JPH04142941A - インクジェット用ノズルプレートの製造方法 - Google Patents
インクジェット用ノズルプレートの製造方法Info
- Publication number
- JPH04142941A JPH04142941A JP26694490A JP26694490A JPH04142941A JP H04142941 A JPH04142941 A JP H04142941A JP 26694490 A JP26694490 A JP 26694490A JP 26694490 A JP26694490 A JP 26694490A JP H04142941 A JPH04142941 A JP H04142941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle plate
- plating
- manufacturing
- inkjet
- inkjet nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 34
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N chromate(2-) Chemical compound [O-][Cr]([O-])(=O)=O ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- WDQNIWFZKXZFAY-UHFFFAOYSA-M fentin acetate Chemical compound CC([O-])=O.C1=CC=CC=C1[Sn+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 WDQNIWFZKXZFAY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、コンピューターや複写機・ファックス等の外
部出力装置に利用される、インクジェット用ノズルプレ
ートの製造方法に関する。
部出力装置に利用される、インクジェット用ノズルプレ
ートの製造方法に関する。
［従来の技術］
第２図（ａ）〜第２図（ｅ）は、従来のインクジェット
用ノズルプレートの製造方法を示す縦断面図であり、従
来の技術としては、第２図（ａ）に示すように、Ｂｓや
ステンレス等の材料からなる基板２上上にフォトリソ法
を用いてノズルプレートの形状にフォトレジスト２２を
パターニング形成し、第２図（ｂ）のように、電解ニッ
ケルメッキ２３により第一次のメッキを施し、ノズルプ
レートの立体形状部分を構成する。その後、第２図（ｃ
）のように、クロメート処理や、酸化皮膜処理により剥
離層２４を形成し、その上に、第２図（ｄ）に示すよう
に電解ニッケルメッキ２５により第二次のメッキを施し
、ノズルプレートを形成する その後、剥離Ｊ？１ｉ２
４より離型すると第２図（ｅ）のような電解ニッケルメ
ッキ２５より成るノズルプレートが得られる。インク２
７はノズル穴２６より矢印方向へ吐出する。以上の説明
のようなインクジェット用ノズルプレートの製造方法が
知られていた。
用ノズルプレートの製造方法を示す縦断面図であり、従
来の技術としては、第２図（ａ）に示すように、Ｂｓや
ステンレス等の材料からなる基板２上上にフォトリソ法
を用いてノズルプレートの形状にフォトレジスト２２を
パターニング形成し、第２図（ｂ）のように、電解ニッ
ケルメッキ２３により第一次のメッキを施し、ノズルプ
レートの立体形状部分を構成する。その後、第２図（ｃ
）のように、クロメート処理や、酸化皮膜処理により剥
離層２４を形成し、その上に、第２図（ｄ）に示すよう
に電解ニッケルメッキ２５により第二次のメッキを施し
、ノズルプレートを形成する その後、剥離Ｊ？１ｉ２
４より離型すると第２図（ｅ）のような電解ニッケルメ
ッキ２５より成るノズルプレートが得られる。インク２
７はノズル穴２６より矢印方向へ吐出する。以上の説明
のようなインクジェット用ノズルプレートの製造方法が
知られていた。
［発明が解決１−ようとする課題］
しかし、かかる従来のインクジェット用ノズルプレート
は、立体形状部分を構成するための第一次のメッキと、
ノズルプレートを得るための第二次のメッキが電解ニッ
ケルメッキにより形成されるために厚み管理が難しく、
厚みばらつきが大きくなり、ノズル穴の穴径精度を精度
よく得ることが難しく、歩留まり低下の原因となってい
る。又、ノズル穴径の精度ばらつきは吐出したインク粒
のばらつきの原因ともなり、印字品質を大きく低下させ
るという問題点を有していた。
は、立体形状部分を構成するための第一次のメッキと、
ノズルプレートを得るための第二次のメッキが電解ニッ
ケルメッキにより形成されるために厚み管理が難しく、
厚みばらつきが大きくなり、ノズル穴の穴径精度を精度
よく得ることが難しく、歩留まり低下の原因となってい
る。又、ノズル穴径の精度ばらつきは吐出したインク粒
のばらつきの原因ともなり、印字品質を大きく低下させ
るという問題点を有していた。
そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決するた
め、ノズル穴径精度に優れ、高印字品質のインクジェッ
ト用ノズルプレートを提供することを目的とする。
め、ノズル穴径精度に優れ、高印字品質のインクジェッ
ト用ノズルプレートを提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明のインクジェット用ノ
ズルプレーｌ〜の製造方法は、厚付けメッキにより形成
され、インクを吐出するノズル大形状がインクの吐出す
る側ｌ＼突出した立体形状を持つ、インクジェットプリ
ンター等に使用されるインクジェット用ノズルプレート
において、第一次のメッキを電解銅メッキにて１ｊい立
体形状を楕成し、その上に、第二次のメッキとして無電
解ニッケルメッキを行いノズルプレートの形状を形成し
、前記第一次の電解鋼メッキをエツチング除去する二と
により、前記第二次の無電解ニッケルメッキにて得られ
たノズルプレートを飛型形成したことを特徴とする。
ズルプレーｌ〜の製造方法は、厚付けメッキにより形成
され、インクを吐出するノズル大形状がインクの吐出す
る側ｌ＼突出した立体形状を持つ、インクジェットプリ
ンター等に使用されるインクジェット用ノズルプレート
において、第一次のメッキを電解銅メッキにて１ｊい立
体形状を楕成し、その上に、第二次のメッキとして無電
解ニッケルメッキを行いノズルプレートの形状を形成し
、前記第一次の電解鋼メッキをエツチング除去する二と
により、前記第二次の無電解ニッケルメッキにて得られ
たノズルプレートを飛型形成したことを特徴とする。
［実施例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する、第
１図（ａ）〜第１図（ｉ）は、本発明のインクジェット
用ノズルプレートの製造方法を示す縦断面図であり、第
１図（ａ）において、ガラスやセラミックス、プラスチ
ック等の非金属材料からなる基板１上にＣｕ皮膜２を蒸
着あるいはスパッタにより０． １μｍ厚み形成し、第
１図（ｂ）のように、フォトレジスト３をローラーコー
ターやスピンコーターを用いて２μｍ厚み塗布する。
１図（ａ）〜第１図（ｉ）は、本発明のインクジェット
用ノズルプレートの製造方法を示す縦断面図であり、第
１図（ａ）において、ガラスやセラミックス、プラスチ
ック等の非金属材料からなる基板１上にＣｕ皮膜２を蒸
着あるいはスパッタにより０． １μｍ厚み形成し、第
１図（ｂ）のように、フォトレジスト３をローラーコー
ターやスピンコーターを用いて２μｍ厚み塗布する。
その後、第１図（ｃ）に示すように、フォトリソ法によ
りノズルプレートの形状にフォトレジスト３をパターニ
ングする。次いで、第１図（ｄ）の如く、１〜１０％の
過硫酸アンモニウム溶液にてＣｕ皮膜２をエツチングパ
ターニングする。その後、第１図（ｅ）のように、フォ
トレジスト３を剥離除去する。次に、第１図（ｆ）に示
すように、Ｃｕ皮膜２の表面に電解銅メッキ４により第
一次のメ・ツキを２０μｍ厚みに形成して立体形状を形
成する。続けて、第１図（ｇ＞のように、無電解二・ソ
ゲルメッキ５により、第二次のメッキを１００ Ａｔ
ｍ厚みに形成してノズルプレートの形状を得る。その後
、基板１とＣｕ皮膜２の７間より離型して第１図（ｈ）
に示す形状とする。次に、アンモニア水系のエツチング
液によりＣｕ皮Ｍ３と電解銅メッキ４により形成された
立体形状部分を選択的にエツチング除去すると、第１図
（ｉ）に示すような、無電解ニッケルメッキ５より成る
ノズルプレートか得られる。この時、アンモニア水系の
エツチング液は、ニッケル皮膜を侵食しないで銅皮膜の
みエツチングすることが可能なので、無電解ニッケルメ
ッキ５より成るノズルプレートは、なんら損傷を受けな
い。
りノズルプレートの形状にフォトレジスト３をパターニ
ングする。次いで、第１図（ｄ）の如く、１〜１０％の
過硫酸アンモニウム溶液にてＣｕ皮膜２をエツチングパ
ターニングする。その後、第１図（ｅ）のように、フォ
トレジスト３を剥離除去する。次に、第１図（ｆ）に示
すように、Ｃｕ皮膜２の表面に電解銅メッキ４により第
一次のメ・ツキを２０μｍ厚みに形成して立体形状を形
成する。続けて、第１図（ｇ＞のように、無電解二・ソ
ゲルメッキ５により、第二次のメッキを１００ Ａｔ
ｍ厚みに形成してノズルプレートの形状を得る。その後
、基板１とＣｕ皮膜２の７間より離型して第１図（ｈ）
に示す形状とする。次に、アンモニア水系のエツチング
液によりＣｕ皮Ｍ３と電解銅メッキ４により形成された
立体形状部分を選択的にエツチング除去すると、第１図
（ｉ）に示すような、無電解ニッケルメッキ５より成る
ノズルプレートか得られる。この時、アンモニア水系の
エツチング液は、ニッケル皮膜を侵食しないで銅皮膜の
みエツチングすることが可能なので、無電解ニッケルメ
ッキ５より成るノズルプレートは、なんら損傷を受けな
い。
第１図（ｉ）において、無電解ニッケルメッキ５より成
るノズルプレートはインクの吐出する側へ突出した立体
形状を持ち、ノズル穴６より吐出したインク粒７は、矢
印方向へ飛翔する。
るノズルプレートはインクの吐出する側へ突出した立体
形状を持ち、ノズル穴６より吐出したインク粒７は、矢
印方向へ飛翔する。
以上の実施例において得られたインクジェット用ノズル
プレートは、無電解ニッケルメッキの板厚みばらつきが
、電解ニッケルメッキに比べて、はるかに小さいために
、非常に高精度なノズル穴が得られ、安定した粒径のイ
ンク粒を吐出させることが可能となる。そのために、印
字品質が大福に向上する。
プレートは、無電解ニッケルメッキの板厚みばらつきが
、電解ニッケルメッキに比べて、はるかに小さいために
、非常に高精度なノズル穴が得られ、安定した粒径のイ
ンク粒を吐出させることが可能となる。そのために、印
字品質が大福に向上する。
し発明の効果］
本発明のインクジェット用ノズルプレートの製造方法は
、以上説明したように、ノズル穴の穴径寸法が均一に精
度よく形成でき、安定したインク粒径が得られることに
より、ドツトサイズのばらつき、飛翔速度、飛翔距離、
飛翔方向のばらつき等の問題を解決し、印字品質が大福
に向上するという効果がある。又、品質が安定するため
に、製造歩留まりも大きく向上する。
、以上説明したように、ノズル穴の穴径寸法が均一に精
度よく形成でき、安定したインク粒径が得られることに
より、ドツトサイズのばらつき、飛翔速度、飛翔距離、
飛翔方向のばらつき等の問題を解決し、印字品質が大福
に向上するという効果がある。又、品質が安定するため
に、製造歩留まりも大きく向上する。
第１図（ａ）〜第１図（ｉ）は、本発明のインクジェ・
ソト用ノズルプレートの製造方法を示す縦断面図。 第２図（ａ、 ）〜第２図（ｅ）は、従来のイン・クジ
エツト用ノズルプレートの製造方法を示寸縦断面図。 １・・・基板 ２・・・Ｃｕ皮膜 ３・・・フォトレジスト ・電解銅メッキ ・無電解ニッケルメッキ 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理土鈴水容三部（他１名） 第１図（ａ） 第１図（ｂ） 第１図（Ｃ） 第１図＜ｄ） 第１図（ｅ） 第１図（ｆ） 第１図（ｃｒ） と 第１図（ｈ） 第２図（ａ） 第２図（ｂ）
ソト用ノズルプレートの製造方法を示す縦断面図。 第２図（ａ、 ）〜第２図（ｅ）は、従来のイン・クジ
エツト用ノズルプレートの製造方法を示寸縦断面図。 １・・・基板 ２・・・Ｃｕ皮膜 ３・・・フォトレジスト ・電解銅メッキ ・無電解ニッケルメッキ 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理土鈴水容三部（他１名） 第１図（ａ） 第１図（ｂ） 第１図（Ｃ） 第１図＜ｄ） 第１図（ｅ） 第１図（ｆ） 第１図（ｃｒ） と 第１図（ｈ） 第２図（ａ） 第２図（ｂ）
Claims (1)
- 厚付けメッキにより形成され、インクを吐出するノズル
穴形状がインクの吐出する側へ突出した立体形状を持つ
、インクジェットプリンター等に使用されるインクジェ
ット用ノズルプレートにおいて、第一次のメッキを電解
銅メッキにて行い立体形状を構成し、その上に、第二次
のメッキとして無電解ニッケルメッキを行いノズルプレ
ートの形状を形成し、前記第一次の電解銅メッキをエッ
チング除去することにより、前記第二次の無電解ニッケ
ルメッキにて得られたノズルプレートを離型形成したこ
とを特徴とするインクジェット用ノズルプレートの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26694490A JPH04142941A (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | インクジェット用ノズルプレートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26694490A JPH04142941A (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | インクジェット用ノズルプレートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04142941A true JPH04142941A (ja) | 1992-05-15 |
Family
ID=17437856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26694490A Pending JPH04142941A (ja) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | インクジェット用ノズルプレートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04142941A (ja) |
-
1990
- 1990-10-04 JP JP26694490A patent/JPH04142941A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4528577A (en) | Ink jet orifice plate having integral separators | |
| US6303042B1 (en) | Making ink jet nozzle plates | |
| US6214192B1 (en) | Fabricating ink jet nozzle plate | |
| JPS5863468A (ja) | インク・ジエツト滴発生器製造方法 | |
| JPH1044434A (ja) | 静電吸引型インクジェットプリンタ用ノズルヘッド及びその製造方法 | |
| JPH04142941A (ja) | インクジェット用ノズルプレートの製造方法 | |
| US8647896B2 (en) | Process for producing a substrate for a liquid ejection head | |
| JPH04142938A (ja) | インクジェット用ノズルプレートの製造方法 | |
| US20070261240A1 (en) | Charge plate and orifice plate for continuous ink jet printers | |
| US9205654B2 (en) | Method of manufacturing a liquid ejection head | |
| JPH04142940A (ja) | インクジェット用ノズルプレートの製造方法 | |
| JPH0439053A (ja) | ノズルの製造方法 | |
| JPH04142939A (ja) | イングシェット用ノズルプレートの製造方法 | |
| US20070261239A1 (en) | Electroformed integral charge plate and orifice plate for continuous ink jet printers | |
| JPH04107149A (ja) | ノズルの製造方法 | |
| JPS6158744A (ja) | インクジエツト記録ヘツドのオリフイスプレ−トおよび該オリフイスプレ−トを有するインクジエツト記録ヘツド | |
| JP3722338B2 (ja) | インクジェットプリントヘッド及びその製造方法 | |
| JPH11320893A (ja) | インクジェットヘッド用ノズル板及びその製造方法 | |
| JP3190658B2 (ja) | インクジェット記録用ヘッド | |
| JPS59109371A (ja) | 流体噴射用マルチノズル板 | |
| JP3166830B2 (ja) | 静電吸引型マルチノズルインクジェットヘッドの製造方法 | |
| US7540589B2 (en) | Integrated charge and orifice plates for continuous ink jet printers | |
| JP2008149663A (ja) | 液体吐出ヘッドおよび該ヘッドの製造方法 | |
| JP2001146017A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド | |
| JP3661350B2 (ja) | 静電吸引型マルチノズルインクジェットヘッド及びその製造方法 |