JPH04138084A - 超音波モータ用振動体および超音波モータ - Google Patents
超音波モータ用振動体および超音波モータInfo
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- JPH04138084A JPH04138084A JP2258516A JP25851690A JPH04138084A JP H04138084 A JPH04138084 A JP H04138084A JP 2258516 A JP2258516 A JP 2258516A JP 25851690 A JP25851690 A JP 25851690A JP H04138084 A JPH04138084 A JP H04138084A
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- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
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- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
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- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は進行波を利用した超音波モータに関するもので
ある。
ある。
（従来の技術）
第１１図および第１２図を参照して従来の超音波モーフ
について説明する。弾性体ｌにはリング状の圧電振動体
２が接合されている。圧電振動体２には、第一組および
第二組の駆動用振動子３゜４が形成されている。第一組
の駆動用振動子３は、さらに８個の振動素子３１〜３８
を備えている。
について説明する。弾性体ｌにはリング状の圧電振動体
２が接合されている。圧電振動体２には、第一組および
第二組の駆動用振動子３゜４が形成されている。第一組
の駆動用振動子３は、さらに８個の振動素子３１〜３８
を備えている。
振動素子３１〜３８は隣接する振動素子の分極方向が逆
方向になるように分極処理されている。全く同様に、第
二組の駆動用振動子４は、さらに８個の振動素子４１〜
４８を備えている。振動素子４１〜４８は隣接する振動
素子の分極方向が逆方向になるように分極処理されてい
る。
方向になるように分極処理されている。全く同様に、第
二組の駆動用振動子４は、さらに８個の振動素子４１〜
４８を備えている。振動素子４１〜４８は隣接する振動
素子の分極方向が逆方向になるように分極処理されてい
る。
第一組の駆動用振動子３と第二組の駆動用振動子４の間
には、所定距離の隙間５．６が形成されている。
には、所定距離の隙間５．６が形成されている。
弾性体Ｉ上に発生させる進行波の所望の波長をλと定義
すると、前述した振動素子３１〜３８゜４１−４８はλ
／２に相当する距離に設計され、隙間５は３λ／４に相
当する距離に設計される。
すると、前述した振動素子３１〜３８゜４１−４８はλ
／２に相当する距離に設計され、隙間５は３λ／４に相
当する距離に設計される。
また、駆動用振動子３．４および隙間５を形成した残り
の部分が隙間６になる。
の部分が隙間６になる。
第一組および第二組の駆動用振動子３，４に電気的な位
相が９０度異なる一対の交流電圧を印加すると、駆動用
振動子３，４によって弾性体ｌに振動が発生する０発生
した振動は弾性体１において相互に干渉し、弾性体ｌ（
こ進行波を発生させる。
相が９０度異なる一対の交流電圧を印加すると、駆動用
振動子３，４によって弾性体ｌに振動が発生する０発生
した振動は弾性体１において相互に干渉し、弾性体ｌ（
こ進行波を発生させる。
このようにして発生した進行波を利用した超音波モータ
は、例えば特開昭５９−２０４４７７号公報や特開昭６
３−７３８８７号公報等に紹介されている。
は、例えば特開昭５９−２０４４７７号公報や特開昭６
３−７３８８７号公報等に紹介されている。
以下、第１２図を参照して、特開昭６３−７３８８７号
公報に開示された超音波モーフの構造について簡単に説
明する。
公報に開示された超音波モーフの構造について簡単に説
明する。
ベース１１にはリング状のステータ１２の内孔が嵌合し
、皿ねじ１３を介してステータの内周側が振動不可能と
なるように固着されている。ステータ１２の一面にはリ
ング状の圧電振動体２が振動を伝えるように接着されて
いる。ステータ１２の表面には多数の突部１２ａが形成
されている。
、皿ねじ１３を介してステータの内周側が振動不可能と
なるように固着されている。ステータ１２の一面にはリ
ング状の圧電振動体２が振動を伝えるように接着されて
いる。ステータ１２の表面には多数の突部１２ａが形成
されている。
圧電振動体２に交流電圧を印加することにより、圧電振
動体２が伸縮し、ステータ１２に進行波振動が発生する
。
動体２が伸縮し、ステータ１２に進行波振動が発生する
。
ロータ１６は皿バネ１７の加圧力によりステータ１２に
常時圧接されている。ロータ１６には摩擦材１６ａが接
着されており、摩擦材１６ａがステータ１２に接触する
。また、皿バネ１）とロータ１６の間にはゴムシー）１
Ｂが挟まれている。
常時圧接されている。ロータ１６には摩擦材１６ａが接
着されており、摩擦材１６ａがステータ１２に接触する
。また、皿バネ１）とロータ１６の間にはゴムシー）１
Ｂが挟まれている。
皿バネ１７は回転軸２０のホルダ部２０ａにより保持さ
れている。ロータ１６の駆動力は皿バネ１７、ホルダ部
２０ａを通して回転軸２０に伝達される。回転軸２０は
ベース１１に固定された軸受２３とハウジング１５に固
定されたベアリング１９によって回転自在に支持される
。
れている。ロータ１６の駆動力は皿バネ１７、ホルダ部
２０ａを通して回転軸２０に伝達される。回転軸２０は
ベース１１に固定された軸受２３とハウジング１５に固
定されたベアリング１９によって回転自在に支持される
。
駆動回路（図示せず）から圧電振動体２へ交流電圧が印
加されると、ステータ１２上を周回する進行波が発生す
る。発生した進行波はロータ１６に回転モーメントを与
え、ロータ１６を回転させる。
加されると、ステータ１２上を周回する進行波が発生す
る。発生した進行波はロータ１６に回転モーメントを与
え、ロータ１６を回転させる。
（発明が解決しようとする課題）
従来の超音波モータでは、回転軸に作用する負荷トルク
が大き過ぎる場合や、外力によりロータが回転できない
場合（いわゆるモーターロック）が発生した場合等にス
テータ上に所望の波長以外の振動（以下、異モード振動
と称する）が発生する問題点があった。
が大き過ぎる場合や、外力によりロータが回転できない
場合（いわゆるモーターロック）が発生した場合等にス
テータ上に所望の波長以外の振動（以下、異モード振動
と称する）が発生する問題点があった。
特に、異モード振動の波長が長い場合には、耳障りな可
聴周波数帯の雑音が発生する場合があり、非常に好まし
くない。
聴周波数帯の雑音が発生する場合があり、非常に好まし
くない。
ところが、従来の超音波モータは異モード振動を検出す
るための手段を備えていなかったので、異モード振動の
発生を防止することができなかった。
るための手段を備えていなかったので、異モード振動の
発生を防止することができなかった。
本発明は、このような従来装置の問題点を解消するため
になされたもので、異モード振動の発生を検出すること
を技術的課題とする。
になされたもので、異モード振動の発生を検出すること
を技術的課題とする。
（課題を解決するための手段）
前述した技術的課題を達成するために講じた技術的手段
は、第一組の振動子と、第一組の振動子から離れた位置
に形成された第二組の振動子とを備える超音波モータ用
振動体に、所定距離離れた位置に形成され、互いに電気
的に接続された一対の検出素子を設けたことである。
は、第一組の振動子と、第一組の振動子から離れた位置
に形成された第二組の振動子とを備える超音波モータ用
振動体に、所定距離離れた位置に形成され、互いに電気
的に接続された一対の検出素子を設けたことである。
（作用）
前述した技術的手段によれば、振動体に異モード振動が
発生した場合、一対の検出素子間に電位差が発生する。
発生した場合、一対の検出素子間に電位差が発生する。
従って、検出素子間の電位差を測定することにより、異
モード振動の発生が検出できる。
モード振動の発生が検出できる。
（実施例）
最初に本発明が適用された好ましい第一実施例装置につ
いて説明する。なお、以後の説明では、従来装置と同じ
部材に同一の番号を付すことによって説明を省略する。
いて説明する。なお、以後の説明では、従来装置と同じ
部材に同一の番号を付すことによって説明を省略する。
第１図は本発明が適用された圧電振動体２の平面図であ
る。第一組の駆動用振動子３と第二組の駆動用振動子４
の間の隙間５には、一対の検出素子５１．５２が形成さ
れている。ステータ１２に発生させる所望の進行波の波
長をλとする時、検出素子５１．５２の間はλ／２だけ
離れている。
る。第一組の駆動用振動子３と第二組の駆動用振動子４
の間の隙間５には、一対の検出素子５１．５２が形成さ
れている。ステータ１２に発生させる所望の進行波の波
長をλとする時、検出素子５１．５２の間はλ／２だけ
離れている。
また、検出素子５１．５２は同じ極性に分極処理されて
いる。さらに、検出素子５１．５２の幅は異モード振動
を鋭く選択して検出するために、できるだけ細く設計さ
れている。
いる。さらに、検出素子５１．５２の幅は異モード振動
を鋭く選択して検出するために、できるだけ細く設計さ
れている。
駆動用振動子３．４に電気的な位相が９０度度異る一対
の交流電圧を印加すると、駆動用振動子３．４によって
ステータ１２に進行波が発生する。
の交流電圧を印加すると、駆動用振動子３．４によって
ステータ１２に進行波が発生する。
第２図は波長λの進行波が発生した様子を描いた第１図
のＡ−Ａ断面図である。ステータ１２に波長λの進行波
が発生すると、第２図に示すようにステータ１２が撓む
。この時、検出素子５１゜５２にはステータ１２の撓み
量に従った電圧が発生する。
のＡ−Ａ断面図である。ステータ１２に波長λの進行波
が発生すると、第２図に示すようにステータ１２が撓む
。この時、検出素子５１゜５２にはステータ１２の撓み
量に従った電圧が発生する。
第３図は検出素子５１．５２に発生した電圧のグラフで
ある。検出素子５１．５２の間隔がλ／２なので、検出
素子５１．５２には位相が互いに１８０度異取り、しか
も振幅がほぼ等しい電圧Ｖ５１、ＶＳ２が発生する。従
って、電圧Ｖ５１゜ＶＳ２を加算すると、第４図に示す
ように、はぼ零ボルトの電圧が出力される。
ある。検出素子５１．５２の間隔がλ／２なので、検出
素子５１．５２には位相が互いに１８０度異取り、しか
も振幅がほぼ等しい電圧Ｖ５１、ＶＳ２が発生する。従
って、電圧Ｖ５１゜ＶＳ２を加算すると、第４図に示す
ように、はぼ零ボルトの電圧が出力される。
第５図は波長λ以外の振動（即ち、異モード振動）が発
生した様子を描いた第１図のＡ−Ａ断面図である。異モ
ード振動によっても、検出素子５１．５２には弾性体ｌ
の撓み量に従った電圧ｖ５１、ＶＳ２が発生するが、発
生する電圧Ｖ５１゜ＶＳ２の位相や振幅が不揃いになる
。この結果、電圧Ｖ５１．Ｖ５２を加算すると、第７図
に示すように、不規則な電圧が出力される。
生した様子を描いた第１図のＡ−Ａ断面図である。異モ
ード振動によっても、検出素子５１．５２には弾性体ｌ
の撓み量に従った電圧ｖ５１、ＶＳ２が発生するが、発
生する電圧Ｖ５１゜ＶＳ２の位相や振幅が不揃いになる
。この結果、電圧Ｖ５１．Ｖ５２を加算すると、第７図
に示すように、不規則な電圧が出力される。
このように、本実施例装置では、検出素子５１゜５２が
発生した電圧Ｖ５１．Ｖ５２を加算することにより、異
モード振動の存無を示す信号が得られる。
発生した電圧Ｖ５１．Ｖ５２を加算することにより、異
モード振動の存無を示す信号が得られる。
なお、検出素子５１．５２の間隔は、λ／２以外の距離
でも良い、一般に、適当な検出素子５１゜５２の間隔ｄ
は、第（１）式で表される。
でも良い、一般に、適当な検出素子５１゜５２の間隔ｄ
は、第（１）式で表される。
ｄ−ｎ・λ／２・・・（１）
第（１）式において、ｎは任意の自然数である。ただし
、ｎが偶数の場合には検出素子５１．５２を同一方向に
分極させ、ｎが奇数の場合には検出素子５１．５２を逆
方向に分極させる必要がある。
、ｎが偶数の場合には検出素子５１．５２を同一方向に
分極させ、ｎが奇数の場合には検出素子５１．５２を逆
方向に分極させる必要がある。
以下、第８図と第９図を参照して、本発明が適用された
第二、第三実施例装置について説明する。
第二、第三実施例装置について説明する。
第二、第三実施例装置は、第一実施例装置の圧電振動体
２にステータ１２の振動状態を検出するためのモニター
素子５３を形成した例である。モニター素子５３は隙間
５または隙間６の中に形成される。ステータ１２の平均
的な振動状態を検出するため、モニター素子５３の幅は
、λ／２以下となるように、できるだけ広（設計される
。
２にステータ１２の振動状態を検出するためのモニター
素子５３を形成した例である。モニター素子５３は隙間
５または隙間６の中に形成される。ステータ１２の平均
的な振動状態を検出するため、モニター素子５３の幅は
、λ／２以下となるように、できるだけ広（設計される
。
第８図に示した第二実施例装置では、モニター素子５３
が駆動用振動子３．４のほぼ中間に位置している。従っ
て、ロータ１６の正転時にモニター素子５３に発生する
電圧と逆転時にモニター素子５３に発生する電圧とがほ
ぼ等しい特性となる。
が駆動用振動子３．４のほぼ中間に位置している。従っ
て、ロータ１６の正転時にモニター素子５３に発生する
電圧と逆転時にモニター素子５３に発生する電圧とがほ
ぼ等しい特性となる。
第９図に示した第三実施例装置では、モニター素子５３
が隙間６に位置しているので、第二実施例装置に比べて
モニター素子５３の幅を自由に、しかも広く設計するこ
とができる。
が隙間６に位置しているので、第二実施例装置に比べて
モニター素子５３の幅を自由に、しかも広く設計するこ
とができる。
モニター素子５３はステータ１２に発生した進行波の振
幅を検出し、振幅の大きさにほぼ比例した電圧を発生す
る。従って、モニター素子５３に発生する電圧がほぼ一
定になるように、駆動用振動子３．４に印加する交流電
圧の周波数を調整すれば、さまざまな環境の変化や負荷
トルクの変化等に伴いステータ１２の共振周波数が変化
しても、常に安定な進行波が高効率で発生する。
幅を検出し、振幅の大きさにほぼ比例した電圧を発生す
る。従って、モニター素子５３に発生する電圧がほぼ一
定になるように、駆動用振動子３．４に印加する交流電
圧の周波数を調整すれば、さまざまな環境の変化や負荷
トルクの変化等に伴いステータ１２の共振周波数が変化
しても、常に安定な進行波が高効率で発生する。
第１０図は第８図と第９図に示した第二、第三実施例装
置を駆動可能な駆動回路１００を描いたブロック図であ
る。
置を駆動可能な駆動回路１００を描いたブロック図であ
る。
駆動回路１００には圧電振動体２とスイッチＳＷが接続
されている。圧電振動体２上に形成された検出素子５１
．５２は互いに導線で接続されている。従って、検出素
子５１．５２に発生する電圧は画素子５１．５２に発生
した電圧を加算した値（正確には平均値）となる。
されている。圧電振動体２上に形成された検出素子５１
．５２は互いに導線で接続されている。従って、検出素
子５１．５２に発生する電圧は画素子５１．５２に発生
した電圧を加算した値（正確には平均値）となる。
スイッチＳＷはロータ１６の回転方向を決定するために
使用される。スイッチＳＷの状態は、入力回路ＩＦを通
して移相回路ＰＨ３と発振回路ＯＳＣに入力される。
使用される。スイッチＳＷの状態は、入力回路ＩＦを通
して移相回路ＰＨ３と発振回路ＯＳＣに入力される。
スイッチＳＷによって接点ＣＷが接地されると、移相回
路ＰＨ３は駆動回路ＤＲＶ２へ供給する交流信号の位相
を駆動回路ＤＲＶＩへ供給する交流信号に対して９０度
遅らせ、ロータ１６を時計方向に回転させる。スイッチ
ＳＷによって接点ＣＣＷが接地されると、移相回路ＰＨ
３は駆動回路ＤＲＶＩへ供給する交流信号の位相を駆動
回路０Ｒｖ２へ供給する交流信号に対して９０度遅らせ
、ロータ１６を反時計方向に回転させる。スイッチＳＷ
によって接点５ＴＯＰが接地されると、移相回路ＰＨ３
はロータ１６を停止させる。スイッチＳＷが接点５ＴＯ
Ｐから接点ＣＷまたは接点ＣＣＷに切り替わった直後に
は、発振回路Ｏ８Ｃがロータ１６を起動させるための処
理を行う。これらの機能を有する移相回路ＰＨ３や発振
回路Ｏ３Ｃは既に多（の文献に紹介されており公知なの
で、詳細な説明は省略する。
路ＰＨ３は駆動回路ＤＲＶ２へ供給する交流信号の位相
を駆動回路ＤＲＶＩへ供給する交流信号に対して９０度
遅らせ、ロータ１６を時計方向に回転させる。スイッチ
ＳＷによって接点ＣＣＷが接地されると、移相回路ＰＨ
３は駆動回路ＤＲＶＩへ供給する交流信号の位相を駆動
回路０Ｒｖ２へ供給する交流信号に対して９０度遅らせ
、ロータ１６を反時計方向に回転させる。スイッチＳＷ
によって接点５ＴＯＰが接地されると、移相回路ＰＨ３
はロータ１６を停止させる。スイッチＳＷが接点５ＴＯ
Ｐから接点ＣＷまたは接点ＣＣＷに切り替わった直後に
は、発振回路Ｏ８Ｃがロータ１６を起動させるための処
理を行う。これらの機能を有する移相回路ＰＨ３や発振
回路Ｏ３Ｃは既に多（の文献に紹介されており公知なの
で、詳細な説明は省略する。
発振口８０３Ｃは所定周波数の交流信号を出力する０発
振回路ＯＳＣが出力した交流信号は移相回路ＰＨ３に供
給される。移相回路ＰＨ３は交流信号を分周して互いに
位相が９０度異なる一対の信号を出力する。移相回路Ｐ
Ｈ３が出力した交流信号は駆動回路ＤＲＶＩ、ＤＲＶ２
によって増幅された後、駆動用振動子３．４に供給され
る。この時、圧電振動体２はステータ１２に進行波を発
生する。
振回路ＯＳＣが出力した交流信号は移相回路ＰＨ３に供
給される。移相回路ＰＨ３は交流信号を分周して互いに
位相が９０度異なる一対の信号を出力する。移相回路Ｐ
Ｈ３が出力した交流信号は駆動回路ＤＲＶＩ、ＤＲＶ２
によって増幅された後、駆動用振動子３．４に供給され
る。この時、圧電振動体２はステータ１２に進行波を発
生する。
ステータ１２に発生した進行波により、モニター素子５
３に進行波の振幅に応じた電圧が発生する。モニター素
子５３に発生した電圧は平滑回路ＳＣＩを通して発振回
路Ｏ３Ｃにフィードバックされる。発振回路Ｏ８Ｃは、
モニター素子５３の電圧が低い時（即ち、進行波の振幅
が小さい時）には、発振周波数をステータ１２の共振周
波数に近づけ進行波の振幅を太き（する。逆に、発振回
路Ｏ８Ｃは、モニター素子５３の電圧が高い時（即ち、
進行波の振幅が大きい時）には、発振周波数をステータ
１２の共振周波数から遠ざけ進行波の振幅を小さくする
。この様にして、ステータ１２上の進行波の振幅が最適
な範囲に保持され、ロータ１６が効率良く駆動される。
３に進行波の振幅に応じた電圧が発生する。モニター素
子５３に発生した電圧は平滑回路ＳＣＩを通して発振回
路Ｏ３Ｃにフィードバックされる。発振回路Ｏ８Ｃは、
モニター素子５３の電圧が低い時（即ち、進行波の振幅
が小さい時）には、発振周波数をステータ１２の共振周
波数に近づけ進行波の振幅を太き（する。逆に、発振回
路Ｏ８Ｃは、モニター素子５３の電圧が高い時（即ち、
進行波の振幅が大きい時）には、発振周波数をステータ
１２の共振周波数から遠ざけ進行波の振幅を小さくする
。この様にして、ステータ１２上の進行波の振幅が最適
な範囲に保持され、ロータ１６が効率良く駆動される。
回転軸２０に作用する負荷トルクが大き過ぎる場合や、
モータロックが発生した場合等には、ステーク１２上に
異モード振動が発生することがある。ステータ１２上に
異モード振動が発生すると、検出素子５１．５２に電圧
が発生する。検出素子５１．５！に発生した電圧は平滑
回路ＳＣ２を通して比較口ｉ１ｃＭＰに入力される。比
較回路ＣＭＰには基ｔｊＡ電圧発住回路ＲＥＦが接続さ
れている。
モータロックが発生した場合等には、ステーク１２上に
異モード振動が発生することがある。ステータ１２上に
異モード振動が発生すると、検出素子５１．５２に電圧
が発生する。検出素子５１．５！に発生した電圧は平滑
回路ＳＣ２を通して比較口ｉ１ｃＭＰに入力される。比
較回路ＣＭＰには基ｔｊＡ電圧発住回路ＲＥＦが接続さ
れている。
比較口ＩＩＩＣＭＰは平滑回路ＳＣ２から供給された電
圧が基準電圧発生回路ＲＥＦから供給された電圧以上に
なった時、移相回路ＰＨ３に駆動停止信号を出力する。
圧が基準電圧発生回路ＲＥＦから供給された電圧以上に
なった時、移相回路ＰＨ３に駆動停止信号を出力する。
移相回路ＰＨ３は、比較回路ＣＭＰから駆動停止信号が
供給されると、駆動回路ＤＲＶＩ、ＤＲｖ２へ交流信号
を出力しな（なる、従って、異モード振動が発生した際
には、直ちに圧電振動体２の駆動が停止され、耳障りな
異音の発生が防止される。
供給されると、駆動回路ＤＲＶＩ、ＤＲｖ２へ交流信号
を出力しな（なる、従って、異モード振動が発生した際
には、直ちに圧電振動体２の駆動が停止され、耳障りな
異音の発生が防止される。
以上に述べた様に、本発明が適用された振動体２では、
予め設計された所望の波長λを存する進行波以外の振動
、即ち、異モード振動を検出素子５１．５２によってリ
アルタイムで検出できる。
予め設計された所望の波長λを存する進行波以外の振動
、即ち、異モード振動を検出素子５１．５２によってリ
アルタイムで検出できる。
検出素子５１，５！はリング状の圧電振動体２の分極処
理によって形成できるので、非常に安価で大蓋生産に適
している。
理によって形成できるので、非常に安価で大蓋生産に適
している。
また、第１０図に示した駆動回路を使用した超音波モー
タでは、異モード振動の発生直後に駆動回路ｌＯＯが停
止するので、耳障りな雑音を完全に防止できる。
タでは、異モード振動の発生直後に駆動回路ｌＯＯが停
止するので、耳障りな雑音を完全に防止できる。
なお、前述した実施例装置では、検出素子５１゜５２を
隙間５に形成した例のみを示したが、検出素子５１．５
２は隙間６に形成しても良い、検出素子５１．５２は、
圧電振動体２の一部、またはステータ１２の一部に形成
されていれば良い。
隙間５に形成した例のみを示したが、検出素子５１．５
２は隙間６に形成しても良い、検出素子５１．５２は、
圧電振動体２の一部、またはステータ１２の一部に形成
されていれば良い。
本発明によれば、振動体に異モード振動が発生した場合
、一対の検出素子間に電位差が発生する。
、一対の検出素子間に電位差が発生する。
従って、検出素子間の電位差を測定することにより、異
モード振動の発生がリアルタイムで検出できる。
モード振動の発生がリアルタイムで検出できる。
第１図は本発明が適用された第一実施例装置の平面図で
ある。 第２図は所定波長λが発生した様子を描いた第１図のＡ
−Ａ断面図である。 第３図は所定波長λが発生した際、個々の検出素子に発
すした電圧のグラフである。 第４図は所定波長λが発生した際、一対の検出素子から
供給される電圧のグラフである。 第５図は異モード振動が発生した様子を描いた第１図の
Ａ−Ａ断面図である。 第６図は異モード振動が発生した際、個々の検出素子に
発生した電圧のグラフである。 第７図は異モード振動が発生した際、一対の検出素子か
ら供給される電圧のグラフである。 第８図は本発明が適用された第二実施例装置の平面図で
ある。 第９図は本発明が適用された第三実施例装置の平面図で
ある。 第１０図は第二、第三実施例装置を駆動可能な駆動回路
を描いたブロック図である。 第１１図は従来の振動体を描いた平面図である。 第１２図は従来の超音波モータの構造を描いた縦断面図
である。 １・・・弾性体、２・・・圧電振動体、３．４・・・駆
動用振動子、５，６・・・隙間、１２・・・ステータ、
１６・・・ロータ、５１．５２・・・検出素子、５３・
・・モニター素子、ＳＣ２・・・平滑回路（駆動停止手
段）、ＲＥＦ・・・基準電圧発生回路（駆動停止手段）
、ＣＭＰ・・・比較回路（駆動停止手段）。
ある。 第２図は所定波長λが発生した様子を描いた第１図のＡ
−Ａ断面図である。 第３図は所定波長λが発生した際、個々の検出素子に発
すした電圧のグラフである。 第４図は所定波長λが発生した際、一対の検出素子から
供給される電圧のグラフである。 第５図は異モード振動が発生した様子を描いた第１図の
Ａ−Ａ断面図である。 第６図は異モード振動が発生した際、個々の検出素子に
発生した電圧のグラフである。 第７図は異モード振動が発生した際、一対の検出素子か
ら供給される電圧のグラフである。 第８図は本発明が適用された第二実施例装置の平面図で
ある。 第９図は本発明が適用された第三実施例装置の平面図で
ある。 第１０図は第二、第三実施例装置を駆動可能な駆動回路
を描いたブロック図である。 第１１図は従来の振動体を描いた平面図である。 第１２図は従来の超音波モータの構造を描いた縦断面図
である。 １・・・弾性体、２・・・圧電振動体、３．４・・・駆
動用振動子、５，６・・・隙間、１２・・・ステータ、
１６・・・ロータ、５１．５２・・・検出素子、５３・
・・モニター素子、ＳＣ２・・・平滑回路（駆動停止手
段）、ＲＥＦ・・・基準電圧発生回路（駆動停止手段）
、ＣＭＰ・・・比較回路（駆動停止手段）。
Claims (3)
- （１）第一組の振動子と、 第一組の振動子から離れた位置に形成された第二組の振
動子と、 を備える超音波モータ用振動体において、 所定距離離れた位置に形成され、互いに電気的に接続さ
れた一対の検出素子を備える超音波モータ用振動体。 - （２）第一組の振動子と、該第一組の振動子から離れた
位置に形成された第二組の振動子とを有する振動体と、 該振動体が固定されたステータと、 該ステータに圧接されるロータと、 前記振動体を駆動する駆動回路と、 を備える超音波モータにおいて、 前記振動体は、さらに、所定距離離れた位置に形成され
、互いに電気的に接続された一対の検出素子を備え、 前記駆動回路は、さらに、前記検出素子に電圧が発生し
た時、振動体の駆動を停止する駆動停止手段を備えるこ
とを特徴とした超音波モータ。 - （３）前記所定距離は、進行波の所望の波長をλ、ｎを
自然数とする時、ｎ・λ／２であることを特徴とした請
求項（１）記載の超音波モータ用振動体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2258516A JP2992068B2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 超音波モータ用振動体および超音波モータ |
| DE4131948A DE4131948A1 (de) | 1990-09-27 | 1991-09-25 | Ultraschall-motor und vibrationsteil hierfuer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2258516A JP2992068B2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 超音波モータ用振動体および超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04138084A true JPH04138084A (ja) | 1992-05-12 |
| JP2992068B2 JP2992068B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=17321300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2258516A Expired - Fee Related JP2992068B2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 超音波モータ用振動体および超音波モータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2992068B2 (ja) |
| DE (1) | DE4131948A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4130065C2 (de) * | 1991-09-11 | 1993-12-02 | Licentia Gmbh | Elektrischer Scheibenwischerantrieb |
| DE4216050C2 (de) * | 1992-05-15 | 1995-05-24 | Daimler Benz Ag | Ultraschallwanderwellenmotor mit formschlüssiger Anregung von Wanderwellen |
| KR100341871B1 (ko) * | 1993-09-08 | 2002-11-29 | 아스라브 쏘시에떼 아노님 | 회전자위치탐지기를갖는압전모터및그압전모터고정자제조방법 |
| DE19742447C2 (de) * | 1997-09-26 | 1999-09-23 | Daimler Chrysler Ag | Wanderwellenmotor mit Temperaturmeßeinrichtung und Verfahren zur Temperaturmessung |
| JP6315883B2 (ja) | 2012-12-26 | 2018-04-25 | キヤノン株式会社 | 圧電素子、振動波モーター用ステーター |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59204477A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-19 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波モーターの駆動制御回路 |
| JPS6373887A (ja) * | 1986-09-17 | 1988-04-04 | Shinsei Kogyo:Kk | 進行波型超音波モ−タ |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP2258516A patent/JP2992068B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-09-25 DE DE4131948A patent/DE4131948A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4131948C2 (ja) | 1992-11-19 |
| DE4131948A1 (de) | 1992-04-02 |
| JP2992068B2 (ja) | 1999-12-20 |
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