光された後に再び拡がる。このよう
な状態において、最も効率の良い再生を行なうた
めには、最も集光されている付近で再生すること
が良いのは明らかな事である。ところがデイスク
8を第5図の矢印Cの方向に回転させると、デイ
スク8の初期うねり、モータ9による振動、外乱
等によりデイスク8の記録面が第7図a,b,c
で示したように変化することになる。同様に光ス
ポツトと記録トラツクとの関係も、記録トラツク
の蛇行、デイスク8の取り付け偏心等によつて第
7図d,e,fの様に位置ずれを生じる。従つて
常に効率の良い再生を行うには、常時、焦点方向
及びトラツクと直行する方向において光ビーム2
の光スポツトがピツト13を追跡する必要が生じ
る。
このため従来の装置においては、焦点制御レン
ズ装置6とトラツク追跡制御ミラー装置5とが用
いられていた。これらの装置は、それぞれ集光レ
ンズをデイスク8に垂直な矢印A方向(第5図参
照)に上下させ、又トラツク追跡制御ミラー装置
5のミラーを矢印B方向に回転させるものであ
る。ここでは詳細な説明は省略するが、デイスク
8と集光レンズとの距離及びトラツクからの光ス
ポツトのずれ量を光検知器7で電気信号として取
り出し、焦点制御回路12及びトラツク追跡制御
回路11を介して制御信号を焦点制御レンズ装置
6及びトラツク追跡制御ミラー装置5に入力し、
これにより適切な補正を施している。
ズ装置6とトラツク追跡制御ミラー装置5とが用
いられていた。これらの装置は、それぞれ集光レ
ンズをデイスク8に垂直な矢印A方向(第5図参
照)に上下させ、又トラツク追跡制御ミラー装置
5のミラーを矢印B方向に回転させるものであ
る。ここでは詳細な説明は省略するが、デイスク
8と集光レンズとの距離及びトラツクからの光ス
ポツトのずれ量を光検知器7で電気信号として取
り出し、焦点制御回路12及びトラツク追跡制御
回路11を介して制御信号を焦点制御レンズ装置
6及びトラツク追跡制御ミラー装置5に入力し、
これにより適切な補正を施している。
第8図は従来の焦点制御レンズ装置の要部断面
図、第9図はトラツク追跡制御ミラー装置の概念
的構成図である。第8図において、ヨーク16、
マグネツト17によつて構成される磁束中にコイ
ル18を設置し、これに制御電流を流すことによ
りバネ15に支持されたレンズ枠20が矢印A方
向に移動する。このバネ15としては、環形の溝
付き板バネ等が使用されていた。なお、14は集
光レンズ、19はヨーク16に固定された支持枠
である。
図、第9図はトラツク追跡制御ミラー装置の概念
的構成図である。第8図において、ヨーク16、
マグネツト17によつて構成される磁束中にコイ
ル18を設置し、これに制御電流を流すことによ
りバネ15に支持されたレンズ枠20が矢印A方
向に移動する。このバネ15としては、環形の溝
付き板バネ等が使用されていた。なお、14は集
光レンズ、19はヨーク16に固定された支持枠
である。
また第9図において、21は第5図のトラツク
追跡制御ミラー装置のミラーに相当するミラー、
24はトラツク追跡制御用コイルで、それぞれ線
バネ22に固定されている。コイル24はマグネ
ツト23の磁束中に設置されており、コイル24
に制御電流を流すことにより矢印B方向に回転動
作させるものである。
追跡制御ミラー装置のミラーに相当するミラー、
24はトラツク追跡制御用コイルで、それぞれ線
バネ22に固定されている。コイル24はマグネ
ツト23の磁束中に設置されており、コイル24
に制御電流を流すことにより矢印B方向に回転動
作させるものである。
従来のデイスク再生装置は以上のように構成さ
れており、焦点制御及びトラツク追跡制御にバネ
15及び22を使用している。ところがこの従来
装置のように動作方向を規制するためのバネを使
用すると、これらの機械的共振を生じやすく、制
御装置の特性に悪影響を与えていた。またバネの
弾性力に抗して動作させている訳であるが、バネ
のダイナミツクレンジ(変位−力の関係の直線
性)には必ず限界があり、制御特性上問題となつ
ていた。
れており、焦点制御及びトラツク追跡制御にバネ
15及び22を使用している。ところがこの従来
装置のように動作方向を規制するためのバネを使
用すると、これらの機械的共振を生じやすく、制
御装置の特性に悪影響を与えていた。またバネの
弾性力に抗して動作させている訳であるが、バネ
のダイナミツクレンジ(変位−力の関係の直線
性)には必ず限界があり、制御特性上問題となつ
ていた。
また、レーザ光源に半導体レーザを用いて機構
の簡素化を図る場合、上記従来の焦点位置制御装
置及びトラツク追跡制御装置を適用したのでは全
体の小型化・簡素化が困難になるという難点があ
つた。
の簡素化を図る場合、上記従来の焦点位置制御装
置及びトラツク追跡制御装置を適用したのでは全
体の小型化・簡素化が困難になるという難点があ
つた。
この発明は上記のような従来の欠点に鑑みてな
されたもので、デイスク面からの信号読み取り精
度を低下させることなく、装置の簡素化、小型化
が実現できるとともに、制御の直線性を向上さ
せ、かつ制御のダイナミツクレンジを拡大して応
答特性を向上できるデイスク再生装置を得ること
を目的とする。
されたもので、デイスク面からの信号読み取り精
度を低下させることなく、装置の簡素化、小型化
が実現できるとともに、制御の直線性を向上さ
せ、かつ制御のダイナミツクレンジを拡大して応
答特性を向上できるデイスク再生装置を得ること
を目的とする。
この発明に係るデイスク再生装置は、
ある軸線のまわりに回動可能でかつ上記軸線に
沿つて摺動可能な平板を有する回動体と、 この回動体の上記軸線から偏心した位置にその
光軸が上記軸線とほぼ平行になるよう上記平板内
に支持された集光手段と、 上記回動体を回動させてトラツクずれを制御す
る回動装置、及び上記回動体を摺動させて焦点ず
れを制御するスラスト駆動装置とを設けたもので
ある。
沿つて摺動可能な平板を有する回動体と、 この回動体の上記軸線から偏心した位置にその
光軸が上記軸線とほぼ平行になるよう上記平板内
に支持された集光手段と、 上記回動体を回動させてトラツクずれを制御す
る回動装置、及び上記回動体を摺動させて焦点ず
れを制御するスラスト駆動装置とを設けたもので
ある。
この発明においては、トラツクずれ及び焦点ず
れに対する制御を、ある軸線のまわりに回動可能
でかつ該軸線に沿つて摺動可能な1つの回動体を
利用して行うから、従来のように各制御を別個独
立した装置で行うものに比し装置が小型化、簡素
化され、また動作方向を規制するための手段に従
来のようにバネを用いていないから、駆動制御時
の共振が防止されるとともに、直線性が向上し、
かつダイナミツクレンジが拡大する。さらに集光
手段を平板内に設けたので、集光手段の支持が強
固になり、集光レンズ等の光学系が安定し、安定
な制御を行うことが可能となる。
れに対する制御を、ある軸線のまわりに回動可能
でかつ該軸線に沿つて摺動可能な1つの回動体を
利用して行うから、従来のように各制御を別個独
立した装置で行うものに比し装置が小型化、簡素
化され、また動作方向を規制するための手段に従
来のようにバネを用いていないから、駆動制御時
の共振が防止されるとともに、直線性が向上し、
かつダイナミツクレンジが拡大する。さらに集光
手段を平板内に設けたので、集光手段の支持が強
固になり、集光レンズ等の光学系が安定し、安定
な制御を行うことが可能となる。
以下、本発明の実施例を図について説明する。
第1図はこの発明の一実施例の要部断面図で、図
において、第5図ないし第8図と同一符号は同一
又は相当部分を示す。43は被駆動軸としてのシ
ヤフトであり、その一部はヨーク16に設けられ
たスライドベアリング40に支持され、摺動・回
転自在となつている。上記スライドベアリング4
0は摩擦係数の極めて低い材料、例えばテフロン
等で構成されている。44は上記シヤフト43に
結合され、該シヤフト43とともに回動体を構成
する支持板である。30は半導体レーザ光源、3
1はコリメートレンズ、35は集光手段を構成す
る集光レンズであり、この集光レンズ35は上記
支持板44内に、その光軸がシヤフト43の中心
軸から偏心した位置で上記中心軸と平行になるよ
うに取り付けられている。
第1図はこの発明の一実施例の要部断面図で、図
において、第5図ないし第8図と同一符号は同一
又は相当部分を示す。43は被駆動軸としてのシ
ヤフトであり、その一部はヨーク16に設けられ
たスライドベアリング40に支持され、摺動・回
転自在となつている。上記スライドベアリング4
0は摩擦係数の極めて低い材料、例えばテフロン
等で構成されている。44は上記シヤフト43に
結合され、該シヤフト43とともに回動体を構成
する支持板である。30は半導体レーザ光源、3
1はコリメートレンズ、35は集光手段を構成す
る集光レンズであり、この集光レンズ35は上記
支持板44内に、その光軸がシヤフト43の中心
軸から偏心した位置で上記中心軸と平行になるよ
うに取り付けられている。
42はトラツク追跡制御用コイル(以下、トラ
ツキング用コイルと記す)であり、このコイル4
2は第2図a及びbに示すように、シヤフト43
の一部を切り欠き、シヤフト43の中心軸に該コ
イル42が一致するように取付けられている。3
9は上記トラツキング用コイル42に対向するよ
う設けられたマグネツトである。また焦点位置制
御用コイル(以下、焦点制御用コイルと記す)1
8も上記シヤフト43に結合されている。17は
焦点制御用コイル18と対向するよう設けられた
マグネツト、37はヨークである。
ツキング用コイルと記す)であり、このコイル4
2は第2図a及びbに示すように、シヤフト43
の一部を切り欠き、シヤフト43の中心軸に該コ
イル42が一致するように取付けられている。3
9は上記トラツキング用コイル42に対向するよ
う設けられたマグネツトである。また焦点位置制
御用コイル(以下、焦点制御用コイルと記す)1
8も上記シヤフト43に結合されている。17は
焦点制御用コイル18と対向するよう設けられた
マグネツト、37はヨークである。
次に作用効果について説明する。
上記のように構成された装置において、焦点制
御用コイル18に焦点位置制御電流を供給する
と、シヤフト43及び支持板44は矢印A方向に
移動し、これに伴つて集光レンズ35も矢印A方
向に移動するので、焦点位置が修正される。又、
トラツキング用コイル42にトラツク追跡位置制
御電流を供給すると、シヤフト43及び支持板4
4は矢印B方向に回転し、集光レンズ35はトラ
ツクと直交する方向に回動する。これは第3図に
おいて矢印B方向であり、実際には円弧を描く
が、トラツク追跡制御量は0.2〜0.3mm程度であ
り、集光レンズ35とシヤフト43の中心軸との
距離を数mm以上にとればその誤差はほとんど無視
できる。
御用コイル18に焦点位置制御電流を供給する
と、シヤフト43及び支持板44は矢印A方向に
移動し、これに伴つて集光レンズ35も矢印A方
向に移動するので、焦点位置が修正される。又、
トラツキング用コイル42にトラツク追跡位置制
御電流を供給すると、シヤフト43及び支持板4
4は矢印B方向に回転し、集光レンズ35はトラ
ツクと直交する方向に回動する。これは第3図に
おいて矢印B方向であり、実際には円弧を描く
が、トラツク追跡制御量は0.2〜0.3mm程度であ
り、集光レンズ35とシヤフト43の中心軸との
距離を数mm以上にとればその誤差はほとんど無視
できる。
このように構成すると、焦点位置制御とトラツ
ク追跡制御とが1つの回動体を駆動する装置で実
現されるため小型化が図れ、また動作方向を規制
するためのバネを用いていないため機械的共振を
生じにくく、しかもダイナミツクレンジ(力−変
位の直線性)も飛躍的に大きくなる。さらにシヤ
フトの回転とスライドとは動作方向が分離されて
おり、相互間の干渉はほとんどなく、シヤフトの
可動方向はすべて制御しているので、外乱に対す
る影響も制御範囲内であれば問題なくなる。
ク追跡制御とが1つの回動体を駆動する装置で実
現されるため小型化が図れ、また動作方向を規制
するためのバネを用いていないため機械的共振を
生じにくく、しかもダイナミツクレンジ(力−変
位の直線性)も飛躍的に大きくなる。さらにシヤ
フトの回転とスライドとは動作方向が分離されて
おり、相互間の干渉はほとんどなく、シヤフトの
可動方向はすべて制御しているので、外乱に対す
る影響も制御範囲内であれば問題なくなる。
また、集光レンズ35は支持板44内に取り付
けられているので、剛性が高くなつて共振周波数
が十分高くなり、上記集光レンズ35が振動しに
くくなり、焦点制御、トラツキング制御が安定し
て行える。
けられているので、剛性が高くなつて共振周波数
が十分高くなり、上記集光レンズ35が振動しに
くくなり、焦点制御、トラツキング制御が安定し
て行える。
第4図は、この発明の他の実施例の断面図で、
レーザ光源に半導体レーザを用いるとともに、光
学系を全て支持板44に装着したもので、45は
セルフオツクレンズである。その他の構成及び制
御の動作は上記実施例と同様である。
レーザ光源に半導体レーザを用いるとともに、光
学系を全て支持板44に装着したもので、45は
セルフオツクレンズである。その他の構成及び制
御の動作は上記実施例と同様である。
このような実施例では、光学ヘツドは更にコン
パクトなものとなり、交換性が高まるなど、実用
上好ましいものとなる。
パクトなものとなり、交換性が高まるなど、実用
上好ましいものとなる。
以上のように、この発明に係るデイスク再生装
置によれば、ある軸線のまわりに回動可能でかつ
上記軸線に沿つて摺動可能な回動体を設けるとと
もに、該回動体の上記軸線から偏心した位置にそ
の光軸が上記軸線とほぼ平行になるように集光手
段を支持し、上記回動体を回動させてトラツクず
れを制御するとともに、またスラスト駆動装置で
上記回動体を摺動させて焦点ずれを制御するよう
にしたので、集光手段の光軸を、トラツクずれに
対する制御及び焦点ずれに対する制御のいずれの
場合にも常にデイスク面に垂直状態に保つことが
でき、デイスク面からの信号読み取り精度を低下
させることなく、集光手段のトラツクずれ及び焦
点ずれの制御を行う装置の簡素化、小型化が実現
できるとともに、トラツクずれ及び焦点ずれの制
御の直線性が向上し、かつダイナミツクレンジが
拡大する。さらに上記集光手段を上記回動体を構
成する平板内に支持しているので、集光手段が強
固に保持され、焦点、トラツキングの制御の安定
して行える効果がある。
置によれば、ある軸線のまわりに回動可能でかつ
上記軸線に沿つて摺動可能な回動体を設けるとと
もに、該回動体の上記軸線から偏心した位置にそ
の光軸が上記軸線とほぼ平行になるように集光手
段を支持し、上記回動体を回動させてトラツクず
れを制御するとともに、またスラスト駆動装置で
上記回動体を摺動させて焦点ずれを制御するよう
にしたので、集光手段の光軸を、トラツクずれに
対する制御及び焦点ずれに対する制御のいずれの
場合にも常にデイスク面に垂直状態に保つことが
でき、デイスク面からの信号読み取り精度を低下
させることなく、集光手段のトラツクずれ及び焦
点ずれの制御を行う装置の簡素化、小型化が実現
できるとともに、トラツクずれ及び焦点ずれの制
御の直線性が向上し、かつダイナミツクレンジが
拡大する。さらに上記集光手段を上記回動体を構
成する平板内に支持しているので、集光手段が強
固に保持され、焦点、トラツキングの制御の安定
して行える効果がある。
第1図はこの発明の一実施例の要部の構成を示
す断面図、第2図a,bは第1図で示した実施例
における回転駆動のコイルとシヤフトの取り付け
状態を示す図であり、第2図aは正面図、第2図
bはそのb−b線断面図、第3図はデイスク上の
トラツク追跡の方向を示す図、第4図はこの発明
の他の実施例の断面図、第5図は従来の光学式再
生装置の要部の構成を示す断面図、第6図はデイ
スクとトラツクの関係を示す図、第7図は集光光
ビームとデイスク上のピツトの位置関係を説明す
るための図、第8図は従来の焦点制御レンズ装置
の断面図、第9図は従来のトラツク追跡制御ミラ
ー装置の概念的構成図である。 2……レーザ光、7……光検知器、8……デイ
スク、13……ピツト、16,37……ヨーク、
17,39……マグネツト、18……焦点制御用
コイル、42……トラツキング用コイル、19…
…支持枠、30……半導体レーザ光源、31……
コリメートレンズ、35……集光レンズ、40…
…スライドベアリング、43……シヤフト、44
……支持板、45……セルフオツクレンズ。なお
図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
す断面図、第2図a,bは第1図で示した実施例
における回転駆動のコイルとシヤフトの取り付け
状態を示す図であり、第2図aは正面図、第2図
bはそのb−b線断面図、第3図はデイスク上の
トラツク追跡の方向を示す図、第4図はこの発明
の他の実施例の断面図、第5図は従来の光学式再
生装置の要部の構成を示す断面図、第6図はデイ
スクとトラツクの関係を示す図、第7図は集光光
ビームとデイスク上のピツトの位置関係を説明す
るための図、第8図は従来の焦点制御レンズ装置
の断面図、第9図は従来のトラツク追跡制御ミラ
ー装置の概念的構成図である。 2……レーザ光、7……光検知器、8……デイ
スク、13……ピツト、16,37……ヨーク、
17,39……マグネツト、18……焦点制御用
コイル、42……トラツキング用コイル、19…
…支持枠、30……半導体レーザ光源、31……
コリメートレンズ、35……集光レンズ、40…
…スライドベアリング、43……シヤフト、44
……支持板、45……セルフオツクレンズ。なお
図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 情報が記録されたデイスクの情報トラツクに
対する光スポツトのトラツクずれ及び上記デイス
クの情報記録面に対する上記光スポツトの焦点ず
れを検知し、上記光スポツトを形成する集光手段
の位置を上記トラツクずれ及び焦点ずれの検知量
に応じて制御し、制御された上記集光手段から照
射される上記光スポツトによつて上記情報トラツ
クから情報を光学的に読み出すものにおいて、 ある軸線のまわりに回動可能でかつ上記軸線に
沿つて摺動可能な平板を有する回動体と、 この回動体の上記軸線から偏心した位置にその
光軸が上記軸線とほぼ平行になるよう上記平板内
に支持された集光手段と、 上記軸線を中心として上記回動体を回動させる
ことにより上記トラツクずれを制御する回動装置
と、 上記軸線に沿つて上記回動体を摺動させること
により上記焦点ずれを制御するスラスト駆動装置
とを備えたことを特徴とするデイスク再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13666887A JPS6332741A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | ディスク再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13666887A JPS6332741A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | ディスク再生装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2873183A Division JPS58171731A (ja) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | デイスク再生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332741A JPS6332741A (ja) | 1988-02-12 |
| JPH0413774B2 true JPH0413774B2 (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=15180696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13666887A Granted JPS6332741A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | ディスク再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6332741A (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4019205A (en) * | 1974-09-16 | 1977-04-19 | Information Storage Systems, Inc. | Disc drive with rotary access mechanism |
| US4064545A (en) * | 1977-02-10 | 1977-12-20 | Control Data Corporation | Magnetic coupling of disk file module |
| NL7703232A (nl) * | 1977-03-25 | 1978-09-27 | Philips Nv | Optische aftastinrichting. |
| US4131921A (en) * | 1977-04-15 | 1978-12-26 | Okidata Corporation | Head positioning system for disc files |
| US4107748A (en) * | 1977-05-31 | 1978-08-15 | Memorex Corporation | Recording head support assembly |
| JPS6030017A (ja) * | 1983-07-28 | 1985-02-15 | ソニー株式会社 | 薄膜スイツチの製法 |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13666887A patent/JPS6332741A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6332741A (ja) | 1988-02-12 |
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