JPH04147128A - 液晶露光装置 - Google Patents
液晶露光装置Info
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- JPH04147128A JPH04147128A JP27071690A JP27071690A JPH04147128A JP H04147128 A JPH04147128 A JP H04147128A JP 27071690 A JP27071690 A JP 27071690A JP 27071690 A JP27071690 A JP 27071690A JP H04147128 A JPH04147128 A JP H04147128A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、LCDシャッターを備えた液晶露光装置に係
わり、特に1回のライン走査でフルカラーの露光が終了
するようにした液晶露光装置に関する。
わり、特に1回のライン走査でフルカラーの露光が終了
するようにした液晶露光装置に関する。
近年、液晶における各種の電気光学効果を利用して光透
過−光遮断の切替えを行う種々の液晶表示素子(LCD
)シャッターが開発されている。
過−光遮断の切替えを行う種々の液晶表示素子(LCD
)シャッターが開発されている。
ここで、LCDシャッターのなかでツイストネマチック
(T N)型のLCDシャッターについて説明する。こ
のTN型のLCDシャッターは複数の液晶光変調素子が
配列してなり、各液晶光変調素子では、液晶が2枚の透
明電極基板(外側)と、均一な直線状の溝を有する2枚
の配向膜(内側)とに挾まれている。そして、透明電極
間に電圧が印加されていない場合は、液晶分子は配向膜
の溝で規制される力にしたがって特定の配向状態をとる
が、上記の2枚の配向膜の溝方向は相互に90度ずれて
いるため、液晶分子は分子長軸方向にねじれ構造を示し
、両配向膜間にて液晶分子の配向が90度ねじれている
。この状態のTN型液晶光変調素子を偏光方向が直交す
る2枚の偏光板に挾み、一方の偏光板から光線を入射す
ると、その光線は最初の偏光板で直線偏光となる。そし
て、この直線偏光が液晶中を進行する間に、液晶分子の
複屈折性と上述のような90度ねじれ配向構造とにより
、上記の直線偏光の偏光方向が90度回転する。この結
果、直線偏光の偏光方向が他の偏光板の偏光方向と一致
することとなり、直線偏光はそのまま出射する。ところ
が、透明電極間に電圧が印加されている場合、液晶分子
は電界方向に向かって強制配向するため、上述のような
液晶分子の90度ねしれ配向構造が形成されていない。
(T N)型のLCDシャッターについて説明する。こ
のTN型のLCDシャッターは複数の液晶光変調素子が
配列してなり、各液晶光変調素子では、液晶が2枚の透
明電極基板(外側)と、均一な直線状の溝を有する2枚
の配向膜(内側)とに挾まれている。そして、透明電極
間に電圧が印加されていない場合は、液晶分子は配向膜
の溝で規制される力にしたがって特定の配向状態をとる
が、上記の2枚の配向膜の溝方向は相互に90度ずれて
いるため、液晶分子は分子長軸方向にねじれ構造を示し
、両配向膜間にて液晶分子の配向が90度ねじれている
。この状態のTN型液晶光変調素子を偏光方向が直交す
る2枚の偏光板に挾み、一方の偏光板から光線を入射す
ると、その光線は最初の偏光板で直線偏光となる。そし
て、この直線偏光が液晶中を進行する間に、液晶分子の
複屈折性と上述のような90度ねじれ配向構造とにより
、上記の直線偏光の偏光方向が90度回転する。この結
果、直線偏光の偏光方向が他の偏光板の偏光方向と一致
することとなり、直線偏光はそのまま出射する。ところ
が、透明電極間に電圧が印加されている場合、液晶分子
は電界方向に向かって強制配向するため、上述のような
液晶分子の90度ねしれ配向構造が形成されていない。
したかって、一方の偏光板から入射した直線偏光は偏光
方向の回転を生しることなく他の偏光板に達することと
なり、出射時に直線偏光の偏光方向と他の偏光板の偏光
方向とが直交して遮光される。
方向の回転を生しることなく他の偏光板に達することと
なり、出射時に直線偏光の偏光方向と他の偏光板の偏光
方向とが直交して遮光される。
上述のような光透過−光遮断の切替えは、透明電極間へ
の電圧の印加によって行われる。そして、複数の液晶光
変調素子を配列することにより応答速度の速いシャッタ
ーが可能となる。
の電圧の印加によって行われる。そして、複数の液晶光
変調素子を配列することにより応答速度の速いシャッタ
ーが可能となる。
このようなLCDシャッターの特性に着目して、LCD
シャッターを用いた種々の液晶露光装置が開発されてい
る。通常、LCDシャッターアレーが1列の液晶露光装
置では白黒露光のみを行うことができる。
シャッターを用いた種々の液晶露光装置が開発されてい
る。通常、LCDシャッターアレーが1列の液晶露光装
置では白黒露光のみを行うことができる。
しかしながら、フルカラーの露光を行う場合には、LC
Dシャッターと感光記録媒体との間に赤、緑、青のいず
れかの単色に分解する3種類のフィルターを順次挿入し
、これらのフィルターを通して3回の露光を行う必要が
ある。このため、この露光に時間がかかってしまうばか
りでなく、各色の露光の位置ずれが生じるといった問題
点があった。
Dシャッターと感光記録媒体との間に赤、緑、青のいず
れかの単色に分解する3種類のフィルターを順次挿入し
、これらのフィルターを通して3回の露光を行う必要が
ある。このため、この露光に時間がかかってしまうばか
りでなく、各色の露光の位置ずれが生じるといった問題
点があった。
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたも
ので、1回のライン走査によってフルカラーの露光を行
うことができるばかりでなく、露光スピードをより速く
することができるようにした液晶露光装置を提供するこ
とを目的とする。
ので、1回のライン走査によってフルカラーの露光を行
うことができるばかりでなく、露光スピードをより速く
することができるようにした液晶露光装置を提供するこ
とを目的とする。
この目的を達成するため本発明の液晶露光装置は、画像
信号に基づいて感光記録媒体を露光する液晶露光装置に
おいて、棒状の光源と、液晶光変調素子からなるLCD
シャッターを前記光源の長さ方向に沿って複数列にわた
って配列するとともに赤、緑、青の夫々に所定の列を割
り当てたLCDシャッターアレーと、このLCDシャッ
ターアレーの前面に前記割り当てられた所定の列の色に
夫々対応させて各色層フィルタ一部を配置して設置した
ライン状フィルターと、前記光源からの光を集光する集
光手段とを備えたものである。
信号に基づいて感光記録媒体を露光する液晶露光装置に
おいて、棒状の光源と、液晶光変調素子からなるLCD
シャッターを前記光源の長さ方向に沿って複数列にわた
って配列するとともに赤、緑、青の夫々に所定の列を割
り当てたLCDシャッターアレーと、このLCDシャッ
ターアレーの前面に前記割り当てられた所定の列の色に
夫々対応させて各色層フィルタ一部を配置して設置した
ライン状フィルターと、前記光源からの光を集光する集
光手段とを備えたものである。
上記の構成を有する本発明によれば、光源と、前面にラ
イン状フィルタが設置されたLCDシャッタアレーと、
集光手段とを一体として、感光記録媒体に対して相対的
に移動させつつ、例えば青、緑、赤の順に露光する1回
のライン走査を行うこ表によって露光を完了することが
でき、しかもLCDシャッターを複数列に配列してLC
Dシャッターアレーを構成することにより、露光スピー
ドを速くすることができる。
イン状フィルタが設置されたLCDシャッタアレーと、
集光手段とを一体として、感光記録媒体に対して相対的
に移動させつつ、例えば青、緑、赤の順に露光する1回
のライン走査を行うこ表によって露光を完了することが
でき、しかもLCDシャッターを複数列に配列してLC
Dシャッターアレーを構成することにより、露光スピー
ドを速くすることができる。
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
まず、本発明の液晶露光装置が用いられる画像記録装置
の一例を説明する。第1図は本発明の液晶露光装置を用
いた画像記録装置の概略構成図である。第1図において
、画像記録装置1は、液晶露光装M2を備え、液晶露光
装置2の下方の露光領域15を感光記録媒体としての長
尺状のマイクロカプセル紙20が搬送されるように構成
されている。
の一例を説明する。第1図は本発明の液晶露光装置を用
いた画像記録装置の概略構成図である。第1図において
、画像記録装置1は、液晶露光装M2を備え、液晶露光
装置2の下方の露光領域15を感光記録媒体としての長
尺状のマイクロカプセル紙20が搬送されるように構成
されている。
液晶露光装置2は、棒状の光源としてのハロゲンランプ
3、このハロゲンランプ3からの出射光を反射するりフ
レフタ3a、ハロゲンランプ3からの出射光及びリフレ
クタ3aからの反射光を平行光とするコンデンサレンズ
3b、LCDシャッターアレー4、このLCDシャッタ
ーアレー4の前面に設置したライン状フィルター5、及
びセルフォックスレンズ6を備えている。
3、このハロゲンランプ3からの出射光を反射するりフ
レフタ3a、ハロゲンランプ3からの出射光及びリフレ
クタ3aからの反射光を平行光とするコンデンサレンズ
3b、LCDシャッターアレー4、このLCDシャッタ
ーアレー4の前面に設置したライン状フィルター5、及
びセルフォックスレンズ6を備えている。
LCDシャッターアレー4は、液晶光変調素子からなる
LCDシャッターを前記ハロゲンランプ3の長さ方向に
沿って複数列(m例)にわたって配列するとともに、所
定の列を赤用LCDシャッタ一部4R,緑用LCDシャ
ッタ一部4G及び青用LCDシャッタ一部4Bの各色の
ライン状画素に割り当てたものである。即ち、図示では
赤用LCDシャッタ一部4R,緑用LCDシャッター部
4G及び青用LCDシャッタ一部4Bに夫々n列づつ割
当てて、合計3n列としたものである。
LCDシャッターを前記ハロゲンランプ3の長さ方向に
沿って複数列(m例)にわたって配列するとともに、所
定の列を赤用LCDシャッタ一部4R,緑用LCDシャ
ッタ一部4G及び青用LCDシャッタ一部4Bの各色の
ライン状画素に割り当てたものである。即ち、図示では
赤用LCDシャッタ一部4R,緑用LCDシャッター部
4G及び青用LCDシャッタ一部4Bに夫々n列づつ割
当てて、合計3n列としたものである。
一方、LCDシャッターアレー4の前面に、これと一体
に設置されたライン状フィルター5は、赤用フィルタ4
部5R,緑用フィルタ一部5G及び青用フィルタ一部5
Bからなり、この各フィルタ一部5R,5G、5Bは、
LCDシャッターアレー4の各色層LCDシャッタ一部
4R,4G。
に設置されたライン状フィルター5は、赤用フィルタ4
部5R,緑用フィルタ一部5G及び青用フィルタ一部5
Bからなり、この各フィルタ一部5R,5G、5Bは、
LCDシャッターアレー4の各色層LCDシャッタ一部
4R,4G。
4Bと対応する位置に配置されている。即ち、赤用LC
Dシャッタ一部4Rの前面に赤用フィルタ一部SRが、
線用LCDシャッタ一部4Gの前面に線用フィルタ一部
5Gが、青用LCDシャッタ一部4Bの前面に青用フィ
ルタ一部5Bが夫々位置するようなされている。
Dシャッタ一部4Rの前面に赤用フィルタ一部SRが、
線用LCDシャッタ一部4Gの前面に線用フィルタ一部
5Gが、青用LCDシャッタ一部4Bの前面に青用フィ
ルタ一部5Bが夫々位置するようなされている。
そして、ハロゲンランプ3とリフレクタ3aとコンデン
サレンズ3bとを一体に取付けるとともに前面にライン
状フィルタ5を設置したLCDシャッタアレー4と、セ
ルフォックスレンズ6とを一体さして、第2図に示すよ
うに、マイクロカプセル紙20に対して相対的に移動さ
せつつ、青、緑、赤の順に露光する1回のライン走査を
行うことによって露光が完了する。
サレンズ3bとを一体に取付けるとともに前面にライン
状フィルタ5を設置したLCDシャッタアレー4と、セ
ルフォックスレンズ6とを一体さして、第2図に示すよ
うに、マイクロカプセル紙20に対して相対的に移動さ
せつつ、青、緑、赤の順に露光する1回のライン走査を
行うことによって露光が完了する。
このように、ライン走査して露光を行う場合、LCDシ
ャッターアレー4の赤、緑、青の各色に対応するLCD
シャッタ一部4R,4G、4Bの画素は、マイクロカプ
セル紙20と相対的に一致するよう、すなわち、このラ
イン走査スピードと同期し、かつ赤、緑、青のフィルタ
ー変化に対応しながらスクロール変化を行う。この露光
を第3図を参照してより詳細に説明する。今、LCDシ
ャッターアレー4の各色に対応するLCDシャッタ一部
4R,4G、4Bのライン走査方向に配列された各画素
をR,〜Rn、G、 〜Gn、B、 〜Bnとすると、
例えば画素R1〜Rnは、ライン走査において第3図に
示すようにシャッターがオン・オフするように、すなわ
ち、1画素分の移動に対しRの情報がRに、Rの情報が
Rn1 2 rI刊 に移動されるように制御される。これにより、1ライン
の露光時間は、赤、緑、青の夫々n移動性となり、また
1回の送りで赤、緑、青の露光を完了することができる
ことになる。
ャッターアレー4の赤、緑、青の各色に対応するLCD
シャッタ一部4R,4G、4Bの画素は、マイクロカプ
セル紙20と相対的に一致するよう、すなわち、このラ
イン走査スピードと同期し、かつ赤、緑、青のフィルタ
ー変化に対応しながらスクロール変化を行う。この露光
を第3図を参照してより詳細に説明する。今、LCDシ
ャッターアレー4の各色に対応するLCDシャッタ一部
4R,4G、4Bのライン走査方向に配列された各画素
をR,〜Rn、G、 〜Gn、B、 〜Bnとすると、
例えば画素R1〜Rnは、ライン走査において第3図に
示すようにシャッターがオン・オフするように、すなわ
ち、1画素分の移動に対しRの情報がRに、Rの情報が
Rn1 2 rI刊 に移動されるように制御される。これにより、1ライン
の露光時間は、赤、緑、青の夫々n移動性となり、また
1回の送りで赤、緑、青の露光を完了することができる
ことになる。
マイクロカプセル紙20は、長尺状の支持体の表面に複
数のマイクロカプセルを塗布したものであり、このマイ
クロカプセル内には、後述する顕色剤と反応する染料前
駆体等が包含されている。
数のマイクロカプセルを塗布したものであり、このマイ
クロカプセル内には、後述する顕色剤と反応する染料前
駆体等が包含されている。
そして、未露光のマイクロカプセル紙2oは、カートリ
ッジ軸22に巻き回された状態で遮光性のカートリッジ
21内に装着されている。また、こノカートリッジ21
の右方には、マイクロカプセル紙20を搬送するための
送りローラ23,23が配設されている。
ッジ軸22に巻き回された状態で遮光性のカートリッジ
21内に装着されている。また、こノカートリッジ21
の右方には、マイクロカプセル紙20を搬送するための
送りローラ23,23が配設されている。
前記液晶露光装置2の下方の露光領域15で露光が行わ
れたマイクロカプセル紙20は、顕色紙35と重ね合わ
された状態で加圧ローラ30a。
れたマイクロカプセル紙20は、顕色紙35と重ね合わ
された状態で加圧ローラ30a。
30bにより加圧されて圧力現像される。その後、顕色
紙35と分離されたマイクロカプセル紙20は、カート
リッジ26内に配設されているカートリッジ軸27に巻
き取られる。
紙35と分離されたマイクロカプセル紙20は、カート
リッジ26内に配設されているカートリッジ軸27に巻
き取られる。
加圧ローラ30a、30bの下方には、複数の顕色紙3
5が積み重ねられて収容されているカセット37が装着
されている。そして、カセット37の左上方には、半月
ローラ41が配設されており、この半月ローラ41の回
転により顕色紙35が一枚づつ給紙ローラ42,42間
に送り出される。送り出された顕色紙35は、送りガイ
ド43を経て顕色紙35の先端とマイクロカプセル紙2
0上の潜像の先端との位置が合うようなタイミングで加
圧ローラ30a、30bへ搬送されるようになっている
。
5が積み重ねられて収容されているカセット37が装着
されている。そして、カセット37の左上方には、半月
ローラ41が配設されており、この半月ローラ41の回
転により顕色紙35が一枚づつ給紙ローラ42,42間
に送り出される。送り出された顕色紙35は、送りガイ
ド43を経て顕色紙35の先端とマイクロカプセル紙2
0上の潜像の先端との位置が合うようなタイミングで加
圧ローラ30a、30bへ搬送されるようになっている
。
顕色紙35は、支持体の表面に顕色剤が塗布されており
、マイクロカプセル紙20のマイクロカプセルに内包さ
れる染料前駆体と反応して発色するが、詳細は米国特許
第4,399,209号に記載されており、ここでは説
明を省略する。
、マイクロカプセル紙20のマイクロカプセルに内包さ
れる染料前駆体と反応して発色するが、詳細は米国特許
第4,399,209号に記載されており、ここでは説
明を省略する。
加圧ローラ30a、30bの右方には、熱定着装置50
が配置されており、この熱定着装置50の内部にはヒー
タ51が設けられ、下部には顕色紙35を搬送するため
の搬送ベルト52が配設されている。
が配置されており、この熱定着装置50の内部にはヒー
タ51が設けられ、下部には顕色紙35を搬送するため
の搬送ベルト52が配設されている。
つぎに、画像記録装置1の動作について説明する。
プリントスタートキー(図示せず)が押し下げられると
、ハロゲンランプ3が点灯され、リフレクタ3aからの
反射光とハロゲンランプ3からの出射光は、コンデンサ
レンズ3bにより平行光とされた後、LCDシャッター
アレー5に入射する。
、ハロゲンランプ3が点灯され、リフレクタ3aからの
反射光とハロゲンランプ3からの出射光は、コンデンサ
レンズ3bにより平行光とされた後、LCDシャッター
アレー5に入射する。
この状態で、ハロゲンランプ3とリフレクタ3aとコン
デンサレンズ3bとを一体に取付けるとともに、前面に
ライン状フィルタ5を設置したLCDシャッタアレー4
と、セルフォックレンズ6とを一体として、マイクロカ
プセル紙20に対して相対的に移動させつつ、青、緑、
赤の順に露光する1回のライン走査を行う。
デンサレンズ3bとを一体に取付けるとともに、前面に
ライン状フィルタ5を設置したLCDシャッタアレー4
と、セルフォックレンズ6とを一体として、マイクロカ
プセル紙20に対して相対的に移動させつつ、青、緑、
赤の順に露光する1回のライン走査を行う。
このライン走査に際し、LCDシャッターアレー4の赤
、緑、青の各色に対応するLCDシャッタ一部4R,4
G、4Bの画素が、マイクロカプセル紙20と相対的に
一致するようスクロール変化を行う。
、緑、青の各色に対応するLCDシャッタ一部4R,4
G、4Bの画素が、マイクロカプセル紙20と相対的に
一致するようスクロール変化を行う。
これにより、1回のライン走査によってマイクロカプセ
ル紙20には、カラー潜像か形成される。
ル紙20には、カラー潜像か形成される。
露光が終了すると、マイクロカプセル紙20は、送りロ
ーラ23およびカートリッジ軸27の駆動力により加圧
ローラ30a、30bの方向に搬送される。一方、顕色
紙35は、半月ローラ41により一枚づつ給紙され、給
紙ローラ42と給紙ガイド43により加圧ローラ30a
、30bに搬送される。そして、マイクロカプセル紙2
0の露光面と顕色紙35の顕色剤塗布面が当接するよう
に重ね合わされた状態て加圧ローラ30a、30bによ
り加圧され、画像が顕色紙35に転写される。
ーラ23およびカートリッジ軸27の駆動力により加圧
ローラ30a、30bの方向に搬送される。一方、顕色
紙35は、半月ローラ41により一枚づつ給紙され、給
紙ローラ42と給紙ガイド43により加圧ローラ30a
、30bに搬送される。そして、マイクロカプセル紙2
0の露光面と顕色紙35の顕色剤塗布面が当接するよう
に重ね合わされた状態て加圧ローラ30a、30bによ
り加圧され、画像が顕色紙35に転写される。
顕色紙35は、更に搬送ベルト52により搬送されなが
ら熱定着装置のヒータ51によって発色が促進され、画
像として出力される。
ら熱定着装置のヒータ51によって発色が促進され、画
像として出力される。
本発明は、上述の実施例に限定されるものではなく、そ
の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変形を加える
ことができる。例えば、上記実施例ではマイクロカプセ
ル紙20を停止させた状態で液晶露光装W2を走査させ
ているが、液晶露光装置2を固定しマイクロカプセル紙
20を移動させてもよく、あるいは両者を互いに逆方向
に移動させてライン走査を行ってもよい。
の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変形を加える
ことができる。例えば、上記実施例ではマイクロカプセ
ル紙20を停止させた状態で液晶露光装W2を走査させ
ているが、液晶露光装置2を固定しマイクロカプセル紙
20を移動させてもよく、あるいは両者を互いに逆方向
に移動させてライン走査を行ってもよい。
また、本実施例では集光手段としてセルフォックレンズ
アレーを使用したが、他の集光手段であってもよい。
アレーを使用したが、他の集光手段であってもよい。
以上詳述したことから明らかなように、本発明によれば
、前面にライン状フィルターを有し、かつ走査方向に複
数のLCDンヤッターが配列されたライン状のLCDシ
ャッターアレーにより、1回のライン走査で高速にフル
カラーの露光を行うことができるといった効果がある。
、前面にライン状フィルターを有し、かつ走査方向に複
数のLCDンヤッターが配列されたライン状のLCDシ
ャッターアレーにより、1回のライン走査で高速にフル
カラーの露光を行うことができるといった効果がある。
第1図は本発明の液晶露光装置を用いた画像記録装置の
概略構成図、第2図は液晶露光装置の概略斜視図、第3
図はスクロール制御の例を示すシャッタのオン・オフの
状態を示す図である。 1・・・画像記録装置、2・・・液晶露光装置、3・・
・ハロゲンランプ(光源)、3a・・リフレクタ、3b
・・・コンデンサレンズ、4・・・LCDシャッターア
レー 4R・・・赤用LCDシャッタ一部、4G・線用
LCDシャッタ一部、4B・・・青用LCDシャッタ一
部、5・・ライン状フィルター5R・・赤用フィルタ一
部、5G・・・線用フィルター部、5B・・青用フィル
タ一部、6・・・セルフォックレンズアレー 20・・
マイクロカプセル紙(感光記録媒体)。
概略構成図、第2図は液晶露光装置の概略斜視図、第3
図はスクロール制御の例を示すシャッタのオン・オフの
状態を示す図である。 1・・・画像記録装置、2・・・液晶露光装置、3・・
・ハロゲンランプ(光源)、3a・・リフレクタ、3b
・・・コンデンサレンズ、4・・・LCDシャッターア
レー 4R・・・赤用LCDシャッタ一部、4G・線用
LCDシャッタ一部、4B・・・青用LCDシャッタ一
部、5・・ライン状フィルター5R・・赤用フィルタ一
部、5G・・・線用フィルター部、5B・・青用フィル
タ一部、6・・・セルフォックレンズアレー 20・・
マイクロカプセル紙(感光記録媒体)。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 画像信号に基づいて感光記録媒体を露光する液晶露光装
置において、 前記液晶露光装置は、棒状の光源と、液晶光変調素子か
らなるLCDシャッターを前記光源の長さ方向に沿って
複数列にわたって配列するとともに赤、緑、青の夫々に
所定の列を割り当てたLCDシャッターアレーと、この
LCDシャッターアレーの前面に前記割り当てられた所
定の列の色に夫々対応させて各色用フィルター部を配置
して設置したライン状フィルターと、前記光源からの光
を集光する集光手段とを備えたことを特徴とする液晶露
光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27071690A JPH04147128A (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 液晶露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27071690A JPH04147128A (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 液晶露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04147128A true JPH04147128A (ja) | 1992-05-20 |
Family
ID=17489966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27071690A Pending JPH04147128A (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 液晶露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04147128A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010097796A (ko) * | 2000-04-26 | 2001-11-08 | 한경빈 | 사진노광필터장치 |
| US6396299B1 (en) | 1998-03-20 | 2002-05-28 | Nec Corporation | Method and apparatus for substrate defect testing by surface illumination |
-
1990
- 1990-10-09 JP JP27071690A patent/JPH04147128A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6396299B1 (en) | 1998-03-20 | 2002-05-28 | Nec Corporation | Method and apparatus for substrate defect testing by surface illumination |
| KR20010097796A (ko) * | 2000-04-26 | 2001-11-08 | 한경빈 | 사진노광필터장치 |
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