JPH04138265U - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 Ｘ線検査装置において、検査対象物を移動さ
せて、モニタ―上のその検査対象物が移動している透過
画像により検査をする際に、拡大画像に切替えると、検
査対象物の画像の移動速度が最適に制御されることを目
的とする。 【構成】 Ｘ線発生装置１とＸ線検出器４の間に検査対
象物３を移動させる多軸マニピュレ―タ２を設ける。検
査対象物３を拡大観測するとき、検出器昇降駆動部６に
より、このＸ線検出器４は多軸マニピュレ―タ２に接近
する。Ｘ線検出器４の昇降位置を検出する。演算装置８
は、入力された位置信号からモニタ―５上の表示画像の
倍率を演算し、この倍率値に応じた各軸の速度信号を多
軸コントロ―ラ９へ出力する。多軸コントロ―ラ９によ
り、多軸マニピュレ―タ駆動部を制御し、多軸マニピュ
レ―タの各軸の速度を減速する。

Description

【考案の詳細な説明】

［考案の目的］

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はＸ線を利用したＸ線検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

検査対象物にＸ線を照射し、検査対象物を透過したＸ線を検出して透視画像を 画面に表示し、この透視画像により検査対象物の検査を行なうＸ線検査装置があ る。

【０００３】 このようなＸ線検査装置では、検査対象物を回転テ―ブル，ＸＹテ―ブルに載 搭したり、多軸マニピュレ―タで保持し、検査対象物を移動，回転させることで 多方向から検査を行なっている。 検査中に、画面に異常部分らしい画像が表示された場合には、その部分を拡大 表示させて、異常の有無を判断している。

【０００４】 このように、検査対象物を拡大観測するためには、ＸＹテ―ブル，多軸マニピ ュレ―タ等の移動速度を遅くして、画面中の拡大画像の移動速度を遅くして検査 する必要がある。

【０００５】 そのため、従来、拡大観測中には、回転テ―ブル，ＸＹテ―ブル，多軸マニピ ュレ―タ等の各軸独立している速度調整器を手動で調整して、移動速度を調整し ていた。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

表示されている透視画像を見ながら最適な検査対象物の画像が移動速度になる ように、各軸の速度調整器を手動で調整するので、調整するのに時間がかかると いう問題点があった。 そこで、本考案の目的は、拡大観測する際に、検査対象物の拡大画像の移動速 度を適切に調節することのできるＸ線検査装置を提供するものである。 ［考案の構成］

【０００７】

【課題を解決するための手段および作用】

Ｘ線を発生するＸ線発生手段と、 検査対象物を移動させてＸ線発生手段の発生したＸ線を検査対象物の多方面か ら照射させる検査対象物移動手段と、 検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出手段と、 Ｘ線検出手段のＸ線焦点とＸ線検出手段間の検査対象物の相対的位置を移動さ せる相対的位置移動手段と、 Ｘ線発生手段のＸ線焦点とＸ線検出手段間の検査対象物の相対的位置を検出す る位置検出手段と、 この位置検出手段の出力する相対的位置信号に応じて、検査対象物移動手段の 移動速度を加減する移動速度制御手段と、 Ｘ線検出手段の出力するＸ線量より検査対象物の透過Ｘ線画像を表示する画像 表示手段を有し、相対的位置移動手段により、検査対象物の相対的位置を移動さ せて画像表示手段により表示される検査対象の画像倍率が大きくなると、相対的 位置検出手段により、検査対象物の相対的位置を検出し、移動速度制御手段で検 査対象物の移動速度を減速する。

【０００８】

【実施例】

１はＸ線発生装置でＸ線を発生するＸ線管が内部に収納されており、１ａはそ の焦点部を示す。

【０００９】 多軸マニピュレ―タ２は検査対象物３に任意の変位を与えＸ線像としてその各 部位を観測する為に備えられている。１０は多軸マニピュレ―タ駆動部で各マニ ピュレ―タを駆動させる為のモ―タ及び制御部で構成され、点線部メカニカル伝 動機構部を介し多軸マニピュレ―タに結合されている。

【００１０】 Ｘ線検出器４は検査対象物３を透過したＸ線を光に変換し、その光量を電気信 号に変換する。この電気信号より、ＴＶモニタ―５でＸ線像をスクリ―ン上に表 示させる。

【００１１】 ６はＸ線検出器４を昇降駆動させるモ―タ及びその制御部を含む検出器昇降駆 動部で点線で表示した伝動機構を介しＸ線検出器４に結合されている。

【００１２】 位置検出器７はＸ線検出器４を検出器昇降駆動部６で昇降駆動し、Ｘ線検出器 ４の昇降位置を検出する。この信号は演算装置８へ入力され、演算装置８は多軸 速度コントロ―ラ９へ倍率に応じた各軸のモ―タ速度信号を発生する。多軸速度 コントロ―ラ９により、多軸マニピュレ―タ駆動部１０を制御し、多軸マニピュ レ―タ２の速度を制御する。

【００１３】 図１において、Ｘ線管焦点１ａから検査対象物３およびＸ線検出器４までの距 離をそれぞれＨ1 ，Ｈ2 とするとＸ線画像化手段のうちＸ線検出器４に投影され るＸ線像の倍率（Ｔ）は（１）式で表示される。 このＨ1 ，Ｈ2 の相対位置を位置検出器７により検出しＴの値を得る。

【００１４】 検査対象物３を移動させる移動速度（Ｖ）及び検査対象物３のＸ線透過像が写 るＴＶモニタ―５における検査対象物３の移動速度（Ｖm ）および３のＸ線像倍 率（Ｔ）との関係は（２）式で示される。 Ｖm ＝Ｔ・Ｖ・α ・…（２）式 α＝比例定数であり、画像系の倍率すなわち検出器，光学系，テレビカメラ， モニタ等を全て含むもので検出器がＸ線蛍光増倍管では口径切替による倍率係数 をも含む。 （１）式（２）式より、（３）式が成立する。 （３）式よりＶm ＝一定速度とする為には、Ｔを置換したＨ2 ／Ｈ1 と多軸マ ニピュレ―タの速度（Ｖ）の積が一定となる様に（３）式の演算を演算装置で行 ないＶの値を自動制御する事により、多軸マニピュレ―タの速度を個々に調整す る作業は不要となり又調整が人間の感覚でなされる為最適制御が困難である事、 多軸のどこの調整が不可の為にＸ線像が画面から突然免脱したのか不明の煩らわ しさから解放され、操作性の向上がはかれる効果がある。この効果はＴの値すな わちＸ線像の拡大が大きい程有効であることが特徴である。

【００１５】 前述（３）式を満足する倍率可変方法として、第１の実施例におけるＸ線検出 器４の代りに、図２の第２の実施例においては多軸マニピュレ―タ２の位置を変 えて、Ｈ1 を変化させて倍率を変える方式である。図３の第３の実施例において は、Ｘ線発生装置１の位置を変えてＨ1 ，Ｈ2 の値を変える事により倍率を変え ている。 第４の実施例を図４に示す。

【００１６】 以上の実施例との相異は速度制御が外部から与えられプリセットされる点であ る。６ｃは検出器昇降駆動部である倍率プリセッタ―１１により任意の値がプリ セットされて読込信号が与えられると、演算装置８ａに入力され、こゝで倍率信 号は検出器位置信号に変換される。位置検出器７の出力する検出器用位置信号と 比較されて、このアナログ差信号を検出器昇降駆動コントロ―ラ１２に与えられ 検出器昇降駆動部６ｃに駆動信号を与える。

【００１７】 倍率プリセッタ―１１の位置信号換算値と位置検出器７の位置信号は同じ値に なる検出器昇降駆動コントロ―ラ１２から６ｃ検出器昇降駆動部へ正転又は逆転 の制御信号が与えられ、この閉ル―プ系は１種のサ―ボ系として動作する。位置 検出器７から演算装置８ａへ信号が与えられ、演算出力結果で多軸速度コントロ ―ラ９を動作させ多軸マニピュレ―タ２を駆動する。

【００１８】 本実施例によれば、倍率Ｔがプリセットされる点であり、検査対象物３とプリ セット値が予め判明している場合にはその所要倍率にワンタッチでセット可能な 点である。（操作時間の短縮）

【００１９】 更に応用編として、数種の検査対象物毎に倍率異なる場合には倍率プリセッタ ―を数種備えた装置とし、検査対象物と各倍率プリセッタ―を対応させてその選 択手段により、スイッチをワンタッチ操作する事により、作業の効率化が可能で ある。 更に外部指令信号による操作も可能となる利点がある。

【００２０】

【考案の効果】

Ｘ線検査装置において、検査対象物を広視野（低倍率）で観測中異常らしい、 又は欠陥が多く発生しやすい部位は拡大して観測したいケ―スが多く発生するが 、常時拡大で作業すると対象物の全走査時間がかゝり過ぎる為、一般には広視野 すなわち低倍率から高倍率観測が実施される。この倍率を変化させた時、多軸マ ニピュレ―タの速度がそのまゝであるとモニタ―上に映るＸ線像の移動速度が早 過ぎたり遅過ぎたりする為、各軸の速度を各々の速度調整器を手動で調整してい たが、本考案によれば、オペレ―タの最適な観測速度に各軸速度を自動調整可能 であり、又手動調整の煩らわしさから解放され、観測（検査）時間の短縮ができ る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による第１の実施例のＸ線検査装置であ
る。

【図２】本考案による第２の実施例のＸ線検査装置であ
る。

【図３】本考案による第３の実施例のＸ線検査装置であ
る。

【図４】本考案による第４の実施例のＸ線検査装置であ
る。

【符号の説明】

１…Ｘ線発生装置 １ａ…Ｘ線管焦点 ２…多軸マニピュレ―タ ３…検査対象物 ４…Ｘ線検出器 ５モニタ― ６…検出器昇降駆動部 ６ａ…多軸マニピュレ
―タ昇降駆動部 ６ｂ…Ｘ線発生装置昇降駆動部 ６ｃ…機器昇降駆動部 ７…位置検出器 ７ｂ…Ｘ線発生装置用
位置検出器 ８…演算器 ９…多軸速度コントロ
―ラ １０…多軸マニピュレ―タ駆動部 １１…倍率プリセッタ―

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線を発生するＸ線発生手段と、検査対
   象物を移動させてＸ線発生手段の発生したＸ線を検査対
   象物の多方面から照射させる検査対象物移動手段と、検
   査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出手段と、Ｘ
   線検出手段のＸ線焦点とＸ線検出手段間の検査対象物の
   相対的位置を移動させる相対的位置移動手段と、Ｘ線発
   生手段のＸ線焦点とＸ線検出手段間の検査対象物の相対
   的位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段の
   出力する相対的位置信号に応じて、検査対象物移動手段
   の移動速度を加減する移動速度制御手段と、Ｘ線検出手
   段の出力するＸ線量より検査対象物の透過Ｘ線画像を表
   示する画像表示手段を有するＸ線検査装置。