JPH04140889A - 画像認識装置 - Google Patents
画像認識装置Info
- Publication number
- JPH04140889A JPH04140889A JP2264430A JP26443090A JPH04140889A JP H04140889 A JPH04140889 A JP H04140889A JP 2264430 A JP2264430 A JP 2264430A JP 26443090 A JP26443090 A JP 26443090A JP H04140889 A JPH04140889 A JP H04140889A
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- JP
- Japan
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- video signal
- signal
- circuit
- extracting
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ステージ上に載置される半導体装置部品（以
下単に部品と呼ぶ）の位置認識する画像認識装置に関す
る。
下単に部品と呼ぶ）の位置認識する画像認識装置に関す
る。
第４図は従来の一例を示す画像認識装置のブロック図で
ある。従来、この種の画像認識装置は、同図に示すよう
にステージ４上に搭載される部品１２を撮像するテレビ
カメラ１と、テレビカメラ１が出力する映像信号Ｓ１を
取り込み、量子化を行うとともに演算処理し、映像信号
Ｓ２及び制御信号を出力する画像処理部２と、映像信号
Ｓ２を入力＋、、部品１２の位置情報を表示するモニタ
３と、制御信号を入力しステージ４の移動を制御する制
御部５とを有している。
ある。従来、この種の画像認識装置は、同図に示すよう
にステージ４上に搭載される部品１２を撮像するテレビ
カメラ１と、テレビカメラ１が出力する映像信号Ｓ１を
取り込み、量子化を行うとともに演算処理し、映像信号
Ｓ２及び制御信号を出力する画像処理部２と、映像信号
Ｓ２を入力＋、、部品１２の位置情報を表示するモニタ
３と、制御信号を入力しステージ４の移動を制御する制
御部５とを有している。
第５図（ａ）及び（ｂ）は第４図の画像認識装置の動作
を説明するためのモニタ上に表示される撮像領域を示す
図である。次に、この画像認識装置の動作を説明する。
を説明するためのモニタ上に表示される撮像領域を示す
図である。次に、この画像認識装置の動作を説明する。
まず、部品１２より反射される光をテレビカメラ１３が
捕捉し、映像信号Ｓ１を出力する。次にマイクロコンピ
ュータ及び高速デジタル回路をもつ画像処理部１５が、
映像信号Ｓｌを取り込み、量子化及び演算処理し、映像
信号Ｓ２を出力する。次に、モニタ３は映像信号Ｓ２を
入力し、第５図（ａ、）に示すように、部品１２の撮像
領域１０内の斜線で示す２値化像１〕と余白部とを示す
。次に、第５図（ｂ）に示すように、あらかじめ入力し
、ている基準パターンとを比較して、基準の２値化画像
１１ａの境界線からのずれ量を算出し、外部の制御部５
に制御信号を出力する。制御部５は、ずれ量データをも
とにステージ４を移動させ、部品１２の位置決めを行い
、必要な処理を行っていた。
捕捉し、映像信号Ｓ１を出力する。次にマイクロコンピ
ュータ及び高速デジタル回路をもつ画像処理部１５が、
映像信号Ｓｌを取り込み、量子化及び演算処理し、映像
信号Ｓ２を出力する。次に、モニタ３は映像信号Ｓ２を
入力し、第５図（ａ、）に示すように、部品１２の撮像
領域１０内の斜線で示す２値化像１〕と余白部とを示す
。次に、第５図（ｂ）に示すように、あらかじめ入力し
、ている基準パターンとを比較して、基準の２値化画像
１１ａの境界線からのずれ量を算出し、外部の制御部５
に制御信号を出力する。制御部５は、ずれ量データをも
とにステージ４を移動させ、部品１２の位置決めを行い
、必要な処理を行っていた。
上述した従来の画像認識装置では、テレビカメラ１から
の映像信号Ｓ１をそのままの形で２値化処理するので、
部品である半導体デバイスのペレットやパッケージの境
界における画像の濃淡のばらつきによる２値化不安定現
象（二値化処理時パ１”になったり“０”になったりす
る再現性の無いエリア）を起すことがある。このため、
第５図（ａ）に示すように、撮像領域１０内に二値化不
安定画像１３が発生する。このような場合は、このパタ
ーンと比較する対象の基準パターンがないので、認識エ
ラーを起すという問題がある。特に、セラミックパッケ
ージにおいては品種により種々色々な加工がなされてい
る他、その表面状態での反射光の強度がばらつき、その
ため検出エリア内に２値化不安定現象が発生し、部品面
内にある段差部を示す境界線が明瞭に認識出来ないとい
う問題がある。
の映像信号Ｓ１をそのままの形で２値化処理するので、
部品である半導体デバイスのペレットやパッケージの境
界における画像の濃淡のばらつきによる２値化不安定現
象（二値化処理時パ１”になったり“０”になったりす
る再現性の無いエリア）を起すことがある。このため、
第５図（ａ）に示すように、撮像領域１０内に二値化不
安定画像１３が発生する。このような場合は、このパタ
ーンと比較する対象の基準パターンがないので、認識エ
ラーを起すという問題がある。特に、セラミックパッケ
ージにおいては品種により種々色々な加工がなされてい
る他、その表面状態での反射光の強度がばらつき、その
ため検出エリア内に２値化不安定現象が発生し、部品面
内にある段差部を示す境界線が明瞭に認識出来ないとい
う問題がある。
本発明の目的は、かかる問題を解消すべく部品面内にあ
る段差部を示す境界線を認識出来る画像認識装置を提供
することである。
る段差部を示す境界線を認識出来る画像認識装置を提供
することである。
本発明の画像認識装置は、部品の凹凸による段差部を有
する面を撮像するテレビカメラと、テレビカメラの映像
信号を処理してモニタに画像を写し出すとともに基準画
像パターンと比較する画像処理部と、前記画像と前記基
準画像パターンとのずれ量を補正する制御部とを有する
画像認識装置において、前記段差部の映像信号を抽出す
る回路と、抽出される前記映像信号を強制的に２値化す
る回路とを備え、この２値化される映像信号を前記段差
部以外の映像信号に組入れることを特徴としている。
する面を撮像するテレビカメラと、テレビカメラの映像
信号を処理してモニタに画像を写し出すとともに基準画
像パターンと比較する画像処理部と、前記画像と前記基
準画像パターンとのずれ量を補正する制御部とを有する
画像認識装置において、前記段差部の映像信号を抽出す
る回路と、抽出される前記映像信号を強制的に２値化す
る回路とを備え、この２値化される映像信号を前記段差
部以外の映像信号に組入れることを特徴としている。
〔実施例」
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す画像認識装置のブロッ
ク図、第２図及び第３図は第１図の画像認識装置を説明
するための撮像領域の平面図及び各映像信号の波形図で
ある。この画像認識装置は、第１図及び第２図に示すよ
うに、テレビカメラ１から得られる撮像領域１７の映像
信号より複数の画素による段差領域１８の映像信号ＳＯ
を抽出し、この抽出された映像信号ＳＯを強制的に２値
化し、段差領域１８における境界線１９を明瞭にし、明
瞭化された映像信号を出力する境界線発生部３を設ける
ことである。
ク図、第２図及び第３図は第１図の画像認識装置を説明
するための撮像領域の平面図及び各映像信号の波形図で
ある。この画像認識装置は、第１図及び第２図に示すよ
うに、テレビカメラ１から得られる撮像領域１７の映像
信号より複数の画素による段差領域１８の映像信号ＳＯ
を抽出し、この抽出された映像信号ＳＯを強制的に２値
化し、段差領域１８における境界線１９を明瞭にし、明
瞭化された映像信号を出力する境界線発生部３を設ける
ことである。
この境界線発生部３は、映像信号より段差領域１８の複
数の画素により映像信号ＳＯを抽出する抽出回路２０と
、映像信号ＳＯを２値化する２値化回路６と、２値化さ
れた２値化信号Ｓ３をサンプリングするサンプリング回
路７と、サンプリング映像信号Ｓ４と段差領域の幅に相
当するパルス幅を持つ変更信号Ｓ６と入力し、出力信号
Ｓ５を出力する論理積回路８と、図形パターン記憶部１
６より撮像領域１７から段差領域１８を抽出するととも
に抽出回路２０に抽出指令する段差領域抽出部１５と、
この段差領域の幅に相当する幅をもつパルス状の変更信
号＄６を発生するパルス発生回路９とで構成される。
数の画素により映像信号ＳＯを抽出する抽出回路２０と
、映像信号ＳＯを２値化する２値化回路６と、２値化さ
れた２値化信号Ｓ３をサンプリングするサンプリング回
路７と、サンプリング映像信号Ｓ４と段差領域の幅に相
当するパルス幅を持つ変更信号Ｓ６と入力し、出力信号
Ｓ５を出力する論理積回路８と、図形パターン記憶部１
６より撮像領域１７から段差領域１８を抽出するととも
に抽出回路２０に抽出指令する段差領域抽出部１５と、
この段差領域の幅に相当する幅をもつパルス状の変更信
号＄６を発生するパルス発生回路９とで構成される。
次に、この画像認識装置の動作を説明する。まず、部品
１２からの反射光をテレビカメラ１が捕捉し、画像信号
が順次出力される。一方、図形パターン記憶部１６より
段差領域抽出部１５が前記画像信号の出力と同期して抽
出する。次に、段差領域抽出部１５の指令により抽出回
路２０が映像信号ＳＯを抽出する。このときの波形が第
３図に示す。また、このときパルス発生回路９は段差領
域抽出部１５の指令により第３図に示す変更信号Ｓ６の
出力を促す。次に、映像信号ＳＯは２厘化回路６により
第３図に示す２値化信号Ｓ３に成形される。次に、この
２値化信号Ｓ３はサンプリング回路７によりサンプリン
グされ、サンプリング後信号Ｓ４として論理積回路８の
一方の端子に入力される。一方、前述の変更信号Ｓ６が
論理積回路８の他方の端子に入力されるので、出力は単
純な単パルスで出力される。
１２からの反射光をテレビカメラ１が捕捉し、画像信号
が順次出力される。一方、図形パターン記憶部１６より
段差領域抽出部１５が前記画像信号の出力と同期して抽
出する。次に、段差領域抽出部１５の指令により抽出回
路２０が映像信号ＳＯを抽出する。このときの波形が第
３図に示す。また、このときパルス発生回路９は段差領
域抽出部１５の指令により第３図に示す変更信号Ｓ６の
出力を促す。次に、映像信号ＳＯは２厘化回路６により
第３図に示す２値化信号Ｓ３に成形される。次に、この
２値化信号Ｓ３はサンプリング回路７によりサンプリン
グされ、サンプリング後信号Ｓ４として論理積回路８の
一方の端子に入力される。一方、前述の変更信号Ｓ６が
論理積回路８の他方の端子に入力されるので、出力は単
純な単パルスで出力される。
次に、この出力信号Ｓ５は画像処理部２ａに入力され、
抽出回路２０よりバイパスされた映像信号に組込まれ、
処理されて新な映像信号として七二夕１４に入力される
。モニタ１４は画像領域を写し出される。このときの映
像では段差領域は濃淡のないモノトーン色で明瞭に境界
線を写し出す。
抽出回路２０よりバイパスされた映像信号に組込まれ、
処理されて新な映像信号として七二夕１４に入力される
。モニタ１４は画像領域を写し出される。このときの映
像では段差領域は濃淡のないモノトーン色で明瞭に境界
線を写し出す。
以上説明したように本発明は、段差部のある部品面の撮
像領域より前記段差部のアナログ的な映像信号を抽出す
る回路と、抽出された映像信号を強制的に２値化して、
単パルス信号として出力する回路とを設け、他の映像信
号に前記単パルス信号を組込むことによって、モニタに
段差部における境界線を明瞭に表示出来るので、認識ミ
スを起すことのない画像認識装置が得られるという効果
がある。
像領域より前記段差部のアナログ的な映像信号を抽出す
る回路と、抽出された映像信号を強制的に２値化して、
単パルス信号として出力する回路とを設け、他の映像信
号に前記単パルス信号を組込むことによって、モニタに
段差部における境界線を明瞭に表示出来るので、認識ミ
スを起すことのない画像認識装置が得られるという効果
がある。
第１図は本発明の一実施例を示す画像認識装置のフロッ
ク図、第２図及び第３図は第１図の画像認識装置の動作
を説明するための撮像領域の平面図及び各映像信号の波
形図、第４図は従来の一例を示す画像認識装置のブロッ
ク図、第５図（ａ）及び（ｂ）は第４図の画像認識装置
の動作を説明するためのモニタ上に表示されるパター・
ンを示す図である。 １・・・・テレビカメラ、２，２ａ・・・・画像処理部
、３ ・・・・境界線発生部、４・・・・・・ステージ
、５・・・・・制御部、６・・・・・２値化回路、７・
・・サンプリング回路、８・・・・・論理積回路、９・
・・・パルス発生器、１０．１７・・・・・撮像領域、
１〕・・・２値化画像、１２・・・・・・部品、１３・
・・・・２値化不安定画像、１４・モニタ、１５・・・
・・・段差領域抽出部、１６・・・・・・図形パターン
記憶部、 ■ ８・・ ・・段差領域、 ■ ９・・ ・・境界線、 ・・・・抽出回路。
ク図、第２図及び第３図は第１図の画像認識装置の動作
を説明するための撮像領域の平面図及び各映像信号の波
形図、第４図は従来の一例を示す画像認識装置のブロッ
ク図、第５図（ａ）及び（ｂ）は第４図の画像認識装置
の動作を説明するためのモニタ上に表示されるパター・
ンを示す図である。 １・・・・テレビカメラ、２，２ａ・・・・画像処理部
、３ ・・・・境界線発生部、４・・・・・・ステージ
、５・・・・・制御部、６・・・・・２値化回路、７・
・・サンプリング回路、８・・・・・論理積回路、９・
・・・パルス発生器、１０．１７・・・・・撮像領域、
１〕・・・２値化画像、１２・・・・・・部品、１３・
・・・・２値化不安定画像、１４・モニタ、１５・・・
・・・段差領域抽出部、１６・・・・・・図形パターン
記憶部、 ■ ８・・ ・・段差領域、 ■ ９・・ ・・境界線、 ・・・・抽出回路。
Claims (1)
- 部品の凹凸による段差部を有する面を撮像するテレビカ
メラと、テレビカメラの映像信号を処理してモニタに画
像を写し出すとともに基準画像パターンと比較する画像
処理部と、前記画像と前記基準画像パターンとのずれ量
を補正する制御部とを有する画像認識装置において、前
記段差部の映像信号を抽出する回路と、抽出される前記
映像信号を強制的に２値化する回路とを備え、この２値
化される映像信号を前記段差部以外の映像信号に組入れ
ることを特徴とする画像認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2264430A JP2573737B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 画像認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2264430A JP2573737B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 画像認識装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04140889A true JPH04140889A (ja) | 1992-05-14 |
| JP2573737B2 JP2573737B2 (ja) | 1997-01-22 |
Family
ID=17403077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2264430A Expired - Fee Related JP2573737B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 画像認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2573737B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62228103A (ja) * | 1986-03-29 | 1987-10-07 | Toshiba Corp | 基板測定装置 |
-
1990
- 1990-10-01 JP JP2264430A patent/JP2573737B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62228103A (ja) * | 1986-03-29 | 1987-10-07 | Toshiba Corp | 基板測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2573737B2 (ja) | 1997-01-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |